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工廠如何消除靜電與防治靜電實踐經(jīng)驗靜電的概念靜電就是靜止的電荷,就是物體表面有多余的電荷(正電荷或負電荷)存在。2020年XX月XX日靜電的概念靜電產(chǎn)生有三種方法:摩擦相接觸的兩個物體發(fā)生分離靜電感應產(chǎn)生靜電2020年XX月XX日靜電產(chǎn)生的物理解釋結(jié)果:帶正的靜電荷結(jié)果:帶負的靜電荷相接觸的兩個物體發(fā)生分離2020年XX月XX日什么是ESD?ESD就是靜電泄放(ElectronicStaticDischarge)帶有靜電的物體靠近或接觸另一物體,只要它們之間存在電勢差,就會發(fā)生靜電荷傳遞。這種靜電荷傳遞過程我們稱之為靜電泄放。當這種靜電荷傳遞的過程強度足夠大,大到可以損壞我們的產(chǎn)品,我們就稱之為ESD事件。2020年XX月XX日任何物體都可以產(chǎn)生靜電!EverythingcanbecomeCharged!什么物體可以產(chǎn)生靜電?我們的工作區(qū)域所有物體都可以產(chǎn)生靜電!手推車,椅子,機械手,粘膠帶,周轉(zhuǎn)箱和其它物料輸送物品人體,手套,凈化室用抹布,凈化室用太空服,普通衣服工作臺表面,CRT電腦顯示器,手動工具,紙,筆記本,文件夾,筆墻壁,地板,酒精瓶,ESD包裝,非ESD包裝等等都可以產(chǎn)生靜電。2020年XX月XX日什么樣的材料是防靜電材料?對于硬盤產(chǎn)品生產(chǎn),表面電阻小于1x109Ohms的材料是理想的ESD材料。3.Insulator絕緣材料2.Dissipative靜電消耗材料1.Conductive導體材料105

Ohms/1011Ohms/1產(chǎn)生靜電少2靜電可以通過接地消除(但消除速度很快)3可以接收的ESD材料1產(chǎn)生靜電較少2靜電可以通過接地消除(消除速度適中)3理想的ESD材料1產(chǎn)生靜電很多2靜電不能通過接地消除(消除速度特別慢)3非ESD材料2020年XX月XX日ESD的危害磁頭PCB/PCC電路板梳頭發(fā)撕貼膠帶走路人體對大于3000V的靜電才有感覺!但是……2020年XX月XX日ESD是隱藏的敵人對于ESD我們應該統(tǒng)一認識,并加以提高ESD是隱藏的敵人聽到5000V感覺到3000V看到8000V電子元件受損100-500V2020年XX月XX日ESD如何損害我們的產(chǎn)品被ESD損毀的產(chǎn)品使電子元件受損的潛在缺陷占90%,在廠內(nèi)很難被發(fā)現(xiàn)電子元件即時失效只占10%,在廠內(nèi)可被發(fā)現(xiàn)大量的靜電荷在存在電勢差的物體(人或機器)與產(chǎn)品之間快速傳遞,短時間內(nèi)產(chǎn)生很大的電流(遠遠超過產(chǎn)品可以承受的電流)重則損毀電路,造成產(chǎn)品不能使用;輕則使電路過熱受到損傷,影響產(chǎn)品的壽命和可靠性。2020年XX月XX日決定靜電產(chǎn)生多少的因素1在地毯上走路2穿普通鞋在ESD地板上走路(不使用腕帶)3穿ESD安全的鞋在ESD地板上(使用腕帶)4摩擦絕緣材料

2020年XX月XX日決定靜電產(chǎn)生多少的因素環(huán)境相對濕度35000V8000V 1500V10000V4000V 200V50V10V 0V10-20%RH40-50%RH70-90%RH4000V1500V 300V12342020年XX月XX日1材料的導電性能:導電材料和靜電消耗材料產(chǎn)生比較少的靜電,絕緣材料產(chǎn)生很多的靜電。2環(huán)境相對濕度對靜電的產(chǎn)生有很大的影響,相對濕度大(空氣潮濕)靜電產(chǎn)生就少,ESD的問題就少。反之,相對濕度小ESD的問題就多。3ESD地板,ESD安全的鞋(包括太空服)及腕帶的使用對于降低人體產(chǎn)生的靜電也是非常有效的。另外在地板上走動比不走動產(chǎn)生更多的靜電。決定靜電產(chǎn)生多少的因素決定靜電產(chǎn)生多少的因素主要有:2020年XX月XX日ESD如何損害我們的產(chǎn)品ESD損壞的方式直接的方式間接的方式1.金屬(小電阻)接觸帶靜電的物體接觸產(chǎn)品(HBM)物體接觸帶靜電的產(chǎn)品(CDM)2.電路熱拔插帶電測試1.靜電感應不直接接觸2.電磁干擾(EMI)不直接接觸2020年XX月XX日降低成本提高產(chǎn)品質(zhì)量客戶滿意增加利潤ESD防護的好處2020年XX月XX日我們?nèi)绾慰刂艵SD?Threefundamentalprinciples三個基本的控制原理ESD控制=Man(人)+Machine(機)+Material(料)+Method(法)+Environment(環(huán))--Ground/Bondallconductors(為所有導體進行接地處理。注意:人也是導體)--ControlChargesonNonconductors(控制容易產(chǎn)生較多靜電絕緣材料)--Useprotectivepackagingfortransitandstorage(在產(chǎn)品運輸和存貯過程中使用ESD防護包裝)2020年XX月XX日Man(人)--手腕帶,ESD鞋,ESD椅子,衣服…Machine(機)--接地,控制靜電電流--消除/屏蔽電磁干擾和交流電場Material(材料)--使用導體材料--盡量使用靜電消耗材料--使用ESD地板,ESD桌墊--不用或盡量少用絕緣材料Method(方法)--預防(創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境)--保護(保護對ESD敏感的產(chǎn)品或零部件,避免金屬小電阻接觸)--屏蔽(對非ESD安全的物品進行法拉第或距離屏蔽)--消除(通過接地,離子化消除產(chǎn)生的靜電)Environment(環(huán)境)--溫度/濕度控制--局部使用離子風機--員工ESD培訓--管理我們?nèi)绾慰刂艵SD?ESD控制=Man(人)+Machine(機)+Material(料)+Method(法)+Environment(環(huán))2020年XX月XX日--處理對ESD敏感的產(chǎn)品必須在ESD安全區(qū)域(ESDSafeArea)內(nèi)進行。--在ESD安全區(qū)域處理對ESD敏感的產(chǎn)品,必須依照ESD安全處理程序進行。--沒有進行必要的ESD防護,不允許進入ESD安全區(qū)域。ESD安全區(qū)域和ESD風險等級2020年XX月XX日ESD安全區(qū)域和ESD風險等級1A級--特別高的ESD風險1級--很高的ESD風險2級--較高的ESD風險(

以上級別只用行磁頭和硬盤生產(chǎn)工序)3級--高的ESD風險(硬盤生產(chǎn)DriveTopCover安裝到位以后工序PCCA/HookupDie/IC安裝,焊接及通電測試工序)4級--中等的ESD風險(PCCA,Hookup一般工序)ESD敏感產(chǎn)品的處理工序依照產(chǎn)品的特點和可能造成的ESD損壞,劃分為四個ESD風險等級:2020年XX月XX日ESD安全區(qū)域和ESD風險等級靜電防護安全區(qū)域(ESDSafeArea)2020年XX月XX日ESD控制---接地兩種可用的接地系統(tǒng)LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD地板ESD鞋工作臺ESD凈化服LNE產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD接地銅排ESD地板2020年XX月XX日ESD控制---接地產(chǎn)品ESD墊子機器或夾具ESD腕帶ESD鞋工作臺ESD凈化服ESD地板1.人體通過ESD凈化服、ESD鞋及ESD地板接地接地電阻通常在1x10e8~1x10e9歐姆,這時人體的靜電電位500V以下。2.人體通過ESD腕帶接地,接地電阻可以確保在1x10e6~1x10e7歐姆,可以確保人體的靜電電位在10V以下。3.機器或夾具等金屬物體通過接地線接地,接地電阻通常小于10歐姆,可以將機器或夾具等金屬物體上產(chǎn)生的靜電隨時導向大地,減少靜電對產(chǎn)品的危害。2020年XX月XX日ESD控制---接地接地是針對導體材料進行ESD控制最簡單最有效的方法人員接地腕帶太空服,太空鞋,防靜電手套防靜電服裝,防靜電鞋設備接地對生產(chǎn)流水線必須進行硬接地,流水線的輸送皮帶必須是金屬或ESD材料。工作臺應使用金屬臺面或ESD桌墊臺面,并對工作臺面進行硬接地。貯存ESD敏感產(chǎn)品或零部件的架子和手推車必須滿足ESD軟接地要求。設備/工具通過軸承或氣缸聯(lián)接的接觸ESD敏感產(chǎn)品部分應考慮另接接地線接地。設備/工具接觸ESD敏感產(chǎn)品的部分不得使用絕緣材料,應使用金屬或ESD材料。并至少滿足ESD軟接地的要求。硬接地–指使用接地線對導體材料進行接地,金屬硬接地,對地電阻應小于10歐姆。軟接地–指不使用接地線的接地,對地電阻(RTG)應小于1X10^9歐姆。2020年XX月XX日ESD控制--粘膠帶粘膠帶的使用必須控制到最少,如果必須使用,應使用ESD安全的膠帶如:3M40或42對非ESD安全的膠帶,在撕膠帶,貼膠帶和揭膠帶時應考慮在離子風機下進行或遠離產(chǎn)品12英寸以外進行維修設備,聯(lián)接電線等禁止使用粘膠帶2020年XX月XX日ESD控制--粘膠帶ESD膠帶撕貼膠帶會產(chǎn)生很高的靜電,由于膠帶是絕緣材料,產(chǎn)生的靜電可以保留較長時間。不是生產(chǎn)工藝必須的膠帶必須從工作臺上拿走,嚴禁使用膠帶來固定物體或電氣維修。2020年XX月XX日ESD控制--ESD安全物料PE袋ESDTray非ESD材料Tray普通紙、計算器、普通膠帶零部件料盒ESD材料的文件夾ESD材料的椅子凈化紙&許可的筆拉圾筒ESD屏蔽包保持非ESD材料與我們的ESD敏感產(chǎn)品12英寸以上距離2020年XX月XX日ESD控制---離子化對絕緣材料接地并不能消除所帶的靜電,要消除所帶的靜電需要使用離子風機。離子風機的作用是在局部形成離子平衡的環(huán)境,它產(chǎn)生的離子可以在較短的時間內(nèi)中和目標物體上多余的電荷。風扇很臟不但有Contamination的問題,影響離子產(chǎn)生,同時由于有大量Particle存在,反而會帶來ESD問題。--應定期(每周)用IPA對風扇和發(fā)射針進行清潔。(工程部/設施部執(zhí)行,QA核查)有維護標簽,一要定期對風機校準,二要定期進行清潔維護。指示燈亮(表示在工作),應打到>60%最大風速。高度18-24Inch產(chǎn)品區(qū)域2020年XX月XX日ESD控制應該做到1)在ESD安全的工位處理對ESD敏感產(chǎn)品。2)在處理對ESD敏感產(chǎn)品之前戴上腕帶,防靜電手套。3)對所有金屬設備和工具進行接地處理。4)讓ESD敏感產(chǎn)品與絕緣材料最少保持12英寸(約30公分)的距離。5)總是保持工作區(qū)域干凈整潔,拿走不必要的物料,特別是拿走不是生產(chǎn)必需的普通塑料制品,紙制品及個人物品。6)對ESD敏感產(chǎn)品可能接觸的設備部件,

測量設備接地,確保牢固有效安全。7)不要用金屬物體接觸對ESD敏感產(chǎn)品的暴露的輸入電路,減少對ESD敏感產(chǎn)品不必要的接觸8)服從ESD敏感區(qū)域,ESD安全紀律要求。9)如果你對ESD有不清楚的可以聯(lián)系本地ESD控制部門。2020年XX月XX日ESD公式“Q”:在產(chǎn)品或零部件,工具或其它物體(包括人體)上的靜電荷(通常是由于摩擦或者是靜電感應產(chǎn)生的)。“M”:與產(chǎn)品或零部件暴露的輸入電路進行小電阻的金屬聯(lián)接。“ESD”:短時間內(nèi)的大電流損壞產(chǎn)品或零部件,造成ESD損壞。Q+M=ESD2020年XX月XX日ESD公式用這個公式來幫我們理解如何解決ESD問題2020年XX月XX日ESD公式消除金屬聯(lián)接(M):Q+M=NOESD避免金屬聯(lián)接的方法:設計工具,使暴露的電路不能接觸工具的金屬表面在工具的表面使用ESD消耗材料(ESD墊子等)暴露的電路好好不好2020年XX月XX日ESD公式減少或消除靜電荷(Q):Q+M=NOESD為導體進行可靠的接地(對固定金屬導體:接地電阻<10ohms,對移動導體,ESD材料或不可以接地的導體:接地電阻<1X10^9歐姆。)減少或消除摩擦、撕粘膠帶等等所有可以產(chǎn)生靜電的操作。如有必要,使用離子風機消除絕緣材料上的靜電。從工位上拿走不是生產(chǎn)必須的絕緣材料。對于生產(chǎn)工藝必須的絕緣材料和ESD敏感的產(chǎn)品,保持安全距離(12英寸以上)。2020年XX月XX日ESD公式Q+M=ESD很多人首先試著只是控制

Q(靜電荷)但消除M

(金屬聯(lián)接)通常是最廉價的,最容易的,從長期來說也是最有效的解決辦法。聰明的做法是把控制

Q(靜電荷)和消除M

(金屬聯(lián)接)結(jié)合起來這取決于在每個工藝過程中哪一種方法最容易,最廉價。你必須不斷改善和優(yōu)化你的工藝過程,否則ESD的問題將繼續(xù)困惑著你2020年XX月XX日電子元器件與雞蛋–ESD控制思路

電子元器件就像雞蛋,電子元器件對ESD十分敏感就像雞蛋從高處落下很容易摔壞。

電子元器件帶有靜電就像一個被舉高的雞蛋。不是高度摔破了雞蛋,而是高度的突然改變(摔下雞蛋)摔破了雞蛋。不是高的靜電電壓損壞了電子元器件,而是靜電電壓的突然改變損壞電子元器件。金屬聯(lián)接造成的靜電電壓的突然改變等同從高處摔下雞蛋。2020年XX月XX日如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度(靜電荷的多少)電子元器件與雞蛋–ESD控制思路2020年XX月XX日電子元器件與雞蛋–ESD控制思路如果超過這一高度摔下(靜電泄放)雞蛋(電子元器件)將被摔破(損壞)高度(靜電荷的多少)第一種解決方法降低障礙物的高度,相當于傳統(tǒng)的ESD控制思路只是控制靜電荷和電壓,去除絕緣材料、使用接地、離子風機等等2020年XX月XX日電子元器件與雞蛋–

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