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全球市場研究報告全球市場研究報告半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤是一種在半導(dǎo)體制造過程中用來固定和支撐硅片或其他半導(dǎo)體材料基板的裝置。它通過靜電吸引力將晶圓等基板牢牢地吸附在其表面上,確保在進行薄膜沉積、蝕刻、光刻等高精度工藝時基板能夠保持穩(wěn)定不動。與平板顯示器用電靜電卡盤類似,但針對的是更小尺寸且對清潔度要求極高的半導(dǎo)體晶圓。主要特點:1.高精度定位:提供極其穩(wěn)定的基板固定能力,保證了加工過程中的精確定位。2.耐高溫性能:由于許多半導(dǎo)體加工步驟需要在高溫環(huán)境下進行,因此這些卡盤通常具有良好的熱穩(wěn)定性。3.低污染特性:為了防止對敏感的半導(dǎo)體材料造成污染,這類卡盤采用特殊材料制成,如氧化鋁或氮化鋁陶瓷,它們不僅耐腐蝕而且能有效減少顆粒物產(chǎn)生。4.溫度控制:部分高級型號還集成了加熱或冷卻系統(tǒng),以滿足特定工藝對溫度控制的需求。5.適用于多種環(huán)境:能夠在高真空條件及不同氣體氛圍下正常工作。工作原理:1.當(dāng)施加一定電壓于卡盤表面與被固定的晶圓之間時,會產(chǎn)生靜電力從而吸引并緊緊握住晶圓。2.釋放晶圓時只需移除電場即可輕松取下。半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤產(chǎn)品圖片資料來源:第三方資料及QYResearch整理研究,2024年陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導(dǎo)體市場近年來見證了顯著的增長和演變,這一趨勢是由半導(dǎo)體器件和先進制造工藝需求的不斷增長所推動的。靜電吸盤在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,提供了精確可靠的晶圓處理能力,這對于實現(xiàn)高生產(chǎn)力和良率至關(guān)重要。根據(jù)QYResearch發(fā)布的新的市場研究報告《2024-2030年全球半導(dǎo)體市場陶瓷型靜電吸盤(ESCs)報告》,全球半導(dǎo)體市場陶瓷型靜電吸盤(ESCs)的市場規(guī)模預(yù)計將在2030年達到16.4億美元,預(yù)測期間復(fù)合年增長率為5.5%。目前,陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導(dǎo)體行業(yè)由日本公司主導(dǎo)。日本公司掌握了成熟的技術(shù)。許多國家需要從日本進口,如中國、臺灣、美國等。中國在半導(dǎo)體靜電吸盤(ESCs)領(lǐng)域已經(jīng)實現(xiàn)了某些技術(shù)突破。中國企業(yè)北京華卓精科和河北中瓷電子科技的靜電吸盤技術(shù)更新已達到標(biāo)準(zhǔn)和客戶接受要求。在2023年,SHINKO、NGKInsulators和NTKCERATEC占據(jù)了陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導(dǎo)體市場的收入份額前三名。SHINKO以21.70%的市場收入份額占據(jù)主導(dǎo)地位,其次是NGKInsulators,收入份額為19.63%,NTKCERATEC的收入份額為14.82%。總之,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的擴張、技術(shù)進步和先進材料的日益采用,陶瓷型靜電吸盤(ESCs)在半導(dǎo)體市場有望繼續(xù)增長。隨著制造商專注于提高晶圓處理能力和良率,半導(dǎo)體制造設(shè)備中的靜電吸盤(ESCs)將仍然是關(guān)鍵組件,將在未來幾年內(nèi)維持市場的勢頭。半導(dǎo)體制造設(shè)備行業(yè)對靜電吸盤的需求有更大的影響。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的大量投資,我們對靜電吸盤行業(yè)的未來持樂觀態(tài)度。半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤,全球市場總體規(guī)模7.3%來源:QYResearch電子研究中心7.3%全球半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤市場前18強生產(chǎn)商排名及市場占有率(基于2023年調(diào)研數(shù)據(jù);目前最新數(shù)據(jù)以本公司最新調(diào)研數(shù)據(jù)為準(zhǔn))來源:QYResearch電子研究中心。行業(yè)處于不斷變動之中,最新數(shù)據(jù)請聯(lián)系QYResearch咨詢。根據(jù)QYResearch頭部企業(yè)研究中心調(diào)研,全球范圍內(nèi)半導(dǎo)體用陶瓷型靜電卡盤生產(chǎn)商主要包括SHINKO、NGKInsulators、NTKCERATEC、TOTO、SumitomoOsakaCement、Entegris、LKENGINEERING、Kyocera、TechneticsGroup、CreativeTechnologyCorporation等。2022年,全球前十強廠商占有大約92.0%的市場份額。半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤,全球市場規(guī)模,按產(chǎn)品類型細分,庫倫型處于主導(dǎo)地位來源:QYResearch電子研究中心就產(chǎn)品類型而言,目前庫侖型是最主要的細分產(chǎn)品,占據(jù)大約69.0%的份額。半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤,全球市場規(guī)模,按應(yīng)用細分,300毫米晶圓是最大的下游市場,占有80.4%的份額。來源:QYResearch電子研究中心就產(chǎn)品應(yīng)用而言,目前300毫米晶圓是最主要的需求來源,占據(jù)大約80.4%的份額。全球主要市場半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤規(guī)
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