《電子工業(yè)用氣體 氟氮混合氣》

ICS71.100.20

CCSG86

CPCIF

中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準

T/CPCIFXXXX—XXXX

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣

Gasforelectronic-mixedgasesoffluorine-nitrogen

（征求意見稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會發(fā)布

T/CPCIFXXXX—XXXX

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣

1范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和

貯存。

本標準適用于電解無水氟化氫并經(jīng)過純化工藝處理后獲得的氟，與氮氣混合配制而成的電子工業(yè)

用氣體氟氮混合氣體，該產(chǎn)品主要用于半導體行業(yè)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T5099.4鋼質(zhì)無縫氣瓶第4部分：不銹鋼無縫鋼瓶

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標志

GB/T13004鋼質(zhì)無縫氣瓶定期檢驗與評定

GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB/T15382氣瓶閥通用技術要求

GB/T16804氣瓶警示標簽

GB/T26251氟和氟氮混合氣

GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術條件

3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定義。

4分類和標記

分類

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣根據(jù)下游應用領域的不同分為以下兩類：

Ⅰ類：主要用于面板、半導體、光伏行業(yè)；

Ⅱ類：主要用于農(nóng)藥、汽車、醫(yī)用包裝。

標記

按照產(chǎn)品名稱、類型、氟氣的含量（體積分數(shù)）進行如下標記：

示例：電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣FN-Ⅰ-20

氟氣的含量（體積分數(shù)，%）

產(chǎn)品分類

氟氣與氮氣

1

T/CPCIFXXXX—XXXX

5技術要求

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的技術要求應符合表1的規(guī)定。

表1技術要求

指標

項目

FN-Ⅰ-20FN-Ⅰ-10FN-Ⅱ-20FN-Ⅱ-10

-2

氟（F2）含量（體積分數(shù)）/1020±0.510±0.520±0.510±0.5

-2

氮（N2）含量（體積分數(shù)）/1080±0.590±0.580±0.590±0.5

-6

氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10≤2020100100

-6

四氟化碳（CF4）含量（體積分數(shù)）/10≤1010100100

-6

六氟化硫（SF6）含量（體積分數(shù)）/10≤11//

一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6≤11//

-6

二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10≤55//

氟化氫（HF）含量（體積分數(shù)）/10-6≤2020100100

6檢驗規(guī)則

組批、采樣、判斷

6.1.1組批

連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)的電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣體構成一批，每批產(chǎn)品純氟重量不超過50kg。

6.1.2采樣

采樣應符合GB/T3723或GB/T6681的相關規(guī)定。

6.1.3判斷

當對組批電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣，應逐批檢驗并驗收。當檢驗結果有任何一項指標不符合本標

準表1技術要求時，則該批產(chǎn)品不合格。

尾氣處理

測定電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣時，應對放空的尾氣進行處理。

7試驗方法

氟、氮含量的測定

按GB/T26251規(guī)定執(zhí)行。

氧含量的測定

7.2.1儀器

采用帶有氦放電型（DID）檢測器的氣相色譜儀測定氧含量。

檢測限：0.01×10-6（體積分數(shù)）。

7.2.2測定條件

7.2.2.1參考的測定條件

載氣：高純氦氣（純度≥99.999%，體積分數(shù)）；

載氣純化器：75-802型；

DID檢測器。

7.2.2.2標準樣品

2

T/CPCIFXXXX—XXXX

組份含量與樣品氣中相應組份含量相近，平衡氣為氦。

7.2.3測定步驟

7.2.3.1測定

平行測定標準樣品和樣品氣至少兩次，直至相鄰兩次平行測定的相對偏差不大于5%，取其平均值。

7.2.3.2結果處理

氧含量按式（1）計算

=×··········································································(1)

????????

式中：????????????1????1

——樣品氣中被測組份的含量（體積分數(shù)），10-6；

????????——樣品氣中被測組份的峰面積；

????????——標準樣品中相應已知組份的峰面積；

——標準樣品中相應已知組份的含量（體積分數(shù)），10-6。

????1

????四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化氫含量的測定1

7.3.1儀器

采用配備相應氣體池的傅立葉變換紅外光譜儀測定四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟

化氫的含量。

表2檢測限

CF4（體積分數(shù)）SF6（體積分數(shù)）CO（體積分數(shù)）CO2（體積分數(shù)）HF（體積分數(shù)）

0.01×10-60.01×10-60.07×10-60.30×10-60.10×10-6

7.3.2測定條件

7.3.2.1參考的測定條件

窗片：ZnSe；分辨率：1cm-1；光路長度：10m；氣體池溫度：100℃。

表3特征峰波帶

CF4SF6COCO2HF

1230cm-1～1300cm-1880cm-1～1000cm-12000cm-1～2260cm-12340cm-1～24300cm-13570cm-1～4260cm-1

7.3.2.2標準樣品

至少應有3種不同濃度的四氟化碳、六氟化硫、二氧化碳、氟化氫含量的標準樣品。

表4標準樣品中各物質(zhì)的含量

CF4（體積分數(shù)）SF6（體積分數(shù)）CO（體積分數(shù)）CO2（體積分數(shù)）HF（體積分數(shù)）

約1×10-6約1×10-6約1×10-6約1×10-6約5×10-6

約3×10-6約3×10-6約3×10-6約3×10-6約10×10-6

約5×10-6約5×10-6約5×10-6約5×10-6約20×10-6

平衡氣為氮氣或氦氣。

7.3.3其他測定條件

其他測定條件按照相應的儀器說明書執(zhí)行。

7.3.4測定

7.3.4.1標準曲線的繪制

3

T/CPCIFXXXX—XXXX

用氣體標準樣品進樣。分別記錄標準樣品中四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化氫在

其特征峰波帶處吸收峰的吸光度信號（峰面積或峰高）。

每種標準樣品至少重復進樣兩次，直至相鄰兩次平行測定的相對偏差不大于5%，取其平均值，分

別制作以四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化氫吸光度（峰面積或峰高）為縱坐標，以四

氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化氫濃度為橫坐標的標準曲線，建議每月校準一次。

7.3.4.2樣品的測定

為防止氣體池內(nèi)殘余的水分與氟氣發(fā)生反應，氣體池溫度100℃下利用高純氮氣對氣體池進行抽空

/吹洗（≥3次），背景譜圖無水分干擾，抽空完畢后待用。

將待測樣氣連接到儀器的進樣系統(tǒng)，待儀器穩(wěn)定后，以測定氣體標準樣品同樣的測定條件進樣，記

錄樣品中四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化氫在其特征峰波帶處吸收峰的吸光度信號（峰

面積或峰高），重復進樣至少兩次，直至相鄰兩次平行測定的相對偏差不大于5%，取平均值。

7.3.4.3結果處理

用測得的樣品中四氟化碳、六氟化硫、二氧化碳、氟化氫在其特征峰波帶處吸收峰的吸光度信號（峰

面積或峰高）在相應的標準曲線上查出氟氮混合氣中四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、氟化

氫的含量。

8標志、包裝、運輸和貯存

標志

8.1.1電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的包裝標志應符合GB190的相關規(guī)定，氣瓶的顏色標志應符合

GB/T7144的規(guī)定，標簽應符合GB15258、GB/T16804的要求。

8.1.2電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣出廠時應附有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應包括：

——產(chǎn)品名稱；

——生產(chǎn)廠家名稱；

——生產(chǎn)日期或批號、以及安全使用期或失效日期；

——充裝壓力（MPa）或充裝量（kg）；

——本標準號；

——技術指標及檢測結果。

8.1.3電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的包裝容器上應標明“電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣”的字樣。

包裝

8.2.1電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣氣瓶應符合GB/T5099.4、GB/T13004的規(guī)定，氣瓶瓶閥應符合

TSG23、GB/T15382的規(guī)定，瓶閥推薦使用DISS728、JISW22、CGA679。

8.2.2電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣氣瓶要求應符合TSG23相關要求。

8.2.3電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的充裝應符合GB/T27550、GB/T14194及TSG23的相關規(guī)定，瓶

裝氟氮混合氣的成品壓力在20℃時，不高過10MPa。

運輸和貯存

8.3.1運輸應符合TSG23及JT/T617.3、JT/T617.4、JT/T617.5、JT/T617.6、JT/T617.7的相關要求

執(zhí)行。

8.3.2保存期限按GB/T26571的執(zhí)行（18個月）。

8.3.3氣瓶應儲存于通風干燥處，垂直放置，關緊瓶閥，擰緊噴嘴保護帽，戴好瓶閥保護帽，嚴禁暴

曬，遠離熱源。

8.3.4氣瓶的搬運應符合GB/T34525的規(guī)定，搬運人員應按要求佩戴防護用品，放置傾倒砸傷。

9安全警示

4

T/CPCIFXXXX—XXXX

氟氣是黃色壓縮氣體，有刺鼻氣味；是一種強氧化劑，與可燃物質(zhì)和還原性物質(zhì)激烈反應；與水

激烈反應，生成臭氧和氟化氫；與氨、金屬、氧化劑和許多其他物質(zhì)激烈反應，有著火和爆炸的危險。

氟氣不可燃，但可助燃，不應與水、可燃物質(zhì)和還原劑接觸。著火時，應使用干粉和二氧化碳滅

火。噴霧狀水保持鋼瓶冷卻，但應避免氟與水接觸。

氟氣嚴重腐蝕眼睛、皮膚和呼吸道。吸入氣體可能引起肺水腫。液態(tài)氟可能引起凍傷。

時間加權平均接觸限值：1×10-6（體積分數(shù)）。短期接觸限值：2×10-6（體積分數(shù)）。

時間加權平均接觸限值：正常8h工作日或40h工作周的時間加權平均濃度。短期接觸限值：每次接觸

時間不得超過15min的時間加權平均接觸限值。

泄漏時，人員應撤離危險區(qū)域！保持通風。

接觸氟氮混合氣時，推薦使用帶有隔絕式呼吸防器的氣密式化學防護服。

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣生產(chǎn)企業(yè)應為用戶提供按GB/T16483要求編制的化學品安全技術說

明書。

5

中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準

《電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣》

編制說明

（征求意見稿）

團體標準起草小組

2023年04月

目錄

1.任務來源......................................................................................................................................1

2.標準制定背景..............................................................................................................................1

3.制定標準的目的和意義..............................................................................................................2

4.標準制定原則..............................................................................................................................2

5.標準編制依據(jù)..............................................................................................................................2

6.標準制定過程..............................................................................................................................3

7.主要條款說明..............................................................................................................................4

7.1標準適用范圍.........................................................................................................................4

7.2規(guī)范性引用文件.....................................................................................................................4

7.3分類和標記.............................................................................................................................5

7.4要求.........................................................................................................................................5

7.5指標項目的確定.....................................................................................................................6

7.6指標參數(shù)的確定....................................................................................................................6

7.7試驗方法.................................................................................................................................8

7.8檢驗規(guī)則.................................................................................................................................8

7.9標志、包裝、運輸和貯存.....................................................................................................9

7.10安全警示...............................................................................................................................9

8.主要試驗驗證情況分析................................................................................................................9

9.專利說明........................................................................................................................................9

10.產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應用論證和預期達到的經(jīng)濟效果等情況國內(nèi)外技術對比......................9

11.采用國際標準和國外先進標準情況..........................................................................................9

12.與現(xiàn)有法律法規(guī)的協(xié)調(diào)性........................................................................................................10

13.重大分歧意見的處理經(jīng)過........................................................................................................10

14.標準性質(zhì)的建議說明................................................................................................................10

15.貫徹標準的要求和措施建議....................................................................................................10

16.廢止現(xiàn)行相關標準的建議........................................................................................................10

17.標準水平分析............................................................................................................................10

附錄一產(chǎn)品質(zhì)量報告.....................................................................................................................1

附錄二產(chǎn)品驗證報告.....................................................................................................................4

電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣

編制說明

1.任務來源

2022年7月25日，中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會發(fā)布了《關于印發(fā)2022年

第一批中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準項目計劃的通知》，《電子工業(yè)用氣

體氟氮混合氣》被列入2022年第一批石化聯(lián)合會團體標準制定計劃。

本標準由中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會提出，中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會標準

化工作委員會歸口，福建永晶科技股份有限公司、洛陽森藍化工材料科技有限公

司、四川紅華實業(yè)有限公司、山東華夏神舟新材料有限公司、湖南凱美特氣體股

份有限公司、浙江中寧硅業(yè)有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、三明學

院、北京國化新材料技術研究院、浙江博瑞中硝科技有限公司、衢州杭氧特種氣

體有限公司、天津綠菱氣體有限公司、福建省建陽金石氟業(yè)有限公司、江蘇南大

光電材料股份有限公司等共同組織起草。

2.標準制定背景

工業(yè)氣體行業(yè)是我國產(chǎn)業(yè)政策重點支持發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)之一，近年來得

到國家政策的大力支持，國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部等多部門相繼出

臺多部新興產(chǎn)業(yè)相關政策，均明確提及并部署了工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并且對于

特種氣體確立了其新材料產(chǎn)業(yè)屬性，有力推動了工業(yè)氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，全球工業(yè)

氣體市場近年來呈現(xiàn)穩(wěn)步增長的態(tài)勢。

氟氣是精細化工領域的重要原料，廣泛應用于汽車、電子、激光技術、醫(yī)藥

塑料等領域，由于它的強氧化性，可以用于玻璃浸蝕、金屬材料、管道的表面鈍

化處理，隨著科學技術的發(fā)展，可配制高純氟氣與氮氣、氦氣、氖氣、氬氣等惰

性氣體任意濃度配比的混合氣，使氟的使用更為安全方便，用途越來越廣。

氟氮混合氣是先進半導體工藝不可或缺的原材料氣體，廣泛應用于集成電路、

液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高

端裝備制造等領域。電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣使用無水氟化氫經(jīng)電解并純化工

1

藝處理后獲得氟，和高純氮通過壓力法或流量法配置而成，主要使用于半導體材

料的蝕刻工藝、氣相沉積、晶體生長等工藝中。目前全球具備生產(chǎn)能力的廠商集

中于國外，主要包括林德集團、中央硝子、默克等。隨著半導體制造工藝的提高，

氟氮混合氣的需求將實現(xiàn)大規(guī)模增長，未來發(fā)展前景較廣闊。根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2021

年氟氮混合氣的市場規(guī)模為19萬m3，預計2026年將增長至28.1萬m3。

3.制定標準的目的和意義

目前國內(nèi)無相關產(chǎn)品標準，使得在實際應用過程，此材料無規(guī)可循，不能從

規(guī)范角度提供強有力的支持與保障。編制本標準的目的在與彌補空白,本標準主

要涉及到電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的各項指標要求。

期望通過本標準的編制實施，規(guī)范電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣在行業(yè)范圍內(nèi)

的統(tǒng)一，在未來此材料的使用和規(guī)范層面起到指導作用，促進我國電子工業(yè)用氣

體行業(yè)的發(fā)展。

4.標準制定原則

根據(jù)《團體標準管理規(guī)定》精神，為科學合理利用資源，推廣科學技術成果，

滿足市場和創(chuàng)新需要，聚焦新技術、新產(chǎn)業(yè)、新業(yè)態(tài)和新模式，填補標準空白，

提高經(jīng)濟效益、社會效益，而制定本標準。在本標準制定過程中，遵循《中國石

油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準管理辦法》和以下原則：

1、遵循公開、公正、公平和科學的原則；

2、有利于促進技術進步，提高產(chǎn)品質(zhì)量，滿足市場要求的原則；

3、堅持先進引領，遵循科學性、先進性原則，提高經(jīng)濟效益；

4、堅持“市場導向、先進引領、快速響應、服務產(chǎn)業(yè)”的原則；

5、有利于促進科學技術進步和科技成果的轉化，滿足市場和創(chuàng)新需求。

5.標準編制依據(jù)

本標準編制主要依據(jù)國內(nèi)相關生產(chǎn)企業(yè)實際生產(chǎn)情況、客戶要求、生產(chǎn)廠家

產(chǎn)品質(zhì)量報告（見附錄一）。

2

6.標準制定過程

為了切實做好《電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣》標準的編制工作，我們在接

到任務時，成立了標準起草工作組，制定工作方案，主要工作過程如下：

(1)2022年4月28日，石化聯(lián)合會發(fā)布了《關于征集2022年第一批中國石

油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準計劃項目的通知》，福建永晶科技股份有限公司、

北京國化新材料技術研究院等企業(yè)開展了對國內(nèi)電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣生

產(chǎn)現(xiàn)狀、國內(nèi)外相關標準及下游應用等方面的調(diào)研工作，并提交了《電子工業(yè)用

氣體氟氮混合氣》團體標準的項目建議書。

(2)2022年7月12日，石化聯(lián)合會召開團體標準立項審查會，起草單位重點

就標準編制的背景意義、必要性及可行性進行了匯報，并要求標準起草單位在技

術指標中，補充其他指標，如原料、產(chǎn)品副產(chǎn)物等。

(3)2022年7月25日，石化聯(lián)合會發(fā)布了《關于印發(fā)2022年第一批中國石

油和化學工業(yè)聯(lián)合會團體標準項目計劃的通知》，其中《電子工業(yè)用氣體氟氮

混合氣》團體標準順利通過立項評審。

(4)2022年10月27日，起草工作組通過騰訊會議召開了《電子工業(yè)用氣體

氟氮混合氣》的第一次工作會議，北京化工研究院、福建永晶科技股份有限公司、

洛陽森藍化工材料科技有限公司、山東華夏神舟新材料有限公司、北京國化新材

料技術研究院有限公司、湖南凱美特氣體股份有限公司、浙江博瑞中硝科技有限

公司等單位的專家和代表針對標準草案的范圍、技術要求、試驗方法、包裝及運

輸?shù)日归_了全面的討論。

(5)2023年3月6日，起草工作組通過騰訊會議召開了《電子工業(yè)用氣體氟

氮混合氣》的第二次工作會議，福建永晶科技股份有限公司、洛陽森藍化工材料

科技有限公司、四川紅華實業(yè)有限公司、山東華夏神舟新材料有限公司、湖南凱

美特氣體股份有限公司、浙江博瑞中硝科技有限公司、浙江中寧硅業(yè)有限公司、

三明學院、福建三明金氟化工科技有限公司、衢州杭氧特種氣體有限公司、天津

綠菱氣體有限公司、北京國化新材料技術研究院、福建省建陽金石氟業(yè)有限公司

等單位的專家和代表針對標準草案的名稱、范圍、技術要求、檢驗規(guī)則、氧氣的

測定以及標志包安裝運輸和貯存等細節(jié)展開了詳細的討論，并增加了分類和標記

等內(nèi)容。

3

(6)2023年**月，《電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣》征求意見稿及編制說明進

行了公示。

(7)2023年*月，標準公示期結束，按照要求提交了《電子工業(yè)用氣體氟氮

混合氣》送審稿、編制說明及意見匯總表。

7.主要條款說明

7.1標準適用范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的術語和定義、技術要求、試驗方

法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存。

本標準適用于電解無水氟化氫并經(jīng)過純化工藝處理后獲得的氟，與氮氣混合

配制而成的電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣體，該產(chǎn)品主要用于半導體行業(yè)。

7.2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其

中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文

件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T5099.4鋼質(zhì)無縫氣瓶第4部分：不銹鋼無縫鋼瓶

GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T7144氣瓶顏色標志

GB/T13004鋼質(zhì)無縫氣瓶定期檢驗與評定

GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB/T15382氣瓶閥通用技術要求

GB/T16804氣瓶警示標簽

GB/T26251氟和氟氮混合氣

GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T27550氣瓶充裝站安全技術條件

4

GB/T34525氣瓶搬運、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定

JT/T617.3危險貨物道路運輸規(guī)則第3部分：品名及運輸要求索引

JT/T617.4危險貨物道路運輸規(guī)則第4部分：運輸包裝使用要求

JT/T617.5危險貨物道路運輸規(guī)則第5部分：托運要求

JT/T617.6危險貨物道路運輸規(guī)則第6部分：裝卸條件及作業(yè)要求

JT/T617.7危險貨物道路運輸規(guī)則第7部分：運輸條件及作業(yè)要求

TSG23氣瓶安全技術規(guī)程

7.3分類和標記

7.3.1分類

本標準根據(jù)指標含量和下游應用的不同劃分為Ⅰ類和Ⅱ類。Ⅰ類主要應用于

晶圓蝕刻、半導體行業(yè)等，Ⅱ類主要應用于醫(yī)藥、汽車、塑料等。再根據(jù)填充比

例的不同，最終劃分為FN-Ⅰ-10、FN-Ⅰ-20、FN-Ⅱ-10、FN-Ⅱ-20四類。

7.3.2標記

本標準按照產(chǎn)品名稱、類型以及氟氣的含量對四類產(chǎn)品進行標記。

7.4要求

為了使電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣更好的滿足下游應用的市場要求，并保證

其貯存、運輸、使用安全，本標準對產(chǎn)品中的關鍵指標進行規(guī)定。電子工業(yè)用氣

體氟氮混合氣的技術要求應符合表1的規(guī)定。

表1電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣技術指標

指標

項目Ⅰ類Ⅱ類

FN-Ⅰ-10FN-Ⅰ-20FN-Ⅱ-10FN-Ⅱ-20

-2

氟（F2）含量（體積分數(shù)）/1010±0.520±0.510±0.520±0.5

-2

氮（N2）含量（體積分數(shù)）/1090±0.580±0.590±0.580±0.5

-6

氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10≤2020100100

-6

四氟化碳（CF4）含量（體積分數(shù)）/10≤10102020

-6

六氟化硫（SF6）含量（體積分數(shù)）/10≤11//

一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6≤11//

-6

二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10≤55//

氟化氫（HF）含量（體積分數(shù)）/10-6≤2020100100

5

7.5指標項目的確定

檢驗項目的設定參照國內(nèi)企業(yè)產(chǎn)品的性能指標、下游客戶的使用要求、生產(chǎn)

企業(yè)的產(chǎn)品驗證報告（參見附錄二）等，制定電子工業(yè)用氣體氟氮混合氣的氟（F2）

含量、氮（N2）含量、氧（O2）含量、四氟化碳（CF4）含量、六氟化硫（SF6）

含量、一氧化碳（CO）含量、二氧化碳（CO2）含量、氟化氫（HF）含量8個指

標。分析方法選擇現(xiàn)行有效的國家和行業(yè)標準方法。

7.6指標參數(shù)的確定

7.6.1氟（F2）含量

氟氣是氟氮混合氣中的有效成分，主要通過電解氟化氫制氟氣，經(jīng)冷凝、吸

附及過濾后通入配比罐與氮氣以一定比例混合，混合后充裝或供公司內(nèi)部使用生

產(chǎn)下游精細化學品。參考GB/T26251氟和氟氮混合氣，結合下游應用行業(yè)對氟

氮混合氣中氟含量的要求，建議本產(chǎn)品FN-Ⅰ-10、FN-Ⅱ-10型的氟（F2）含量（體

積分數(shù)）應為(9.5~10.5)%，F(xiàn)N-Ⅰ-20、FN-Ⅱ-20型的氟（F2）含量（體積分數(shù)）應

為(19.5~20.5)%。

7.6.2氮（N2）含量

氮氣是起到安全作用的保護性氣體，由于氟氣化學性質(zhì)活潑，具有強氧化性，

能在室溫或低于室溫下與大多數(shù)無機物或有機物反應，并釋放大量的熱量，常導

致燃燒和爆炸。為了減少副反應，控制氟氣的反應速度，在貯存和使用的過程中，

通常用惰性氣體氮氣來稀釋氟氣，使氟化反應容易控制且提高氟化選擇性。配制

氟氮混合氣所用的原料氮應符合GB／T8979高純氮的規(guī)定，結合下游應用行業(yè)

對氟氮混合氣中氮含量的要求，建議本產(chǎn)品FN-Ⅰ-10、FN-Ⅱ-10型的氮（N2）含

量（體積分數(shù)）應為(89.5~90.5)%，F(xiàn)N-Ⅰ-20、FN-Ⅱ-20型的氮（N2）含量（體積

分數(shù)）應為(79.5~80.5)%。

7.6.3氧（O2）含量

氧氣是無色無味氣體，是氧元素最常見的單質(zhì)形態(tài)。在芯片加工過程中，微

小的氣體純凈度差異將導致整個產(chǎn)品性能的降低甚至報廢，氧氣主要來源于原料

氮氣中的雜質(zhì)氣體，以及氟氮混合氣充裝時鋼瓶內(nèi)未置換徹底的空氣中的殘留氣

6

體。氧氣的含量是下游企業(yè)重點關注的指標之一，該雜質(zhì)含量過高主要影響半導

體行業(yè)的使用，會導致晶圓蝕刻過程中溫度過高。該雜質(zhì)的存在會影響氟氮混合

氣的品質(zhì)及使用價值，因此需要對氧氣的含量進行監(jiān)測。參照GB/T26251及

GB/T8979對氧氣含量的規(guī)定，結合下游應用行業(yè)對氟氮混合氣的品質(zhì)要求，建

-6

議本產(chǎn)品Ⅰ類氧（O2）含量（體積分數(shù)）應≤20×10，Ⅱ類的氧（O2）含量（體

積分數(shù)）應≤100×10-6。

7.6.4四氟化碳（CF4）含量

四氟化碳是一種鹵代物，又名四氟甲烷，化學式為CF4，它既可以被視為一

種有機物（鹵代物），也可以被視為一種無機化合物。在電解氟化氫的過程中，

通常使用碳棒作為電極材料，制備氟氣的同時伴隨著四氟化碳雜質(zhì)的產(chǎn)生。該雜

質(zhì)的存在會影響氟氮混合氣的品質(zhì)及使用價值，參照GB/T26251結合下游應用

行業(yè)對氟氮混合氣的品質(zhì)要求，建議本產(chǎn)品Ⅰ類四氟化碳（CF4）含量（體積分

-6-6

數(shù)）應≤10×10，Ⅱ類的四氟化碳（CF4）含量（體積分數(shù)）應≤20×10。

7.6.5六氟化硫（SF6）含量

六氟化硫是一種無機化合物，化學式為SF6，常溫常壓下為無色、無味、無

毒、不燃的穩(wěn)定氣體，在制備氟氣的過程中，通常會加入硫磺作為電解質(zhì)，常常

伴有該雜質(zhì)氣體的產(chǎn)生，參照GB/T26251并結合下游應用行業(yè)對氟氮混合氣的

-6

品質(zhì)要求，建議本產(chǎn)品的六氟化硫（SF6）含量（體積分數(shù)）應≤1×10。

7.6.6一氧化碳（CO）含量

一氧化碳是一種碳氧化合物，化學式為CO，屬于原料氮氣中的雜質(zhì)氣體，

配制氟氮混合氣所用的原料氮應符合GB/T8979高純氮的規(guī)定，參照GB/T8979

高純氮對一氧化碳含量的要求，本文件建議一氧化碳（CO）的含量（體積分數(shù)）

應≤1×10-6。

7.6.7二氧化碳（CO2）含量

本產(chǎn)品中的二氧化碳主要來源于原料高純氮中的雜質(zhì)氣體，以及填充時鋼瓶

內(nèi)未置換徹底的殘留空氣中的雜質(zhì)氣體。該雜質(zhì)的含量會影響氟氮混合氣的品質(zhì)，

為了滿足下游廠商對工業(yè)用氣體的苛刻要求，本標準建議二氧化碳（CO2）的含

量（體積分數(shù)）應≤5×10-6。

7

7.6.8氟化氫（HF）含量

在電解氟化氫制備氟的過程中，陽極表面析出氟氣的同時會含有少量的氟化

氫氣體，通過冷凝除酸器對氟化氫氣體進行冷凝回收處理，再經(jīng)過吸附塔、過濾

器進行吸附過濾，從而對氟氣中氟化氫的含量進行控制。氟化氫的含量是下游企

業(yè)重點關注的指標之一，該雜質(zhì)會與金屬反應產(chǎn)生氫氣，含量過高會導致危險性

增加。該雜質(zhì)的存在影響產(chǎn)品的品質(zhì)和價值。參考GB/T26251氟和氟氮混合氣，

結合下游應用行業(yè)對氟氮混合氣品質(zhì)的要求，建議本產(chǎn)品Ⅰ類氟化氫（HF）含量

（體積分數(shù)）應≤20×10-6，Ⅱ類的氟化氫（HF）含量（體積分數(shù)）應≤100×10-

6。

7.7試驗方法

氟（F2）、氮（N2）含量按GB/T26251標準進行測試，采用配備雙熱導檢測

器的氣相色譜儀進行測定。樣品經(jīng)取樣系統(tǒng)后HF被吸收，經(jīng)六通取樣閥進色譜

分析，樣品氣經(jīng)轉化柱，其中的F2轉化為Cl2，氟氯油柱分離氧、氮和Cl2，Cl2在

氟氯油柱上分離定量，F(xiàn)2含量可由Cl2換算，所測得Cl2含量可表達F2含量。通過切

換閥將N2流入分子篩柱分析。

氧（O2）含量采用帶有氦放電型（DID）檢測器的氣相色譜儀測定。超高純

度的氦氣在放電區(qū)域，電極兩端施以適量的高壓后，得到一束高能量的紫外光輻

射，使大量的氦原子被激化并與電子碰撞產(chǎn)生氦