《電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術規(guī)程》

ICS91.140.01

CCSP34

GACT

團體標準

T/GACTXXXX—2023

電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術規(guī)程

Technicalspecificationforoperationandmaintenanceofcleanroom

inelectronicindustry

（征求意見稿）

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

廣東省潔凈技術行業(yè)協會??發(fā)布

T/GACTXXXX—2023

電子工業(yè)潔凈車間運行維護技術規(guī)程

1范圍

本規(guī)程規(guī)定了電子工業(yè)潔凈車間運行維護的術語和定義、一般要求、潔凈車間的環(huán)境控制要求、潔

凈車間公用設備的運行與維護、自動控制及能源管理等其他要求。

本規(guī)范適用于電子工業(yè)潔凈車間的運行維護。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T25915.1/ISO14644-1潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.2/ISO14644-2潔凈室及相關受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

GB/T36370潔凈室及相關受控環(huán)境空氣過濾器應用指南

GB50591潔凈室施工及驗收規(guī)范

GB50073潔凈廠房設計規(guī)范

GB50472電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

GB50050工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范

GB50365空調通風系統運行管理標準

T/CECS1012高效制冷機房技術規(guī)程

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

電子工業(yè)潔凈車間Cleanworkshopofelectronicindustry

是指用于電子產品生產的空氣中粒子濃度、溫度、濕度、壓力等參數受控的空間。（以下簡稱潔凈

車間）

冷、熱源Coldandheatsources

是指為空氣調節(jié)處理系統提供所需冷量或熱量，用以抵消室內產生的熱負荷或冷負荷的主機。包括

冷水機組、風冷熱泵、鍋爐等設備。

氣動設備Pneumaticequipment

是指以空氣為介質進行壓縮、冷凍除濕、吸附干燥處理等而產生有壓力的干空氣、真空、氮氣等的

設備。包括空壓機、干燥機、制氮機、真空泵等。

水處理設備Watertreatmentequipment

是指通過各種物理的、化學的手段，去除水中一些對生產、生活不需要的有害的物質，這一類對水

做過濾凈化處理的設備。包括污水處理設備、原水處理設備、凈水設備、過濾設備、超純水設備等

末端設備Terminalequipment

通過冷熱盤管、加濕、過濾、吸附處理，控制流經氣流的溫度、濕度、潔凈度、金屬離子、有機物

等參數達到設計要求的設備。包括風機盤管、干盤管、吊頂風柜、組合式空調機組、新風空調機組、除

濕機、空氣過濾器等。

運行維護Operationandmaintenance

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指對潔凈車間系統及設備進行管理操作、正常巡查、維修、日常保養(yǎng)，保證潔凈車間的系統、設備

可正常運行。

日常維護保養(yǎng)Dailymaintenanceandupkeep

是指在不停爐的狀態(tài)下進行的維護修理。

4一般要求

一般原則

4.1.1潔凈車間的運行維護要求通過制度化、流程化、規(guī)范化的運行維護保養(yǎng)，保證企業(yè)穩(wěn)定可持續(xù)

化發(fā)展。

4.1.2潔凈車間的運行維護應保證運行保養(yǎng)維持原有效率。

4.1.3潔凈車間各系統運行維護管理及操作的人員，應持有運行維護系統相對應專業(yè)的特種作業(yè)操作

證書，無證人員不得上崗操作。

4.1.4新入職潔凈車間的各系統運行維護管理和操作人員，應經過消防安全和相對應專業(yè)系統維護知

識和技能的培訓。

4.1.5運行維護管理人員應熟悉各系統的工作原理和運行特點，具有安全、環(huán)保、節(jié)能意識和應急指

揮處理能力。

管理部門

4.2.1應明確本單位潔凈車間的運行維護的主管領導。

4.2.2應根據本單位潔凈車間的運行要求，設立相應運行維護的部門。

4.2.3應根據本單位潔凈車間的情況設計安全管理的部門

管理職責

4.3.1應明確本單位潔凈車間運行維護部門的主管領導、運行管理人員和運行維護操作人員的主要職

責。

4.3.2主管領導的主要職責

a)對本單位潔凈車間的運行管理負全面領導責任。

b)組織制定本部門各專業(yè)、各系統設備運行管理標準操作規(guī)程（SOP)和規(guī)章制度。

c)配置本部門所需的資源，包括人員、檢修設備、檢修耗材等。

d)根據要求組織制定本單位環(huán)保、節(jié)能、減排指標。

4.3.3運行管理人員的主要職責

a)保證本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統運行管理滿足生產的實際需求。

b)落實規(guī)章制度和各專業(yè)、各系統設備的標準操作規(guī)程，培訓相關員工。

c)落實本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統設備維修保養(yǎng)制度和計劃的落實，讓各系統始終處于良

好的運行狀況。

d)組織制定落實本部門應急預案。

e)根據環(huán)保、節(jié)能、減排指標，制定相對應的可行性措施、方案和計劃。

4.3.4運行維護人員的主要職責

a)熟練掌握本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統的標準操作規(guī)程。

b)負責本單位潔凈車間各專業(yè)、各系統設備維護巡檢、維護保養(yǎng)并記錄、歸檔保存工作。

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c)負責本部門范圍內的各種應急預案演練和實施。

d)負責本單位環(huán)保、節(jié)能、減排指標可行性措施、方案和計劃的實施。

管理制度

4.4.1結合本單位潔凈車間的實際使用情況，建立建全本部門的各項管理制度；

4.4.2潔凈車間運行管理應具備以下制度和標準操作規(guī)程：

a)各專業(yè)、各系統人員的崗位職責；

b)潔凈車間的檢測制度；

c)消防管理制度；

d)設備管理制度；

e)安全管理制度；

f)應急管理制度；

g)人員培訓制度；

h)特種設備管理制度；

i)中央空調標準操作規(guī)程；

j)凈化空調機組標準操作規(guī)程；

k)純水系統標準操作規(guī)程；

l)綜合廢水處理系統標準操作規(guī)程；

m)空壓系統標準操作規(guī)程；

n)真空系統標準操作規(guī)程；

o)氮氣系統標準操作規(guī)程；

p)廢氣排風系統標準操作規(guī)程；

q)供變配電系統標準操作規(guī)程；

r)特氣系統標準操作規(guī)程；

s)工藝循環(huán)冷卻水系統標準操作規(guī)程；

t)化學供藥系統標準操作規(guī)程；

u)鍋爐系統標準操作規(guī)程。

檔案管理

4.5.1檔案資料應詳實，全面反映潔凈車間各系統及設備運行的基本情況及維修保養(yǎng)記錄，并根據變

化及時更新。

4.5.2檔案資料應分門別類造冊，存放整齊，便于查找。

4.5.3對于采用FMCS（廠務監(jiān)控系統）存儲系統運行管理數據的潔凈車間，電子檔案數據保存時間應

符合要求。

4.5.4潔凈室運行維護檔案應包括下列內容：

a)本部門的規(guī)章制度；

b)各專業(yè)各系統及設備的標準操作規(guī)程；

c)人員培訓及管理文件；

d)安全及應急管理文件；

e)承包商管理文件；

f)配件、耗材、檢測工具設備的使用管理文件。

g)潔凈車間的竣工圖（包含平面圖、系統圖、剖面圖等）；

h)各專業(yè)各系統設備的出廠合格證、檢測報告、維護手冊、操作使用說明書；

i)各專業(yè)各系統的施工組織設計、專項方案；

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j)各專業(yè)各系統施工過程文件（包括開工報告、材料進場驗收報告、隱蔽工程驗收、漏光測試、

試壓記錄、試運行記錄等）；

k)設備運行日常點檢記錄；

l)設備維修保養(yǎng)記錄；

m)初、中、高效空氣過濾器，化學過濾器的更換記錄；

n)日常事故分析及處理記錄；

o)消防及應急預案演練記錄。

檔案管理部門

維護管理部門應設立專門的檔案管理人員，為查閱方便，檔案資料應由本部門保管。

檔案保存時間

所有檔案資料應保存應不小于兩年。

5潔凈車間管理

潔凈車間的管理及定期檢查

5.1.1潔凈車間的監(jiān)測

5.1.1.1為確保潔凈車間的各項參數達到設計需求，應按規(guī)范GB50073的方法和要求對潔凈車間的潔

凈度、溫濕度等參數進行定期監(jiān)測，監(jiān)測項目和頻次依照有規(guī)定。

5.1.1.2發(fā)現下列情況，高效過濾器應予更換：

a)氣流速度降到最低限度，即使更換初效和中效空氣過濾后，氣流速度仍不能增大；

b)高效空氣過濾器風量為原風量的70%；

c)高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。

5.1.2潔凈車間的維護

5.1.2.1建立潔凈車間安全措施綜合系統，設置火災報警、排煙、消防、事故照明等設施，對生產中

使用化學品、氣體的潔凈車間，還應根據腐蝕、爆炸、可燃、自燃、有毒等物品性質采取相應的安全措

施；

5.1.2.2潔凈車間的維護管理應包括對潔凈車間的空氣凈化設備、物料、設備和潔凈車間的操作人員

等管理，應建立相應的管理制度，明確管理內容、方法和責任，執(zhí)行應有記錄；

5.1.2.3潔潔車間除了依靠使用人員日常管理外，應建立潔凈車間檢修制度，對潔凈車間空調系統、

空氣凈化設備和外圍公用設備等實行定期檢修和保養(yǎng)。

人員管理

5.2.1潔凈車間的工作人員要求

5.2.1.1嚴格控制進入潔凈車間的人員數量。由生產技術部、質檢部共同確定潔凈車間的操作人員數

量，一經商定，必須嚴格控制；

5.2.1.2嚴格控制臨時進入潔凈車間的維護、檢測人員和其他人員，如參觀者等，臨時進入者必須辦

理申請、批準手續(xù)并佩帶進出標志。

5.2.1.3下列人員不準進入潔凈車間：

a)皮膚有曬焦、剝離、外傷和炎癥、瘙癢癥者；

b)鼻子排出物過多者；

c)感冒、咳嗽、凍傷、濕疹等疾病患者；

d)過多掉頭皮、頭發(fā)者，有搓皮膚、挖鼻孔、搔頭等不良習慣者；

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e)沒有按規(guī)定洗去化妝品、指甲油和未穿潔凈工作服者；沒有及時刮須、剪指甲者。

5.2.1.4對潔凈車間工作人員應按規(guī)定進行定期考核、培訓；對臨時進入人員應進行監(jiān)督、記錄。

5.2.1.5進入潔凈車間的工作人員不準帶入下列物件：

a)未按規(guī)定進行凈化的物料、容器、工具、儀器等；

b)未確定為低發(fā)塵性的記錄、筆記用紙；

c)未經允許的放射性物質；

d)作業(yè)人員的手表、首飾、化妝品、手紙、手帕、錢包、鑰匙、筆記本、食品等。

5.2.1.6潔凈車間進入管理

a)進入潔凈車間的人員應嚴格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈

室內必須按規(guī)定先通過換鞋柜，坐在柜子上進行換室內鞋，把自己穿的鞋子放在鞋柜外面指

定位置上，穿工作鞋進入更衣室。男員工進入男更衣室，女員工進入女更衣室，在門口須有

明顯指示標識。進入更衣室后把外套脫去換上凈化工作服，按要求佩戴工作帽，進入緩沖間

進行洗手消毒。洗手消毒后通過潔凈通道進入潔凈車間。

b)工作人員在潔凈車間內工作時，動作要輕，嚴格執(zhí)行操作規(guī)程，不允許跑跳、打鬧，不作不

必要的動作，不作易發(fā)塵和大幅度的動作。

c)為不干擾氣流，在作業(yè)區(qū)上游側不應放物品，生產操作在氣流的上游進行。

d)不允許將與生產無關和容易產塵的物品帶入潔凈車間。

e)嚴禁在潔凈車間內吸煙、飲食、嚼檳榔、嚼口香糖等與生產無關的活動。

f)嚴禁手不消毒進入凈化車間。

5.2.1.7進出潔凈室應遵循以下流程：

a)人員進入：換鞋-更衣-手消-清潔走廊-各工藝崗位；

b)人員退出：各工藝崗位-清潔走廊-手消-更衣-換鞋；

c)物料進入：外包裝清理-拆包-緩沖-清潔走廊-各工藝物料需求；

d)物料退出：各工藝物料成品-清潔走廊-緩沖-室外。

5.2.1.8潔凈車間的工作服（潔凈服）

5.2.1.8.1潔凈工作服材料的選擇

a)不起塵，應采用難于引起纖維脫落，穿用較長時間也無斷絲現象的纖維。

b)有過濾效果，人體的發(fā)塵不應通過面料向外擴散。

c)不得采用防靜電性能不良導體材料。

d)具有穿著舒適、活動方便、不悶熱的材料。

e)耐久性較好，因需經常洗滌、重復使用，應具有反復洗滌的耐久性。

f)不宜黏附塵粒，具體耐腐蝕性，操作方便，清洗后不起皺和不需燙熨，不透明等。

5.2.1.8.2各等級潔凈車間應穿著潔凈服的要求，如表1所示。

表1

凈化級別衣、帽、褲子手套鞋鞋套網帽口罩

6級（1000級）及以上三者連體按工藝需求√√√√

7級（10000級）分裝型，護士帽按工藝需求√--√

8級（100000級）及以下大褂，護士帽按工藝需求√--√

5.2.1.8.3潔凈服的使用和管理

a)日常作業(yè)后，潔凈服應放在規(guī)定的專用存放柜內。

b)作業(yè)人員的潔凈服發(fā)放時間應盡量一致。

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c)潔凈服的一次使用時間不應超過工藝生產的周期時間，通常潔凈度高于5級（100級）及以上

潔凈車間使用的潔凈服應每周清洗2~3次；6級（1000級）車間車間使用的潔凈服應每周清

洗1~2次，7級（10000級）及以下潔凈車間使用的潔凈服應每半個月清洗1次。

d)潔凈服按規(guī)定時間清洗后，通常潔凈服清洗100次后應檢測確定是否廢棄。

e)潔凈度高于5級（100級）及以上潔凈車間使用的潔凈服應在專用的洗衣房內清洗，采用專業(yè)

的工業(yè)無塵清洗和烘干設備，清洗烘干后包裝區(qū)的潔凈車間的級別不得低于5級（100級）；

7級（10000級）及以下潔凈車間使用的潔凈服清洗、烘干后包裝區(qū)的潔凈度不低于6級（1000

級）。

f)潔凈服清洗的洗衣房應設置粗洗區(qū)和精洗區(qū)，設置專人對送來清洗的潔凈服進行分揀，表面

看比較臟的潔凈服應經過粗洗后再進入精洗機內清洗。

g)洗衣房使用的清洗用水的水質應參照規(guī)范GB/T11446.1《中國國家電子電子級超純水標準》：

粗洗區(qū)使用水源應為EW-Ⅲ級別的純水；精洗區(qū)使用的水源應為EW-Ⅱ級別的純水。

潔凈車間的清掃

5.3.1潔凈車間內的清掃工具一般采用集中式或便攜式真空清掃設備，若不具備條件時，也可采用不

掉纖維、不產塵的材料如無紡布、絲光毛巾、尼龍等進行擦拭。

5.3.2潔凈車間內的清潔要求如表2所示。

表2

凈化級別地面清潔墻面清潔工作臺清潔設備清掃檢查

6級（1000級）及以上1次/周1次/月1次/日1次/日目視或觸摸

7級（10000級）1次/2周1次/2月1次/日1次/日目視或觸摸

8級（100000級）及以下1次/月1次/2月1次/日1次/日目視或觸摸

5.3.3凈化空調系統每年應清掃1~2次，并安排專業(yè)的清潔人員進行。

6潔凈車間的環(huán)境控制要求

對塵埃粒子的要求

表3按粒子濃度劃分的空氣潔凈度ISO級別

大于或等于關注粒徑的粒子最大允許濃度a個/m3

ISO等級數N0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm

110bdddde

210024b10bdde

3100023710235bde

4100002370102035283be

510000023700102003520832d,e,f

61000000237000102000352008320293

7ccc352000832002930

8ccc352000083200029300

9gccc352000008320000293000

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a本表中的所有濃度都是累積的,例如ISO5級,0.3μm所對應的10200個粒子包括所有粒徑大

于或等于該粒徑的粒子。

b這些濃度需大采樣量才能用于分級?？梢允褂眯蜇灢蓸映绦?見附錄D。

c表格這一區(qū)域因粒子濃度太高,濃度限值不適用。

d受采樣和統計方法的制約,在粒子濃度低時不適用于分級。

e粒徑大于1μm的低濃度粒子在采樣系統可能有損耗,此粒徑不適合分級之用。

fISO5級中此粒徑可采用大粒子M描述符,但至少要結合另一個粒徑一起使用(見C.7)。

g該級別只適用于動態(tài)。

潔凈區(qū)內的懸浮粒子的潔凈度、濃度限值的測試應按照GB/T25915.1標準規(guī)定；測試采樣點、采樣

次數、測試方法及所需使用儀器應按照GB/T25915.1的規(guī)定。

對于潔凈等級≤ISO5的潔凈室，潔凈區(qū)分級檢測間隔應不超過6個月；對于＞ISO5的潔凈室，潔

凈區(qū)分級檢測應不超過12個月；（NEBB潔凈室認證測試程序性標準）在分級檢測的間隔期間，應根據

生產工藝，產品種類，生產過程中的環(huán)境要求等進行日常環(huán)境監(jiān)測，監(jiān)測頻率應結合實際情況制定。

對溫濕度的要求

表4對溫濕度的要求

溫度(℃)相對濕度(%)

房間類別

冬季夏季冬季夏季

生產工藝有要求的潔凈室按具體生產工藝要求確定

生產工藝有無求的潔凈室≤22～2430～5040～70

人員凈化及生活用室～18～28--

參照GB50472-2008執(zhí)行。

表5有恒溫恒濕要求時的溫、濕度測點數

波動范圍室面積≤50m2每增加20~50m

溫度波動△t=±0.5～±2°℃

5增加3~5個

相對濕度波動△RH=±5%～±10%

溫度波動△t≤|0.5|℃

點間距不應大于2m，點數不應少于5個

相對濕度波動△RH≤|5|%

潔凈區(qū)溫度檢測間隔應不超過12月（NEBB潔凈室認證測試程序性標準）

對氣壓的要求

6.3.1潔凈室（區(qū)）應與周圍的空間保持一定的靜壓差，靜壓差應符合以下規(guī)定：

a)各潔凈潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要去確定；

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b)不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于等于5Pa；

c)潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于5Pa；

d)潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應大于10Pa；

e)壓差檢測規(guī)程。

6.3.1.1在測量各房間之間以及房間與外部之間的壓差前，宜先確認送風量和設施的風量均衡符合規(guī)

定要求。

6.3.1.2所有的門保持關閉，測量并記錄潔凈室與周圍環(huán)境之間的壓差。

6.3.1.3若設施內有多間潔凈室，先測量最里層房間與相鄰房間之間的壓差，然后依次向外層測量，

直至測量到最外層密閉區(qū)和輔助區(qū)之間以及與室外環(huán)境之間的壓差。

6.3.1.4所測的壓差一般很小，測量方法不正確很容易造成讀數錯誤，鑒于此，應考慮下列措施：

a)建議設置永久性測點；

b)測點設在潔凈室中央，遠離可能影響測點局部壓力的送風口和回風口。當前的ISO14644標

準不涉及潔凈室壓差，盡管通常使用6到25Pa的壓差，除非另有說明，否則12.5Pa是

房間之間的常見增量。（NEBB潔凈室認證測試程序性標準第三版）潔凈區(qū)氣壓差檢測間隔

應不超過12月（NEBB潔凈室認證測試程序性標準）。

對新風的要求

6.4.1新風系統在使用過程中，需要專業(yè)人員對系統進行定期檢查，并調節(jié)風量，保證新風系統的正

常運行效果。

6.4.2定期對風口和濾網進行更換或清洗，必須使用專業(yè)的清潔藥劑對新風系統的風口以及濾網進行

清洗，并將灰塵全部清理干凈，以免影響新風系統的正常使用：注意觀察風速系統的風速是否達標。

6.4.3定期對主機連線進行檢查，如出現老化或松動情況，要及時處理，以免帶來不可預料的后果。

6.4.4由專業(yè)的維修人員定期對管道的氣密性以及控制面板進行檢測與維護，發(fā)現問題要及時處理，

以改善新風運行效果。

對噪聲的要求

6.5.1電子潔凈車間的噪聲應符合《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的規(guī)定。

6.5.2對于噪聲值超過潔凈車間允許值的冷水機組、空壓機、真空泵等設備，宜設置在單獨的動力站

廠房內或設置專用隔聲或消聲設施。

6.5.3安裝在潔凈車間技術夾層的FFU、風機、風柜應選用低噪聲產品。安裝在潔凈車間里的回風百

葉、送風口、技術夾層管道的截面流速宜滿足室內容許噪聲級要求。

對防靜電的要求

6.6.1防靜電區(qū)運行要求

a)應定期檢驗防靜電接地系統的可靠性連接。

b)工作人員進入防靜電區(qū)域，應進行靜電泄漏處理、穿防靜電工作服和鞋。

c)防靜電工作臺面上禁止放置非生產物品。

d)防靜電工作臺應可靠接地，并設置腕帶連接裝置。

6.6.2防靜電區(qū)管理和維護要求

a)應落實專人負責靜電防護管理。

b)應定期測量防靜電工作區(qū)域內的地面、墻面、柱面、頂棚、工作面等表面的電阻值，并做好

書面記錄，其電阻值應滿足相關規(guī)范的要求。

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c)應常備一定數量的防靜電工作服、鞋等個人用品以備來訪人員使用。

對TVOC(VOC)有機污染物控制的要求

a)需定期對過濾器系統中的過濾器產品進行更換，一般初中效過濾產品可以根據產品運行壓差

值達到終阻力時進行更換，吸附型過濾產品需根據產品選型對比現場上游數據和下游指標數

據確定更換周期，定期更換對應過濾產品。

b)對采用水淋系統的用戶，要求固定時間添加對應中和試劑確保水淋系統有效運行。同時要求

定期對系統進行有效的清潔工作。

c)定期對VOC排放口進行數據檢測，確保隨時排放數據能處于達標范圍之內。

對AMC氣溶膠控制的要求

6.8.1控制管理分級

根據AMC對電子工業(yè)產品的影響大小，我們可分為三個對應運行維護管理級別。

6.8.1.1一級管理：AMC表面控制管理

AMC對電子工業(yè)產品影響可以通過產品表面觀察，或常規(guī)儀器可以分析判斷的，通過現場質檢對產

品通過觀察檢測判斷，根據結果及時更換吸附性過濾產品。

6.8.1.2二級管理：AMC定期測試管理

AMC對電子工業(yè)產品的影響需要通過專業(yè)儀器檢測的，同時形成影響的周期需要較長時間的，需要

定期安排專業(yè)儀器對產品工藝環(huán)境進行檢測，通過檢測數據變動情況確定吸附型過濾產品是否更換。

6.8.1.3三級管理：AMC控制策略管理

生產的電子工業(yè)產品對AMC比較敏感的，要求嚴格的，需采用專業(yè)儀器對現場做實時監(jiān)測，發(fā)現數

據出現問題可以第一時間安排處理。同時要求常備吸附性過濾產品庫存，確保隨時可以安排更換。

7潔凈車間公用設備的運行與維護

基本要求

7.1.1潔凈車間公用設備主要包括水、電、氣的供應系統；這些設備是實現潔凈車間正常、安全運行

的重要裝置，要做好日常的維護、定期檢查和規(guī)定的測試、認證。

7.1.2設備操作、維護人員，應定期參加業(yè)務和技能培訓，考核合格后方可上崗。從事特種設備作業(yè)

的人員必須經過培訓考核合格取得《特種設備作業(yè)人員證》，方可從事相應的作業(yè)。

7.1.3按規(guī)定記錄各類設備的運轉狀態(tài)及有關參數，記錄和分析定期檢查、維修、清洗狀況，定期檢

查設備的完好狀態(tài)。

7.1.4建立各類設備運行檔案，將設備說明書、圖紙技術資料分類編號并妥善保管。設備維修、儀器

儀表校正記錄，設備故障事故記錄、運行記錄匯編成冊保管，以便掌握設備、儀器的完好狀況，即時分

析可能出現的問題，確保潔凈室正常安全運行。

制冷主機運行維護

7.2.1值班人員應檢查并填寫運行記錄，包括冷水機組的冷凍水進出水溫度，冷卻水進出水溫度，負

荷狀況，進出水溫差，冷凝蒸發(fā)壓力，各相電壓，電流，油溫，溫壓等級，檢查周期1次/2小時；

7.2.2檢查油壓是否正常，油過濾器壓差大于25PSIG時，應更換油過濾器。并檢查回油系統的工作狀

況，回油溫度（軸承溫度）應在允許范圍內，檢查周期1次/2小時；

7.2.3檢查冷卻水塔、換熱器換熱效果，確保冷水機組正常運行,檢查周期1次/2小時;

7.2.4檢測冷水機組系統各保護裝置和開關正常工作，檢查周期1次/日；

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7.2.5檢查水泵運轉是否正常，有無異常振動及噪音，檢查周期1次/日；

7.2.6檢查機組有無異常振動及噪聲并立即進行處理，檢查周期1次/日；

7.2.7檢查油位是否位于上視鏡中間，出現油位低應立即補充冷凍機油，檢查周期1次/日；

7.2.8檢查機組各項運行參數和電腦控制中心工作程序，檢查周期1次/日；

7.2.9檢查冷卻水塔、換熱器換熱效果，確保冷水機組正常運行,檢查周期1次/日;

7.2.10檢查機組螺栓是否有松動,保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.11檢查機組、管道保溫，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.12檢查機組是否泄漏冷媒介質，有滲漏時應立即處理，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.13檢查油位是否適中，出現低油位應立即進行補充，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.14檢查啟動電源柜接線螺絲松緊狀況，保養(yǎng)周期1次/6個月；

7.2.15檢查回油系統、更換干燥器、油過濾器、檢測冷凍機潤滑油應符合下列的規(guī)格：

a)在100F(38℃)時的黏度300±25ssu(59.2至70.1平方毫米/秒)；

b)在210F(99℃)時的黏度50至55ssu(7.3至8.8平方毫米/秒)；

c)最小黏度指數955.2.4最高流動點-5F(-21℃)5.2.5最低閃火點400F(204℃)5.2.6酸性指

d)數不可超過2.0mgKOH/mg；

e)測試達不到上述指標，應更換冷凍機潤滑油。

7.2.16檢查主機操作及機組運行參數，檢查電腦板工作程序，對有關元件作適當調整，保養(yǎng)周期1

次/年；

7.2.17檢查潤滑系統，油過濾器壓差大于25PSIG時，應更換油過濾器、冷媒濾芯及冷媒過濾網,保養(yǎng)

周期1次/年；

7.2.18檢查軸承磨損情況，軸承如有磨損，有時可由異常振動及軸承溫升高等現象檢查出來,保養(yǎng)周

期1次/年；

7.2.19檢查壓縮機馬達，檢測馬達絕緣電阻，對于閉式壓縮機絕緣電阻不小于50MΩ，開式不小于0.5M

Ω,保養(yǎng)周期1次/年；

7.2.20檢查冷某介質充注量，其液位應位于冷某介質視鏡中間，必要時作適當調整,保養(yǎng)周期1次/

年；

7.2.21檢查清洗蒸發(fā)器，冷凝器換熱銅管，如果銅管結垢嚴重應清洗,保養(yǎng)周期1次/年；

7.2.22空調冷源系統停機前應檢查和匯總當年機組運行情況，填寫機組運行狀況匯總表，停機后應填

寫維護保養(yǎng)工作表；

7.2.23不同種類冷熱源應根據實際使用情況，按照每周、每月、每季度、每年制定定期維護計劃；

鍋爐的運行維護

7.3.1一般規(guī)定

a)鍋爐日常維護保養(yǎng)應按照鍋爐廠家提供的使用（運行）說明書進行日常維護保養(yǎng)。

b)做好備品備件的管理，確保日常維護保養(yǎng)所需的備品備件滿足日常需要。

c)為降低臨時維修對于生產的影響，應嚴格執(zhí)行運營管理和設備管理制度，提高日常巡檢和定

期試驗的質量，及早發(fā)現隱患和缺陷，及時消缺，減少故障停爐的概率，并通過嚴抓缺陷管

理減少重復缺陷的發(fā)生，確保應修必修，修必修好。

d)應重視計劃維修的計劃編制工作，按照鍋爐廠家推薦的維修周期，同時結合鍋爐實際運行過

程中的缺陷，利用生產淡季或者過渡季，合理安排維修時間和工期，盡量減少停爐帶來的經

濟損失。

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7.3.2維修計劃

a)鍋爐設備的維修項目分標準項目和特殊項目兩類。

b)鍋爐大修項目計劃需在機組大修前四個月編制出來，鍋爐小修項目計劃需在機組小修前二個

月編制出來。

c)鍋爐維修標準項目的主要內容：

1)制造廠要求的項目；

2)全面解體、定期檢查、清掃、測量、調整和修理；

3)定期監(jiān)測、試驗、校驗和鑒定；

4)按規(guī)定需要定期更換零部件的項目；

5)按各項技術監(jiān)督規(guī)定檢查項目；

6)消除設備和系統的缺陷和隱患。

d)特殊項目為標準項目以外的維修項目以及反事故措施、節(jié)能措施、技改措施等項目。

e)部分項目可安排在大（?。┬耷斑M行。

f)在鍋爐運行期間可利用設備切換完成的設備維修項目不宜列入大（?。┬揄椖?。

7.3.3日常維護保養(yǎng)項目

a)每日：鍋爐排污、水位計及水位控制器疏水；檢查水質是否符合要求；檢查燃燒裝置及燃料

供應是否正常；檢查水位計的水位；檢查給水泵及自動給水系統是否正常；檢查壓力（溫度）

自動控制是否靈敏可靠。

b)每周：確認低水位保護繼電器工作正常。

c)每半月：檢查安全閥是否靈敏可靠，做手動排汽試驗。

d)每月：檢查火焰監(jiān)視器，用干布輕輕擦檢測器的向火面；清洗油過濾器；清洗水泵過濾器；

清洗日用油箱、日用水箱；檢查電動執(zhí)行器，動作是否靈敏，接地和零線是否可靠；確認風

門控制器設定值。

e)每半年：清洗燃燒器風葉；清洗油泵過濾器；清洗油噴嘴和點火電極，并確認其裝配尺寸；

檢查水位控制及報警器內電極，用砂布清潔電極（取電極時，鍋爐應無壓狀態(tài)）；檢查電氣

接線點的松動，對各處螺母、螺釘采取緊固措施；檢查鍋爐內結垢情況，并采取措施清除或

預防。

f)每年：重復半年期維護內容；打開煙箱門及檢查孔，清潔燃燒室的積灰；受壓元件年檢。

水系統及附屬設備運行維護

7.4.1電子潔凈車間的冷卻水、冷凍水、熱水系統宜在系統啟用前對冷卻水塔及管路進行清洗消毒，

并取樣送有檢測資質的機構進行檢測，檢測結果符合GB500500和GB50365的要求方可投入使用。

7.4.2水系統宜根據水質的情況，設置持續(xù)過濾、緩蝕、阻垢、殺菌和滅藻等的水處理裝置，在停機

維修保養(yǎng)時還應對過濾器進行拆洗清潔工作。

7.4.3對于水質報告中PH值、電導率、總硬度、鈣離子、氯離子超出基準要求的地區(qū)，應設置水處理

設備。對于循環(huán)流量≥1000m3/h的空調冷卻水系統宜設置砂濾系統。

7.4.4水系統運行期間，日常點檢人員宜巡檢管道及附屬設備每天≥2次。

氣動設備的運行維護

7.5.1空壓系統、真空系統的啟停及日常運行操作應嚴格按照標準操作規(guī)程（SOP）來進行。

7.5.2空壓機的的維護保養(yǎng)要求：

a)主電機風扇和冷卻器散熱片的清潔工作，宜每15天清潔1次。

b)在空壓氣進氣的處宜加無紡布防塵網，防塵網宜每周清潔1次。

c)疏水器的清潔清洗宜每15天清潔1次。

d)油過濾器：首次磨合500小時更換,不同品牌的具體時間有所不同，可根據說明書來定，以后

視使用情況每1000~2000小時更換1次。

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e)電控箱的清潔工作宜每半年清單1次。

f)空壓機冷凝水宜每24小時排放1次；最好選擇可以自動排放的空壓機。

g)空氣濾清器濾芯差達到-45mbar，需要清潔干凈后安裝到位，用戶可配備兩套過濾器，在清潔

工作中可交替使用，使用情況每500~1000小時清潔1次（用潔凈壓縮空氣反吹），清潔2~4

次后更換新的濾芯。

h)油細分離器濾芯：視使用情況外置的宜每1500~3000小時更換，內置的每3000~6000小時更

換。

i)操作人員及維修工檢查設備要運用看、摸、聽的手段，看外表、摸溫升、聽聲音，判斷設備

運行是否正常，有隱患應及時報告。

j)每月檢查電控柜與主機接地線，確保接地良好不得有漏電現象發(fā)生。

k)每年檢查電機接線盒端子是否牢固。

l)當空壓機停機超過4小時，必須關閉空壓機出氣管道閥門，打開管道排水閥，及一級、二級

手動排水閥。

m)當空壓機出現突然斷電，必須要檢測電路絕緣、電機絕緣不低于0.5兆歐，等待五分鐘后方

可開機。

n)空壓機儲氣罐安全閥，壓力表必須按國家標準每年進行效驗。

7.5.3空壓系統后處理設備的維護保養(yǎng)要求:

a)儲氣罐或緩沖罐底部的冷凝水排放口宜安裝手動閥門及自動排水裝置，只安裝手動排水閥未

安裝自動排水裝置的宜每24小時手動排放冷凝水1次。

b)前置二級空氣過濾器每季度進行更換（也可根據使用環(huán)境情況調整），末置二級過濾器每半

年進行更換（也可根據使用環(huán)境情況調整）。

c)干燥機的排水口宜安裝自動排水裝置,只安裝手動排水閥未安裝自動排水裝置的宜每24小時

手動排放冷凝水1次。

d)每級空氣過濾器宜在底部安裝手動閥及自動排水裝置，空氣過濾器只安裝手動排水閥未安裝

自動排水裝置的宜每24小時手動排放冷凝水1次。

e)每班對過濾器和儲罐的排水閥進行檢查，如果自動排水裝置排水不暢，宜及時維修或更換；

如手動排水閥排水不暢，宜在停機時更換。

f)根據干燥劑的使用情況和使用說明書對干燥劑進行更換。

g)每月對整個空壓系統管道進行檢查，發(fā)現泄漏時，及時進行處理（切記不得帶壓維修）。

7.5.4真空系統的維護保養(yǎng)

7.5.4.1真空系統的運行要求

a)宜每2小時對真空泵進行巡檢，巡檢內容包括油位、泵溫、壓力、有無異響和超載等。

b)定期每班排放儲罐冷凝水1次。

c)如果聯軸器需要潤滑，請按照聯軸器生產廠家的要求加注潤滑油，宜每6個月檢1次。

d)檢查軸承的潤滑狀況，宜每6個月檢1次。

e)根據電機生產廠家的要求潤滑電機軸承，宜每6個月檢1次。

f)如安裝有檢查支管,需檢查真空管路是否堵塞；宜每6個月檢1次。

7.5.4.2真空系統的維護

a)每次使用結束應立即進行清潔。

b)要定期給真空泵添加潤滑油。

c)要注意泵油，不得超過40℃。

d)對于抽取的空氣含水的真空泵系統，應根據含水量的大小定期對真空罐進行排水。

e)定期對地腳焊絲進行緊固在，泵體除垢刷油和檢查電機絕緣情況。

f)定期對入口空氣過濾器進行清理。

氣體管路系統的運行維護

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7.6.1投入運行的氣體管道，應定期巡檢，排除安全隱患，并建立技術檔案。

7.6.2不允許帶壓、帶氣維護管道。

7.6.3在易燃、易爆氣體，氧氣管道及氣體設備間進行修理、動火作業(yè)，必須辦理維修、動火作業(yè)許

可證，需經本單位安全部門批準，并有切實可行的防范措施，在有人監(jiān)護下進行維修、動火。

7.6.4易燃氣體管道或氧氣管道進行動火作業(yè)，必須先行吹掃。并在動火前30分鐘進行成份分析，經

連續(xù)三次分析其含量確保符合安全標準時，方可檢修動火。

7.6.5對易燃、易爆、助燃、易窒息的氣體使用場所、純化間、中轉間、供氣站，應設置氣體泄露偵

測報警系統。

水處理設備的運行維護

7.7.1純水處理設備

7.7.1.1稀釋化學品時，嚴禁先加化學品后加水；必須先加水再投化學品。

7.7.1.2經過預處理，一般要求控制水質SDI<5。

7.7.1.3EDI裝置啟動時，必須先通水后通電，停運時，必須先停電后停水。

7.7.1.4TOC啟動時，必須先通水后通電，停運時，必須先停電后停水。

7.7.1.5啟動前先將泵的進水閥打開，且應把泵的出水路徑找好，同時將相關的閥門打開，在啟動。

7.7.1.6閥門切換時，應先開后關，緩開緩閉。

7.7.1.7PVC管路應避免硬場撞擊，以免損壞。

7.7.1.8反滲透器進水水質條件不變，當出現下述情況，應進行清洗：

a)標準化產水量降低10%以上。

b)進水和濃水之間的標準化壓差上升15%。

c)標準化透鹽率增加5%以上。

7.7.1.9EDI模塊需要定期的清洗和殺菌，應及時進行。

7.7.1.10純水箱內純水不能儲存時間過長，一般不得超過48小時。

7.7.1.11當反滲透系統停機時間超過24小時，必須對反滲透膜進行保護運行，即每天至少運行兩次；

終端去離子供回水管路必須保證有水循環(huán)，若停水超過48小時，必須對管路進行殺菌清洗，清洗可采

用分析純雙氧水按30PPM濃度進行沖洗，并排放掉清洗水。

7.7.2廢水管理設備

7.7.2.1定期巡查各藥罐藥量情況，若發(fā)現藥罐液位已到藥罐1/4液位，應進行配藥。

7.7.2.2對所有的設備進行巡視，查看是否處于正常運行狀態(tài)，如發(fā)現設備固定螺絲松動、電機聲音

變、電機表面溫度太高等異常情況應及時處理。

7.7.2.3鼓風機在運轉時至少每隔一小時巡視一次，聽鼓風機聲音是否正常，運轉聲音不應有非正常

的磨擦聲和撞擊聲，如不正常時應停機檢查，排除故障。

7.7.2.4巡查閥門是否處于正確狀態(tài)，巡查管道及部件是否有泄漏和噪音過大現象。

7.7.2.5定時上沉淀池巡查液面高度、出水是否清澈、是否帶泥等，觀察泥面高度，確定是否需要排

泥。

7.7.2.6由于設備中加入大量石灰等鈣鹽，易造成管路、過水孔結垢堵塞，因此，必須定時及時清泥、

壓泥。

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7.7.2.7未經安全知識教育和崗位操作技術培訓的人員，禁止上崗或獨自操作，操作人員應熟悉廢水

站的工藝，并仔細閱讀各設備的使用說明書，熟悉各設備操作。

7.7.2.8廢水處理站應建立安全運行巡回檢查制度，崗位操作記錄，設備運行、檢修記錄及事故處理

記錄。

7.7.2.9正常運行中，嚴禁爬越護欄或獨自進入構筑物和設備內。

7.7.2.10因工作需要進入有關構筑物(或設備)內時，應采取必要的安全防范措施后方可組織實施，并

切實做好現場安全監(jiān)護工作。

7.7.2.11在動力設備進行檢修或事故處理期間，應對相應的區(qū)域、設備和對應的電器控制點設置安全

警示牌，采取必要的安全措施，并加強現場安全監(jiān)護。

7.7.2.12加強設備管理，做好各設施的維護保養(yǎng)工作，實行計劃檢修；每月一小修，一年一大修；發(fā)

現問題及時處理，確保站內各設施能連續(xù)穩(wěn)定運行。

7.7.2.13對傳動設備的安全保護裝置應加強維護和完善，無保護裝置的傳動設備，禁止運行。

7.7.2.14藥劑配制操作過程中一定要配備安全防護用品，小心操作。

7.7.2.15加強對藥品的管理，建立藥品進出臺賬，防止藥品的非生產性流失。

變電、供電設備的運行維護

7.8.1變配電系統清掃

a)變電站高壓配電裝置根據設備污穢情況、負荷重要程度及負荷運行情況安排設備的清掃檢查

工作，室外設備每半年至少一次；室內設備每年至少一次。污穢地區(qū)除采用防污型設備及器

材外，根據環(huán)境的情況，增加清掃的頻次。

b)停電清掃內容：

1)清掃瓷絕緣表面污垢，檢查有無裂紋、破損及爬閃痕道；

2)檢查導電部分連接點是否緊密；鋼、鋁接點有無腐蝕現象；若已腐蝕，應清除腐蝕層后

涂導電膏；

3)檢查設備外殼和支架的接地線是否牢固可靠，有無斷裂（斷膠）及腐蝕現象，必要時應

涂防銹漆；

4)檢查傳動機構和操作機構的銷子、螺絲是否脫落或缺少，操作機構的分、合閘是否靈活；

5)檢查配電裝置螺栓有無松動、腐蝕、脫落現象。

c)清掃工作必須有兩人在場，做好各種安全措施后，方可進行；

d)清掃工作必須由持高壓電工進網證的員工操作。

7.8.2設備絕緣預防性試驗

a)為確保供電系統正常穩(wěn)定運行，污水處理廠及泵站高壓配電裝置及設備應根據要求，每年在

汛前完成電氣設備預防性試驗，并完成對試驗缺陷的整改。

b)高壓預防性試驗內容包括變壓器、高壓變配電設備、高壓電纜、避雷器（針）等所有在檢測

范圍內的項目。

c)高壓設備在大修后，必須進行預防性試驗，否則不得投入使用。

d)變壓器、電容器等高壓設備停用半年后，新購高壓設備在投入使用前，必須進行預防性試驗，

試驗合格后，方可投入使用。

7.8.3變壓器維護保養(yǎng)規(guī)程

a)投運變壓器之前，值班人員應仔細檢查，確認變壓器及其保護裝置在良好的狀態(tài)，具備帶電

運行條件，注意外部有無異物。臨時接地線是否已經拆除，分接開關位置是否正確。

b)長期停運應定期充電，投入運行時，同時投入冷卻裝置；主變壓器初次投入運行，應空載24

小時，運行正常方可帶負荷運行；停運一年以上，準備投入運行時，應做超期試驗，合格后方可投

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入運行。

c)變壓器運行時，氣體保護裝置應接信號和跳閘，有載分接開關的氣體保護應跳閘。

7.8.4油浸式變壓器

a)變壓器周圍環(huán)境清潔。

b)檢查冷卻風扇，有無放電現象。

c)各連接處連接是否正常。

d)接地裝置是否正常。

e)油位正常，無滲漏油情況。

f)吸潮劑顏是否色正常。

g)油箱外殼及附屬裝置清潔。

h)瓷套管無塵土、油垢，檢查有無裂紋、破損、閃絡放電痕跡和松動。

i)當發(fā)現變壓器的油面壁油溫所應有的油位顯著降低時，應查明原因，補油時遵守操作規(guī)程，

禁止從變壓器下部補油，所補的新油應與原牌號油一致，如牌號不一致，應做混油試驗，變

壓器油位因溫度上升有可能高出油位指示極限，經查明不是假油位所致時，則應放油，使油

位降至與當時油溫相對應的高度，以免溢油。

j)油浸式變壓器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.5干式變壓器

a)檢查澆注型繞阻和相間接線有無積灰，有無龜裂、變色、放電等現象，絕緣電阻是否正常。

b)檢查鐵芯風道有無灰塵異物堵塞，有無生銹或腐等現象。

c)檢查繞阻壓緊裝置是否松動各連接處連接正常冷卻。

d)檢查指針式溫度計等儀表和保護裝置動作是否正常。

e)檢查冷卻裝置包括電動機風扇是否良好油位正常，有無滲漏油情況。

f)檢查有無由于局部過熱、有害氣體腐蝕等使絕緣表面出現爬電痕跡和炭化現象等造成的變色。

g)檢查變壓器所在的房屋或柜內溫度是否特別高，其通風，換氣狀態(tài)是否正常，變壓器風冷裝

置運轉是否正常。

h)變壓器接地裝置是否可靠。

i)干式變壓器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.6互感器

a)電壓互感器

1)電壓互感器的絕緣子應清潔、有無裂紋、有無破損及放電痕跡；

2)運行中的電壓互感器發(fā)出“嗡嗡”響聲是否正常，有無放電聲及放電痕跡；

3)油位是否正常，有無滲油和漏油，呼吸器的硅膠是否受潮變色；

4)二次回路接線是否牢固，各接頭有無松動；

5)接地是否牢固，接觸是否良好；

6)電壓互感器一、二次熔斷器是否完好；

7)隔離開關及輔助觸點接觸是否良好；

8)電壓互感器每月維護保養(yǎng)一次。

b)電流互感器

1)檢查電流互感器各接頭是否發(fā)熱及松動現象；

2)檢查電流互感器的二次側接線是否牢固、可靠；

3)檢查油色、油位是否正常，有無滲油和漏油，呼吸器的硅膠是否受潮變色；

4)檢查絕緣子是否清潔，有無破損紋及放電痕跡；

5)檢查運行中電流互感器發(fā)出“嗡嗡”響聲是否正常，滿負荷運行有無異常氣味；

6)電流互感器每月維護保養(yǎng)一次。

7.8.7斷路器

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a)油斷路器

1)檢查油色、油位是否正常，本體各充油部位有無滲油和漏油；

2)檢查瓷套管是否清潔，有無破損裂紋、放電痕跡；

3)檢查各連接頭接觸是否良好，有無發(fā)熱及松動；

4)檢查絕緣拉桿及拉桿絕緣子是否完好無缺陷，連接軟銅片是否完整，有無斷片；

5)檢查分、合閘機械指示器與斷路器實際狀態(tài)是否相對應；

6)檢查室外操作機構箱的門蓋是否關閉嚴密；

7)檢查操作機構的連桿、拉桿絕緣子、彈簧等是否清潔，有無腐蝕和雜物卡阻；

8)檢查端子箱內二次線端子是否受潮，有無銹蝕現象；

9)事故跳閘后，應對斷路器進行下列檢查:

有無噴油現象，油色和油位是否正常；本體各部位有無位移、變形、松動和損壞現象，瓷

件有無斷裂；引線連接點有無發(fā)熱或熔化；合閘線圈有無焦味。

10)高峰負荷時應檢查斷路器各連接部位是否發(fā)熱、變色、打火；

11)大風過后應檢查引線有無松動斷股；

12)霧天、雷雨后應檢查瓷套管有無閃絡痕跡；

13)雪天應檢查各連接頭處積雪是否融化；

14)氣溫驟熱或驟冷應檢查油位是否正常；

15)油斷路器每月維護保養(yǎng)一次。

b)六氟化硫斷路器

1)采用SF6斷路器自帶密度控制器或采用其他專用SF6氣體密度監(jiān)視器監(jiān)視斷路器內SF6

氣體壓力，如果壓力下降即表明有漏氣現象，應及時查出泄漏位置并進行消除，否則將

危及人身和設備安全；

2)檢查外部瓷件有無破損、裂紋和嚴重污穢現象；

3)檢查接觸端子有無發(fā)熱跡象，如有即應停電退出，消除后方可繼續(xù)運行；

4)斷路器在投入運行前應檢查操動機構是否靈活，分、合閘指示及紅綠燈信號是否正確；

5)運行中應嚴格防止潮氣進入斷路器內部，以免由于電弧產生的氟化物和硫化物與水作用

對斷路器結構材料產生腐蝕；

6)SF6斷路器每月維護保養(yǎng)一次。

c)真空斷路器

1)真空斷路器投入運行后（包括已掛網但處于備用狀態(tài)的設備）應進行定期巡視檢查，有

人值班變電所或發(fā)電廠廠用電設備每天當班巡視不少于1次，無人值守變電所由各單位

根據具體情況確定，通常每旬不少于1次；

2)分、合指示器指示正確，應與當時實際運行工況相符；

3)支持絕緣子有無裂痕、損傷，表面是否光潔；

4)真空滅弧室無異常（包括無異常聲響），如果是玻璃外殼可觀察屏蔽罩顏色有無明顯變

化；

5)金屬框架或底座有無嚴重銹蝕和變形；

6)可觀察部位的連接螺栓無松動，軸銷有無脫落或變形；

7)接地是否良好；

8)引線接觸部位或有示溫蠟片部位有無過熱現象，引線馳度適中；

9)真空斷路器每