激光能量計(jì)檢定規(guī)程實(shí)驗(yàn)報(bào)告及不確定度分析示例

JJG312－××××《激光能量計(jì)》檢定規(guī)程實(shí)驗(yàn)報(bào)告-PAGE6-國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程JJG312《激光能量計(jì)》實(shí)驗(yàn)報(bào)告實(shí)驗(yàn)報(bào)告(一)實(shí)驗(yàn)?zāi)康尿?yàn)證激光功率計(jì)檢定規(guī)程操作的可行性實(shí)驗(yàn)地點(diǎn)及時(shí)間中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和平里13號(hào)樓206室2023年06月12日環(huán)境條件溫度：(24.5±0.6)℃；濕度：(57±3)%RH。檢定設(shè)備名稱測(cè)量范圍不確定度證書編號(hào)有效期至激光能量標(biāo)準(zhǔn)裝置(10mJ~40)JUrel=(2.5~1.6)%(k=2)[2021]國(guó)量標(biāo)計(jì)證字第380號(hào)///標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)10mJ~40JUrel=1.6%(k=2)GXjg2019-02162020-02-12檢定人：張?jiān)迄i、馬沖被檢樣品信息：器具名稱：激光能量計(jì)型號(hào)/規(guī)格：FieldMaxII-Top/J-50MB-YAG出廠編號(hào)：0382D19R/0555D19R生產(chǎn)廠商：Coherent檢定方法及結(jié)果：1.外觀與功能檢查按JJG312激光能量計(jì)檢定規(guī)程5.1~5.4規(guī)定的內(nèi)容，采用目視觀察與手動(dòng)試驗(yàn)相結(jié)合的方法檢查。檢定結(jié)果如下表所示：檢查內(nèi)容完備/完好有缺陷備注標(biāo)志技術(shù)資料及附件外觀安全防護(hù)說(shuō)明檢定結(jié)論：外觀與功能檢查合格。2.接收面響應(yīng)不均勻性的檢定圖1.圖1被檢激光能量計(jì)接收器響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖按圖1所示的框圖連接并調(diào)整接收器響應(yīng)不均勻性檢定裝置。檢定使用的激光器波長(zhǎng)為1064nm，能量為125mJ，脈沖寬度為10ns，能量計(jì)擋位300mJ。被檢激光能量計(jì)接收面直徑為50mm，檢定區(qū)域尺寸為36mm；檢定使用的激光光斑直徑為5mm。將被檢激光能量計(jì)置于二維位移臺(tái)上，分別沿水平和垂直方向等間距移動(dòng)二維位移臺(tái)，移動(dòng)步長(zhǎng)為18mm，每一位置的被檢激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值的比值的平均值（同一位置重復(fù)測(cè)量10次）如下表：左中右上/25.2/中25.325.325.2下/25.4/最大值：25.4；最小值：25.2；平均值：25.28。按公式（1）計(jì)算被檢激光功率計(jì)的接收面響應(yīng)不均勻性為：±0.8%?U=±Rm,max-檢定結(jié)論：響應(yīng)不均勻性檢定合格。3.修正因子和相對(duì)示值相對(duì)誤差檢定圖2被檢激光能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度檢定裝置框圖按圖2所示的框圖連接并調(diào)整修正因子和相對(duì)示值誤差檢定裝置。依據(jù)JJG312中6.2.2.3b及6.2.2.4b的檢定方法，對(duì)被檢激光能量計(jì)300mJ擋位的修正因子和相對(duì)示值誤差進(jìn)行檢定。檢定使用的激光器波長(zhǎng)為1064nm，能量為55mJ，光束直徑為15mm，脈沖寬度為10ns，檢定擋位為300mJ，光束入射位置被檢激光能量計(jì)接收器中心。數(shù)據(jù)如下表所示：標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度：0.982測(cè)量序號(hào)衰減器衰減比標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值分束比衰減器衰減比被測(cè)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值修正因子/響應(yīng)度/相對(duì)示值誤差11.0050.121.94525.301.0049.41.9591.004/-0.005250.351.95625.2849.41.9631.007/-0.007350.171.94825.2949.61.9611.001/-0.002449.841.93025.3649.81.9891.012/-0.012549.771.92625.3849.41.9661.008/-0.008650.091.94125.3449.31.9551.004/-0.004平均值25.331.006/-0.006測(cè)量不確定度：3%調(diào)節(jié)激光器電源工作電壓，不再重復(fù)測(cè)量分束監(jiān)測(cè)比，檢定被檢激光能量計(jì)300mJ擋位另一能量點(diǎn)的修正因子和相對(duì)示值誤差，測(cè)量的數(shù)據(jù)如下表所示：標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度：0.982測(cè)量序號(hào)衰減器衰減比標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值分束比衰減器衰減比被測(cè)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值修正因子/響應(yīng)度/相對(duì)示值誤差11.0050.121.94525.301.00181.17.241.013/-0.013250.351.95625.28182.17.261.010/-0.01350.171.94825.29180.67.261.018/-0.018449.841.93025.36179.77.211.016/-0.016549.771.92625.38180.07.231.017/-0.017650.091.94125.34179.47.211.018/-0.018平均值25.331.015/-0.015測(cè)量不確定度：3%光路中加衰減比為3.182的標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器，不再重復(fù)測(cè)量分束監(jiān)測(cè)比，檢定被檢激光能量計(jì)30mJ擋位的修正因子和相對(duì)示值誤差，測(cè)量的數(shù)據(jù)如下表所示：標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度：0.982測(cè)量序號(hào)衰減器衰減比標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值分束比衰減器衰減比被測(cè)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值修正因子/響應(yīng)度/相對(duì)示值誤差11.0050.121.94525.303.18215.501.9601.007/-0.007250.351.95625.2815.451.9601.010/-0.01350.171.94825.2915.681.9841.007/-0.007449.841.93025.3615.721.9871.006/-0.006549.771.92625.3815.701.9881.008/-0.008650.091.94125.3415.631.9921.015/-0.014平均值25.331.009/-0.009測(cè)量不確定度：3%按JJG312中公式（10）、（11）、（14）、（15）、（16）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的修正因子，計(jì)算結(jié)果填入上表。按JJG312中公式（18）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的相對(duì)示值誤差，計(jì)算結(jié)果填入上表。4.非線性檢定檢定能量點(diǎn)15.6mJ49.5mJ180.5修正因子/響應(yīng)度1.0091.0061.015最大值：1.015最小值：1.006平均值：1.010非線性：0.9%按JJG312中公式（19）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的非線性，計(jì)算結(jié)果填入上表。檢定結(jié)論：非線性檢定合格。檢定結(jié)果的不確定度評(píng)定1.數(shù)學(xué)模型：C=式中：Qm―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值；Qs―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)示值；Cstd―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子；A―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，主光路中使用標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器引入的衰減比；QDUT―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，被檢能量計(jì)示值；Q’m―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值；A’―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，主光路中使用標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器引入的衰減比；F1―被檢激光能量計(jì)數(shù)字顯示儀表分辨力引入的修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；F2―監(jiān)視激光能量計(jì)非線性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取；F3―被檢激光能量計(jì)接收器響應(yīng)不均勻性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；F4―被檢激光能量計(jì)非線性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；2.輸入量、輸入量估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度2.1標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值之比Q在分束比測(cè)量過(guò)程中，對(duì)QsQm進(jìn)行6次獨(dú)立測(cè)量，其估計(jì)值用6次測(cè)量結(jié)果的平均值表示，用平均值的相對(duì)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差作為Qs本實(shí)驗(yàn)中u1=0.16%。2.2標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度由標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)的檢定證書得到。檢定證書一般給出相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel，因此標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2為：u2本實(shí)驗(yàn)中標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)的檢定證書給出的擴(kuò)展不確定度為1.6%，因此u2=0.8%。被檢激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值之比Q對(duì)Q'mQDUT進(jìn)行至少6次獨(dú)立重復(fù)測(cè)量，其估計(jì)值用6次測(cè)量結(jié)果的平均值表示，用平均值的相對(duì)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差作為Q本實(shí)驗(yàn)中，15.6mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u3=0.31%；49.5mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u3=0.35%；180.5mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u3=0.34%。標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比A及A’標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比的估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度由該標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器的檢定證書得到。檢定證書一般給出相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel，因此標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u4為：u4本實(shí)驗(yàn)中，49.5mJ和180.5mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)未使用衰減器，因此u4=0%；15.6mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)使用了衰減比3.182的衰減器，該衰減器的檢定證書給出的擴(kuò)展不確定度為0.5%，因此u4=0.25%；2.5被檢激光能量計(jì)數(shù)字顯示儀表分辨力引入的修正值F1本實(shí)驗(yàn)中，15.6mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)顯示儀表分辨力引入不確定度分量u5=0.019%；49.5mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u5=0.058%；180.5mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u5=0.016%。2.6監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)非線性修正值F2監(jiān)測(cè)能量計(jì)非線性為ΔN，則誤差區(qū)間半寬度為ΔN/2，非線性誤差服從均勻分布，因此F2引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為：u6本實(shí)驗(yàn)中在標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量及被檢能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值變化范圍較小時(shí)由監(jiān)測(cè)能量計(jì)非線性引入的不確定度分量可以不予考慮，u6=0%。2.7被檢激光能量計(jì)接收器響應(yīng)不均勻性修正值F3被檢激光能量計(jì)響應(yīng)不均勻性非線性為ΔU，響應(yīng)不均勻性誤差服從均勻分布，因此F3引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為：u7本實(shí)驗(yàn)中，被檢激光能量計(jì)的修正因子明確表述了光束入射接收器中心，并注明入射光斑尺寸15mm，因此該項(xiàng)不確定度分量不計(jì)入總不確定度的合成，u7=0%。2.8被檢激光能量計(jì)非線性修正值F4被檢激光能量計(jì)非線性為ΔN，則誤差區(qū)間半寬度為ΔN/2，非線性誤差服從均勻分布，因此F4引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為：u8本實(shí)驗(yàn)中被檢激光能量計(jì)的修正因子明確表述為某一特定能量點(diǎn)的修正因子時(shí)，該項(xiàng)不確定度分量不計(jì)入總不確定度的合成，u8=0%。3.相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度和相對(duì)合成擴(kuò)展不確定度以上各不確定度分量互不相關(guān)，相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：0.91%（@15.6mJ）,0.89%（@49.5mJ）,0.88%（@180.5mJ）。相對(duì)合成擴(kuò)展不確定度為：1.9%(k=2)（@15.6mJ）,1.8%(k=2)（@49.6mJ）,1.8%(k=2)（@180.5mJ）。實(shí)驗(yàn)結(jié)論激光能量計(jì)檢定結(jié)果如下：檢定項(xiàng)目檢定結(jié)果外觀與功能檢查合格接收器響應(yīng)不均勻性±0.8%非線性0.99%示值相對(duì)誤差-0.5%（15.6mJ）-0.6%（49.5mJ）-1.5%（180.5mJ）測(cè)量不確定度Urel=1.9%(k=2)（15.6mJ）Urel=1.8%(k=2)（49.5mJ）Urel=1.8%(k=2)（180.5mJ）檢定結(jié)論：合格。實(shí)驗(yàn)結(jié)論：本實(shí)驗(yàn)嚴(yán)格按照J(rèn)JG312檢定規(guī)程中的檢定方法執(zhí)行，未出現(xiàn)有分歧性或模糊性的操作，具有可操作性，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可靠。因此，本實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了檢定規(guī)程的可操作實(shí)施性和參數(shù)指標(biāo)的科學(xué)合理性。

實(shí)驗(yàn)報(bào)告(二)實(shí)驗(yàn)?zāi)康尿?yàn)證激光功率計(jì)檢定規(guī)程操作的可行性實(shí)驗(yàn)地點(diǎn)及時(shí)間中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和平里13號(hào)樓206室2019年06月15日環(huán)境條件溫度：(22.0±1)℃；濕度：(52±2)%RH。檢定設(shè)備名稱測(cè)量范圍不確定度證書編號(hào)有效期至激光微小能量標(biāo)準(zhǔn)裝置10mJ~1μJUrel=(2.5~4)%(k=2)[2021]國(guó)量標(biāo)計(jì)證字第379號(hào)///檢定人：馬沖、張?jiān)迄i被檢樣品信息：器具名稱：激光能量計(jì)型號(hào)/規(guī)格：PE10-SH-V2/NOVAII出廠編號(hào)：525964/573253生產(chǎn)廠商：Ophir檢定方法及結(jié)果：1.外觀與功能檢查按JJG312激光能量計(jì)檢定規(guī)程5.1~5.4規(guī)定的內(nèi)容，采用目視觀察與手動(dòng)試驗(yàn)相結(jié)合的方法檢查。檢定結(jié)果如下表所示：檢查內(nèi)容完備/完好有缺陷備注標(biāo)志技術(shù)資料及附件外觀安全防護(hù)說(shuō)明檢定結(jié)論：外觀與功能檢查合格。2.接收面響應(yīng)不均勻性的檢定圖1.圖1被檢激光能量計(jì)接收器響應(yīng)不均勻性檢定裝置框圖按圖1所示的框圖連接并調(diào)整接收器響應(yīng)不均勻性檢定裝置。檢定使用的激光器波長(zhǎng)為1064nm，能量為1mJ，脈沖寬度為10ns，能量計(jì)擋位2mJ。被檢激光能量計(jì)接收面直徑為10mm，檢定區(qū)域尺寸為7mm；檢定使用的激光光斑直徑為2mm。將被檢激光能量計(jì)置于二維位移臺(tái)上，分別沿水平和垂直方向等間距移動(dòng)二維位移臺(tái)，移動(dòng)步長(zhǎng)為3.5mm，每一位置的被檢激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值的比值的平均值（同一位置重復(fù)測(cè)量10次）如下表：左中右上/9.78/中9.759.659.69下/9.74/最大值：9.78；最小值：9.65；平均值：9.72。按公式（1）計(jì)算被檢激光功率計(jì)的接收面響應(yīng)不均勻性為：±0.7%?U=±Rm,max-檢定結(jié)論：響應(yīng)不均勻性檢定合格。3.修正因子和相對(duì)示值相對(duì)誤差檢定圖2被檢激光能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度檢定裝置框圖按圖2所示的框圖連接并調(diào)整修正因子和相對(duì)示值誤差檢定裝置。依據(jù)JJG312中6.2.2.3b及6.2.2.4b的檢定方法，對(duì)被檢激光能量計(jì)2mJ擋位的修正因子和相對(duì)示值誤差進(jìn)行檢定。檢定使用的激光器波長(zhǎng)為1064nm，能量為1.7mJ，光束直徑為4mm，脈沖寬度為10ns，檢定擋位2mJ，光束入射位置被檢激光能量計(jì)接收器中心。數(shù)據(jù)如下表所示：標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度：1.23測(cè)量序號(hào)衰減器衰減比標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值分束比衰減器衰減比被測(cè)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值修正因子/響應(yīng)度/相對(duì)示值誤差11.001.4210.8432.0731.001.8110.8520.978/0.02221.4210.8412.0781.8040.8440.973/0.02831.440.8522.0791.7920.8390.973/0.02741.4320.8452.0841.7880.8370.973/0.02851.4280.8472.0741.7940.8380.971/0.0361.4340.8472.0821.8020.8460.976/0.025平均值2.0790.974/0.027測(cè)量不確定度：2.6%光路中加衰減比為9.99的標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器，不再重復(fù)測(cè)量分束監(jiān)測(cè)比，檢定被檢激光能量計(jì)1mJ擋位的修正因子和相對(duì)示值誤差，測(cè)量的數(shù)據(jù)如下表所示：標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)修正因子/響應(yīng)度：0.982測(cè)量序號(hào)衰減器衰減比標(biāo)準(zhǔn)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值分束比衰減器衰減比被測(cè)能量計(jì)示值(mJ)監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值修正因子/響應(yīng)度/相對(duì)示值誤差11.001.4210.8432.0739.990.1830.8620.980/0.02021.4210.8412.0780.1850.870.979/0.02231.440.8522.0790.1830.8680.987/0.01341.4320.8452.0840.1840.8710.985/0.01551.4280.8472.0740.1860.8770.981/0.01961.4340.8472.0820.1850.8730.982/0.018平均值2.0790.982/0.018測(cè)量不確定度：2.7%按JJG312中公式（10）、（11）、（14）、（15）、（16）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的修正因子，計(jì)算結(jié)果填入上表。按JJG312中公式（18）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的相對(duì)示值誤差，計(jì)算結(jié)果填入上表。4.非線性檢定檢定能量點(diǎn)1.75mJ0.18mJ修正因子/響應(yīng)度0.9740.982最大值：0.982最小值：0.974平均值：0.978非線性：0.82%按JJG312中公式（19）計(jì)算被檢激光能量計(jì)的非線性，計(jì)算結(jié)果填入上表。檢定結(jié)論：非線性檢定合格。檢定結(jié)果的不確定度評(píng)定1.數(shù)學(xué)模型：C=Qs式中：Qm―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值；Qs―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)示值；Cstd―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子；A―標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，主光路中使用標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器引入的衰減比；QDUT―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，被檢能量計(jì)示值；Q’m―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，監(jiān)測(cè)能量計(jì)示值；A’―被檢激光能量計(jì)測(cè)量過(guò)程中，主光路中使用標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器引入的衰減比；F1―被檢激光能量計(jì)數(shù)字顯示儀表分辨力引入的修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；F2―監(jiān)視激光能量計(jì)非線性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；F3―被檢激光能量計(jì)接收器響應(yīng)不均勻性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；F4―被檢激光能量計(jì)非線性修正值（該修正值的引入僅為了模型的完整，其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響作為不確定度分量考慮，估計(jì)值取1.00）；2.輸入量、輸入量估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度2.1標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值之比Q在分束比測(cè)量過(guò)程中，對(duì)QsQm進(jìn)行6次獨(dú)立測(cè)量，其估計(jì)值用6次測(cè)量結(jié)果的平均值表示，用平均值的相對(duì)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差作為Qs本實(shí)驗(yàn)中u1=0.22%。2.2標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度由標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)的檢定證書得到。檢定證書一般給出相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel，因此標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)修正因子Cstd的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2為：u2本實(shí)驗(yàn)中標(biāo)準(zhǔn)激光能量計(jì)的檢定證書給出的擴(kuò)展不確定度為2.5%，因此u2=1.25%。2.3被檢激光能量計(jì)示值與監(jiān)測(cè)激光能量計(jì)示值之比Q對(duì)Q'mQDUT進(jìn)行至少6次獨(dú)立重復(fù)測(cè)量，其估計(jì)值用6次測(cè)量結(jié)果的平均值表示，用平均值的相對(duì)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差作為Q本實(shí)驗(yàn)中，1.75mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u3=0.26%；0.18mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)u3=0.32%。2.4標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比A及A’標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比的估計(jì)值及其標(biāo)準(zhǔn)不確定度由該標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器的檢定證書得到。檢定證書一般給出相對(duì)擴(kuò)展不確定度Urel，因此標(biāo)準(zhǔn)激光衰減器衰減比的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u4為：u4本實(shí)驗(yàn)中，1.75mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)未使用衰減器，因此u4=0%；0.18mJ能量點(diǎn)檢定時(shí)使用了衰減比9.99的衰減器，該衰減器的檢定證書給出的擴(kuò)展不確定度為0.5%，因此u4=0.25%；2.5被檢激光