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02December2024第4章微型化和智能化傳感器02December2024第4章微型化和智能化傳感器4.1概述4.2微型溫度傳感器4.3硅壓阻式微型壓力傳感器4.4電容式微型傳感器4.5智能化變送器02December20244.1概述隨著微電子技術(shù)、微計(jì)算機(jī)技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)的發(fā)展，傳感器也步入了微型化和智能化的發(fā)展時(shí)代。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，可將組成傳感器的多個(gè)單元集成在一塊芯片上，包括檢測(cè)元件、信號(hào)的調(diào)制、解調(diào)電路、信號(hào)放大和轉(zhuǎn)換電路、線性化處理、輸入、輸出電路和通信功能等模塊集成在一塊或二塊芯片上，從而極大地縮小了傳感器的體積，為傳感器的微型化創(chuàng)造了條件。微計(jì)算機(jī)（尤其是單片機(jī)）在傳感器中的應(yīng)用，利用其強(qiáng)大的控制與信號(hào)處理能力，傳感器的功能更加強(qiáng)大。例如，自動(dòng)零點(diǎn)和增益校正、非線性校正、溫度自動(dòng)補(bǔ)償、自動(dòng)消除交叉靈敏度的影響、量程自動(dòng)切換、自檢和自診斷等，給傳感器賦予了智能化功能。隨著網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)的發(fā)展，傳感技術(shù)的發(fā)展已進(jìn)入嶄新的發(fā)展階段。各種現(xiàn)場(chǎng)總線在傳感器中的應(yīng)用，傳感器已實(shí)現(xiàn)了網(wǎng)絡(luò)化。02December2024微型化與智能化傳感器的特點(diǎn)精度高高可靠性與高穩(wěn)定性高信躁比與高分辨率

功能更強(qiáng)大自適應(yīng)能力強(qiáng)體積小性能價(jià)格比高

微型傳感器與智能傳感器是當(dāng)前世界傳感技術(shù)發(fā)展的重要

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