GB/T 44759-2024高純鎳靶材

ICS

77.150.40

CCS

H62

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T44759—2024

高純鎳靶材

Highpuritynickeltarget

2024-10-26發(fā)布2025-05-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T44759—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)

定起草。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。

本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。

本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC243）歸口。

本文件起草單位：寧波江豐電子材料股份有限公司、金川集團(tuán)股份有限公司、有研億金新材料有限

公司、上海同創(chuàng)普潤新材料有限公司、南京達(dá)邁科技實(shí)業(yè)股份有限公司。

本文件主要起草人：姚力軍、邊逸軍、廖培君、胡家彥、楊慧珍、王學(xué)澤、周友平、楊曉艷、

湯婷、吳東青、張亞東、朱孜毅、吳宇寧、干科軍、鐘成銘、黃引馳、時(shí)曉旭。

Ⅰ

GB/T44759—2024

高純鎳靶材

1范圍

本文件規(guī)定了高純鎳靶材的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨

行文件和訂貨單內(nèi)容。

本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的高純鎳靶材。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用

于本文件。

GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）

表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法

GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則

GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T39159集成電路用高純銅合金靶材

YS/T837濺射靶材?背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法

YS/T1012高純鎳化學(xué)分析方法雜質(zhì)元素含量的測定輝光放電質(zhì)譜法

3術(shù)語和定義

GB/T39159界定的術(shù)語和定義適用于本文件。

4分類

4.1產(chǎn)品按外形分為圓形和方形，或由需方提供圖紙。

4.2產(chǎn)品按化學(xué)成分分為Ni4N、Ni4N5、Ni5N三個(gè)牌號(hào)。

4.3產(chǎn)品按結(jié)構(gòu)形式分為復(fù)合體靶材和單體靶材，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。

a）復(fù)合體靶材b）單體靶材

標(biāo)引序號(hào)說明：

1─靶坯；

2─背板。

圖1

靶材結(jié)構(gòu)示意圖

5技術(shù)要求

5.1化學(xué)成分

產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1和表2的規(guī)定。