JJF 2160-2024激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes

2024-10-19發(fā)布2025-04-19實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范??

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CalibrationSpecificationforJJF21602024

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LaserConfocalMicroscopes

歸口單位全國幾何量長度計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位中國計量科學(xué)研究院

:

哈爾濱工業(yè)大學(xué)

參加起草單位南京市計量監(jiān)督檢測院

:

本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術(shù)委員會負責(zé)解釋

JJF2160—2024

本規(guī)范主要起草人

:

施玉書中國計量科學(xué)研究院

()

劉儉哈爾濱工業(yè)大學(xué)

()

張樹中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

王珉南京市計量監(jiān)督檢測院

()

劉辰光哈爾濱工業(yè)大學(xué)

()

皮磊中國計量科學(xué)研究院

()

郭鑫南京市計量監(jiān)督檢測院

()

JJF2160—2024

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計量特性

4………………(2)

水平方向長度測量誤差

4.1……………(2)

垂直方向長度測量誤差

4.2……………(2)

水平方向長度測量重復(fù)性

4.3…………(2)

垂直方向長度測量重復(fù)性

4.4…………(2)

水平方向正交誤差

4.5…………………(2)

畸變

4.6…………………(2)

最大可測傾角

4.7………………………(2)

水平方向拼接誤差

4.8…………………(2)

垂直方向拼接誤差

4.9…………………(2)

載物臺定位誤差

4.10…………………(2)

校準條件

5………………(3)

環(huán)境條件

5.1……………(3)

校準項目和校準用標準器

5.2…………(3)

校準項目和校準方法

6…………………(4)

水平方向長度測量誤差

6.1……………(4)

垂直方向長度測量誤差

6.2……………(6)

水平方向長度測量重復(fù)性

6.3…………(8)

垂直方向長度測量重復(fù)性

6.4…………(8)

水平方向正交誤差

6.5…………………(8)

畸變

6.6…………………(9)

最大可測傾角

6.7………………………(10)

水平方向拼接誤差

6.8…………………(11)

垂直方向拼接誤差

6.9…………………(11)

載物臺定位誤差

6.10…………………(12)

校準結(jié)果表達

7…………(12)

復(fù)校時間間隔

8…………(12)

附錄激光共聚焦顯微鏡長度測量誤差的不確定度評定

A…………(13)

附錄激光共聚焦顯微鏡校準證書內(nèi)頁格式

B()…………………(15)

Ⅰ

JJF2160—2024

引言

通用計量術(shù)語及定義測量不確定度評定與

JJF1001—2011《》、JJF1059.1—2012《

表示國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則測量儀器特

》、JJF1071—2010《》、JJF1094—2002《

性評定共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

》。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF2160—2024

激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準也可參

,

照本規(guī)范

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法測量標

GB/T19067.1—2003(GPS)

準第部分實物測量標準

1:

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測

GB/T34879—2017(GPS)

量不確定度評定導(dǎo)則

產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第

ISO25178-607:2019(GPS):607

部分非接觸共焦顯微鏡儀器的標稱特性

:()[Geometricalproductspecifications

(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact

(confocalmicroscopy)instruments]

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規(guī)范