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力敏傳感器的分類1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents1.應(yīng)變式傳感器應(yīng)變式傳感器利用電阻應(yīng)變片將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻變化的傳感器。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents2.壓阻式傳感器壓阻式傳感器

是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents3.電感式傳感器電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)把被測的物理量如位移，壓力，流量，振動等轉(zhuǎn)換成線圈的自感系數(shù)和互感系數(shù)的變化，再由電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出，實(shí)現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)換。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents4.電容式傳感器電容式傳感器

是把被測的機(jī)械量，如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數(shù)的電容器。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents5.壓電式傳感器壓電式傳感器

是基于壓電效應(yīng)的傳感器。是一種自發(fā)電式和機(jī)電轉(zhuǎn)換式傳感器。它的敏感元件由壓電材料制成。壓電材料受力后表面產(chǎn)生電荷。此電荷經(jīng)電荷放大器和測量電路放大和變換阻抗后就成為正比于所受外力的電量輸出。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents6.諧振式傳感器諧振式傳感器利用諧振元件把被測參量轉(zhuǎn)換為頻率信號的傳感器，又稱頻率式傳感器。當(dāng)被測參量發(fā)生變化

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