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文檔簡介
《貴金屬電子漿料測試方法》國家標(biāo)準(zhǔn)修訂編制說明一、工作簡況(一)任務(wù)來源1.1計(jì)劃批準(zhǔn)文件名稱、文號及項(xiàng)目編號、項(xiàng)目名稱、計(jì)劃完成年限、項(xiàng)目名稱更改說明、編制組成員(單位)根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會【2023】63號文《2023年第四批推薦國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)外文版計(jì)劃》國家標(biāo)準(zhǔn)《貴金屬電子漿料測試方法》整合修訂項(xiàng)目由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會歸口,主要起草單位為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司(原名稱為貴研鉑業(yè)股份有限公司),項(xiàng)目計(jì)劃編號:國標(biāo)委發(fā)【2023】63號20232202-T-610,項(xiàng)目周期16個(gè)月,完成年限為2023年12月至2025年4月。2024年1月16日-19日于海南省瓊海市召開全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會任務(wù)落實(shí)會[2024]3號,落實(shí)了《貴金屬電子漿料測試方法》有色行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)歸口單位為全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會,確定了標(biāo)準(zhǔn)的總體安排及制定進(jìn)度情況。標(biāo)準(zhǔn)起草單位為:云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司(原貴研鉑業(yè)股份有限公司)、貴研電子材料(云南)有限公司、云南貴金屬實(shí)驗(yàn)室有限公司
、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、中國振華集團(tuán)云科電子有限公司。1.2項(xiàng)目編制組單位變化情況貴研鉑業(yè)股份有限公司名稱從2023年12月12日變更登記為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司,新增編制組單位為貴研電子材料(云南)有限公司和中國振華集團(tuán)云科電子有限公司。(二)主要參加單位和工作成員及其所做的工作2.1主要參加單位情況標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司,前身為始建于1928年的“國立中央研究院工程研究所”,2000年由有著“鉑族搖籃”稱譽(yù)的昆明貴金屬研究所發(fā)起設(shè)立,2003年在上海證券交易所上市,是集貴金屬系列功能材料研究、開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)營于一體的高新技術(shù)企業(yè)。2020年入選國家級專精特新“小巨人”;2022年在云南省屬國企中率先實(shí)現(xiàn)整體上市;2023年,入選國務(wù)院國資委創(chuàng)建世界一流專業(yè)領(lǐng)軍示范企業(yè)。貴研胸懷“國之大者”,依托在新材料精深加工領(lǐng)域的綜合競爭優(yōu)勢,為中國國防工業(yè)、新興工業(yè)的發(fā)展提供高精尖的貴金屬新材料產(chǎn)品和一體化服務(wù),成為我國在貴金屬領(lǐng)域成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位貴研電子材料(云南)有限公司成立于2022年12月26日,由貴研鉑業(yè)股份有限公司有限公司信息材料事業(yè)部獨(dú)立后成立,是國內(nèi)最早從事貴金屬電子漿料及粉體研發(fā)生產(chǎn)的單位。目前,擁有61個(gè)品種和214余個(gè)規(guī)格的貴金屬粉體及漿料產(chǎn)品,服務(wù)于國防軍工、航空航天、醫(yī)療器件、可穿戴設(shè)備、現(xiàn)代通訊、新能源等現(xiàn)代高科技行業(yè)。其中鉑系列漿料產(chǎn)品市場占比超過80%,低溫漿料產(chǎn)品市場占比達(dá)到35%。近年來,承擔(dān)國家及省級貴金屬電子漿料科研項(xiàng)目30余項(xiàng),制(修)訂國標(biāo)行標(biāo)28項(xiàng),獲得授權(quán)發(fā)明專利26項(xiàng),獲得國家及省部級科技進(jìn)步獎(jiǎng)4項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位云南貴金屬實(shí)驗(yàn)室有限公司
(簡稱貴金屬實(shí)驗(yàn)室)成立于2021年10月26日,是由貴研鉑業(yè)股份有限公司牽頭建設(shè)的實(shí)驗(yàn)室。貴金屬實(shí)驗(yàn)室在貴金屬納米材料方向、貴金屬表面膜材料方向、貴金屬合金材料研究方向、貴金屬循環(huán)利用方向、貴金屬基因工程等五個(gè)方向開展布局,依托貴研鉑業(yè)雄厚的科研與生產(chǎn)基礎(chǔ),在低成本貴金屬催化劑、銠催化劑、丙烷脫氫催化劑、高純超薄金帶、鍵合金帶、鉑鹽、醫(yī)療器械用顯影環(huán)、石油化工催化劑清潔高效綜合回收、極低濃度鉑族金屬廢液回收技術(shù)領(lǐng)域均取得重大突破。有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司(以下簡稱“我院”)成立于1983年3月,與中國有色金屬工業(yè)總公司同時(shí)經(jīng)國家批準(zhǔn)建立,最初名稱為“中國有色金屬總公司技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究中心”,后改名“中國有色金屬工業(yè)總公司技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院”,是中央所屬242家轉(zhuǎn)制科研院所之一,于1999年7月由國家全額撥款科研事業(yè)單位轉(zhuǎn)制為科技型企業(yè),變更為現(xiàn)名稱。我院隸屬于中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(以下簡稱“協(xié)會”),獲批設(shè)立了國家級博士后科研工作站,是國家級高新技術(shù)企業(yè)和北京市高新技術(shù)企業(yè)。我院有五個(gè)主要業(yè)務(wù)板塊,分別為信息咨詢、標(biāo)準(zhǔn)專利、媒體宣傳、分會工作及貿(mào)易投資,是我國有色金屬行業(yè)專職從事產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略研究與規(guī)劃、市場信息服務(wù)與咨詢、標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究與專利查新、行業(yè)期刊出版發(fā)行、行業(yè)會議策劃與組織的綜合性科技服務(wù)機(jī)構(gòu),我院對外又稱“中國有色金屬工業(yè)信息中心”和“中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所”。中國振華集團(tuán)云科電子有限公司(簡稱振華云科)始創(chuàng)于1994年,隸屬于世界500強(qiáng)企業(yè)中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)(CEC),是國家高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、省級技術(shù)中心、省級工業(yè)設(shè)計(jì)中心、省級創(chuàng)新型企業(yè)、軍工配套先進(jìn)單位、神州系列先進(jìn)單位,擁有CNAS認(rèn)證國家檢測實(shí)驗(yàn)室,主要從事電子元器件和電子材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及其技術(shù)咨詢服務(wù),是支撐國防電子信息發(fā)展的中堅(jiān)力量。按照“以厚膜、薄膜、電子陶瓷材料、電子漿料四大工藝平臺為依托,以電阻器、保護(hù)類元器件、微波類元器件、電子陶瓷材料及電路封裝、電子導(dǎo)體漿料五大產(chǎn)品門類為業(yè)務(wù)發(fā)展方向,致力于打造成為國家信任、用戶首選、安全可靠的電子材料及電子元器件專業(yè)化供應(yīng)商及一體化解決方案提供商”的發(fā)展戰(zhàn)略,形成了從材料、電子元器件、組件、薄膜電路到封裝的產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈、創(chuàng)新鏈,有力支撐載人航天、深空探測、衛(wèi)星組網(wǎng)等海、陸、空、天國家重點(diǎn)型號工程和5G通信、汽車電子、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等為代表的數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)。2.2主要參加單位分工項(xiàng)目主要參加單位云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司在標(biāo)準(zhǔn)整合修訂過程中,負(fù)責(zé)收集國內(nèi)外市場上對貴金屬電子漿料測試方法的新需求,更新和新增測試方法,能夠帶領(lǐng)編制組成員認(rèn)真細(xì)致修改標(biāo)準(zhǔn)文本,帶領(lǐng)編制組完整標(biāo)準(zhǔn)整合修訂工作。標(biāo)準(zhǔn)參與單位貴研電子材料(云南)有限公司、云南貴金屬實(shí)驗(yàn)室有限公司
、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司和中國振華集團(tuán)云科電子有限公司,積極參加標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研工作,參與編寫和校正標(biāo)準(zhǔn)的討論稿,為標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)提供有力的保障。2.3標(biāo)準(zhǔn)修訂主要工作成員所負(fù)責(zé)的工作情況標(biāo)準(zhǔn)起草人及工作職責(zé)見表1。表1主要起草人及工作職責(zé)起草人工作職責(zé)幸七四負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)的工作指導(dǎo)、標(biāo)準(zhǔn)的編寫、試驗(yàn)方案確定及組織協(xié)調(diào)、試驗(yàn)驗(yàn)證劉繼松、李文琳、朱武勛標(biāo)準(zhǔn)編寫材料的收集、提供理論支持、文獻(xiàn)支持、測試參數(shù)確定及標(biāo)準(zhǔn)部分內(nèi)容編寫梁詩宇、李瑋、姚志強(qiáng)、張曉杰、張映蘋、方亮負(fù)責(zé)檢試驗(yàn)方案、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)收集和試驗(yàn)步驟,試驗(yàn)測試和驗(yàn)證、技術(shù)指導(dǎo)及客戶調(diào)研工作向磊標(biāo)準(zhǔn)編寫材料的檢查、校對、以及提出修改意見(三)主要工作過程1預(yù)研階段云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司接到標(biāo)準(zhǔn)修訂任務(wù)后,組織人員查閱和檢索了國內(nèi)外有關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和資料,并征求了使用企業(yè)的意見,作為建立本技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)依據(jù),也考慮了國內(nèi)廠家生產(chǎn)實(shí)際和分析水平等情況,于2023年4月由編制單位相關(guān)技術(shù)人員組成了《貴金屬電子漿料測試方法》標(biāo)準(zhǔn)專項(xiàng)小組,主要進(jìn)行如下工作:1)確立《貴金屬電子漿料測試方法》標(biāo)準(zhǔn)修訂遵循的基本原則;2)對生產(chǎn)、使用廠家進(jìn)行調(diào)研、收集資料;3)查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn);4)確定產(chǎn)品主要技術(shù)內(nèi)容;5)確定技術(shù)要求的分析方法;6)根據(jù)測試數(shù)據(jù)確定技術(shù)指標(biāo)取值范圍。2立項(xiàng)階段2023年5月,云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司向全體委員會議提交了《貴金屬電子漿料測試方法》標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說明等材料,全體委員會議論證結(jié)論為同意立項(xiàng),由秘書處組織委員投票,投票通過后報(bào)國標(biāo)委,并掛網(wǎng)向社會公開征求意見。2022年12月,全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會下達(dá)了修訂國家標(biāo)準(zhǔn)《貴金屬電子漿料測試方法》的任務(wù),計(jì)劃文國標(biāo)委發(fā)【2023】63號,計(jì)劃號20232202-T-610,項(xiàng)目周期16個(gè)月,完成年限為2023年12月至2025年4月。技術(shù)歸口單位為全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會。3起草階段3.1召開標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)度匯報(bào)及進(jìn)度協(xié)調(diào)會2024年1月于海南省瓊海市召開了《貴金屬電子漿料測試方法》國家標(biāo)準(zhǔn)修訂任務(wù)落實(shí)會,根據(jù)與會專家級及企業(yè)代表認(rèn)真研究和討論,確定了標(biāo)準(zhǔn)的修訂主研參與單位為:云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司(原貴研鉑業(yè)股份有限公司)、云南貴金屬實(shí)驗(yàn)室有限公司
、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司
、西北有色金屬研究院、有研億金新材料有限公司、金川集團(tuán)股份有限公司、南京市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院。4、征求意見階段4.1標(biāo)準(zhǔn)征求意見會議4.2標(biāo)準(zhǔn)發(fā)函征求意見2024年5月~7月以會議的形式召開工作會議以及通過網(wǎng)絡(luò)、微信和電子郵件等方式在全國開展征求意見意見工作,對10家相關(guān)同行業(yè)、生產(chǎn)企業(yè)、下游用戶以及第三方檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行了征求意見,發(fā)送《征求意見稿》的單位數(shù)10個(gè),收到《征求意見稿》后,回函的單位數(shù)13個(gè),回函并有建議或意見的單位數(shù)2個(gè)。編制組單位根據(jù)回函意見,對標(biāo)準(zhǔn)稿進(jìn)行了修改和完善,并于2024年8月形成了預(yù)審稿。征求意見稿意見匯總處理表序號標(biāo)準(zhǔn)章條編號意見內(nèi)容提出單位處理意見備注建議建議給出成分純度,圖形邊長給出區(qū)間中國空間技術(shù)研究院采納.1建議溫度和時(shí)間給出區(qū)間中國空間技術(shù)研究院采納建議給出印刷圖形中國空間技術(shù)研究院采納44.5.1錐板粘度計(jì)也屬于旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)法,此段話描述粘度方法區(qū)分可能有誤。中國空間技術(shù)研究院采納54.10報(bào)告內(nèi)容增加若加稀釋劑的話,還請給出稀釋劑名稱和用量中國空間技術(shù)研究院采納64.8建議增加揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量測定嘉興淳祥電子科技有限公司采納7回函無意見蘇州科德電子有限公司8回函無意見中國振華集團(tuán)云科電子有限公司9回函無意見海寧云荒新材料有限公司10回函無意見思特迪新材料科技(嘉興)有限公司11回函無意見蘇州昌利電子科技有限公司12回函無意見重慶嘉峰電子有限公司13回函無意見蘇州睿感醫(yī)療科技有限公司14回函無意見蘇州斯普蘭蒂科技股份有限公司15回函無意見京航玻新材料技術(shù)有限公司16回函無意見北京七一八友益電子有限責(zé)任公司17回函無意見昆山勝方電子有限公司5、審查階段5.1標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)專家審查會議5.2委員審查會議6、報(bào)批階段二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司接到制定任務(wù)后,認(rèn)真分析和研究國內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的基本內(nèi)容和特點(diǎn),以GB/T17473.1-2008-GB/T17473.7-2008為基礎(chǔ),參考國內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),既考慮標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性,也考慮標(biāo)準(zhǔn)的適用性和可操作性,力求使該標(biāo)準(zhǔn)與國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)接軌。該標(biāo)準(zhǔn)的制定既能體現(xiàn)生產(chǎn)方的技術(shù)水平,又能滿足使用方的技術(shù)要求。修訂過程嚴(yán)格安裝標(biāo)準(zhǔn)制定和修訂的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)路線開展工作。該標(biāo)準(zhǔn)的修訂中主要遵循了統(tǒng)一性、協(xié)調(diào)性、普適性和實(shí)用性原則。具體如下:a)本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫》、GB/T20000.1—2014《標(biāo)準(zhǔn)化工作指南第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化和相關(guān)活動(dòng)的通用術(shù)語》、GB/T20001.4—2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則第4部分:試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》GB/T1.1—2020給出的規(guī)則進(jìn)行修訂和起草。b)標(biāo)準(zhǔn)修訂應(yīng)考慮電接觸材料實(shí)際使用情況,實(shí)際應(yīng)用的情況。c)標(biāo)準(zhǔn)修訂應(yīng)充分考慮國內(nèi)外現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)法規(guī)的統(tǒng)一和協(xié)調(diào)。d)標(biāo)準(zhǔn)修訂應(yīng)充分考慮關(guān)于接觸電阻測量技術(shù)和方法的發(fā)展和進(jìn)步。三、標(biāo)注主要內(nèi)容的確定依據(jù)及主要試驗(yàn)和驗(yàn)證情況分析修訂本標(biāo)準(zhǔn)的原則是以國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17472-2022《微電子技術(shù)貴金屬漿料規(guī)范》為基礎(chǔ),力求使貴金屬電子漿料的測試方法與國際先進(jìn)漿料測試方法接軌,既考慮到本測試標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性,又注重其適應(yīng)性和可操作性。本標(biāo)準(zhǔn)修訂主要是代替GB/T17473.1-2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法固體含量測定》、GB/T17473.2-2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法細(xì)度測定》、GB/T17473.3-2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法方阻測定》、GB/T17473.4-2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法附著力測定》GB/T17473.5-2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法粘度測定》GB/T17473.6《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定》GB/T17473.7-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法可焊性、耐焊性測定》,新增《揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量測定》,整合修訂為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn),標(biāo)準(zhǔn)名稱變更為《貴金屬電子漿料測試方法》。方法1固體含量測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)原標(biāo)準(zhǔn)4中增加“紫外固化機(jī):波長范圍100nm-400nm”和“電子束輻射裝置:電子的能量30keV-300keV”;編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》中定義3.2,固化型漿料的固化方式分為加熱固化、紫外固化和電子輻射固化,需新增相關(guān)的固化型漿料測試設(shè)備紫外光固化機(jī)和電子束輻射裝置。(2)原標(biāo)準(zhǔn)4中增加“氧化鋁陶瓷片:長×寬(30~50mm×30~50mm),純度>96%”;編制依據(jù):原標(biāo)準(zhǔn)中使用聚酯PET薄膜測試固化型漿料的固含量。首先,聚酯PET薄膜質(zhì)量輕,在稱量轉(zhuǎn)移過程中或烘箱中易被氣流吹翻;其次,PET加熱后易變形,不便宜放置稱量。因此需增加有重量且烘烤前后平整的測試基材。(3)原標(biāo)準(zhǔn)6.1.2中“分別置于PET薄膜片上”修改為“分別均勻攤平于氧化鋁陶瓷片中央”;編制依據(jù):同(2)中編制依據(jù)。(4)原標(biāo)準(zhǔn)6.2.1中“850℃”修改為“750℃±5℃”。編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》中定義3.3。(5)原標(biāo)準(zhǔn)6.2.2中“固化型漿料:將載有試料的聚酯PET薄膜置于鼓風(fēng)式恒溫烘箱中,加熱到漿料固化溫度,保溫60min,取出薄膜,。”修改為“將載有固化型漿料的試樣按其規(guī)定的工藝進(jìn)行靜止、烘干或固化,當(dāng)在30min內(nèi)質(zhì)量變化小于±0.0001g時(shí),將裝樣的氧化鋁陶瓷片從固化設(shè)備中取出”。編制依據(jù):上文中固化型漿料的測試基材由聚酯PET薄膜變更為氧化鋁陶瓷片;固化型漿料的定義新增紫外固化和電子輻射固化,原標(biāo)準(zhǔn)中“加熱到漿料固化溫度”變更為“按其規(guī)定的工藝進(jìn)行靜止、烘干或固化”。方法2細(xì)度測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)將原標(biāo)3中“條紋出現(xiàn)位置,目測決定顆粒的大小”修改為“條紋出現(xiàn)的刻度,判定漿料中顆粒物的分散程度。”;編制依據(jù):方法原理表述錯(cuò)誤,參照GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》中定義3.4。(2)將原標(biāo)準(zhǔn)中“4.1刮板細(xì)度計(jì):測量范圍為0-25μm,精度為1μm,檢定周期為半年”改為“刮板細(xì)度計(jì)由刮板和刮刀組成,應(yīng)符合JB/T9385-2017的要求,刮板規(guī)格為(0-25)μm,精度為1μm”;刪除原標(biāo)準(zhǔn)中“4.2調(diào)漿刀:鑲有木柄的厚度為1mm不銹鋼材質(zhì)刀?!保粍h除原標(biāo)準(zhǔn)中“4.3刮板。”;編制依據(jù):刮板細(xì)度計(jì)的組成及要求應(yīng)符合JB/T9385-2017刮板細(xì)度計(jì)規(guī)定,刪除原標(biāo)準(zhǔn)中不準(zhǔn)確的描述。(3)原標(biāo)準(zhǔn)中6.1中增加“將洗凈并干燥的刮板放在不會滑動(dòng)的水平平面上”;編制依據(jù):空氣中的灰塵會影響細(xì)度,且測試過程中刮刀作用力于刮板上,因此需要對刮板和測試條件進(jìn)行規(guī)定。(4)原標(biāo)準(zhǔn)中6.2“取試料均勻地放置于細(xì)度計(jì)溝槽最深處”改為“取0.2ml-0.3ml的樣品均勻地放入溝槽的深端”;編制依據(jù):整個(gè)刮板細(xì)度計(jì)溝槽能填充的漿料不超過0.2-0.3ml,取過多的漿料會造成價(jià)值高的貴金屬損耗和板面污染,且不方便清理。(5)將原標(biāo)準(zhǔn)中6.3“用雙手持刮板于細(xì)度計(jì)溝槽最深處,使刮板與細(xì)度計(jì)表面垂直,并以均勻的速度從溝槽最深處將試料刮過細(xì)度計(jì)表面,使試料充滿溝槽,平板上不留有余的試樣。整個(gè)操作過程在3s內(nèi)完成”改為“用雙手的大拇指和食指捏住刮刀,將刮刀的刀刃放在刮板凹槽最深一端,與刮板表面相接觸,并使刮刀的長邊平行于刮板的寬邊,且刮刀垂直壓于刮板的表面,在3s內(nèi)使刮刀以均勻的速度刮過刮板的整個(gè)表面到超過凹槽深度為零的位置?!?;編制依據(jù):原表準(zhǔn)對測試過程描述不清晰,因此引用JB/T9385-2017刮板細(xì)度計(jì)的測試過程。(6)將原標(biāo)準(zhǔn)中6.4“找出溝槽中開始出現(xiàn)兩條縱向條紋顯示的位置,并記下顆粒讀數(shù)”改為“找出溝槽中開始出現(xiàn)兩條縱向條紋位置的對應(yīng)刻度,即為漿料的細(xì)度值”;編制依據(jù):方法原理中對細(xì)度定義進(jìn)行的修改,因此對此內(nèi)容應(yīng)進(jìn)行替換(7)將原標(biāo)準(zhǔn)“6測定步驟”中增加“如果樣品的流動(dòng)性造成在刮涂后試樣不能充滿溝槽形成平面,可以加入最低量的合適的稀釋劑或溶劑并攪拌均勻,然后進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn),并在報(bào)告中注明稀釋情況?!?。編制依據(jù):流動(dòng)性低的漿料,例如填孔漿料如果直接測試細(xì)度,會出現(xiàn)漿料不能填充刮板溝槽,不能測試細(xì)度。因此,標(biāo)準(zhǔn)中增加關(guān)于流動(dòng)性低漿料的測試方法和要求。方法3方阻測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)將原標(biāo)準(zhǔn)3中“經(jīng)過燒結(jié)或固化后,膜層在……”改為“經(jīng)過燒結(jié)或固化后,膜層在一定溫度下,通過測量膜層長度、膜層寬度、膜層電阻及膜層厚度,計(jì)算方阻?!?;編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.5對方阻的計(jì)算內(nèi)容進(jìn)行了替換。(2)將原標(biāo)準(zhǔn)4中“純度不小于95%的氧化鋁或有機(jī)樹脂基片,表面粗糙度為0.5μm~1.5μm(在測量距離為10mm的條件下測量)”修改為“根據(jù)漿料的實(shí)際應(yīng)用情況選用相對應(yīng)的基片,基片表面粗糙度≤1.5μm(在測量距離為10mm的條件下測量)?!保痪幹埔罁?jù):燒結(jié)型漿料使用在不同基材上,其中的氧化物或玻璃會與基材反應(yīng),從而提高附著力。統(tǒng)一使用氧化鋁基片,會導(dǎo)致實(shí)際應(yīng)用中的方阻與在氧化鋁基片上測試方阻不一致。因此氧化鋁基片更換為根據(jù)漿料的實(shí)際應(yīng)用情況選用相對應(yīng)的基片。(3)將原標(biāo)準(zhǔn)5中增加膜層電阻測試設(shè)備“四探針電阻測試儀,范圍1×10-4Ω~1×105Ω,精度±0.5%”、膜層長度寬度測量設(shè)備“光學(xué)顯微鏡,放大倍數(shù)5X~100X,讀數(shù)精度1μm”、增加“鐘罩爐,最高使用溫度1600℃,控制溫度精度為±10℃”、“紫外光固化機(jī),uv波長為100nm~400nm”、“電子束輻射裝置,電子束輻射范圍30keV~300keV”;編制依據(jù):若測試樣片未印刷電阻測量端點(diǎn),需,使用四探針電阻測試儀進(jìn)行測試。方阻定義進(jìn)行了新的規(guī)定,需增加光學(xué)顯微鏡,測試印刷線路寬度。原標(biāo)準(zhǔn)中無高溫?zé)Y(jié)型漿料的測試設(shè)備,需新增1600℃的鐘罩爐。GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.2,新增固化型漿料的測試設(shè)備紫外光固化機(jī)和電子束輻射裝置。(4)將原標(biāo)準(zhǔn)5.3中“5.3.1光切顯微測厚儀,范圍0mm~5mm,精度為0.001mm”與“5.3.2千分尺,范圍0mm~5mm,精度為0.001mm”修改為“膜厚儀,讀數(shù)精度0.1μm”;編制依據(jù):光切顯微測厚儀和千分尺測量的測量精度不能滿足實(shí)際使用需求。例如,長度1m,寬度0.6mm,電阻100Ω的線路,膜厚4.5μm和5μm的方阻值分別為10.63,和11.81,原有設(shè)備不能精確到0.1μm,因此需要?jiǎng)h除原有設(shè)備,增加厚度測試精度高的膜厚儀。(5)原標(biāo)準(zhǔn)6.1“用孔徑為74μm絲網(wǎng)印刷機(jī)將漿料印刷在基片上,燒結(jié)型漿料用陶瓷基片,固化型漿料用有機(jī)樹脂基片,印制6片”修改為“用孔徑小于54μm絲網(wǎng)印刷機(jī)將漿料印刷在基片上,印制6片”;編制依據(jù):孔徑為74μm絲網(wǎng)約200目,下料量大,導(dǎo)致印刷的線路擴(kuò)邊率較大,導(dǎo)致線路寬度不均勻。無論燒結(jié)型漿料還是固化型漿料,實(shí)際使用中的印刷網(wǎng)孔都小于54μm(300目)。因此,需要網(wǎng)孔進(jìn)行新的規(guī)定。(6)刪除原標(biāo)準(zhǔn)6.2“印制圖形如圖1所示,試樣長度方數(shù)為100方,膜寬為1mm,1mm×1mm為1方,電阻漿料需印燒電極”刪除;編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.5對方阻的計(jì)算進(jìn)行了新的規(guī)定。因此,原有固定寬度和長度的蛇形圖需要?jiǎng)h除。(7)將原標(biāo)準(zhǔn)6.4“將陶瓷基片……”修改為“燒結(jié)型漿料:將試樣基片放入干燥箱中于60℃~200℃干燥,將干燥后的試樣基片放入膜層燒結(jié)設(shè)備中燒結(jié),燒結(jié)溫度根據(jù)漿料類型確定。基片取出后在測試環(huán)境下放置4h,在光學(xué)顯微鏡下測量印刷圖形寬度。”;編制依據(jù):貴金屬漿料中使用有機(jī)溶劑沸點(diǎn)基本均大于200℃,且部分生瓷干燥溫度較低,否則易脆導(dǎo)致?lián)p壞,原文中的干燥溫度70℃~80℃,不能滿足實(shí)際使用需求,干燥溫度范圍擴(kuò)寬為60℃~200℃。其次,測試設(shè)備更新,原文中的隧道爐需更換為膜層燒結(jié)設(shè)備。并根據(jù)方阻定義,增加印刷圖形寬度的的測量。(8)將原標(biāo)準(zhǔn)6.5“將有機(jī)樹脂……”修改為“固化型漿料:根據(jù)漿料固化條件進(jìn)行固化后,測試環(huán)境下放置4h,在光學(xué)顯微鏡下測量印刷圖形寬度?!?;編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.2,需要對固化溫度下固化,更換為根據(jù)漿料固化條件進(jìn)行固化后,并根據(jù)方阻定義,增加印刷圖形寬度的的測量。(9)將原標(biāo)準(zhǔn)6.7中“取6次讀數(shù)的算術(shù)平均值作為100方電阻的測量值”修改為“取6次讀數(shù)的算術(shù)平均值作為測試樣片的電阻測量值”;并增加“若測試樣片未印刷電阻測量端點(diǎn),可使用四探針電阻測試儀?!本幹埔罁?jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.5方阻的新規(guī)定,需要對原有測量值的整句描述進(jìn)行修改。并增加“若測試樣片未印刷電阻測量端點(diǎn),可使用四探針電阻測試儀?!?。(10)將原標(biāo)準(zhǔn)6.8中“在陶瓷基片燒結(jié)試樣膜層上選擇不同的位置,取不少于6點(diǎn)用光切顯微鏡測厚儀進(jìn)行膜層厚度測量”修改為“用膜厚儀在燒結(jié)試樣或固化試樣膜層上選擇不少于6點(diǎn)位置(選取的測量點(diǎn)應(yīng)盡量均勻的分布在膜層上),進(jìn)行膜層厚度測量?!?;編制依據(jù):同方法3(4)中編制依據(jù)。(11)將原標(biāo)準(zhǔn)6.9刪除編制依據(jù):同方法3(4)中編制依據(jù)。(12)將原標(biāo)準(zhǔn)7.1試驗(yàn)結(jié)果計(jì)算重新規(guī)定和將原標(biāo)準(zhǔn)7.3中“規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)膜厚為10μm”修改為“25.4μm”。編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.5方阻。方法4附著力測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)增加了固化型漿料原理為“強(qiáng)力膠帶貼于固化后漿料膜層表面,以一定角度和速度拉起膠帶,以膜層脫落情況判定附著力?!本幹埔罁?jù):原標(biāo)準(zhǔn)中無固化型漿料的測試方法,需新增,原理參照GB/T13217.7-2023油墨附著力檢驗(yàn)方法。(2)將4.1中“Al2O3純度不小于95%的陶瓷基片,表面粗糙度范圍為0.5μm~1.5μm(在測量距離為10mm的條件下測量)”更改為“根據(jù)漿料的實(shí)際應(yīng)用情況選用相對應(yīng)的基片,基片表面粗糙度≤1.5μm”;將6.1.1中“在陶瓷基片”改為“在基片”。編制依據(jù):增加固化型漿料的測試方法,原有氧化鋁基片不能滿足測試需求。因此,基片要求更換為根據(jù)漿料的實(shí)際應(yīng)用情況選用相對應(yīng)的基片,基片表面粗糙度≤1.5μm。(3)增加材料“強(qiáng)力膠帶(3M600&601、NichibanTape、P99Tape)”;將5.2“孔徑不大于74μm絲網(wǎng)”改為“孔徑不大于54μm絲網(wǎng)”;儀器與設(shè)備中增加“鐘罩爐,最高使用溫度1600℃,控溫精度±10℃?!薄白贤夤夤虣C(jī),波長范圍100nm-400nm?!薄半娮邮椛溲b置,電子的能量30keV-300keV。”“干燥設(shè)備,最高溫度300℃,控制精度±5℃?!薄鞍俑竦叮焊畹堕g距1mm”編制依據(jù):增加固化型漿料的測試設(shè)備及器材強(qiáng)力膠帶、紫外光固機(jī)、子束輻射裝置、干燥設(shè)備和百格刀。增加燒結(jié)型漿料的測試設(shè)備鐘罩爐??讖讲淮笥?4μm絲網(wǎng)”改為“孔徑不大于54μm絲網(wǎng)原因同方法3(5)中編制依據(jù)。(4)將6.1.2中“將印有圖形的陶瓷基片在150℃~200℃烘干,根據(jù)不同漿料的燒結(jié)溫度燒結(jié)成膜”更改為“將印有圖形的基片在60℃~200℃烘干后,根據(jù)不同漿料燒結(jié)溫度曲線,燒結(jié)成膜”;編制依據(jù):需要根據(jù)漿料使用基材測試方阻,例如基材生瓷帶,干燥溫度超過70℃,易脆而損壞,因此需要降低干燥溫度范圍。其次,多數(shù)燒結(jié)型漿料需要按設(shè)置的溫度曲線燒結(jié),分別為溶劑揮發(fā)、排膠、玻璃軟化、粉體軟化,若直接設(shè)置為最終燒結(jié)溫度,導(dǎo)致粉體和玻璃軟化,膜層表面致密,樹脂不能碳化和排除,影響最終膜層電阻。(5)將6.3.4刪除“在室溫下硬化16h”;編制依據(jù):浸焊后冷切至常溫,焊料已經(jīng)固化,無需在硬化16h。(6)增加“固化型貴金屬漿料膜層制備”,“將送檢漿料攪拌均勻,在基片中央150mm×25mm方格內(nèi)印刷200個(gè)1mm×1mm大小相等的圖形,按照漿料固化方式進(jìn)行固化,膜厚范圍5-12μm?;蛟诨醒胗∷?50mm×25mm圖形,按照漿料固化方式進(jìn)行固化,膜厚范圍5-12μm,,使用百格刀沿水平方向切割整個(gè)圖形,再沿垂直方向切割為1mm×1mm大小相等的圖形。所有切割都應(yīng)劃透至基材表面,并用軟毛刷將圖形清理干凈?!?;增加“固化型貴金屬漿料膜層測試”,“將成型的試料圖形處粘貼強(qiáng)力膠帶,壓實(shí),趕出所有氣泡?!?、“將印有圖形的基片按照漿料固化方式進(jìn)行固化,膜厚5-12μm?!?。“剪長180mm的膠帶、貼緊百格圖形并用手壓平,用橡皮檫來回摩擦壓緊趕出氣泡。”,“靜止60s,拉住未粘住邊,快速拉脫膠帶?!?,“每份試樣要做不少于10個(gè)試樣的試驗(yàn)?!?;編制依據(jù):此部分內(nèi)容為新增,是固化型漿料附著力的測試步驟,原理參照GB/T13217.7-2023油墨附著力檢驗(yàn)方法。(7)增加“固化型貴金屬漿料附著力判定”,“所有格子表面金屬層測試前后無顏色變化,并且無任何脫落,此情形視為附著力合格?!?,“如有格子表面金屬層測試前后有顏色變化或者其中有格子脫落,此情形視為附著力不合格?!?。編制依據(jù):此部分內(nèi)容為新增,結(jié)果判定依據(jù)為目前市場上廠家對固化型漿料附著力的要求,膜層無脫色和脫落。應(yīng)用驗(yàn)證廠家:蘇州科德電子有限公司、嘉興淳祥電子科技有限公司、蘇州斯普蘭蒂科技股份有限公司、蘇州昌利電子科技有限公司、重慶嘉峰電子有限公司和昆山勝方電子有限公司。方法5粘度測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)將3“旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)的測試軸以一定的轉(zhuǎn)速在恒溫的漿料中旋轉(zhuǎn),通過測量粘滯阻力引起的扭矩,對漿料粘度進(jìn)行測定。樣品較少時(shí)采用錐/板粘度計(jì),測量恒溫狀態(tài)漿料粘滯阻力引起的扭矩引起的扭矩及剪切應(yīng)力,對漿料粘度進(jìn)行測定。”修改為:“轉(zhuǎn)筒式粘度計(jì):轉(zhuǎn)子以一定的轉(zhuǎn)速在恒溫的漿料中旋轉(zhuǎn),通過測量粘滯阻力引起的扭矩并結(jié)合選擇的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)速得出粘度值。錐-板粘度計(jì):轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)測量轉(zhuǎn)子和平板之間樣品的粘滯阻力引起的扭矩并結(jié)合選擇的轉(zhuǎn)子直徑、轉(zhuǎn)速和角度等相關(guān)參數(shù)得出粘度值。流變儀:對轉(zhuǎn)子施加應(yīng)變(應(yīng)力)進(jìn)行試驗(yàn),根據(jù)剪切速率和剪切應(yīng)力測得樣品在相應(yīng)溫度條件下的粘度?!本幹埔罁?jù):原標(biāo)準(zhǔn)中錐/板粘度計(jì)屬于旋轉(zhuǎn)粘度計(jì),二者區(qū)別混淆。同時(shí)粘度時(shí)剪切應(yīng)力和剪切速率的比值,因此需要增加影響剪切應(yīng)力的轉(zhuǎn)筒型號、錐板直徑和角度等。原標(biāo)準(zhǔn)中粘度測試設(shè)備包含轉(zhuǎn)筒式粘度計(jì)和錐-板粘度計(jì),只能測試中低粘度的漿料。例剪切速率10-s條件下,測試粘度<1200P。對于高粘度漿料,例如通孔柱漿料,剪切速率10-s條件下,粘度>20000P,無法用原標(biāo)準(zhǔn)中設(shè)備測試。因此,為了適應(yīng)高粘度漿料的測試需求,引入流變儀,在測試高粘度的同時(shí),可以增加觸變指數(shù)的測定。觸變指數(shù)反映流體在剪切力的作用下結(jié)構(gòu)被破壞后恢復(fù)原有結(jié)構(gòu)的能力的好壞。觸變指數(shù)用來表征漿料的印刷特性。(2)原標(biāo)準(zhǔn)中6.2.1“將0.5mL~2mL的試料放入盛樣器中”調(diào)整為6.2.2“將0.5mL~2mL的試料放入盛樣器中”,6.2.2將“將盛樣器安裝在粘度儀上;調(diào)整好錐與盛樣器之間的間隙”調(diào)整為6.2.1.“將盛樣器安裝在粘度儀上;調(diào)整好錐與盛樣器之間的間隙”。編制依據(jù):原標(biāo)準(zhǔn)6.2.1和6.2.2測試步驟順序錯(cuò)誤,需要先調(diào)整測試間隙后,才能加入樣品測試。因此將原標(biāo)準(zhǔn)6.2.1和原標(biāo)準(zhǔn)6.2.2的內(nèi)容進(jìn)行調(diào)換。(3)增加了流變儀的測定步驟,“用流變儀測定:根據(jù)漿料粘度選擇不同直徑平板,將間隙精確歸零,歸零完成后執(zhí)行映射,升起夾具;將2-4g樣品放置于測試平臺正中央,調(diào)整測試間隙值,使用塑料刮片清理平板周圍多余漿料;對流動(dòng)步驟和其他相關(guān)參數(shù)進(jìn)行設(shè)置;測試并導(dǎo)出測定結(jié)果及轉(zhuǎn)速和粘度的函數(shù)關(guān)系圖;增加了觸變指數(shù)的測定,“若需測定觸變指數(shù),轉(zhuǎn)速應(yīng)由供應(yīng)商和客戶商定選擇相差數(shù)量級的轉(zhuǎn)速。例:觸變指數(shù)(2r/min和20r/min)=60Pa·s/15Pa·s=4”。編制依據(jù):同方法5(1)中編制依據(jù),因此需要相應(yīng)增加流變儀的測試步驟和觸變指數(shù)計(jì)算方法。方法6分辨率測定的主要修訂內(nèi)容如下:(1)原標(biāo)準(zhǔn)5.5“讀數(shù)顯微鏡,放大倍速25X~100X,讀數(shù)精度0.01mm以上”修改為“光學(xué)顯微鏡,放大倍速5X~100X,讀數(shù)精度1μm”;原標(biāo)準(zhǔn)5.6“光切測厚儀或電子千分尺,讀數(shù)精度1μm以上”修改為“測厚儀,讀數(shù)精度0.1μm”。編制依據(jù):原有讀數(shù)顯微鏡的讀數(shù)精度為0.01mm即10μm,對于100μm的線路,測試誤差為±10μm,差值范圍達(dá)到20μm,超過分辨率規(guī)格規(guī)定的差值。原有光切測厚儀或電子千分尺讀數(shù)精度為1μm,對于印刷厚度5-12μm的膜層,此精度會導(dǎo)致8.3%~20%的誤差。因此,需要引入讀數(shù)精度更高的測試設(shè)備。(2)增加“鐘罩爐,最高使用溫度1600℃,控溫精度±10℃”;“紫外光固機(jī),波長范圍100nm-400nm”;“電子束輻射裝置,電子的能量30keV-300keV”。編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.1燒結(jié)型漿料和定義3.2固化型漿料,需要增加漿料的燒結(jié)設(shè)備和固化設(shè)備。(3)原標(biāo)準(zhǔn)6.2中“置于隧道燒結(jié)爐內(nèi)”修改為“置于隧道燒結(jié)爐或鐘罩爐內(nèi)”;編制依據(jù):GB/T17472-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》定義3.1,燒結(jié)型漿料燒結(jié)溫度范圍發(fā)生變化,需要新增相應(yīng)的測試設(shè)備即鐘罩爐。(4)原標(biāo)準(zhǔn)6.4中“調(diào)整目鏡及物鏡至圖像清晰位置,轉(zhuǎn)動(dòng)手柄,從0.1mm線條至0.5mm線條之間”修改為“調(diào)整物鏡焦距,移動(dòng)載物臺,從25μm線條至300μm線條之間”;原標(biāo)準(zhǔn)7.3中“分辨率規(guī)格0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm”修改為“25μm、50μm、100μm、200μm、300μm”。編制依據(jù):隨著貴金屬漿料印刷精密度的提高,印刷線路越來越窄,例如太陽能電池正銀漿的印刷線路已經(jīng)達(dá)到25μm,因此需提高分辨率規(guī)格,增加25μm和50μm規(guī)格,刪除0.4mm和0.5mm規(guī)格,更換原有標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)內(nèi)容。(5)原標(biāo)準(zhǔn)6.5中“轉(zhuǎn)動(dòng)顯微鏡刻度手柄,先后將顯微鏡內(nèi)的十字坐標(biāo)對準(zhǔn)膜線兩邊側(cè),測量膜線寬度”修改為“選擇兩個(gè)平行線條,調(diào)整兩個(gè)平行線條間距至線條剛好完全覆蓋測試線路邊緣,平行線間距即為測試線路寬度”;編制依據(jù):原標(biāo)準(zhǔn)中通過轉(zhuǎn)動(dòng)刻度手柄測量膜線寬度,不方便操作,且設(shè)備精密度低,更換為精密度更高的光學(xué)顯微鏡,通過顯示屏直接測量線路寬度。(6)原標(biāo)準(zhǔn)6.7中“測量精度為0.01mm”修改為“測量精度為1μm”;編制依據(jù):同(1)編制依據(jù)。方法7可焊性、耐焊型測定不做修訂合并GB/T17473.7-2022《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法可焊性、耐焊性測定》。方法8可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量測定為新增編制依據(jù):貴金屬電子漿料中含有有機(jī)溶劑,其作用為溶解樹脂,潤濕分散粉體,浸潤網(wǎng)版和基材等等,最終在燒結(jié)或固化中揮發(fā),在成品中不含有任何有機(jī)溶劑。漿料中的可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)主要為沸點(diǎn)大于200℃的酯類、酮類和醇醚類溶劑,會對皮膚、眼睛、呼吸道、神經(jīng)系統(tǒng)等造成損傷,基于工藝中揮發(fā)溶劑的回收或碳足跡中的溶劑揮發(fā)量,需要對漿料中可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量測定并進(jìn)行含量限制認(rèn)定。原理參照GB/T38608-2020油墨中可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量的測定方法四、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專利的情況本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容不涉及專利。五、預(yù)期達(dá)到的社會效益等情況(一)項(xiàng)目的必要性簡述微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法修訂發(fā)布至今已十余年,隨著電子元器件向高集成、小型化、輕薄化和高功能等方向的高速發(fā)展,新類型的貴金屬漿料、基材和器件不斷涌現(xiàn)、測試設(shè)備種類和性能的更新發(fā)展,原標(biāo)準(zhǔn)已不能滿足現(xiàn)有生產(chǎn)和測試要求。根據(jù)已修訂的微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范和實(shí)際應(yīng)用要求,在現(xiàn)有貴金屬漿料測試方法的基礎(chǔ)上對相關(guān)內(nèi)容進(jìn)行修訂和完善,以便為微電子行業(yè)產(chǎn)品的性能評價(jià)提供更加科學(xué)有效的指導(dǎo)。為了標(biāo)準(zhǔn)更加系統(tǒng)化、科學(xué)化和便于查詢,對7個(gè)國標(biāo)《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法固體含量測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法細(xì)度測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法方阻測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法附著力測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法粘度測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定》、《微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法可焊性、耐焊性測定》和新增的測試方法《可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)》進(jìn)行整合修訂為1個(gè)國標(biāo)《貴金屬電子漿料測試方法》。(二)項(xiàng)目的可行性簡述針對國內(nèi)外市場貴金屬漿料物性范圍變化、應(yīng)用基材種類的增加,引入新類型的檢測設(shè)備和相關(guān)測試方法,更加全面覆蓋貴金屬漿料的性能測試。例如,共燒型填孔漿料具有高粘度、高觸變性,現(xiàn)有貴金屬漿料粘度測試方法
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