一種多工藝腔體設(shè)備結(jié)構(gòu)

本實用新型公開了一種多工藝腔體設(shè)備結(jié)構(gòu)，包括輸液泵上設(shè)置有進液端口和出液端口，且輸液泵的進液端口通過連通管與電鍍液供液管路連通；分流件中流通管的頂部豎直向上貫通固定有進液管，且進液管的頂端連通固定在輸液泵的出液端加壓件，加壓件中儲液筒的外圓周面上開設(shè)有進液口，且儲液筒的底端豎直向下連通有加注管。本實用新型克服現(xiàn)有采用單一泵對單一工藝腔體進行電鍍液供給流量，但是需要供給電鍍液的工藝腔體數(shù)量增多后，多個泵對多個工藝腔體進行供給電鍍液的方式，占用較多的空間，泵的放置空間就變得緊張，多個泵體集中設(shè)置不便于后期進行安裝和維護的問題。1輸液泵(1),所述輸液泵(1)上設(shè)置有進液端口(11)和出液端口(12),且輸液泵(1)的進液端口(11)通過連通管(4)與電鍍液供液管路連通；分流件(2),所述分流件(2)包括流通管(21)、進液管(22)和分液管(23),其中流通管(21)的頂部豎直向上貫通固定有進液管(22),且進液管(22)的頂端連通固定在所述輸液泵(1)的出液端口(12)上，所述流通管(21)的外圓周面底部橫向豎直向下連通有多根分液管(23);加壓件(3),所述加壓件(3)包括儲液筒(31)和加注管(38),所述儲液筒(31)的外圓周面上開設(shè)有用于連通分液管(23)的進液口(32),且儲液筒(31)的底端豎直向下連通有加注管(38),且加注管(38)與鍍膜腔體連通。征在于，所述儲液筒(31)的內(nèi)部水平設(shè)置有推板(33),且儲液筒(31)的頂端豎直固定有輸出端貫穿儲液筒(31)的內(nèi)固定在推板(33)上的液壓伸縮桿(34)。征在于，所述儲液筒(31)的底端豎直向下開設(shè)有出液口(35)。征在于，所述儲液筒(31)的底端出液口(35)豎直向下貫通固定有導(dǎo)管(36),且導(dǎo)管(36)的底端連通固定有加注管(38)。2征在于，所述導(dǎo)管(36)上安裝有第二閥門(37)。征在于，所述多根分液管(23)上均安裝有第一閥門(24)。1技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及晶圓鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多工藝晶圓是指制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，在半導(dǎo)體采用電鍍在晶圓上形成銅柱、焊點等特征，在電鍍液的使用過程中，需要根據(jù)工藝時間改變電鍍液的供給流量，而目前普遍采用一個泵對應(yīng)一個工藝腔體的方式。但是上述采用單一泵對單一工藝腔體進行電鍍液供給流量，但是需要供給電鍍液的工藝腔體數(shù)量增多后，多個泵對多個工藝腔體進行供給電鍍液的方式，占用較多的空間，泵的放置空間就變得緊張，多個泵體集中設(shè)置不便于后期進行安裝和本實用新型的目的在于提供一種多工藝腔體設(shè)備結(jié)構(gòu)，旨在改善現(xiàn)有上述采用單一泵對單一工藝腔體進行電鍍液供給流量，但是需要供給電鍍液的工藝腔體數(shù)量增多后，多個泵對多個工藝腔體進行供給電鍍液的方式，占用較多的空間，泵的放置空間就變得緊張，多個泵體集中設(shè)置不便于后期進行安裝和2本實用新型是這樣實現(xiàn)的：一種多工藝腔體設(shè)備結(jié)構(gòu)，包輸液泵，輸液泵上設(shè)置有進液端口和出液端口，且輸液泵的進液端口通過連通管與電鍍液供液管路連分流件，分流件包括流通管、進液管和分液管，其中流通管的頂部豎直向上貫通固定有進液管，且進液管的頂端連通固定在輸液泵的出液端口上，流通管的外圓周面底部橫向豎直向加壓件，加壓件包括儲液筒和加注管，儲液筒的外圓周面上開設(shè)有用于連通分液管的進液口，且儲液筒的底端豎直向下連通有加注管，且加注管與鍍膜腔體連通。進一步的，儲液筒的內(nèi)部水平設(shè)置有推板，且儲液筒的頂端豎直固定有輸出端貫穿儲液筒的內(nèi)固定在推板上的液壓伸縮進一步的，儲液筒的底端豎直向下開設(shè)有出液口。進一步的，導(dǎo)管上安裝有第二閥門。進一步的，多根分液管上均安裝有第一閥門。(1)、使用中通過單一的輸液泵將電鍍液輸送到分流件中，分流件將電鍍液分流輸送到加壓件中，然后在通過加壓件輸送到3鍍膜腔體中，從而單一的輸液泵對多個需要鍍膜的圓晶工藝腔(2)、使用中根據(jù)多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體的加注電鍍液的流速和時間需求關(guān)閉導(dǎo)管上的第二閥門，然后打開分液管上的第一閥門，導(dǎo)流電鍍液導(dǎo)送到儲液筒中，然后關(guān)閉分液管上的第一閥門，打開導(dǎo)管上的第二閥門，啟動液壓伸縮桿帶動推板豎直向下運動，從而壓送電鍍液從出液口向下流出的速率，符合多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體進行供給電鍍液流速的工藝為了更清楚地說明本實用新型實施方式的技術(shù)方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當理解，以下附圖僅示出了本實用新型的某些實施例，因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)圖1是本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型實施例中分流件的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型實施例中加壓件的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實用新型實施例中輸液泵的分解結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1、輸液泵；11、進液端口；12、出液端口；2、分4請參閱圖1、圖2、圖3、圖4和圖5所示，一種多工藝腔輸液泵1,輸液泵1上設(shè)置有進液端口11和出液端口12,且輸液泵1的進液端口11通過連通管4與電鍍液供液管路連通；分流件2,分流件2包括流通管21、進液管22和分液管23,5其中流通管21的頂部豎直向上貫通固定有進液管22,且進液管22的頂端連通固定在輸液泵1的出液端口12上，流通管21的外圓周面底部橫向豎直向下連通有多根分液管23;加壓件3,加壓件3包括儲液筒31和加注管38,儲液筒31的外圓周面上開設(shè)有用于連通分液管23的進液口32,且儲液筒31的底端豎直向下連通有加注管38,且加注管38與鍍膜腔體連通，使用中通過單一的輸液泵1將電鍍液輸送到分流件2中，分流件2將電鍍液分流輸送到加壓件3中，然后在通過加壓件3輸送到鍍膜腔體中，從而單一的輸液泵1對多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體進行供給電鍍液的，占用空間較少，輸液泵1的放請參閱圖3和圖4,儲液筒31的內(nèi)部水平設(shè)置有推板33,且儲液筒31的頂端豎直固定有輸出端貫穿儲液筒31的內(nèi)固定在推板33上的液壓伸縮桿34,儲液筒31的底端豎直向下開設(shè)有出液口35,儲液筒31的底端出液口35豎直向下貫通固定有導(dǎo)管36,且導(dǎo)管36的底端連通固定有加注管38,導(dǎo)管36上安裝有第二閥門37,多根分液管23上均安裝有第一閥門24,使用中根據(jù)多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體的加注電鍍液的流速和時間需求關(guān)閉導(dǎo)管36上的第二閥門37,然后打開分液管23上的第一閥門24,導(dǎo)流電鍍液導(dǎo)送到儲液筒31中，然后關(guān)閉分液管23上的第一閥門24,打開導(dǎo)管36上的第二閥門37,啟動液壓伸縮桿34帶動推板33豎直向下運動，從而壓送電鍍液從出6液口35向下流出的速率，符合多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體進行供給電鍍液流速的工藝需求。工作原理：使用中通過單一的輸液泵1將電鍍液輸送到分流件2中，根據(jù)多個需要鍍膜的圓晶工藝腔體的加注電鍍液的流速和時間需求關(guān)閉導(dǎo)管36上的第二閥門37,然后打開分液管23上的第一閥門24,導(dǎo)流電鍍液導(dǎo)送到儲液筒31中，然后關(guān)閉分液管23上的第一閥門24,打開導(dǎo)管36上的第二閥門37,啟動液壓伸縮桿34帶動推板