TQGCML 4572-2024 高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范

ICS31.020CCSH80團(tuán) 體 標(biāo) 準(zhǔn)T/QGCML4572—2024高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范Productionandmanufacturingspecificationsforhigh-precisionandultracleanwaferclaws2024-08-12發(fā)布 2024-08-27實(shí)施全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)??發(fā)布T/QGCML4572T/QGCML4572—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次前言 II范圍 1規(guī)范性引用文件 1術(shù)語和定義 1場地和人員 2設(shè)備 2材料 2加工流程 3成品質(zhì)量 3環(huán)境保護(hù) 3安全 4前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由常熟市兆恒眾力精密機(jī)械有限公司提出。本文件由全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)歸口。本文件主要起草人：羅中平、雷超、趙鵬志。T/QGCML4572T/QGCML4572—2024PAGEPAGE1高精度超潔凈晶圓卡爪生產(chǎn)制造規(guī)范范圍本文件適用于高精度超潔凈晶圓卡爪（以下簡稱“卡爪”）的生產(chǎn)制造。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB/T3620.1—2016 鈦及鈦合金牌號(hào)和化學(xué)成分GB12348 工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T12801 生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則GB13456 鋼鐵工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB15577 粉塵防爆安全規(guī)程GB/T15605 粉塵爆炸泄壓指南GB16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB18597危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。晶圓 wafer硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的圓形硅晶片。晶圓卡爪 wafergripper在晶圓的加工過程中，對其進(jìn)行夾持的固定爪。倒角 chamfer把工件的棱角切削成一定斜面的機(jī)械加工方式。披鋒 burr機(jī)械加工完成后在制品的棱角、邊緣等部位出現(xiàn)的毛刺、尖頭、銳角等缺陷。節(jié)圓 pitchcircle在定傳動(dòng)比的齒輪傳動(dòng)中，節(jié)點(diǎn)在齒輪運(yùn)動(dòng)平面的軌跡為一個(gè)圓，這個(gè)圓即為節(jié)圓。場地和人員場地應(yīng)遠(yuǎn)離居民生產(chǎn)、生活區(qū)，避免環(huán)境污染、噪音污染、粉塵污染。宜靠近已有的交通運(yùn)輸線路，電力配套設(shè)施應(yīng)完善。應(yīng)適應(yīng)加工規(guī)模需要。布局應(yīng)合理、分隔清晰。應(yīng)具備通風(fēng)換氣設(shè)施。人員應(yīng)掌握環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康安全相關(guān)的基礎(chǔ)知識(shí)，能應(yīng)對生產(chǎn)制造過程中可能出現(xiàn)的問題。應(yīng)了解廠房的管理制度，并自覺遵守人員著裝和污染防控的各項(xiàng)規(guī)定。應(yīng)熟練掌握生產(chǎn)設(shè)備的操作方法。操作人員應(yīng)穿戴安全帽、防護(hù)眼鏡、耳塞、防護(hù)口罩、防護(hù)手套、防護(hù)服、防護(hù)鞋進(jìn)行作業(yè)。操作人員應(yīng)接受安全生產(chǎn)教育和培訓(xùn)。新職工上崗前、調(diào)換工種人員應(yīng)進(jìn)行專門的安全教育培訓(xùn)。設(shè)備主要使用以下加工設(shè)備：激光機(jī)；加熱箱；銑床；立式加工中心；精銑刀；輪轉(zhuǎn)機(jī)等。材料材料選擇選用GB/T3620.1—2016中規(guī)定的TC4鈦合金板作為原料。材料接收材料入廠后，倉庫管理人員應(yīng)確認(rèn)其生產(chǎn)廠家、產(chǎn)品名稱、規(guī)格及數(shù)量與采購計(jì)劃相符，并有相應(yīng)的質(zhì)量證明文件（如合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告等）。材料儲(chǔ)存材料儲(chǔ)存環(huán)境應(yīng)清潔、通風(fēng)、干燥、防雨、防潮，沒有腐蝕性氣體或化學(xué)物質(zhì)。加工流程調(diào)整激光機(jī)的透鏡焦距以及激光功率，對準(zhǔn)鈦板將其切割成方料。0.18mmmm4501h，再升溫至6202.5h，待溫度下降后空冷至常溫。1mm。在立式加工中心上進(jìn)行以下操作：將外形精銑至圖紙尺寸，將三條邊銑削至圖紙尺寸，對各孔槽進(jìn)行銑削；按車床加工完成的內(nèi)孔分中；將臺(tái)階銑削至圖紙尺寸，保證平面度公差；將厚度銑削至圖紙尺寸；倒角去除零件上的毛刺；將三長邊厚度、總厚度精銑至圖紙尺寸；對中間進(jìn)行精加工，控制孔槽深度，車床留有1mm精車各內(nèi)孔至圖紙尺寸，保證各圓同心度要求。去除表面披鋒，采用超聲波清洗吹凈表面，然后進(jìn)行裝配。33300mm以精孔定位精加工底座的圓柱，三角形凸臺(tái)面應(yīng)保證三條邊底面到凸臺(tái)面符合尺寸公差。在立式加工中心上精銑節(jié)圓使尺寸公差符合圖紙規(guī)定。再次去除表面披鋒后并采用超聲波清洗吹凈表面。采用符合精度要求的量具測量尺寸，合格后進(jìn)行包裝。用緩沖泡棉包裹底座，放入圓形珍珠棉內(nèi)，檢查是否會(huì)晃動(dòng)，確認(rèn)無異常后貼標(biāo)簽出貨。出庫前應(yīng)經(jīng)倉庫登記和審核，有序出庫。成品質(zhì)量卡爪表面應(yīng)平整、光滑，無裂紋、金屬飛邊、毛刺等加工缺陷。卡爪處夾持晶圓時(shí)不應(yīng)卡緊或松動(dòng)。環(huán)境保護(hù)廢氣、廢水生產(chǎn)制造應(yīng)配套適宜的污染物治理設(shè)施。GB16297GB13456固體廢棄物貯存生產(chǎn)制造產(chǎn)生的固體廢棄物貯存應(yīng)符合GB18597、GB18599的規(guī)定。噪聲GB12348應(yīng)建立、健全安全生產(chǎn)責(zé)任制，并做好安全生產(chǎn)計(jì)劃工作。GB/T12801電氣設(shè)備、線