TFJAS 003-2024 濕電子化學(xué)品 再生鋁蝕刻液

ICS13.030.10CCSZ00T/FJAS團(tuán) 體 標(biāo) 準(zhǔn)T/FJAS003—2024濕電子化學(xué)品再生鋁蝕刻液wetchemicalsregenerationaluminumEtch2024-06-30發(fā)布 2024-06-30實(shí)施福建省標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)??發(fā)布T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次范圍 1規(guī)范性引用文件 1術(shù)語(yǔ)和定義 1技術(shù)要求 2試驗(yàn)方法 2檢驗(yàn)規(guī)則 5標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存 5前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)歸口。T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGEPAGE1濕電子化學(xué)品再生鋁蝕刻液范圍本文件規(guī)定了再生鋁蝕刻液的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含鋁蝕刻液回收液為原料，經(jīng)過(guò)提純的鋁蝕刻液再生產(chǎn)品(以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品），主要用于顯示面板制造行業(yè)等。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB190 危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T601化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液配制GB/T602化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備GB/T603化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所使用制劑及制品的制備GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T6682分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T9728化學(xué)試劑硫酸鹽測(cè)定通用方法GB/T9729化學(xué)試劑氯化物測(cè)定通用方法GB15603 危險(xiǎn)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)存通則SJ/T11510 液晶顯示器用鋁腐蝕液SJ/T11637 電子化學(xué)品 電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。濕電子化學(xué)品wetchemicals濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié)）中使用的各種液體化工材料。鋁蝕刻液aluminumetch是指一種利用酸類腐蝕劑刻蝕鋁及鋁合金金屬表面的液體材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、水等。回收液liquidrecycling主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金屬雜質(zhì)等。技術(shù)要求產(chǎn)品技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定：表1 技術(shù)要求項(xiàng)目指標(biāo)外觀無(wú)色透明粘稠狀液體磷酸w%60.0±20.0醋酸w%12.0±8.0硝酸w%7.0±5.0顆粒(≥0.5um)pcs/mL≤100顆粒(≥1um)pcs/mL≤10氯化物(Cl)mg/kg≤5硫酸鹽(SO4)mg/kg≤5鋰（Li）μg/kg200鈉（Na）μg/kg200鈣（Ca）μg/kg500鉻（Cr）μg/kg200錳（Mn）μg/kg200鐵（Fe）μg/kg500鈷（Co）μg/kg200鎳（Ni）μg/kg200銅（Cu）μg/kg200鍶（Sr）μg/kg200鋅（Zn）μg/kg200銀（Ag）μg/kg200鎘（Cd）μg/kg200鉛（Pb）μg/kg200注：由供需雙方商定，含量允許偏差值滿足合同規(guī)定。試驗(yàn)方法一般規(guī)定本試驗(yàn)方法中除另有規(guī)定外，標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液、雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液和所用制劑及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603GB/T6682純度測(cè)定T5自動(dòng)電位滴定儀；SC-111型鉑電極。藥品TBAH10（AAR；無(wú)水乙醇（AR）。試劑與樣品的配置0.1mol/L26.3mL（分析純mL2～31cm～2cm100mLmol/L。m10001（TAOH）(v1

v

（1）式中:M--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準(zhǔn)確數(shù)值；v1--四丁基氫氧，銨溶液的體積；v2--空白試驗(yàn)四丁基氫氧化銨溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。0.5mol/L110g100mL27mL1000mL105℃～1102（10g/L），用配制好的氫氧化鈉溶液滴定至溶液呈粉紅色，并30s，同時(shí)做空白實(shí)驗(yàn)。氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，數(shù)值以摩爾每升（mol/L）表示，按下式計(jì)算：m10001（NaOH）(v1

v

（2）式中：m--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準(zhǔn)確數(shù)值；v1--氫氧化鈉溶液的體積；v2--空白試驗(yàn)氫氧化鈉溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。被測(cè)樣品的制備取被測(cè)樣品10mL到滴定杯中，加入10mL蒸餾水，每次測(cè)定需要同時(shí)準(zhǔn)備兩個(gè)相同的被測(cè)樣品。滴定分析過(guò)程2 TBAH先測(cè)定HNNa0測(cè)定HN和HP0NaOH測(cè)定HP02+2 測(cè)定混酸中的硝酸10mL10mL0.1mol/LTBAOH3 3 TBAH+HNONO+TN++H3 3 測(cè)定混酸中的磷酸和醋酸0.5mo1/Na0H滴定混酸中磷酸和醋酸有兩個(gè)滴定終點(diǎn):2 4 4 3 3 4 3 2 4 HNO+HP0+20→NO-+HP0-+2H0HP0-+HAC+20HPO-+A-+2H2 4 4 3 3 4 3 2 4 結(jié)果計(jì)算硝酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式:（NaOH）磷酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式：

（TAOH1（HNO 310ml 3

（3）[CNaOH2)]C(TBAOH)1)M(HPO)34（HPO）34

3410mlP

（4）醋酸質(zhì)量百分含量計(jì)算式：（H）

{CNaOH3)

CNOH1]}（H）10mlP

（5）上述三個(gè)計(jì)算公式中:CVVVM--各物質(zhì)的摩爾質(zhì)量；10m1xP--10ml樣品的質(zhì)量。顆粒的測(cè)定按SJ/T11510中5.4規(guī)定的方法測(cè)定。氯化物按GB/T9729中規(guī)定的方法測(cè)定。按GB/T9728中規(guī)定的方法測(cè)定。金屬元素的測(cè)定按SJ/