(高清版)GB∕T 39157-2020 靶材技術成熟度等級劃分及定義

H00中華人民共和國國家標準靶材技術成熟度等級劃分及定義C國家市場監(jiān)督管理總局國家標準化管理委員會ⅠGB／T39157—2020本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。本標準起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術經(jīng)濟研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、貴研鉑業(yè)股份有限公司。本標準主要起草人：高巖、韓知為、熊曉東、騰海濤、趙永善、賀昕、邊逸軍、陳明、王傳軍、姚力軍、聞明、徐國進、管麗梅。1GB／T39157—2020靶材技術成熟度等級劃分及定義本標準規(guī)定了靶材技術成熟度的術語和定義、等級劃分和判定規(guī)則。本標準適用于靶材技術成熟度評價。2術語和定義下列術語和定義適用于本文件。2.1在濺射沉積技術中的陰極部分。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。2.2技術滿足預期靶材應用目標的程度。2.3用于衡量靶材技術滿足預期應用目標程度的尺度。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.2。2.4針對某一事物在規(guī)定的檢測條件下得出的相對數(shù)據(jù)。注：一般是指設計或生產(chǎn)時做出的性能測試報告。2.5在實驗室階段，根據(jù)靶材設計要求而制備的用于測試主要性能、結構和檢驗工藝性能的實物，具備了靶材的部分特性。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.3。2.6在靶材工程化階段，考慮最終形式，并在實驗室環(huán)境或使用環(huán)境下，對靶材關鍵性能和功能進行測試，通過小批量或小規(guī)模制備的實物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.4。2.7實驗室的檢測和校準設施以及環(huán)境條件，用于驗證技術原理和使用功能。2.8模擬真實使用環(huán)境，用以驗證靶材的關鍵性能或其主要組成部分的關鍵性能。GB／T39157—2020注：改寫GB/T37264—2018,定義2.6。2.9v靶材產(chǎn)品實際使用時的環(huán)境和工況。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.7。在產(chǎn)業(yè)化階段，生產(chǎn)工藝成熟，可批量生產(chǎn)，并能實現(xiàn)全部功能，完全滿足預期使用目標的實物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.5。3靶材技術成熟度等級劃分要求3.1靶材技術成熟度等級劃分表1靶材技術成熟度等級界定等級技術成熟度階段1靶材設計和制備的基本概念、原理形成實驗室階段2靶材的應用背景、使用環(huán)境、關鍵技術參數(shù)指標、制造工藝和工藝設備等內容得到明確3初步明確了靶材的實驗室技術方案，將概念、原理實施于靶材制備和工藝控制中，并初步得到驗證4實驗室制備工藝貫通，獲得靶材樣品，部分關鍵技術參數(shù)指標得到實驗室環(huán)境驗證。靶材技術應用的可行性得到驗證，提出了工程化轉化實施方案5靶材試制工藝流程貫通，獲得靶材試制品，結構和性能通過實驗室測試驗證。對關鍵試制工藝進行了評估，進行了初步的故障模式及影響分析工程化階段6靶材試制品通過模擬環(huán)境驗證，明確了關鍵生產(chǎn)工藝7靶材試制品通過使用環(huán)境驗證，完成靶材試制工藝流程優(yōu)化，全面演示了技術的工程可行性8靶材產(chǎn)品通過用戶測試和認定，生產(chǎn)線完整，形成產(chǎn)品和技術規(guī)范產(chǎn)業(yè)化階段9靶材產(chǎn)品經(jīng)驗證滿足客戶使用要求，能夠穩(wěn)定生產(chǎn)，滿足質量一致性要求靶材產(chǎn)品生產(chǎn)要素得到優(yōu)化，成批量穩(wěn)定供貨3.2等級條件序號條件內容1明確了靶材研發(fā)基礎的基本概念和基本原理2依據(jù)基本原理提出了靶材的基本組分、結構和設計，并預測了基本性能及使用性能3通過實驗，觀察到了基本原理，相關技術資料上也已公布了觀察結果23GB／T39157—20203.2.2等級2應符合表3的規(guī)定。表3等級2條件序號條件內容1明確了靶材的應用背景和使用環(huán)境2明確了靶材關鍵技術參數(shù)指標3明確了靶材制造工藝和工藝設備等內容，提出了基本實驗室技術方案3.2.3等級3應符合表4的規(guī)定。序號條件內容1確定了靶材制備的實驗室實施方案2完成了靶材樣品制備的準備、原材料及相應的實驗設備3完成了靶材制備原理的驗證4明確了靶材結構與性能的測試內容與方法3.2.4等級4應符合表5的規(guī)定。序號條件內容1實現(xiàn)了實驗室工藝貫通，制備出靶材樣品2完成了結構和主要性能的實驗室環(huán)境測試3部分測試結果滿足關鍵技術指標要求4靶材技術應用的可行性得到驗證5實驗室工藝條件下保證靶材樣品的實現(xiàn)性、穩(wěn)定性和可重復性，提出了工程化轉化實施方案3.2.5等級5應符合表6的規(guī)定。序號條件內容1試制工藝流程貫通，獲得了靶材試制品2靶材試制品的結構和性能通過實驗室環(huán)境測試驗證3依據(jù)靶材工程化實施方案，開展系統(tǒng)集成的初步研究，對關鍵試制工藝進行了評估，進行了初步的失效模式及影響分析3.2.6等級6應符合表7的規(guī)定。4GB／T39157—2020序號條件內容1完成模擬環(huán)境用靶材試制品驗證件的制備2試制品驗證件通過了模擬環(huán)境測試，分析了模擬環(huán)境和實驗室環(huán)境的差異3制定了完整的試驗驗證和測試方法，明確了關鍵生產(chǎn)工藝3.2.7等級7應符合表8的規(guī)定。序號條件內容1完成了試制品驗證件在使用環(huán)境中的測試，并通過應用評價2完成靶材試制工藝流程優(yōu)化，全面演示了技術的工程可行性3完成了試制品的工程化制備及性能評價，完成生產(chǎn)的演示驗證3.2.8等級8應符合表9的規(guī)定。序號條件內容1完成靶材產(chǎn)品驗證件在使用環(huán)境中的全面測試和鑒定，分析了使用環(huán)境和模擬環(huán)境的差異2工藝穩(wěn)定，工藝文件完整，完成產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)文件編制3掌握了產(chǎn)業(yè)化制備工藝技術4生產(chǎn)線通過環(huán)境、安全、職業(yè)衛(wèi)生等相關評審5完成規(guī)模生產(chǎn)裝備的建設，生產(chǎn)線完整，具備小批量生產(chǎn)條件3.2.9等級9應符合表10的規(guī)定。序號條件內容1靶材產(chǎn)品經(jīng)驗證滿足客戶使用要求2靶材產(chǎn)品滿足質量一致性要求，質量等級達到客戶要求3具備大批量穩(wěn)定生產(chǎn)的能力，材料有穩(wěn)定的供貨渠道4制定了靶材產(chǎn)品成本優(yōu)化方案5完成了維修性、可靠性和保障性等數(shù)據(jù)的收集3.2.10等級10應符合表11的規(guī)定。5GB／T39157—2020序號條件內容1靶材產(chǎn)品的性能全部滿足使用需求2靶材制造過程受控且具備穩(wěn)定生產(chǎn)的能力3靶材產(chǎn)品生產(chǎn)要素得到優(yōu)化，滿足市場需求4靶材