GBT 24468-2009 半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規(guī)范

Specificationfordefinitionandmeasurementofsemico Ⅲ 1 I3規(guī)范性引用文件 1 1 4 87不確定度測量 8可靠性增長或退化的測量 附錄A(規(guī)范性附錄)置信限系數(shù) 附錄B(規(guī)范性附錄)集群設(shè)備RAM的測量 附錄C(資料性附錄)可靠性增長或退化模型 27Ⅲ—本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A對應(yīng)SEMIE10-0304中的附件1.—本標(biāo)準(zhǔn)的附錄B對應(yīng)SEMIE10-0304中的附件2.12范圍2.2本標(biāo)準(zhǔn)第5章(設(shè)備的狀態(tài))定義了設(shè)備的時間是如何分類的.第6章(RAM測量)確定了測量設(shè)23能工作時間uptime設(shè)備被制造出，用來執(zhí)行的制造功能。它包括：傳送設(shè)備的傳送功能，測量設(shè)備的測量功能，也包括使設(shè)備保持在或恢復(fù)到能夠執(zhí)行其預(yù)定功能狀態(tài)的活動。在本標(biāo)準(zhǔn)中，維修指的是活動而不是組織；它包括調(diào)整、更換消耗品、軟件升級、修復(fù)、預(yù)防性維修等，而不管是誰執(zhí)行這些任務(wù)。不能工作事件downtimeevent任何使得設(shè)備處于不能執(zhí)行其預(yù)定功能的狀態(tài)的非計劃不能工作事件。任何零件的失效、軟件或編程源程序問題、設(shè)施或電力設(shè)施的故障或人員的失誤都可導(dǎo)致失效。設(shè)備相關(guān)失效equipmentrelatedfailure熱、備份軟件、存儲動態(tài)數(shù)據(jù)(例如參數(shù)，程序等)等。它只包括在計劃和非計劃不能工作時間內(nèi)。手工作業(yè)結(jié)束后，將設(shè)備恢復(fù)到能夠執(zhí)行其預(yù)定工作的狀態(tài)的程序，屬于維修程序的一部分。它包括開泵、預(yù)熱、穩(wěn)定階段、常規(guī)初始化、加載軟件、恢復(fù)動態(tài)數(shù)據(jù)值(例如參數(shù)，程序等),重新啟動控制系當(dāng)設(shè)備進(jìn)入非計劃狀態(tài)時將其轉(zhuǎn)到安全狀態(tài)所需時間。它包括達(dá)到安全狀態(tài)所需的任何程序。切斷只算在非工作時間內(nèi)。4還要用到5*非工作班次*安裝、改造、*離線培訓(xùn)*關(guān)機(jī)和啟動*工藝試驗*設(shè)備試驗5.2生產(chǎn)狀態(tài)*正常加工*為第3方*沒有操作*沒有產(chǎn)品*沒有支撐*維護(hù)延遲*維護(hù)延遲*生產(chǎn)測試*更換消耗品/*預(yù)防性維護(hù)*超過規(guī)范的*更換消耗品/設(shè)備正在執(zhí)行其預(yù)定功能的時間段。它包括：——結(jié)合單元的生產(chǎn)進(jìn)行的工程性運行(例如，將產(chǎn)品分批和新的應(yīng)用)。5.3待機(jī)狀態(tài)與非工作時間不同，設(shè)備處于可以執(zhí)行其預(yù)定功能但不進(jìn)行任何操作的狀態(tài)，化學(xué)品和設(shè)施也可——沒有操作員(包括休息、進(jìn)餐時間和會議時間):—沒有單元(包括缺少保障設(shè)備，如測量工具):—沒有保障工具(例如盒子、硅片載具，探測卡等);沒有外部自動化系統(tǒng)(例如·主機(jī))的輸人。設(shè)備處于可以執(zhí)行其預(yù)定功能狀態(tài)(不存在設(shè)備或加工問題),但被用于預(yù)檢試驗的時間.預(yù)檢狀態(tài)——加工預(yù)檢(例如，加工特性分析):——設(shè)備預(yù)檢(例如.設(shè)備評估);軟件預(yù)檢(例如.軟件認(rèn)證)。5.5計劃不能工作狀態(tài)由于計劃的不能工作事件，設(shè)備不能執(zhí)行其預(yù)定功能的時間，包括：6—生產(chǎn)測試：—設(shè)置：與設(shè)施相關(guān)的不能工作時間等待與維修相關(guān)的用戶人員或供應(yīng)商人員或零件(包括消耗品/化學(xué)品),使設(shè)定功能狀態(tài)的時間。維修延時也可能是由于管理人員決定讓設(shè)備處于不能維修延時可能發(fā)生在維修過程的任何時刻。必須分別對維修延時與維修時而導(dǎo)致的不能工作時間歸入離線時間，但不能歸入修復(fù)時間(見6.3設(shè)備的可用性和6.4設(shè)備的維有計劃的中斷設(shè)備可用性以便按照設(shè)備工作規(guī)范對生產(chǎn)的單元進(jìn)行評估，以 只是由于設(shè)施不能達(dá)到規(guī)范的要求而使設(shè)備不能執(zhí)行其預(yù)定功能的不能工作時間。這些設(shè)施7修復(fù)：5.6.2修復(fù)8 斷15min.必須重新啟動冷凝泵。使設(shè)備恢復(fù)到能夠執(zhí)行其預(yù)定功能的狀態(tài)所需的所有時間都包括在5.7非計劃狀態(tài)行其預(yù)定功能狀態(tài)所需的判定時間。由于所有的維修時間必須歸入計劃不能工作時間或非計劃不能工作時間內(nèi)(這包括日常自動化維6.1RAM指標(biāo)RAM是衡量設(shè)備性能的重要指標(biāo)，表1給出了RAM測量匯總。 6.2.1MTBFp平均失效間生產(chǎn)時間失效之間設(shè)備執(zhí)行其預(yù)定功能的平均時間。MTBFp等于一定時間內(nèi)生產(chǎn)時間除以這段時間內(nèi)發(fā)生的失效次數(shù)。該計算只包括生產(chǎn)時間。從任何其他狀態(tài)轉(zhuǎn)到生產(chǎn)狀態(tài)時發(fā)生的失效都要計算在內(nèi)。6.2.2E-MTBFp與設(shè)備有關(guān)的平均失效間生產(chǎn)時間除以這段時間內(nèi)發(fā)生的與設(shè)備有關(guān)的失效次數(shù)。該計算只包態(tài)時發(fā)生的與設(shè)備有關(guān)的失效都要計算在內(nèi)。因此，使用EMTBFp要求用戶不僅有能力跟蹤失效信96.2.4E-MCBF由設(shè)備引起的失效6.3.1與設(shè)備有關(guān)的能工作時間輸入造成的不能工作時間、與設(shè)施有關(guān)的不能工作時間的百分比。該計算僅從設(shè)備指6.3.2與供應(yīng)商有關(guān)的正常工作時間6.3.3正常工作時間設(shè)備處于可以執(zhí)行其預(yù)定功能的時間與運行時間的百分比。該計算用來反映設(shè)備的整體工作6.4設(shè)備維修性糾正失效使設(shè)備恢復(fù)到可以執(zhí)行其預(yù)定功能狀態(tài)的平均時間。一定時間內(nèi)(包括設(shè)備和程序測試6.4.2E-MTTR與設(shè)備有關(guān)糾正由設(shè)備引起的失效并使設(shè)備恢復(fù)到可以執(zhí)行其預(yù)定功能狀態(tài)的平均時間。一定時間內(nèi)(包括6.4.3MTOL平均離線時間部不能工作時間(計劃和非計劃不能工作)除以這段時間內(nèi)不能工作事件數(shù)。6.4.4只與設(shè)備有關(guān)的計劃不能工作時間由于計劃不能工作事件(如預(yù)防性維修)而引起的設(shè)備不能執(zhí)行其預(yù)定功能的時間百分比。這個時間不包括由供應(yīng)商或用戶引起的任何維修延遲不能工作時間。該計算用于從設(shè)備設(shè)計反映對預(yù)防性維6.4.5只與供應(yīng)商有關(guān)的計劃不能工作時間由于計劃不能工作事件(如預(yù)防性維修)而引起的設(shè)備不能執(zhí)行其預(yù)定功能的時間百分比。這個時間不包括由用戶引起的任何維修延遲不能工作時間。這個計算是從設(shè)備的設(shè)計和供應(yīng)商對服務(wù)的響應(yīng)方面反映對預(yù)防性維修的需求。6.5設(shè)備利用率在規(guī)定時間內(nèi)設(shè)備執(zhí)行其預(yù)定功能的時間與總時間的百分比。6.5.1工作利用率生產(chǎn)時間與工作時間的百分比。該計算是用來比較不同工作配置問的設(shè)備利用率·它不包括非工作時間。6.5.2總利用率生產(chǎn)時間與總時間的百分比。這個指標(biāo)是要反映設(shè)備利用率的底線。時間與設(shè)施有關(guān)的不能工作時問))表1(續(xù))設(shè)備能工作時間×100(運轉(zhuǎn)時間一(用戶維修延時不能工作時間十不符合規(guī)范的輸入造成的不能工作時間十與設(shè)施有關(guān)的不能工作時間))設(shè)備能工作時間×100/運轉(zhuǎn)時間時間與設(shè)備有關(guān)的失效的總修復(fù)時間/與設(shè)備有關(guān)的失效的工作時間十與設(shè)施有關(guān)的不能工作時間))護(hù)延時不能工作時間十不符合規(guī)范的輸入造成的不能工作時間十與設(shè)施有關(guān)的不能工作時間))生產(chǎn)時問×100/工作時間生產(chǎn)時間×100/總時間第6章定義的測量RAM的方法只是點估計值.這些數(shù)值不能反映評估的不確定度或準(zhǔn)確度。準(zhǔn)時).第8章適用。第8章通常適用于樣機(jī)可靠性增長試驗中。將MTBFp的點估計值乘以表A.I和表A.2中的系數(shù)(在附錄A中).即可獲得MTBFp的置信水平的下限和上限值。對于測量期間出現(xiàn)零失效的情況，表A.1的第1行給出了計算在表A.1中.對應(yīng)90%的置信水平.失效數(shù)小于4時，系數(shù)小于0.5.失效數(shù)等于4時，系數(shù)等于在給定的季度內(nèi).設(shè)備生產(chǎn)時間為1200h.出現(xiàn)6次失效。MTBFp的點估計值為1200/6=200h,從表A.1中可查出90%的置信度(對應(yīng)6次失效)下限的系數(shù)是0.570。90%置信水平時.在給定的季度內(nèi)，設(shè)備生產(chǎn)時間為1200h.出現(xiàn)6次失效。MTBFp的點估計值為1200/6=200h.從表A.2中可查出90%置信度(對應(yīng)6次失效)上限的系數(shù)是1.904.90%置信水平時，MTBFp的上下置信限100×(1-a/2)能夠組合給出100×(1-a端的風(fēng)險概率。90%下限有a/2=0.1的概率捕捉不到真正的MTBFp.同樣這對于90%置信上限也成立。因此90%下限和90%上限組合給出80%置信區(qū)間。同樣，95%下限和95%上限可組合給出90%在給定的季度內(nèi)，設(shè)備生產(chǎn)時間為1200h.出現(xiàn)6次失效。MTBFp的點估計值為1200/6=是80%的置信區(qū)問。7.2.4零失效時MIBFp下限的計算從附錄A中表A.1的第一行(對應(yīng)r=0)獲得與期望的置信水平對應(yīng)的Koon系數(shù)。將這個系數(shù)在給定的季度內(nèi)，設(shè)備生產(chǎn)時間為1200h.出現(xiàn)6次失效。MTBFp的點估計值為1200/6=200h。從表A.1中可查出90%置信度下限的系數(shù)是0.434,因此，設(shè)備90%置信度的真實MTBFp的下限為1200×0.434=520.8h。7.2.5測試時間長度希望證明某個設(shè)備在80%置信水平下的MTBFp為400h。希望通過一個出現(xiàn)4次或少于4次失效的認(rèn)證試驗，從表A.4中我們得到對應(yīng)的系數(shù)為6.72.即測試時間為400×6.72=2688h。我們可出現(xiàn)的失效等于或少于4次時，就可以證明這套設(shè)備至少達(dá)到了在80%置信水平下400h的MTBFp只有當(dāng)MTBFp(或MCBF)和E-MTBFp(或EMCBF)在測試期間內(nèi)恒定不變時.第7章的計算才8.2準(zhǔn)確記錄失效時間一臺設(shè)備在一個星期內(nèi)使用5天。為了簡化，假設(shè)生產(chǎn)利用率為100%,經(jīng)過3個星期的使用后.確的失效時間為124h(3個星期每星期5×8=40h.再加上8小時工作日的一半)。如果第2次失效發(fā)生在第5周第3天的第2個小時，則準(zhǔn)確的失效時間為174h.9集群設(shè)備RAM測量集群設(shè)備RAM的測量見附錄B.置信限系數(shù)用表A.1和表A.2中的系數(shù)乘以MTBFp點估計值可獲得置信的上限和下限值。r——失效數(shù)01表A.1(續(xù))23456789123456789123456789用置信水平和失效數(shù)r相對應(yīng)的K值乘以MTBFp.用以確定試驗時間0123456789集群設(shè)備RAM的測量B.1簡介本附錄提供了評估多路集群工具可靠性、可用性和可維修性(RAM)的跟蹤要求及標(biāo)準(zhǔn)測量。本標(biāo)準(zhǔn)正文中介紹的測量只適用于非集群工具或單路集群工具以及單個模塊等較簡單的模式，這些實體要仍然可能具有加工能力。模塊處于不能工作狀態(tài)對多路集群工具性能的影響取決于多路集群工具具體的配置以及在非計劃不能工作狀態(tài)每個時間點下模塊的具體組合。測量都是作為模塊級數(shù)據(jù)的函數(shù)計算的。本附錄還介紹了具體的跟蹤模塊的要求?？偸?TFR)和集群工具平均修復(fù)時間(MTTRcr)這兩種測量提供了對累計的模塊可靠性和可維修性的簡單評估。路集群工具的狀態(tài)記錄。這樣多路集群設(shè)備的可用性就可以按照累積的“工藝流程”的可用性進(jìn)行評估。多路集群工具的可靠性是以所有的工藝流程都處于非計劃不能工作狀態(tài)間的預(yù)期或平均生產(chǎn)時間進(jìn)行評估的。B.2跟蹤模塊的要求B.2.1一般要求對多路集群工具的測量要求對可能影響多路集群工具或其工藝流程的RAM或生產(chǎn)能力的所有模塊跟蹤本規(guī)范狀態(tài)數(shù)據(jù)。這些模塊既包括工藝模塊也包括輔助模塊。其中，工藝模塊是指一個設(shè)備系統(tǒng)中不可分割的生產(chǎn)實體.例如：集群工具中的加工室或站(及中間狀態(tài)(不屬于前三種狀態(tài)的時間都?xì)w入中間狀態(tài))。要準(zhǔn)確的評估性能，把多路集群工具作為一個整體跟蹤這些狀態(tài)是不夠的。以下介紹跟蹤模塊這些狀態(tài)的具體要求，以及如何處理本規(guī)范的其他狀態(tài)的要求。B.2.2.1對模塊的生產(chǎn)狀態(tài)的跟蹤應(yīng)當(dāng)跟蹤每個模塊的生產(chǎn)狀態(tài)。對于工藝模塊，生產(chǎn)時間應(yīng)當(dāng)包括主動裝載和卸載的時間。等待B.3.1總失效率(TFR)——在觀察期內(nèi)發(fā)生的失效開端事件要參加TFR和MT"TRe的計算，不管這些失效何時得到解決。—觀察期之前發(fā)生的失效開端事件不參加TFR和MTTRe的計算，即使這些失效在觀察期內(nèi)或觀察期后得到解決——對于開端發(fā)生在觀察期外的失效，發(fā)生在觀察期內(nèi)的維修時間要參加MTTRer的計算。B.3.4與重新循環(huán)模型的兼容這種測量法與基于重新循環(huán)模型的方法不兼容，重新循環(huán)模型假設(shè)正常工作時間和不能工作時間是互不包含的。而在這種測量法中，即使某個模型已經(jīng)失效，其他模型仍然可能發(fā)生后續(xù)失效。重新循B.4時間映射B.4.1一般概念時間映射將輸出狀態(tài)記錄作為輸入狀態(tài)組分記錄的函數(shù)。對于每個事件，當(dāng)至少有一個模塊的狀態(tài)發(fā)生改變時，工藝流程和/或集群設(shè)備的狀態(tài)都有可能發(fā)生變化。集群設(shè)備和工藝流程的狀態(tài)記錄是按時間順序逐個事件作為模塊狀態(tài)記錄的函數(shù)生成的，這些測量本身是作為這些輸出狀態(tài)記錄的函數(shù)進(jìn)行計算的。作為參考，可以把這種方法看作生成狀態(tài)組分模型的一種卷積。圖B.1給出了時間映射的示例兩個模塊MI,M2在觀察期1=0到1=10之間的輸入狀態(tài)組分入下圖所示。輸出狀態(tài)作為輸入狀態(tài)的函數(shù)，按照時間關(guān)系映射。其規(guī)則是：如果兩個模塊全部處于或其中任意一個模塊處于不能工作狀態(tài)，在輸出狀態(tài)也處于不能工作狀態(tài)。需要指出，對于生產(chǎn)狀態(tài)記錄，轉(zhuǎn)變事件是整個輸入狀態(tài)組分記錄中轉(zhuǎn)變事件的集合。B.4.3時間映射的邏輯過程在一個實時跟蹤系統(tǒng)中，時間映射既可以在事件發(fā)生并被跟蹤系統(tǒng)收到后馬上進(jìn)行，也可以經(jīng)過一段時間后集中進(jìn)行。不管怎樣，它們的邏輯過程是一樣的。根據(jù)要進(jìn)行的映射的不同，可以在每個輸入狀態(tài)轉(zhuǎn)變事件上應(yīng)用不同的邏輯函數(shù)，將輸出狀態(tài)作為輸入狀態(tài)值的函數(shù)。本附錄中使用兩種時間映射函數(shù)進(jìn)行測量。5=上0圖B.1時間映射實例從模塊的“正常工作/計劃不能工作/非計劃不能工作”狀態(tài)得到工藝流程的“正常工作/計劃不能工作/非計劃不能工作”狀態(tài)，將其作為供應(yīng)商和/或用戶定義的工藝流程的函數(shù)。常工作/計劃不能工作/非計劃不能工作”狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)函數(shù)。GB/T24468—B.5對工藝流程建模B.5.1工藝流程分類原則為了評估多路集群設(shè)備的可用性和可靠性.應(yīng)該對多路集群設(shè)備的工藝流程進(jìn)行定義。區(qū)分那些在多路集群設(shè)備配置中理論上可能的工藝流程和預(yù)定工藝流程(IPF)很重要.預(yù)定工藝流程是實際用于工作(也就是執(zhí)行其預(yù)定功能)的工藝流程。要使任意兩方對本相關(guān)信息中介紹的量的測量有意義，雙方應(yīng)當(dāng)首先以文件的形式確定對哪些IPF進(jìn)行評估.這樣.不管由誰進(jìn)行計算，根的，則IPF處于正常工作狀態(tài)，反之則處于不能工作狀態(tài)。一個IPF網(wǎng)絡(luò)中的模塊相互間可以有串行的狀態(tài)值為1.反之為0.B.5.3IPF中工序環(huán)節(jié)的串行B.5.4某個環(huán)節(jié)可相互替代的模塊IPF=1—IⅡ-1(1-Ai)=1-[(1-A1)×(1-A2)×如果任何一個可互相替代的模塊還處于正常工作狀態(tài)，則方括號內(nèi)的值為0.IPF的狀態(tài)值為果所有的可相互替代的模塊都處于不能工作狀態(tài)圖B.3在流程的某個環(huán)節(jié)并行的可相互替代的模塊B.5.5關(guān)鍵群在幾乎所有的系統(tǒng)中.都有一類模塊，它們出現(xiàn)在每個IPF中.而不管工藝的區(qū)別.我們把這些模及平臺本身。關(guān)鍵群可能包含可相互替代的模塊，如多個真空鎖或多個冷卻臺。關(guān)鍵群和所有IPF的過對關(guān)機(jī)群建模并將它提升到計算中，就可以避免很多重復(fù)計算。而且了解哪些模塊屬于關(guān)機(jī)群也可以幫助了解和提高整個系統(tǒng)的可靠性。下面列舉了兩個例子，具體說明了如何對IPF.包括關(guān)鍵群和IP這個例子，如圖B.4所示，是一個有7個模塊的多路集群設(shè)備.L1和L2是將單元裝載到設(shè)備的模塊。T是單傳送臂，執(zhí)行所有的點對點傳送。任何單元要經(jīng)過的第一個工藝每個單元都經(jīng)過PM3.最后被13卸出這個多路集群設(shè)備。TT關(guān)鍵群由3個裝卸模塊和1個傳送模塊組成，它們都是這個多路集群設(shè)備的支撐模塊。由于不管IPF間有何區(qū)別，每個單元都要訪問PM3.為了簡化計算，將PM3也算在關(guān)鍵群內(nèi)。任何其他系統(tǒng)層@@KmP圖B.5關(guān)鍵群.示例1關(guān)鍵群狀態(tài)值的函數(shù)如下：K=P×[1-(1-L.1)×(1-L2)]×T×PT3K111111111110110IPF1是一個普通的IPF.它要用到關(guān)鍵群和工藝模塊PMI、PM2中的某一個模塊，如圖B.6所示：KIPFI狀態(tài)值的函數(shù)如下：IPFI=K×[1-(1-PM1)×(1表B.2列出了等效真值。K111101010IPF2代表了當(dāng)PM2不能夠在性能上與PMI匹配時出現(xiàn)的加工工程問題。因此，對于某些特定的在這種情況下.IPFI的狀態(tài)值的函數(shù)為IPFI=K×PMI。B.5.6.2示例2如圖B.8所示，是一個由56個模塊組成的較為復(fù)雜的涂膠/顯影系統(tǒng)，它包括4個裝載/卸載模塊(L1-14).4個共用的傳送裝置(R1-R4),4個涂膠模塊.4個顯影模塊以及4個加熱/冷卻盤陣列，每個陣列有10個模塊。L關(guān)鍵群K.如圖B.9所示，包括平臺本身，4個裝載/卸載模塊，和4個傳送機(jī)器人。由于沒有工藝KKPR1R24圖B.9關(guān)鍵群模塊.示例2K=P×[1-(1-L1)×(1-1.2)×(1-L3)×(1-14)]×R1×R表B.3列出了相應(yīng)的真值。表B.3狀態(tài)函數(shù)的真值表PK00100000000000001IPFI=K×Ⅱ-mu[1-(1-PM,)(1IPF2狀態(tài)值的函數(shù)為：IPF2=K×PM.×PM?.×PM,×PM.1×Ⅱ-(24.4-8,10-12[1—(1-PM.?)(涂膠/顯影系統(tǒng)很可能還有更多的IPF.它們的定義與IPFI和IPF2的定義基本相同。B.5.7非計劃不能工作時間與總不能工作時間為了區(qū)分一個IPF的非計劃不能工作時間與總不能工作時間，上面討論的IPF函數(shù)要執(zhí)行兩次運算。第一次確定非計劃工作不能工作狀態(tài)，第二次確定總不能工作狀態(tài)。B.5.7.1非計劃不能工作狀態(tài)第一次執(zhí)行函數(shù)運算時，如果模塊處于非計劃不能工作狀態(tài).則將該模塊的變量值設(shè)為0.其他情況下設(shè)為1。如果計算結(jié)果為0.則這個IPF處于非計劃不能工作狀態(tài)。工藝流程非計劃不能工作狀態(tài)下每個連續(xù)發(fā)生的事件都是一個工藝流程的失效。如果計算結(jié)果為1.則這個IPF可能處于一般不能工作狀態(tài)或正常工作狀態(tài)。B.5.7.2計劃不能工作狀態(tài)或非計劃不能工作狀態(tài)第2次執(zhí)行函數(shù)運算時，如果模塊處于計劃不能工作狀態(tài)或非計劃不能工作狀態(tài)，將模塊的變量值設(shè)為0.其他情況下設(shè)為1。如果計算結(jié)果為0,在這個IPF處于一股不能工作狀態(tài)，如果計算結(jié)果為1.則這個IPF處于中間狀態(tài)。B.5.7.3總結(jié)如果IPF(Mup)=0,則工藝流程處于非計劃不能工作狀態(tài)(UD):如果IPF(Ma)=0.則工藝流程處于一般不能工作狀態(tài)(GD),如果IPF(Mcp)=1.則IPF處于正常工作狀態(tài)。B.6確定多路集群設(shè)備的狀態(tài)B.6.1時間映射規(guī)則以下從模塊的“生產(chǎn)/非生產(chǎn)”狀態(tài)和IPF的“正常工作/不能工作/非計劃”狀態(tài)確定多路集群設(shè)備的“生產(chǎn)/非計劃工作不能工作/中間”狀態(tài)的時間映射規(guī)則：如果所有的IPF都處于“非計劃工作不能工作狀態(tài)”,則多路集群設(shè)備處于“非計劃工作不能工作狀態(tài)”B.6.2多路集群設(shè)備的失效多路集群設(shè)備非計劃不能工作狀態(tài)下每個連續(xù)事件都是一個多路集群設(shè)備失效。狀態(tài)值的函數(shù)如下：各IPF和多路集群設(shè)備的時間映射關(guān)系如表B.4.=生產(chǎn)=計劃外=非生產(chǎn)圖B.12集群設(shè)備狀態(tài)映射注：在1=4到/=5這段時間，多路集群設(shè)備處于生產(chǎn)狀態(tài)，但所有的IPF都處于不能工作狀態(tài)，在實際的生產(chǎn)中。這種狀態(tài)只可能出現(xiàn)在轉(zhuǎn)化過程中。只要處于生產(chǎn)狀態(tài)的模塊完成正在進(jìn)行的任務(wù)，多路集群設(shè)備就會不能工作。然面，只要模塊處于生產(chǎn)狀態(tài)，模塊就會占用理論上的加工時間(SEMIE79中的等級效率使用這個概念).為了保證在任何時間段計算出的等級效率都不會超過100%.有必要將這一轉(zhuǎn)換狀態(tài)劃分到生產(chǎn)時間表B.4集群設(shè)備狀態(tài)的時間映射時問M2失效IPFI和IPF2轉(zhuǎn)到計劃外不能工作狀態(tài)所有的IPF都處于計劃外不能工作M1退出生產(chǎn)狀態(tài).所有的IPF仍處于計劃外不能工作作。