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工藝文件編號(hào)產(chǎn)品名稱工序名稱排氣版本號(hào)更改標(biāo)記更改單號(hào)簽名日期簽名日期擬制審核批準(zhǔn)發(fā)放部門:航天宏達(dá)公司總部、生產(chǎn)廠第1頁(yè)共1頁(yè)目的:把封好的燈進(jìn)行排氣,燈絲分解激活。二、材料、設(shè)備:材料:汞叉子、夾封合格的燈、夾子設(shè)備:瓷盤(pán)、鑷子、排氣臺(tái)三、工藝流程:1、打開(kāi)冷卻水閥,調(diào)到合適流量;2、打開(kāi)高壓風(fēng)閥,將壓力調(diào)整到3~5kg/cm2;2、打開(kāi)氧氣、煤氣總閥;3、檢查排氣系統(tǒng)無(wú)漏氣后,打開(kāi)排氣臺(tái)電源,一次開(kāi)啟機(jī)械泵、分子泵,查看儀表是否正常;4、打開(kāi)高純氬氣瓶閥氬氣閥,氬氣流量調(diào)整到1.0-4.0L/min;5、待分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后進(jìn)行排氣。四、工藝要求:1、絲角弧放必須沖適量氬保護(hù)氣;2、排好燈的燈絲和燈管不能出現(xiàn)黃黑現(xiàn)象;3、各種規(guī)格燈管通電分解規(guī)范及工藝參數(shù)遵照附表。排氣工藝規(guī)范與參數(shù)表規(guī)格充氣壓力充氣種類汞量燈絲通電方式通電規(guī)范10-0810010-0805010-0802510-08010400PaAr2mg0207并聯(lián)0207燈絲并聯(lián)通電:1.300mA2.5-3min2.330mA2.5-3min3.360mA1-1.5min4.400mA看雜氣5.拉高壓430±10mA目的:把封好的燈進(jìn)行排氣,燈絲分解激活。二、材料、設(shè)備:材料:汞叉子、夾封合格的燈、夾子設(shè)備:瓷盤(pán)、鑷子、排氣臺(tái)三、工藝流程:1、打開(kāi)冷卻水閥,調(diào)到合適流量;2、打開(kāi)高壓風(fēng)閥,將壓力調(diào)整到3~5kg/cm2;2、打開(kāi)氧氣、煤氣總閥;3、檢查排氣系統(tǒng)無(wú)漏氣后,打開(kāi)排氣臺(tái)電源,一次開(kāi)啟機(jī)械泵、分子泵,查看儀表是否正常;4、打開(kāi)高純氬氣瓶閥氬氣閥,氬氣流量調(diào)整到1.0-4.0L/min;5、待分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后進(jìn)行排氣。四、工藝要求:1、絲角弧放必須沖適量氬保護(hù)氣;2、排好燈的燈絲和燈管不能出現(xiàn)黃黑現(xiàn)象;3、各種規(guī)格燈管通電分解規(guī)范及工藝參數(shù)遵照附表。排氣工藝規(guī)范與參數(shù)表規(guī)格充氣壓力充氣種類汞量燈絲通電方式通電規(guī)范10-0410010-0405010-0402510-04010400PaAr2mg0207并聯(lián)0207燈絲并聯(lián)通電:1.300mA2.5-3min2.330mA2.5-3mi
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