(高清版)GBT 40868-2021 納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局GB/T40868—2021前言 I引言 Ⅱ 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語(yǔ)和定義 4概述 2 26設(shè)計(jì) 3附錄A(資料性)噪聲評(píng)價(jià)曲線與限值 6附錄B(資料性)防微振設(shè)計(jì) 9附錄C(資料性)納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制 參考文獻(xiàn) I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC319)提出并歸口。本文件起草單位：江蘇蘇凈科技有限公司、中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司、中天道成(蘇州)潔凈技術(shù)有限公司、蘇州市計(jì)量測(cè)試院、蘇州嘉合潔凈科技有限公司、中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)、國(guó)家納米科學(xué)中心、南京天加環(huán)境科技有限公司、美埃(中國(guó))環(huán)境凈化有限公司、中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心有限公司、杭州市標(biāo)準(zhǔn)化研究院、吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司、常州祥明智能動(dòng)力股份有限公司、北京恒泰建業(yè)工程項(xiàng)目管理有限公司、蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司、賀氏(蘇州)特殊材料有限公司。Ⅱ納米尺度受控環(huán)境涉及多學(xué)科交叉，且非常復(fù)雜，其設(shè)計(jì)很難參照現(xiàn)有的設(shè)計(jì)資料，設(shè)計(jì)、建造技術(shù)難度高、投資大，建設(shè)周期長(zhǎng)，適宜的規(guī)劃設(shè)計(jì)有助于項(xiàng)目順利進(jìn)行。本文件總結(jié)歸納已建納米尺度受控環(huán)境的經(jīng)驗(yàn)，提示規(guī)劃、設(shè)計(jì)可能遇到的特殊問題，以及項(xiàng)目進(jìn)程中的潛在障礙，為項(xiàng)目規(guī)劃決策提供指南。給出的相關(guān)技術(shù)要求和限值，方便業(yè)主與設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)間的技術(shù)協(xié)商和探討。本文件未詳細(xì)規(guī)定環(huán)境條件，具體科研生產(chǎn)需求以及具體工藝設(shè)備、儀器決定其環(huán)境條件。本文件并非普遍適用于所有納米技術(shù)設(shè)施的具體項(xiàng)目或細(xì)節(jié)。設(shè)施各不相同，使用時(shí)宜將本文件的一般性要求加以完善，以適應(yīng)具體設(shè)施的運(yùn)行要求。1納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察、設(shè)計(jì)要求等。本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設(shè)計(jì)。2規(guī)范性引用文件本文件沒有規(guī)范性引用文件。3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。處于1nm～100nm之間的尺寸范圍。有明確物理邊界的微小物質(zhì)。三個(gè)維度的外部尺寸都在納米尺度的納米物體，其最長(zhǎng)軸和最短軸的長(zhǎng)度沒有明顯差別。對(duì)產(chǎn)品和工藝有不良影響的粒子、非粒子、分子或生物體?？諝饣瘜W(xué)污染物airchemicalcontamination存在于空氣中，其化學(xué)特性可對(duì)產(chǎn)品、工藝、設(shè)備有不良影響的任何物質(zhì)。所有相關(guān)構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)以及服務(wù)、公用系統(tǒng)集合而成的潔凈室，或一個(gè)或數(shù)個(gè)這樣的潔凈區(qū)。2[GB/T25915.6—2010,定義2.82]4概述4.1納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境(以下簡(jiǎn)稱“納米受控環(huán)境”)的有些專業(yè)技術(shù)超出了傳統(tǒng)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)的4.2納米受控環(huán)境的“高要求”區(qū)域，對(duì)電磁環(huán)境、溫濕度(精度)水平、空氣(超凈空氣)和水(超純水)的質(zhì)量、化學(xué)品和氣體的純度、噪聲和振動(dòng)等的控制要求遠(yuǎn)遠(yuǎn)嚴(yán)于普通潔凈室。4.3納米技術(shù)設(shè)施的設(shè)計(jì)中涉及一些非常專業(yè)、關(guān)系著項(xiàng)目成敗的元素，設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)性決策也會(huì)直接4.4科研及工藝的需求決定著“高要求”區(qū)域之間空間分配和設(shè)施構(gòu)成。5規(guī)劃5.1通則5.1.1為應(yīng)對(duì)納米受控環(huán)境的復(fù)雜需求，應(yīng)組成技術(shù)顧問團(tuán)隊(duì)。5.1.2規(guī)劃宜綜合考慮項(xiàng)目特點(diǎn)、相關(guān)技術(shù)需求與發(fā)展、建設(shè)周期、項(xiàng)目投資、運(yùn)行費(fèi)用、使用周期/壽命等，并配合項(xiàng)目立項(xiàng)、選址和建筑安裝工程投資進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證。5.1.3規(guī)劃應(yīng)明確目標(biāo)和任務(wù)，考慮潛在需求，完成總體布局和“高要求”區(qū)域的空間分配，并按發(fā)展計(jì)5.1.4應(yīng)制定符合實(shí)際的設(shè)計(jì)建設(shè)規(guī)劃(含投資、概念設(shè)計(jì)圖)、項(xiàng)目進(jìn)程。5.2選址勘查5.2.1常規(guī)勘查主要包括備選場(chǎng)地地質(zhì)勘測(cè)、氣象和水文資料搜集、地震情況調(diào)查等。測(cè)量備選場(chǎng)地周邊空氣質(zhì)量，檢測(cè)是否存在高濃度CO、CO?、NO?、SO?、甲醛、臭氧、柴油機(jī)尾氣顆粒物等。測(cè)量、分析備選場(chǎng)地周邊的背景環(huán)境振動(dòng)情況，包括地脈動(dòng)、常時(shí)微動(dòng)以及軌道交通、道路交通等引起的振動(dòng)。測(cè)量、分析備選場(chǎng)地周邊的環(huán)境噪聲，包括工業(yè)噪聲、交通噪聲、生活噪聲等。除測(cè)量相關(guān)時(shí)段內(nèi)的連續(xù)等效聲壓級(jí)外，還應(yīng)進(jìn)行倍頻程或1/3倍頻程的頻譜測(cè)量分析。頻帶聲壓級(jí)評(píng)價(jià)曲線與噪聲限制3對(duì)備選場(chǎng)地及周邊進(jìn)行全頻譜電磁勘測(cè)，包括直流、極低頻交流以及射頻環(huán)境，具體包括：a)在備選場(chǎng)地選擇采樣點(diǎn)，用磁通門磁力儀測(cè)量單點(diǎn)和30min時(shí)長(zhǎng)的直流磁通量數(shù)據(jù)，儀器靈敏度為0.01mG(毫高斯);注：采樣點(diǎn)最好選在放置電磁干擾敏感設(shè)備的位置，或靠近道路、停車場(chǎng)、鐵路的位置，對(duì)其直流電磁干擾情況進(jìn)行評(píng)估，勘測(cè)數(shù)據(jù)標(biāo)在建筑平面圖上。b)使用高斯表進(jìn)行直流和極低頻交流勘測(cè)，測(cè)量地點(diǎn)包括建筑物的輪廓，開發(fā)紅線(覆蓋整個(gè)選址)內(nèi)，建筑物周邊300m范圍內(nèi)的所有地上和地下電纜、變壓器和變電所；c)記錄備選場(chǎng)地周圍測(cè)點(diǎn)處隨時(shí)間變化的射頻干擾強(qiáng)度，以查清可能的射頻干擾源，例如天線安裝場(chǎng)、商業(yè)廣播電視發(fā)射塔、移動(dòng)電話和微波通信基站、氣象雷達(dá)站等。6設(shè)計(jì)6.1總體設(shè)計(jì)該階段不涉及詳細(xì)設(shè)計(jì)內(nèi)容。設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與業(yè)主密切合作，深入了解生產(chǎn)工藝對(duì)納米受控環(huán)境的技術(shù)要求，確定項(xiàng)目基本要求、規(guī)模、各組成部分空間關(guān)系、編制項(xiàng)目概算及初步設(shè)計(jì)所需收集的資料清單。應(yīng)說明對(duì)投資有明顯影響的事項(xiàng)，例如關(guān)于建筑結(jié)構(gòu)和建筑基礎(chǔ)的設(shè)計(jì)(根據(jù)地質(zhì)勘測(cè)報(bào)告)、防微振方案、防電磁干擾方案、空氣化學(xué)污染控制方案等。由設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與技術(shù)顧問團(tuán)隊(duì)共同完成，主要內(nèi)容包括：a)建筑結(jié)構(gòu)圖；d)實(shí)驗(yàn)室(生物安全實(shí)驗(yàn)室)設(shè)施初步設(shè)計(jì)；e)項(xiàng)目預(yù)算；f)編制施工圖設(shè)計(jì)所需收集的資料清單。主要內(nèi)容包括繪制施工圖，編制設(shè)備清單、材料表、施工說明、技術(shù)要求、招投標(biāo)文件(受業(yè)主委托)。6.2受控環(huán)境參數(shù)溫度誤差控制在士0.1℃以內(nèi)，必要時(shí)誤差控制在±0.01℃~±0.05℃。注：綜合考慮提高溫度控制精度和建造、運(yùn)行費(fèi)用的關(guān)系來確定具體的溫度參數(shù)。相對(duì)濕度波動(dòng)控制在±5%以內(nèi)，需要時(shí)可將相對(duì)濕度波動(dòng)控制在士2%以內(nèi)。注：相對(duì)濕度高于55%可能出現(xiàn)滋生霉菌的活粒子污染，低于35%則可能出現(xiàn)靜電放電問題。4一般情況下，潔凈度應(yīng)優(yōu)于ISO3級(jí)(動(dòng)態(tài))。納米受控環(huán)境中空氣化學(xué)污染物(酸性、堿性、有機(jī)物、工藝摻雜物、釋氣)濃度控制范圍為ISO-ACC-9級(jí)到ISO-ACC-12級(jí)(見GB/T25915.8)。生物污染監(jiān)測(cè)見GB/T25916.1—2010中5.3,生物污染分析見GB/T25916.2—2010中第4章。靜電控制的方法和措施見GB/T33555—2017中4.2和4.3。6.2.5.1設(shè)備的振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)一般由設(shè)備廠商提供，如果不能提供，振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)可按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)化文件確定。6.2.5.2納米受控環(huán)境(如電子工業(yè)的微納加工、超微細(xì)加工、高精度檢驗(yàn)檢測(cè)、大科學(xué)裝置實(shí)驗(yàn)等)有較高的防微振要求，其防微振設(shè)計(jì)見附錄B。宜根據(jù)納米受控環(huán)境內(nèi)設(shè)施對(duì)噪聲頻率工藝要求和人體感受，合理采用吸聲、消聲、隔聲、阻尼和隔振等綜合降噪措施。6.2.7.1納米尺度的科研生產(chǎn)受控環(huán)境工頻磁場(chǎng)磁感應(yīng)強(qiáng)度容許值宜不超過1G,在25MHz~3000MHz頻段射頻電場(chǎng)強(qiáng)度容許值宜不超過為100μV/m。6.2.7.2抑制電磁干擾以符合限值要求的基本方法是建筑設(shè)計(jì)控制(例如，保持足夠遠(yuǎn)的距離)和屏蔽，可采用其中任何一種或兩種方法。屏蔽空間的大小對(duì)成本有明顯影響。6.3與施工的銜接6.3.1施工單位應(yīng)在招投標(biāo)基礎(chǔ)上產(chǎn)生，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)?wèi)?yīng)協(xié)助對(duì)投標(biāo)單位提交的施工資質(zhì)等文件是否符合項(xiàng)目要求進(jìn)行審查。6.3.2業(yè)主與設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)和施工單位達(dá)成協(xié)議，組成由設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問團(tuán)隊(duì)和施工監(jiān)理人員參加的工程監(jiān)理團(tuán)隊(duì)。如需進(jìn)行設(shè)計(jì)修改，應(yīng)由該團(tuán)隊(duì)提出。6.3.3項(xiàng)目交付驗(yàn)收人員應(yīng)包括業(yè)主、設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問團(tuán)隊(duì)協(xié)商提出的人選，且不少于3人。6.4風(fēng)險(xiǎn)控制6.4.1應(yīng)注意控制各種風(fēng)險(xiǎn)因素，基本要求如下。a)在設(shè)計(jì)的早期規(guī)劃階段應(yīng)提出可能的安全風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)設(shè)施、工藝、原材料、成品、副產(chǎn)品進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)評(píng)定，并隨著更多的信息獲取，在設(shè)計(jì)過程中隨時(shí)更新。5b)對(duì)每個(gè)可能的風(fēng)險(xiǎn)均應(yīng)提出控制方法，并體現(xiàn)在設(shè)計(jì)中，以降低風(fēng)險(xiǎn)。c)無(wú)法用設(shè)計(jì)控制風(fēng)險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)對(duì)使用做出規(guī)定。d)對(duì)風(fēng)險(xiǎn)控制設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行審核，并注重尋找尚未列入的風(fēng)險(xiǎn)因素和相關(guān)的關(guān)鍵控制點(diǎn)。6.4.2建筑設(shè)計(jì)中風(fēng)險(xiǎn)控制的主要內(nèi)容如下：a)建筑系統(tǒng)包括氣體配送系統(tǒng)、液體配送系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，在建筑系統(tǒng)設(shè)計(jì)中應(yīng)密切注意作業(yè)的b)良好的建筑設(shè)計(jì)、細(xì)致的空間平面布置，設(shè)施內(nèi)規(guī)劃良好的作業(yè)區(qū)，都是受控環(huán)境內(nèi)風(fēng)險(xiǎn)控制的最有效措施。6.4.3應(yīng)控制受控環(huán)境排放可能對(duì)外界的污染(例如具有毒性的納米材料、有害氣體、廢水等)。6.4.4納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制見附錄C。6(資料性)噪聲評(píng)價(jià)曲線與限值A(chǔ).1噪聲評(píng)價(jià)曲線常用的頻帶聲壓級(jí)曲線(即噪聲評(píng)價(jià)曲線)有三組：噪聲標(biāo)準(zhǔn)頻率聲壓級(jí)評(píng)價(jià)曲線(簡(jiǎn)稱“NC曲線”,見圖A.1)、最佳噪聲標(biāo)準(zhǔn)頻率聲壓級(jí)評(píng)價(jià)曲線(簡(jiǎn)稱“PNC曲線”,見圖A.2)、噪聲等級(jí)頻率聲壓級(jí)評(píng)價(jià)曲線(簡(jiǎn)稱“NR曲線”,見圖A.3),直觀地反映了各頻程帶的倍頻程聲壓級(jí)和頻率的關(guān)系。NC曲線廣泛用于英、美、日等國(guó)；PNC是NC的擴(kuò)展，和NR曲線在歐洲通用。NC和NR兩組曲線并列為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)推薦的評(píng)價(jià)曲線。頻率/Hz圖A.1NC曲線7儕頻程聲壓級(jí)/dB倍頻程聲壓級(jí)/dT3儕頻程聲壓級(jí)/dB倍頻程聲壓級(jí)/dT3PR*T*7112頻率/HzA.2普通潔凈室噪聲控制限值普通潔凈室空態(tài)噪聲頻譜的倍頻程聲壓級(jí)限制值一般不大于表A.1的規(guī)定。8表A.1空態(tài)噪聲頻譜的倍頻程聲壓級(jí)限制值潔凈室分類倍頻程聲壓級(jí)/dB中心頻率2000Hz4000Hz8000Hz非單向流單向流、混合流A.3噪聲控制建議A.3.1納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境噪聲一般控制在NC-45到NC-50,目前該級(jí)別噪聲控制要求無(wú)法使用節(jié)能型凈化空調(diào)系統(tǒng)。A.3.2常用的透射電鏡和掃描電鏡等成像設(shè)備需要極其安靜的環(huán)境，通常要求噪聲控制限值為NC-259(資料性)防微振設(shè)計(jì)B.1微振動(dòng)限值B.1.1微振動(dòng)限值分級(jí)IESTRP-CC012.2給出了微振動(dòng)限值分級(jí)，即VC-A～VC-G分級(jí)，見表B.1。表B.1微振動(dòng)限值分級(jí)限值定義VC-A4Hz～8Hz頻段256μm/s,8Hz～80Hz頻段50μm/s(2000min/s)VC-B4Hz～8Hz頻段128μm/s,8Hz～80Hz頻段25μm/s(1000min/s)VC-C1Hz～80Hz頻段12.5μm/s(500min/s)VC-D1Hz～80Hz頻段6.25μm/s(250min/s)VC-E1Hz～80Hz頻段3.12μm/s(125min/s)VC-F1Hz～80Hz頻段1.56μm/s(62.5min/s)VC-G1Hz～80Hz頻段0.78μm/s(31.3min/s)B.1.2微振動(dòng)限值應(yīng)用表B.2給出了微振動(dòng)限值應(yīng)用案例。表B.2微振動(dòng)限值應(yīng)用案例限值振幅特征尺寸用途VC-A50(2000)8適用于400X的光學(xué)顯微鏡、精密天平、光學(xué)天平、對(duì)準(zhǔn)與投影校準(zhǔn)器等VC-B25(1000)3適用于3μm線寬的檢測(cè)和光刻設(shè)備(包括分步投影光刻機(jī))VC-C12.5(500)適用于1000X光學(xué)顯微鏡，lμm線寬的檢測(cè)和光刻設(shè)備(包括比較敏感的電子顯微鏡)VC-D6.25(250)0.1～0.3適用于大多數(shù)有防振要求的設(shè)備，包括許多電子顯微鏡(掃描與透射)和電子束系統(tǒng)VC-E3.12(125)此限值是個(gè)挑戰(zhàn)。假設(shè)此要求適用于大多數(shù)有防振要求的設(shè)備，包括長(zhǎng)距離小目標(biāo)激光系統(tǒng)、納米級(jí)電子束光刻系統(tǒng)、其他需要特別穩(wěn)定的系統(tǒng)VC-F1.56(62.5)不確定適用于特別寧?kù)o的研究場(chǎng)所，一般很難達(dá)到，特別是潔凈室難以達(dá)到。僅作為一種特征要求，不建議作為設(shè)計(jì)限值表B.2微振動(dòng)限值應(yīng)用案例(續(xù))限值振幅特征尺寸用途不確定到。僅作為一種特征要求，不建議作為設(shè)計(jì)限值注1:在8Hz～80Hz(VC-A和VC-B)頻段或1Hz～80Hz(VC-C～VC-G)頻段測(cè)量值為1/3倍頻程參數(shù)。注2:特征尺寸在微電子行業(yè)指線寬，在醫(yī)藥研究領(lǐng)域指顆粒物(細(xì)胞)粒徑。特征尺寸并未與探針系統(tǒng)、原子力顯微鏡(AFM)、納米技術(shù)的成像相聯(lián)系。B.2防微振工程設(shè)計(jì)B.2.1設(shè)計(jì)要點(diǎn)防微振工程設(shè)計(jì)宜考慮以下要點(diǎn)：a)微振動(dòng)是物體的微觀運(yùn)行，量值微小，可變因素多，難以用理論公式來描述不同場(chǎng)地、不同環(huán)境的微振動(dòng)：b)以相關(guān)振動(dòng)測(cè)試分析為基礎(chǔ)，選擇適宜的場(chǎng)地；c)宜根據(jù)在工程各階段實(shí)測(cè)取得的數(shù)據(jù)，進(jìn)行相應(yīng)階段的防微振設(shè)計(jì)；d)宜分階段進(jìn)行防微振工程設(shè)計(jì)，以最大限度的保證工程的成功。B.2.2主要內(nèi)容防微振工程設(shè)計(jì)主要內(nèi)容包括：a)選址及規(guī)劃設(shè)計(jì)；b)地基基礎(chǔ)防微振設(shè)計(jì)；c)建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計(jì)；d)精密設(shè)備隔振設(shè)計(jì)；e)動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)。B.2.3設(shè)計(jì)程序防微振工程設(shè)計(jì)程序見圖B.1。場(chǎng)地環(huán)境振動(dòng)測(cè)試場(chǎng)地選擇精密設(shè)備微振動(dòng)控制值工程地質(zhì)、水文地質(zhì)動(dòng)力廣房位置總平面布置精密廠房、實(shí)驗(yàn)室位置動(dòng)力廠房設(shè)備隔振設(shè)計(jì)精密廠房、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計(jì)立“房、實(shí)驗(yàn)室建造精密廠房、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)精密廠房、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)★動(dòng)力設(shè)備(精密廠房、動(dòng)力設(shè)備安裝及試運(yùn)行實(shí)驗(yàn)室內(nèi))試運(yùn)行環(huán)境振動(dòng)測(cè)試工精密設(shè)計(jì)隔振設(shè)計(jì)文精密廠房、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)環(huán)境振動(dòng)最終測(cè)試精密廠房、實(shí)驗(yàn)室試運(yùn)行(資料性)納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制C.1概述由于對(duì)納米材料的安全方面的認(rèn)識(shí)缺失，納米受控環(huán)境內(nèi)的風(fēng)險(xiǎn)尚未全部確定，存在的主要風(fēng)險(xiǎn)包括如下內(nèi)容。接觸、劑量、吸收率及進(jìn)一步反應(yīng)進(jìn)展。b)納米領(lǐng)域發(fā)明新材料的能力已顯著超越了以往對(duì)相關(guān)毒性和風(fēng)險(xiǎn)因素的理解。納米材料的很大一部分，在特定工業(yè)領(lǐng)域和研究領(lǐng)域中應(yīng)用穩(wěn)定，但其他領(lǐng)域?qū)ζ浒踩雷o(hù)措施并不了解。C.2風(fēng)險(xiǎn)和限制C.2.1接觸納米材料有潛在風(fēng)險(xiǎn)。納米材料合成和含有納米顆粒(納米尺度)粉末處理的潛在風(fēng)險(xiǎn)C.2.2生物危險(xiǎn)分為一般生物活性物質(zhì)和生物激活的納米材料。需要關(guān)注后者，有些材料納米尺度的毒理特性的改變，能夠摧毀人的免疫系統(tǒng)。C.2.3部分納米材料接觸濃度限值見表C.1。表C.1部分納米材料接觸濃度限值表種類空氣濃度限值*TiO?細(xì)粉超細(xì)粉碳納米管和碳納米纖維接觸時(shí)間為每周40h,每工作日10h。C.3風(fēng)險(xiǎn)控制層次與方法納米受控環(huán)境內(nèi)納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制層次(由低到高)及方法如下。a)消除或替代：首選方法是消除那些引起風(fēng)險(xiǎn)的材料或設(shè)備，修改工藝或設(shè)備，或用無(wú)風(fēng)險(xiǎn)材料代替風(fēng)險(xiǎn)材料。盡量將材料數(shù)量或濃度降至風(fēng)險(xiǎn)閾值以下。b)隔離：當(dāng)消除或替代方法不可行時(shí)，宜采用隔離方法防止人員接觸到納米材料，包括各類通風(fēng)、帶風(fēng)罩的局部通風(fēng)，隔離屏障系統(tǒng)(RABS)和隔離裝置；另外，個(gè)人防護(hù)設(shè)備(PPE)作為雙重隔離措施