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晶體的能帶
晶體的能帶Eg隨x的變化關(guān)系IV族元素Si、Ge可以形成連續(xù)固溶體,構(gòu)成混合晶體,其能帶結(jié)構(gòu)隨合金成分的變化而變化。寫為Si1-xGex(0≤x≤1),x稱為混晶比(或固相組分).在0≤x≤0.85時(shí),其能帶結(jié)構(gòu)與Si類似;0.85≤x≤1時(shí),能帶結(jié)構(gòu)與Ge類似。因?yàn)楫?dāng)Si含量小時(shí),<111>能谷為導(dǎo)帶底;隨著Si含量的增大,<111>導(dǎo)帶極值和<100>導(dǎo)帶極值以不同速率相對(duì)價(jià)帶頂上移,<111>極值上升較快,在x=0.85時(shí),兩種能谷達(dá)到同一水平,在Si含量大于0.15后,<100>能谷代替<111>能谷為導(dǎo)帶底,能帶變?yōu)轭惞栊偷摹N?、III-V族化合物半導(dǎo)體的能帶:1、GaAs1-xPx2、Ga1-xInxAsyP1-yGaAsP的Eg與組分的關(guān)系GaPGaAsInPInAsGaInAsP的Eg與組分的關(guān)系實(shí)線為等帶隙線,虛線為等晶格常數(shù)線。陰影表示該組分內(nèi)材料為間接帶隙半導(dǎo)體虛線表示間接帶隙半導(dǎo)體1.82.02.22.42.62.83.01234567Bandgapenergy(eV)Bondlength
(?)AlNGaNMgSMgSeZnSInNZnSeCdTeInPGaAsZnOAlPGaPAlAsDirectbandgapIndirectbandgapGroupIII-nitrides:coveringthewavelengthregionfromUV
to
IRInN-GaN-AlNsystemcoversawiderangeofspectrumAlInGaN體系的能帶結(jié)構(gòu),在自然界材料體系中是空前絕后的能帶間隙全部是直接帶隙,從深紫外到遠(yuǎn)紅外上堂課回顧:B
Si、Ge和GaAs的能帶結(jié)構(gòu):Si的導(dǎo)帶:極小值在[100]方向上,6個(gè)能谷,等能面為旋轉(zhuǎn)橢球;Ge的導(dǎo)帶:極小值在[111]方向的BZ邊界上,4個(gè)能谷,等能面為旋轉(zhuǎn)橢球;Si和Ge的價(jià)帶:極大值在BZ中心(k=0處),3個(gè)能帶,重空穴帶,輕空穴帶,自旋-軌道耦合劈裂帶;Si和Ge:導(dǎo)帶極小值和價(jià)帶極大值在k空間不同點(diǎn)間接帶隙半導(dǎo)體;GaAs的導(dǎo)帶和價(jià)帶:導(dǎo)帶極小值和價(jià)帶極大值皆在BZ中心,等能面為球面。直接帶隙半導(dǎo)體B化合物半導(dǎo)體:
二元合金,如GaAs三元合金,如GaAs1-xPx
四元合金,如Ga1-xInxAsyP1-y另一種表述方法:
受主雜質(zhì)電離過程
中性受主=帶負(fù)電的受主離子+空穴空穴激發(fā)到價(jià)帶,失去空穴雜質(zhì)電離思考題:p61圖3.20(b)受主能級(jí)雜質(zhì)補(bǔ)償:
(impuritycompensation)如果半導(dǎo)體中同時(shí)含有施主和受主雜質(zhì),由于受主能級(jí)比施主能級(jí)低得多,受主雜質(zhì)也要首先接受來自施主雜質(zhì)的電子,剩余的受主雜質(zhì)才能接受來自價(jià)帶的電子。施主和受主雜質(zhì)之間這種互相抵消的作用,稱為雜質(zhì)補(bǔ)償。在這種情況下,半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型由濃度大的雜質(zhì)來決定。施主濃度大于受主濃度時(shí),半導(dǎo)體是N型;反之則為P型。
二、III-V族化合物半導(dǎo)體中的雜質(zhì)在Ⅳ族元素半導(dǎo)體中,取代Ⅳ族原子占據(jù)晶格位置的Ⅴ族原子成為施主雜質(zhì),而Ⅲ族原子卻成為受主雜質(zhì)。這個(gè)結(jié)果說明,在半導(dǎo)體中,雜質(zhì)原子的價(jià)電子數(shù)與晶格原子的價(jià)電子數(shù)之間的關(guān)系,是決定雜質(zhì)行為的一個(gè)重要因素。則可知,在Ⅲ—Ⅴ族化合物半導(dǎo)體中,取代晶格中Ⅴ族原子的Ⅵ族原子(如Se、Te),是施主雜質(zhì);取代Ⅲ族原子的Ⅱ族原子(如Zn、Mg、Cd),是受主雜質(zhì)。兩性雜質(zhì):IV族原子(如Si、Ge)在III-V族半導(dǎo)體中為兩性雜質(zhì)。若取代III族原子,是施主雜質(zhì);若取代V族原子,是受主雜質(zhì),這種雜質(zhì)稱為兩性雜質(zhì)。具體行為與雜質(zhì)濃度和外部條件有關(guān):如GaAs:Si,Si濃度<1018cm-3時(shí),Si基本只取代Ga施主;Si濃度>1018cm-3時(shí),部分Si取代As受主,補(bǔ)償SiGa施主.等電子雜質(zhì)和等電子陷阱:當(dāng)雜質(zhì)原子和晶格原子的價(jià)電子數(shù)相等時(shí),雜質(zhì)通常稱為等電子雜質(zhì)。等電子雜質(zhì)替代相同價(jià)電子數(shù)的晶格原子(組分原子)后,由于其負(fù)電性不同,可以束縛電子。由等電子雜質(zhì)形成的陷阱稱為等電子陷阱。應(yīng)用:如GaP:NLEDN與P同為V族元素,N比P的原子序數(shù)小,而負(fù)電性大,則可形成等電子陷阱。深能級(jí)
硅或鍺中的Ⅲ族和Ⅴ族雜質(zhì),Ⅲ—Ⅴ族化合物半導(dǎo)體中的ⅡB族和Ⅵ族雜質(zhì),都在禁帶中引入淺能級(jí),實(shí)際上,在半導(dǎo)體中還存在另一類雜質(zhì):它們的能級(jí)在禁帶中心附近,常稱這樣的能級(jí)為深能級(jí)。深能級(jí)雜質(zhì)的特點(diǎn):①電離能大,對(duì)熱平衡中的載流子濃度無顯著影響
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