cigs電沉積法工藝流程

cigs電沉積法工藝流程一、處理清洗涂覆在電沉積法制備CIGS（銅銦鎵硒）薄膜之前，首先需要對基片進(jìn)行前處理清洗和涂覆?；ǔ２捎貌ＡЩ蛉嵝砸r底，如聚酯薄膜等。清洗過程中，基片需要經(jīng)過去離子水、有機(jī)溶劑等多步清洗，確保表面無油污、無雜質(zhì)。隨后，為了增強(qiáng)基片與薄膜之間的附著力，還需進(jìn)行涂覆處理，形成一層均勻的底層。二、浸漬硒化物溶液經(jīng)過前處理清洗涂覆后的基片，需要浸漬在含有硒化物的溶液中。硒化物溶液的選擇與配制需根據(jù)所需CIGS薄膜的成分和性能進(jìn)行精確控制。浸漬過程中，基片與溶液充分接觸，確保硒化物能均勻分布在基片表面。三、蒸發(fā)沉積CIGS浸漬完成后，基片被送入蒸發(fā)沉積設(shè)備中。在真空環(huán)境下，通過蒸發(fā)或?yàn)R射等方法，將銅、銦、鎵等金屬元素沉積在基片表面的硒化物上。這一過程中，需要嚴(yán)格控制沉積速率、溫度和真空度等參數(shù)，以確保形成的CIGS薄膜具有均勻的結(jié)構(gòu)和良好的光電性能。四、薄膜后處理加熱沉積完成后，需要對薄膜進(jìn)行后處理加熱。通過加熱處理，可以促進(jìn)薄膜中的元素?cái)U(kuò)散和反應(yīng)，進(jìn)一步優(yōu)化薄膜的結(jié)構(gòu)和性能。加熱溫度和時(shí)間需根據(jù)具體情況進(jìn)行調(diào)整，以達(dá)到最佳的薄膜性能。五、制備緩沖層材料在CIGS薄膜之上，需要制備一層緩沖層材料。緩沖層的主要作用是防止CIGS薄膜與后續(xù)制備的透明導(dǎo)電層之間發(fā)生不良反應(yīng)，提高器件的穩(wěn)定性。常用的緩沖層材料包括硫化鋅、硫化鎘等，制備方法可采用溶液法或氣相法等。六、制備透明導(dǎo)電層緩沖層制備完成后，需要在其上制備一層透明導(dǎo)電層。透明導(dǎo)電層通常由導(dǎo)電氧化物如氧化銦錫（ITO）或氧化鋅錫（ZTO）等材料構(gòu)成，具有高的透光性和導(dǎo)電性。這一層的制備通常采用噴涂、濺射或化學(xué)氣相沉積等方法。七、制備反射層材料為了提高光吸收效率，需要在透明導(dǎo)電層之上制備一層反射層材料。反射層通常由金屬如銀或鋁等材料構(gòu)成，可以有效地將未被吸收的光線反射回薄膜中，增加光程和光吸收。反射層的制備可采用蒸鍍或?yàn)R射等方法。八、制備金屬電極最后，在反射層之上制備金屬電極，用于與外部電路連接。金屬電極的材料需具有良好的導(dǎo)電性和穩(wěn)定性，常用的材料包括金、銀、銅等。電極的制備通常采用印刷、涂覆或?yàn)R射等方法，確保電極與反射層之間形成良好的接觸。通過以上工藝流程，可以制備出具有優(yōu)良光電性能的CI