2021年無塵潔凈室塵埃粒子檢測標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程

*歐陽光明*創(chuàng)編 2021.03.07潔凈室塵埃粒子檢測標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程1.歐陽光明(2021.03.07).目的：闡述潔凈室(區(qū))中懸浮粒子的測試方法，用以規(guī)范員工的檢測操作。.范圍：適用于公司內(nèi)部生產(chǎn)潔凈區(qū)塵埃粒子檢測工作.責(zé)任：生產(chǎn)車間、生產(chǎn)部、質(zhì)量管理部、QC檢驗(yàn)室主任、檢驗(yàn)員。.測依據(jù)：.內(nèi)容：儀器：光散射粒子計(jì)數(shù)器和濾膜顯微鏡。光散射粒子計(jì)數(shù)器用于粒徑三0.5xm；濾膜顯微鏡用于粒徑三5xm的懸浮粒子的計(jì)數(shù)。使用光散射粒子計(jì)數(shù)器時(shí)應(yīng)嚴(yán)格按照儀器說明書操作。測定標(biāo)準(zhǔn)潔凈度級別懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米6)頻次^態(tài)b)動態(tài)(b)>0.51mmd)>5pm>0.511Hm(d)>5pm100級3500135001一次/月10000級350013500002000一次/月100000級3500002000350000020000一次/月300000級350000020000不作規(guī)定不作規(guī)定測試方法儀器開機(jī),預(yù)熱至穩(wěn)定后,方可按說明書的規(guī)定對儀器進(jìn)行校正。采樣管口置采樣點(diǎn)采樣時(shí)，在確認(rèn)計(jì)數(shù)穩(wěn)定后方可開始連續(xù)讀數(shù)。采樣管必須干凈、嚴(yán)禁滲漏。采樣管的長度應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度，除另有規(guī)定外，長度不大于1.5m。計(jì)數(shù)器采樣口和儀器工作位置應(yīng)處在同一氣壓和溫度下，以免產(chǎn)生測量誤差。必須按照儀器的檢定周期，定期對儀器作檢定，以保證測試數(shù)據(jù)的可靠性。測試規(guī)則測試條件溫度和濕度：潔凈室的溫度和相對濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)，溫度控制在18?26℃,相對濕度控制在45?65%之間為宜。壓差：空氣潔凈度不同的潔凈室（區(qū)）之間的壓差應(yīng)三5Pa,空氣潔凈度級別要求等高的潔凈室（區(qū)）對相鄰的空氣潔凈度級別低的潔凈室（區(qū)）一般要求呈相對正壓。測試狀態(tài)：有靜態(tài)測試和動態(tài)測試。靜態(tài)測試時(shí)室內(nèi)空調(diào)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，測試人員不得多于2人。塵埃粒子數(shù)必須符合規(guī)定。動態(tài)測試時(shí)已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)，所產(chǎn)生粒子不影響最終*歐陽光明*創(chuàng)編 2021.03.07產(chǎn)品的作業(yè)，可允許超出標(biāo)準(zhǔn)，但當(dāng)操作完成10分鐘后，粒子水平必須恢復(fù)到以潔凈區(qū)塵粒最大允許數(shù)范圍之內(nèi)，應(yīng)定期監(jiān)控動態(tài)條件下的潔凈狀況。測試報(bào)告中應(yīng)標(biāo)明測試時(shí)所采用的狀態(tài)。測試時(shí)間：對單向流，測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于30分鐘后開始。懸浮粒子計(jì)數(shù)采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)及工藝關(guān)鍵操作區(qū)設(shè)置。采樣點(diǎn)布置要求均勻，避免采樣點(diǎn)在某局部區(qū)域過于稀疏。采樣點(diǎn)一般在工作臺面上0.2m高度的平面上均勻布置。采樣點(diǎn)的限定：對于任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目不得少于2個(gè)，總采樣次數(shù)不得少于5次。每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)可以多于1次，但不同采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以不同。最少采樣點(diǎn)數(shù)目^積m2^潔凈度級別10010000100000<102?322>10<20>20<404Q2222>40<10081642勺>100<20040102036>200<40080^040613>400<100016010032>1000<2000400200632000800注：表中的面積，對于單向流潔凈室，是指送風(fēng)面積，對于三非單向流潔凈室，是指房間面積。采樣量：最小采樣量潔凈度級別樣量,升/次>0.5pm>5pm1005.66100002.83851000002.8385300000采樣注意事項(xiàng)在確認(rèn)潔凈室（區(qū)）送風(fēng)和壓差達(dá)到要求后,方可進(jìn)行采樣。對于單向流，計(jì)數(shù)器采樣管口朝向應(yīng)正對氣流方向，對于非單向流，采樣口宜向上。布置采樣點(diǎn)時(shí)，應(yīng)避開回風(fēng)口。采樣時(shí)，測試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。懸浮粒子濃度的采樣數(shù)據(jù)應(yīng)按下述步驟作統(tǒng)計(jì)計(jì)算。結(jié)果計(jì)算C1+C2+ +CN采樣點(diǎn)的平均粒子濃度A二 N式中：*歐陽光明*創(chuàng)編A--某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度，粒/口3；Ci--某一采樣點(diǎn)的粒子濃度（i=1,2,一,N），B/m3；N--某一采樣點(diǎn)上的采樣次數(shù)，次。A1+A2+---+AL平均值的均值帆二 L式中M—-平均值的均值，即潔凈室（區(qū)）的平均粒子濃度，粒/m3；Ai-某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度（i=1,2,一，L）,粒/m3；L一某一潔凈室（區(qū)）內(nèi)的總采樣點(diǎn)數(shù)，個(gè)。式中SE一平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差，粒/口3。置信上限UCL=M+tXSE式中：UCL—平均值均值的95%置信上限，粒/口3；t—95%置信上限的土分布系數(shù)。95%置信上限的土分布系數(shù)采樣數(shù)L23456789>9t6312922352.132.021.941.901.86注：當(dāng)采樣點(diǎn)多于9點(diǎn)時(shí)，不需要計(jì)算UCL。結(jié)果評定：判斷懸浮粒子潔凈度級別應(yīng)依據(jù)下述二個(gè)條件。每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度必須低于或等于規(guī)定的級別界限，即AiW級別界限。全部采樣點(diǎn)的粒子濃度平均值的均值的95%置信上限必須低于或等于規(guī)定的級別界限，即氐1忘級別