電子廠靜電防護以及管理規(guī)范樣本

HYPERLINK目HYPERLINK合用范疇HYPERLINK引用原則HYPERLINK名詞術(shù)語HYPERLINK防靜電工作區(qū)系統(tǒng)HYPERLINK人體防靜電系統(tǒng)HYPERLINK職責(zé)HYPERLINK培訓(xùn)HYPERLINK采購HYPERLINK文獻生效日期HYPERLINK記錄HYPERLINK\l"l"附錄目為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運送、儲存、檢測等過程中受到靜電釋放影響，從而產(chǎn)生短路、電阻漂移、開路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立《電子產(chǎn)品制造靜電防護技術(shù)規(guī)定》，以保證產(chǎn)品品質(zhì)，增長可靠性，減低不良率，節(jié)約產(chǎn)品工時成本，減少維修費用?；凇峨娮赢a(chǎn)品制造靜電防護技術(shù)規(guī)定》文獻頒布，提高員工對ESD結(jié)識，加強員工自覺防止ESD現(xiàn)象之觀念，增進生產(chǎn)管理水平之提高。合用范疇本文合用于所有車間中生產(chǎn)制程及電子元器件采購、運送、儲存、檢測過程中靜電防護。引用原則SJ/T10694-1996 《電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試辦法》GB/T15463-1995《靜電安全名詞術(shù)語》GJB3007–97 《防靜電工作區(qū)技術(shù)規(guī)定》GJB1649–93 《電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱》GB1–89 《防靜電工作服》SJ/T10533-94 《電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)規(guī)定》SJ/T10630-1995《電子元器件制造防靜電技術(shù)規(guī)定》ANSI/ESDSTM3.1-《靜電放電敏感產(chǎn)品防護用原則：離子發(fā)生器》ANSI/ESDS20.20-1999《建立一種靜電放電控制方案—保護電氣和電子零件，裝置和設(shè)備》名詞術(shù)語靜電：一種處在相對穩(wěn)定狀態(tài)電荷。它所引起磁場效應(yīng)可以忽視不計（靜電可由物質(zhì)接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒附著等物理過程而產(chǎn)生）。ESD：ElectronicStaticDischarge，原意是指靜電釋放，即通過帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起靜電電荷在不同電勢物體上轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護，即避免靜電釋放發(fā)生。靜電感應(yīng)：當(dāng)帶電物體接近某一介質(zhì)時，在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷，并形成感應(yīng)電場。ESDS：ElectronicStaticDischargeSensitive，靜電放電敏感（），通慣用來指靜電敏感元器件。防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設(shè)施、器件及明確區(qū)域界限形成工作場地。靜電敏感度：ElectrostaticSensitivity，元器件所能承受靜電放電電壓值。表面電阻/點對點電阻：在與材料同一側(cè)面相接觸兩個規(guī)定形狀電極之間，直流電壓對于流過電流比值。該測量成果以歐姆為單位來表達。體積電阻/對地電阻/系統(tǒng)電阻：在與材料相對兩面相接觸兩個規(guī)定形狀電極之間，直流電壓對于流過電流比值。該測量成果以歐姆為單位來表達。摩擦起電：當(dāng)使兩種材料接觸或互相摩擦后分離時，產(chǎn)生靜電荷。摩擦電壓：物體被摩擦后，表面所帶靜電荷電壓。ESD損傷：由靜電放電引起電子元器件性能退化或功能失效。消電時間（DecayTime）：一種靜電壓從其初始值減少到一種給定值（普通是初始值10%）所需要時間。注：國際慣例對于不大于1E6歐姆電阻使用10V電壓測量，不不大于或等于1E6歐姆電阻使用100V電壓測量，防靜電工作區(qū)系統(tǒng)防靜電工作區(qū)劃分：依照GJB1649規(guī)定靜電放電電壓敏感靜電放電敏感元器件\組件和設(shè)備分級.靜電放電敏感產(chǎn)品按敏感度電壓被分級為:靜電敏感度級別靜電敏感電壓（人體模型—HBM）I級0~1999VII級~3999VIII級4000~15999V依照該項原則規(guī)定，所規(guī)定ESD控制大綱普通只包括對I和II級敏感產(chǎn)品防護?，F(xiàn)按照元器件靜電敏感度和生產(chǎn)線實際狀況如下：高速器件（如藍牙耳機等含高頻器件組件）、較大規(guī)模集成電路（如CMOS攝像模塊）靜電敏感度相對較高，凡是含這些器件半成品生產(chǎn)線均定為I級；普通器件如TI計算器等，沒有用到上述類型器件產(chǎn)品，則生產(chǎn)這些產(chǎn)品生產(chǎn)線不需要嚴格防靜電辦法。僅僅是器件存儲和運送，也不需要嚴格防靜電辦法，理由是器件在這個時候沒有被操作。把這些生產(chǎn)線或車間定為II級；按照上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級別為：級別區(qū)域I級BONDING車間、COB車間、SMT車間，含CMOS照相模塊或高頻通訊產(chǎn)品電子產(chǎn)品（半成品）裝配拉等II級不含CMOS照相模塊或高頻通訊產(chǎn)品電子產(chǎn)品裝配拉，普通電子產(chǎn)品半成品包裝區(qū)域、貨倉電子料區(qū)域，生產(chǎn)倉，收料倉等公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線圍起區(qū)域或門口掛有靜電標示牌車間為防靜電工作區(qū)。元器件敏感度分級由QC1ESD工程師按后附錄1——《ESDS元器件分類》酌情分級，并擬定。防靜電工作區(qū)基本環(huán)境規(guī)定防靜電工作區(qū)應(yīng)保持干凈，避免有灰塵堆積或漂浮狀態(tài)發(fā)生車間內(nèi)溫濕度控制結(jié)合車間實際狀況定為：區(qū)域溫度濕度百級干凈室21250%~60%千級干凈室21260%~70%普通車間23340%~70%在不對產(chǎn)品導(dǎo)致有害影響前提下，容許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增長環(huán)境濕度。防靜電工作區(qū)應(yīng)清晰標明區(qū)域界限以及警示標志，見附錄14。規(guī)定使用防靜電地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊，并保證有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品，普通狀況下容許使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應(yīng)有獨立可靠接地裝置，接地電阻普通應(yīng)不大于10歐姆，為保證人員安全，在與人員直接接觸地方應(yīng)加裝1兆歐姆限流電阻。接地線規(guī)定如下：接地線截面積接地電阻規(guī)定接地總線不不大于100mm2銅制導(dǎo)線不大于10歐姆ESD線不得直接接在電源零線上。ESD線不得與防雷地線共用。使用三相五線制供電，其大地線可以作為ESD地線，但需保證電源地線與零線不能搭接。接地支干線不不大于6mm2銅制導(dǎo)線不大于10歐姆設(shè)備和工作臺接地線不不大于1.25mm2多股或單股銅制絕緣套導(dǎo)線不大于10歐姆或0.8兆歐~1.2兆歐新增ESD地線應(yīng)用綠色絕緣套標記，本來使用黃綠色絕緣套標記可以繼續(xù)使用。臺墊等物品接地配件按照來料顏色使用。ESD接地詳情參閱《南太接地系統(tǒng)》。廠房接地總線接地電阻不大于10歐姆，由行政部負責(zé)定期檢查，周期為一種月一次。并填寫《廠房接地電阻測試登記表》。車間內(nèi)部設(shè)備和工作臺接地線接地狀況由PE負責(zé)定期檢查，周期為3個月一次。并填寫《工作臺地線接地電阻測試登記表》。測試臺防靜電設(shè)備，工器具接地由TE負責(zé)定期檢查，周期為3個月一次。并填寫《工作臺地線接地電阻測試登記表》。防靜電區(qū)域設(shè)備及輔料規(guī)定I級區(qū)域II級區(qū)域防靜電安全工作臺防靜電安全工作臺防靜電容器、運送工具（料盒、料箱、運送車）防靜電容器、運送工具（料盒、料箱、運送車）防靜電腕帶防靜電腕帶防靜電工衣（帽）防靜電工衣（帽）防靜電工鞋防靜電工鞋防靜電測試架防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）離子風(fēng)機（離子棒/離子風(fēng)槍）（視工序而定）防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）防靜電工作區(qū)ESD技術(shù)規(guī)定防靜電地板用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品定期進行清潔，禁止使用強酸、強堿或能溶解PVC材料化學(xué)溶劑進行清洗，如果屬于更嚴重污漬，可以使用異丙烯基乙醇清潔。禁止帶有尖刺、粗糙重物在地板表面擦劃、拖拉。不能將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上狀況，應(yīng)及時清潔。使用防靜電地板蠟水進行定期涂敷、養(yǎng)護，普通6個月一次。地板蠟電阻不大于1E9歐姆。地板安裝時應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標涉及：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范疇以內(nèi)。生產(chǎn)部應(yīng)及時向行政部規(guī)定對防靜電地板進行打蠟維護，行政部做好地板打蠟后應(yīng)及時告知QC1部ESD工程師。對于K4干凈室地板，經(jīng)IE評估且通過ESD工程師承認，可以不做地板打蠟。QC1部ESD工程師應(yīng)在行政部對防靜電地板打蠟后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測試，測試辦法見附錄2，并填寫《防靜電地板電阻測試登記表》。防靜電安全工作臺（含測試臺）各區(qū)域防靜電安全工作臺由負責(zé)該區(qū)域PE或TE擬定范疇。例如：回流焊后檢查臺、QC1檢查臺、修理臺和測試臺等。防靜電安全工作臺基本規(guī)定和禁止項目規(guī)定禁止工作臺表面鋪設(shè)防靜電臺墊，同步臺墊必要接地。特殊狀況可以沒有臺墊，但需經(jīng)ESD工程師承認。工作臺上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易產(chǎn)生靜電雜物.配備腕帶接頭、ESD地線、離子風(fēng)機（可選）、防靜電工具（可選）和防靜電測試架距離ESDS元器件30厘米以內(nèi)有摩擦電壓高于200V物件在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜電規(guī)定物料且必要時，必要得到QC1ESD工程師評估和承認。防靜電臺臺面應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范疇以內(nèi)。防靜電臺椅子應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均不大于1E9歐姆范疇。防靜電膠簾表面電阻應(yīng)在1E4~1E11歐姆內(nèi)。PE或TE應(yīng)每6個月做一次相應(yīng)工作區(qū)域內(nèi)防靜電臺墊和防靜電工椅電阻測試，防靜電臺墊測試辦法見附錄3，填寫《防靜電臺墊電阻測試登記表》。防靜電工椅測試辦法見附錄8，填寫《防靜電工椅測試登記表》，如果有不合格，須及時更換。防靜電輔料/工具防靜電溶劑瓶：系統(tǒng)電阻在1E4~1E11歐姆范疇。防靜電烙鐵/焊接工具：從熱端頭到地電阻應(yīng)不大于10歐姆。防靜電文獻袋(夾)：表面電阻在1E4~1E11歐姆范疇。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電輔料電阻測試，測試辦法見附錄7，填寫《防靜電輔料電阻測試登記表》。防靜電包裝及容器防靜電容器涉及——ESDS原料包裝袋（盒/盤）、裝板料盒、等一切包裝、儲存ESDS容器。容許使用局部抗靜電涂料對容器表面進行解決，但使用效果必要由有關(guān)PE定期檢查。防靜電容器應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標：表面電阻(涉及內(nèi)外表面)在1E4~1E11歐姆范疇，系統(tǒng)電阻在1E4~1E10歐姆范疇。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品金屬某些不直接與防靜電容器接觸，則容許防靜電容器電阻不大于1E4歐姆。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電容器（涉及吸塑、托盤、料箱等）表面電阻和體積電阻測試，測試辦法見附錄4。填寫《防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測試登記表》，測試成果由PE保存半年，并在符合原則容器上做標記。QC2應(yīng)按SEF對來料包裝袋和容器進行測試，并填寫《防靜電包裝袋容器電阻測試登記表》。防靜電運送工具及存儲架等防靜電運送工具涉及—ESD運送車、ESD小推車等為保護ESDS不受到外部強靜電場影響，運送ESDS防靜電運送工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料（建議使用不銹鋼）制作，車子經(jīng)常固定期規(guī)定硬接地。其對地電阻應(yīng)不大于10歐姆。當(dāng)運送車由不銹鋼構(gòu)成時，且經(jīng)常移動時，其對地電阻應(yīng)不大于1E9歐姆。存儲架表面電阻和對地電阻應(yīng)不大于1E9歐姆。防靜電運送工具應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標：表面電阻和對地電阻不大于1E9歐姆。PE應(yīng)每6個月做一次防靜電運送車、ESD小推車之臺面對輪腳系統(tǒng)電阻測試，測試辦法見附錄5。填寫《防靜電運送工具/存儲架電阻測試登記表》，測試成果由PE保存半年，并在符合原則運送工具上做標記。除靜電離子風(fēng)機/離子棒當(dāng)防靜電區(qū)域內(nèi)不可避免需要使用會產(chǎn)生高靜電材料時，且該材料規(guī)定被放置在離ESDS30厘米內(nèi)時，必要使用離子風(fēng)機或離子棒。對于不能接地又直接接觸ESDS元件物體，必要保證其保持在零電位狀態(tài)，必要時，可以使用離子風(fēng)機消除在這個過程中產(chǎn)生靜電。離子風(fēng)機在使用過程中會產(chǎn)生較大功率RF信號，因而進行通信產(chǎn)品測試車間不合用離子風(fēng)機。如果要用，則需要通過QC1ESD工程師評估。懸掛式離子風(fēng)機應(yīng)懸掛在離工作臺面60厘米高度，（特殊工位可例外，但須經(jīng)ESD工程師承認）離子風(fēng)機出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機平衡電壓保持在50V以內(nèi)，消電時間（從1000V中和到100V）應(yīng)不大于10秒（高風(fēng)速）。臺式離子風(fēng)機應(yīng)放置在工作臺上且離工作區(qū)域30~45厘米左右，以保證有足夠覆蓋范疇和迅速靜電消除。離子風(fēng)機出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機平衡電壓保持在50V以內(nèi)，消電時間（從1000V中和到100V）應(yīng)不大于3秒（高風(fēng)速）。離子棒應(yīng)懸掛在適當(dāng)工作高度以保證除靜電效果，離子棒平衡電壓應(yīng)保持在50V以內(nèi)，消電時間（從1000V中和到100V）應(yīng)不大于60秒。QC1ESD工程師應(yīng)每6個月做一次離子風(fēng)機平衡電壓和消電時間測試，填寫《除靜電離子發(fā)生器測試登記表》，對不符合規(guī)定離子風(fēng)機，應(yīng)及時解決。其他防靜電物料及有關(guān)規(guī)定不在上面列出來物料則按普通防靜電規(guī)定，表面電阻在1E4~1E11歐姆內(nèi)，系統(tǒng)電阻在1E4~1E11歐姆內(nèi)。特殊狀況下，如果找不到適當(dāng)供應(yīng)商，又通過ESD專人評估，確認不會對產(chǎn)品構(gòu)成ESD隱患狀況下，可以引入表面電阻或體積電阻不大于1E11歐姆物料。人體防靜電系統(tǒng)防靜電腕帶直接接觸ESDS任何人員都應(yīng)按規(guī)定佩帶防靜電腕帶（俗稱靜電帶），禁止使用無線防靜電腕帶。防靜電腕帶接觸線應(yīng)內(nèi)置一種1兆歐姆電阻，以保證人體安全以及迅速瀉放靜電，防靜電腕帶腕帶應(yīng)是導(dǎo)電性，表面電阻應(yīng)不大于1E3歐姆。同步應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好接觸，系統(tǒng)電阻應(yīng)不大于35兆歐姆，且使用鱷魚夾或插頭座可靠連接在ESD線上。應(yīng)每天一次測量防靜電腕帶系統(tǒng)電阻，由拉長填寫《靜電帶檢查登記表》，檢查不合格時應(yīng)交由修理檢修，不能修復(fù)時，應(yīng)及時更換。防靜電鞋/防靜電鞋套所有進入防靜電區(qū)域人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套使用要保證鞋系統(tǒng)電阻在1E5~3.5E7歐姆范疇內(nèi)。應(yīng)每天一次測量防靜電鞋/鞋套系統(tǒng)電阻，由拉長填寫《防靜電鞋/鞋套檢查登記表》，檢查不合格時應(yīng)及時更換。防靜電工作服防靜電工作服涉及——防靜電連體衣、防靜電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽，防靜電工作服規(guī)定使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造規(guī)定應(yīng)符合GB1之規(guī)定，其各某些之間應(yīng)存在電氣持續(xù)性。工作服設(shè)計應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。進入防靜電區(qū)域時，防靜電工作服、工鞋和工帽規(guī)定穿著整潔，所有紐扣（拉鏈）要系好（拉完全），頭發(fā)必要包在工帽內(nèi)，不能有外露。不同使用人員之防靜電工作服按顏色區(qū)別：人員普通工作區(qū)域及千級干凈室百級干凈室生產(chǎn)部作業(yè)員工艷藍色防靜電服（帽）白色防靜電連體服+淺藍色條紋披肩帽品質(zhì)部員工粉紅色防靜電服（帽）白色防靜電連體服+粉紅色條紋披肩帽工程人員深藍色防靜電服（帽）白色防靜電連體服+深藍色條紋披肩帽生產(chǎn)管理人員黃色防靜電服（帽）白色防靜電連體服+黃色條紋披肩帽外來人員白色防靜電服（帽）白色防靜電連體服+無條紋披肩帽購買防靜電工衣時應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標：表面電阻值（1E5歐姆~1E10歐姆）。生產(chǎn)部應(yīng)每半年做一次防靜電工衣表面電阻測試，測試辦法見附錄6，并填寫《防靜電工衣表面電阻測試登記表》，對于不符合指標規(guī)定防靜電工衣，予以更換。防靜電手套/指套由消散性材料制成，人體穿戴對地電阻在1E5~1E11歐姆范疇，摩擦電壓不大于50V。人體綜合接地測試系統(tǒng)規(guī)定手腕帶-人體工鞋-人體批示燈電阻下限7.5E5歐姆1E5歐姆電阻上限3.5E7歐姆3.5E7歐姆電阻在范疇以內(nèi)綠燈電阻不在范疇以內(nèi)紅燈每個進入防靜電區(qū)域人員須進行人體綜合接地效果測試，如果亮紅燈，則表白測試失敗，應(yīng)更換工鞋/鞋套或手腕帶重新進行測試并告知有關(guān)人員。人員防靜電普通規(guī)定規(guī)定進入防靜電區(qū)人員盡量穿著棉質(zhì)衣物，盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強電場導(dǎo)致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。在防靜電工作區(qū)內(nèi)不得大聲喧嘩，坐立姿勢端正，避免不必要走動，以及不必要大幅度身體運動，如彎腰、晃動手臂等，在防靜電工作區(qū)內(nèi)如有必要走動，應(yīng)緩步行走，禁止奔跑。接觸靜電敏感器件及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶再接入防靜電地線系統(tǒng)，要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。手持靜電敏感器件及組件時應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電（金屬管腳）某些，操作過程中應(yīng)盡量減少對靜電敏感器件及組件接觸次數(shù)。按需要逐個取用，不得一次倒出一堆IC散亂地放在工作臺面上，已裝貼有元器件PCB板不得裸露疊放，確需暫時疊放時必要用防靜電材料隔離開。外來人員參觀，必要有我司人員全程陪伴，按參觀路線行進，不得隨意走動，不得進入機器外圍斑馬線地標，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。職責(zé)生產(chǎn)經(jīng)理、主管、科文等管理人員，職責(zé)涉及：負責(zé)做好物料、作業(yè)員、及其她進出防靜電工作區(qū)人員及物品出入管理，保證其按ESD規(guī)定對的著裝，保證作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)人員對的使用ESD設(shè)備，涉及防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工鞋、防靜電腕帶、防靜電臺墊、離子風(fēng)機、ESD料盒和ESD地板等；保證無關(guān)人員不接觸產(chǎn)品，不對產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放；對懷疑是靜電損傷產(chǎn)品，需要保存樣品并報告給相應(yīng)部門作失效分析；定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶ESD品質(zhì)，如有品質(zhì)異常，及時向采購部提出采購申請更換；每天檢查ESD設(shè)備、臺墊等接地狀況（目視），保證接地線對的連接到ESD總線上；每半年規(guī)定服務(wù)組對防靜電地板進行打蠟。QC1ESD工程師/技術(shù)員，職責(zé)涉及：統(tǒng)籌全廠ESD控制，定期對生產(chǎn)線靜電防護水平做出評估，并給出改進意見，提高其靜電防護水平；負責(zé)尋找新防靜電用品供應(yīng)商，評估新購防靜電用品性能；協(xié)助人力資源部進行ESD培訓(xùn)；監(jiān)督各個部門ESD管理狀況，及時反映ESD狀況；對生產(chǎn)線靜電損傷樣品作失效分析，解決工序中ESD狀況；定期檢查除靜電離子發(fā)生器性能，保證其正常工作；負責(zé)對打蠟后地板進行測量。行政部/維修組，職責(zé)涉及：行政部負責(zé)派人做好清潔工作，保證車間內(nèi)相對空氣濕度在各車間規(guī)定范疇內(nèi)；維修組定期檢查ESD總線接地狀況，保證其狀況良好；服務(wù)組依照生產(chǎn)部規(guī)定派人定期使用專用防靜電地板蠟水對防靜電地板打蠟，打完蠟后告知QC1ESD工程師進行電阻測試。人力資源部，職責(zé)涉及：負責(zé)對新進廠員工進行初步防靜電知識培訓(xùn)；定期對員工進行防靜電知識培訓(xùn)，并進行培訓(xùn)再審核。開發(fā)部，職責(zé)涉及：開發(fā)部在設(shè)計新產(chǎn)品時應(yīng)考慮到器件靜電敏感度，盡量選用品有最大靜電抗擾度元件；在新產(chǎn)品設(shè)計階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計中去，以保護產(chǎn)品里面靜電敏感元件；規(guī)定供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度級別。涉及人體模型(HBM)、機器模型(MM)和帶電器件模型(CDM)(應(yīng)列明何種原則)；做好SEF（涉及防靜電指標，partnumber等）給QC2部，供QC2部抽測來料。QA及QC2部，職責(zé)涉及：擬定ESDS敏感級別，對成品進行靜電放電模仿測試，確認靜電敏感度；依照SEF負責(zé)抽測、監(jiān)控靜電敏感器件來料和靜電敏感器件產(chǎn)品品質(zhì)，如發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時反饋信息給QC1ESD工程師或相應(yīng)部門。PE工程師/技術(shù)員，職責(zé)涉及：定期檢查防靜電設(shè)備，保證其可以正常使用，涉及防靜電臺墊、地墊、防靜電容器、運送工具和其他輔助工具表面電阻和系統(tǒng)電阻測試等；定期檢查臺墊和機器接地狀況，保證接地良好。TE工程師/技術(shù)員，職責(zé)涉及：負責(zé)測試架，測試臺接地和測試工位內(nèi)防靜電設(shè)備定期檢查與控制。貨倉工程師/技術(shù)員，職責(zé)涉及：負責(zé)貨倉防靜電辦法維護和管理。定期告知QC1ESD工程師進行檢測使用中防靜電用品。培訓(xùn)對所有也許接觸或接近ESDS人員，必要進行有關(guān)ESD知識培訓(xùn)，并加以教誨與訓(xùn)練，使之樹立有效ESD防護觀念。培訓(xùn)有效期為一年。人力資源部應(yīng)填寫《員工防靜電知識培訓(xùn)考核登記表》。防靜電培訓(xùn)內(nèi)容涉及：靜電學(xué)基本和靜電損害靜電性能測試防靜電標示與包裝防靜電控制防靜電設(shè)備使用和檢測（有關(guān)人員）采購所有防靜電用品采購均須要按照附錄16《防靜電制品采購流程圖》執(zhí)行文獻生效日期本文獻從文控中心正式發(fā)行日起開始生效。記錄序號記錄名稱責(zé)任部門測量周期保存期限1防靜電地板電阻測試登記表QC1部6個月抽測6個月2防靜電臺墊電阻測試登記表PE/TE部6個月抽測6個月3靜電帶檢查登記表生產(chǎn)部每天1個月4防靜電包裝袋容器電阻測試登記表QC2部每一批抽測6個月5防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測試紀錄表PE部6個月抽測6個月6除靜電離子發(fā)生器測試登記表QC1部6個月抽測6個月7防靜電手套指套電阻測試登記表QC1部每一批抽測6個月8防靜電運送工具存儲架電阻測試登記表PE部6個月抽測6個月109防靜電工衣表面電阻測試登記表生產(chǎn)部6個月抽測6個月1210員工防靜電知識培訓(xùn)考核紀錄表人力資源部一年一年1311防靜電輔料電阻測試登記表PE部6個月抽測6個月1412防靜電鞋鞋套測試登記表生產(chǎn)部每天6個月1513廠房接地電阻測試紀錄表行政部1個月抽測一年1614工作臺地線接地電阻測試紀錄表PE/TE部3個月抽測1個月1715防靜電椅子電阻測試登記表PE部6個月抽測6個月附錄a附錄1：《ESDS元器件分類》I級：（0V~1999V）序號元器件類別條件及闡明1微波器件涉及肖特基二極管，點接觸二極管，頻率不不大于1GHz二極管2分立MOS場效應(yīng)管涉及VWOS及VDMOS等等3表面聲波（SAW）器件4結(jié)型場效應(yīng)管5電荷耦合器件6精密穩(wěn)壓二極管7運算放大器涉及雙極型工藝及MOS工藝8超高速集成電路涉及ECL、HCMOS、FAST等工藝9其她集成電路涉及CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜電阻器11混合電路使用I級靜電敏感元器件組裝混合電路12可控硅TA=100℃TO≤II級：（V~3999V）序號元器件類別條件及闡明1分立MOS場效應(yīng)管涉及VMOS、VDMOS等2結(jié)型場效應(yīng)晶體管3運算放大器涉及雙極工藝和MOS工藝4超高速集成電路5其她集成電路涉及CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密電阻網(wǎng)絡(luò)涉及ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II級靜電敏感元器件組裝混合電路8低功率雙極工藝晶體管PT<100mW，IC<100mA附錄2：《防靜電地板表面電阻/系統(tǒng)電阻測試辦法》按下圖擬定防靜電地板測試點每一種方格均代表一塊地板，測試用電極一種放在中間地板上，此外一種電極依次放在此地板相對角四塊地板上面，測量其表面電阻值。隨機抽樣測試點不少于20個區(qū)域，按下圖所示，每點測量地板4點表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)隨機抽樣測試點不少于5個區(qū)域，按下圖所示測量地板系統(tǒng)電阻，并記錄數(shù)據(jù)附錄3：《防靜電臺墊/地墊電阻測試辦法》按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組對地電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄4：《防靜電容器電阻測試辦法》按下圖所示，測量容器表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，測量容器體積電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄5：《防靜電運送工具/存儲架測試辦法》按下圖所示，測量運轉(zhuǎn)車/存儲架電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄6：《防靜電工衣表面電阻測試辦法》將防靜電工衣平坦展開放置在光滑絕緣電阻不不大于1E12歐姆平板表面上測試用兩電極應(yīng)順著導(dǎo)電絲放置按上圖所示，測量3個測試點：同片測試（褲腰以上一點對褲腰如下一點）；袖對腰下部位測試（袖對褲腰如下一點）（對于連體服，用袖對腳測試取代袖對腰測試）；袖對袖測試。其中連體服需要加測鞋套對地電阻。附錄7：《普通防靜電材料電阻測試辦法》對于新引入物料規(guī)定隨機抽樣至少三個樣品，每一種樣品至少隨機測量三次。材料測試紀錄應(yīng)涉及表面電阻和體積電阻。表面電阻測試辦法：將材料放置在一種光滑、平整、干凈，且表面絕緣電阻不不大于1E12歐姆臺面。在材料表面放置兩個測試電極(30cm是建議值，如果材料不大于這個尺寸，則電極放在兩對角面上)，如下圖所示:體積電阻測試辦法：將材料放置在一種光滑、平整、干凈，且表面電阻不大于10歐姆金屬面上，一種電極放置在金屬面上，此外一種電極放置在被測物上。對于烙鐵，只需要測量熱金屬頭到地之間電阻。附錄8：《防靜電工椅測試辦法》規(guī)定隨機抽樣至少5個樣品，每一種樣品至少隨機測量三次（三個點）。防靜電工椅測試紀錄應(yīng)涉及表面電阻和體積電阻。表面電阻測試辦法：在表面放置兩個測試電極，如下圖所示:體積（對地）電阻測試辦法：一種電極放置在金屬面上，此外一種電極放置在椅子上。注意，在生產(chǎn)線進行定期檢測時候，容許直接把一種電極放置在防靜電地板上，此外一種電極放置在椅子上。附錄9：《物體表面靜電壓測量辦法》使用SimcoFMX002靜電壓表去測量物體表面靜電壓，要注意如下幾點：儀表紅外燈批示器要兩個重疊，才算對焦，此時儀表距離被測物大概2.5厘米。靜電壓表在使用過程中需要接地。否則讀數(shù)不精確。靜電壓表讀數(shù)單位為KV。測試圖例如下:附錄10：《懸掛式/臺式離子風(fēng)機測試辦法》測量懸掛式離子風(fēng)機應(yīng)使用原則離子風(fēng)機測試儀，在評估新引入離子風(fēng)機時候需要測量原則12個點平衡電壓和消電時間。在平時定期測量時，只需測量3個電扇口正下方平衡電壓和消電時間。原則12個點（以小網(wǎng)格表達）如下所示：對每一種點均應(yīng)測量不少于三次。對每一種測試點平衡電壓測量時間不得少于1分鐘。應(yīng)紀錄平衡電壓最大（偏移零點最遠）值。消電時間應(yīng)紀錄最大值。對新引入懸掛式離子風(fēng)機規(guī)定列表：（ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只對平衡電壓提出了規(guī)定，未強制規(guī)定消電時間，因而，下表平衡電壓是強制執(zhí)行，消電時間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時間(S)平衡電壓(V)消電時間(S)CenterTP5&TP80+50V<15s0+50V<10sTP2&TP11<25.0s<20.0s30cmTP1&TP100+50V<25.0s0+50V<20.0sTP4&TP7<20.0s<15.0s30cmTP3&TP120+50V<25.0s0+50V<20.0sTP6&TP9<20.0s<15.0s測量臺式離子風(fēng)機應(yīng)使用原則離子風(fēng)機測試儀測試，在評估新引入離子風(fēng)機時候需要測量原則12個點平衡電壓和消電時間。在平時定期測量時，只需測量正對電扇口30厘米和60厘米兩個點平衡電壓和消電時間。原則12個點（以黑豎條表達）如下所示：對每一種點均應(yīng)測量不少于三次。對每一種測試點平衡電壓測量時間不得少于1分鐘。應(yīng)紀錄平衡電壓最大（偏移零點最遠）值。消電時間應(yīng)紀錄最大值。對新引入臺式離子風(fēng)機規(guī)定列表：（ANSI/ESDSTM3.1-/ANSI/ESDS20.20-1999只對平衡電壓提出了規(guī)定，未強制規(guī)定消電時間，因而，下表平衡電壓是強制執(zhí)行，消電時間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時間(S)平衡電壓(V)消電時間(S)center1ft(TP2)0+50V<5.0s0+50V<3.0s2ft(TP5)<8.0s<6.0s3ft(TP8)<12.0s<10.0s4ft(TP11)<20.0s<15.0s30cm1ft(TP1)0+50VNA0+50VNA2ft(TP4)<30.0s<25.0s3ft(TP7)<15.0s<12.0s4ft(TP10)<25.0s<20.0s30cm1ft(TP3)0+50VNA0+50VNA2ft(TP6)<30.0s<25.0s3ft(TP9)<15.0s<12.0s4ft(TP12)<25.0s<20.0s附錄11《手套/手指套測量辦法》穿戴對地電阻測試：操作員把測試儀兩個電極分別放在兩塊互相絕緣金屬板上面，然后操作員戴上手套/手指套。操作員把戴有手套/手指套大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板，然后按下測量開關(guān)，并等讀數(shù)穩(wěn)定后讀出測試儀上讀數(shù)，并記錄下來。操作員分別用大拇指和其他手指按住金屬板，然后讀出測試儀上讀數(shù)，并記錄下來。每一種手套/手指套均需要測量5個（含）以上樣品，每次測量均記錄最大值。表面摩擦電壓測試：操作員戴上1兆歐原則手腕帶，鱷魚夾夾在接地線上面并確認接地良好。操作員戴上手套/手指套。一只手拿取高絕緣塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后測量手套/手指套上面靜電壓，記錄最大值。注意：儀器要離絕緣板30厘米以上，以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測量5個（含）以上樣品，每次測量均記錄最大值。附錄12防靜電原則列表：表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電地板1E4~1E91E4~1E9防靜電臺墊/地墊1E4~1E91E4~1E9防靜電包裝袋/容器1E4~1E111E4~1E10防靜電小推車/周轉(zhuǎn)車不大于1E9不大于1E9防靜電鑷子/吸鉗/吸錫器1E4~1E111E5~1E10防靜電文獻袋(夾)1E4~1E11防靜電烙鐵不大于10防靜電溶劑瓶1E4~1E11防靜電架子/元件架不大于1E9不大于1E9防靜電椅子不大于1E9不大于1E9設(shè)備/工作臺接地電阻（直接）不大于10設(shè)備/工作臺接地電阻（帶電阻）0.8E6~1.2E6廠房接地電阻不大于10普通防靜電物料1E4~1E111E4~1E11防靜電工作服1E5~1E10不大于1E9防靜電工作鞋不大于1E9防靜電手腕帶不大于1E31E620%穿戴對地電阻摩擦電壓防靜電手套/指套1E5~1E11<50V防靜電工作鞋1E5~3.5E7防靜電手腕帶7.5E5~3.5E7消電時間平衡電壓防靜電離子風(fēng)機（懸掛