(高清版)GBT 43793.2-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法 第2部分：光學性能

平板顯示用彩色光刻膠測試方法第2部分：光學性能2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施I本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件是GB/T43793《平板顯示用彩色光刻膠測試方法》的第2部分。GB/T43793已經(jīng)發(fā)布了以下部分：——第1部分：理化性能；——第2部分：光學性能；——第3部分：可靠性。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：合肥鼎材科技有限公司、北京鼎材科技有限公司、阜陽欣奕華材料科技有限公司、固安鼎材科技有限公司、廣州賽西標準檢測研究院有限公司、中國電子技術標準化研究院、常州強力電子新材料股份有限公司、江陰潤瑪電子材料股份有限公司、深圳市創(chuàng)顯光電有限公司。Ⅱ彩色濾光片是平板顯示器(FPD),尤其是液晶顯示器(LCD)中最核心的部件之一，主要作用是將白色雜背光分離提純?yōu)榉仙纫蟮募t、綠、藍三種純色原色光，LCD的色域、亮度、對比度和飽和度均受彩色濾光片的控制。彩色濾光片的制備通常是將彩色光刻膠涂于玻璃基板上成膜，經(jīng)紫外光光刻從而形成圖案。色光刻膠材料的重要指標，這些指標會影響彩色光刻膠的流動性、成膜性、質(zhì)量、壽命、彩色濾光片制備工藝，甚至運輸和制造成本。因此有必要確立彩色光刻膠性能測試方法。GB/T43793旨在給出彩色光刻膠各項性能測試方法，擬由三個部分組成?！?部分：理化性能。目的是給出并提供彩色光刻膠理化性能的測試方法?！?部分：光學性能。目的是給出并提供彩色光刻膠光學性能的測試方法?！?部分：可靠性。目的是給出并提供彩色光刻膠可靠性的測試方法。1平板顯示用彩色光刻膠測試方法第2部分：光學性能1范圍本文件描述了平板顯示用彩色光刻膠光學性能中色度、輝度和對比度三項指標的測試方法。本文件適用于平板顯示用彩色光刻膠的制造、質(zhì)量控制以及研發(fā)工作。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T3979物體色的測量方法GB/T5698顏色術語GB/T18910.11液晶顯示器件第1-1部分：術語和符號GB/T43793.1—2024平板顯示用彩色光刻膠測試方法第1部分：理化性能CIE1931色彩空間(colorspace)3術語和定義GB/T3979、GB/T5698和GB/T18910.11色溫為6774K的光源。界定的以及下列術語和定義適用于本文件。亮態(tài)輝度lightstatebrightness彩色濾光片在對比度儀最大亮度狀態(tài)下測量出的亮度。暗態(tài)輝度darkstatebrightness彩色濾光片在對比度儀最小亮度狀態(tài)下測量出的亮度。彩色濾光片亮態(tài)輝度與暗態(tài)輝度的比值。4環(huán)境條件除非另有規(guī)定，測試應在下列條件下進行：a)測試過程全程避光，可為室中光源加濾光膜，以濾除紫外線(500nm以下);2b)環(huán)境溫度：23℃±2℃;c)相對濕度：30%～70%。5色度和輝度測試包括但不限于將彩色光刻膠涂于透明玻璃上，并經(jīng)前烘、曝光、顯影、后烘等工藝制備成具有特定均一膜厚(通常膜厚不大于5μm)的彩色濾光片的設備。5.1.2顯微分光光度計顯微分光光度計要求如下。a)光源、波長范圍、波長間隔及誤差：如非特別指出，光源應為標準C光源(燈管為鹵素燈或冷陰極熒光燈),采樣波長范圍為380nm～780nm,波長間隔1nm或5nm,誤差不應大于士0.5nm。測光重復性應在1%以內(nèi)。b)校準：根據(jù)制造商的說明書對儀器進行校準并記錄校準期間所觀測到的、包括線性和波長位移等的測試儀器特性，校準周期不應超過2年。c)色度和輝度測試穩(wěn)定性：樣品靜止不動，測試20次，輝度最大誤差不應大于±0.05,色度最大誤差不應大于±0.0005。5.2樣品狀態(tài)調(diào)節(jié)測試樣品應均勻，無氣泡、雜質(zhì)和透明間隙。按照以下步驟順序進行測試。a)將彩色光刻膠涂于潔凈玻璃基板上，依照供需雙方協(xié)商確定的前烘、曝光、顯影、后烘等程序，制成符合測試條件的彩色濾光片，并切割成符合儀器操作說明所規(guī)定的尺寸。b)確認設備電源線路、數(shù)據(jù)線路連接正常、無松動，確保電源處于穩(wěn)定狀態(tài)，并確保計算機系統(tǒng)工作正常。c)根據(jù)儀器使用說明書，顯微分光光度計開機預熱至穩(wěn)定狀態(tài)方可開始測量。d)調(diào)節(jié)顯微分光光度計測量斑或入射光斑大小及清晰度，在測試樣品表面上的顯微分光光度計測量斑尺寸或入射光斑尺寸應小于被測測試樣品透光區(qū)，且測量斑或入射光斑直徑不大于e)使用與待測樣品基材相同材質(zhì)的空白玻璃基板測量參比光量。f)將樣品放置到測試設備的樣品臺上，使光源從樣品玻璃面射入。g)測試樣品的色度和輝度數(shù)據(jù)。如果測試多個樣品，每個樣品的測試區(qū)域應相同。h)按照GB/T43793.1—2024中7.4的規(guī)定測量測試區(qū)域膜厚，并記錄。i)數(shù)據(jù)處理。5.4數(shù)據(jù)處理數(shù)據(jù)處理包括以下內(nèi)容。a)樣品的輝度和色度應按照CIE1931確定：輝度以Y表示，色度以x,y表示；或可按照3GB/T20147.4確定：輝度以L*表示，色度以a*,b*表示；或輝度以L*表示，色度以u*,v*表示。b)色度測試結(jié)果應保留4位有效數(shù)字，輝度測試結(jié)果應保留2位有效數(shù)字，膜厚度應保留5位有效數(shù)字。5.5測試報告測試報告應包括以下內(nèi)容：a)測試樣品來源、名稱和批號等；b)采用的測試方法標準號(本文件編號);c)測試條件(儀器設備型號、測試斑點尺寸);d)測試日期；e)獲得的測試結(jié)果(輝度、色度值和測試區(qū)域的膜厚)。6對比度測試6.1儀器包括但不限于將彩色光刻膠涂于透明玻璃上，并經(jīng)前烘、曝光、顯影、后烘等工藝制備成具有特定均一膜厚的彩色濾光片的設備。對比度儀參數(shù)如下。a)光源及誤差：如非特別指出，光源一般為標準C光源(燈管為鹵素燈或冷陰極熒光燈),對比度誤差不大于5%。b)測試區(qū)域：樣品測試區(qū)域應為儀器可檢測的有效區(qū)域。c)校準：根據(jù)制造商的說明書對儀器進行校準并記錄校準期間所觀測到的、包括線性和波長位移等的測試儀器特性，校準周期不超過2年。d)亮態(tài)輝度、暗態(tài)輝度和對比度測試穩(wěn)定性：樣品靜止狀態(tài)，測試10次，相對標準偏差(RSD):亮態(tài)輝度不大于±3%,暗態(tài)輝度不大于士5%,對比度不大于5%。若相對標準偏差超過，應更6.2測試條件測試區(qū)域應為膜厚均一的單一像素，測試樣品應無氣泡、雜質(zhì)和透明間隙。6.3測試步驟按照以下步驟順序進行測試。a)將彩色光刻膠涂于潔凈玻璃基板上，依照前烘、曝光、顯影、后烘等程序，制成符合測試條件的彩色濾光片，并切割成符合儀器操作說明所規(guī)定的尺寸。b)確認設備電源線路、數(shù)據(jù)線路連接正常、無松動，確保電源處于穩(wěn)定狀態(tài)，并確保計算機系統(tǒng)工作正常。c)根據(jù)儀器使用說明書，對比度儀開機預熱至穩(wěn)定狀態(tài)方可開始測量。d)測試設備初始位置、光源及內(nèi)部校準。GB/T43793.2—2024e)以空氣為基底進行測試(不放任何樣片),等待儀器測試結(jié)束?？諝饣讓Ρ榷冉Y(jié)果在量程C±1%范圍內(nèi)，后續(xù)測試數(shù)據(jù)可靠。f)將樣品放置到測試設備的樣品臺上，使光源從樣品玻璃面射入。g)測試樣品的亮態(tài)輝度和暗態(tài)輝度。h)數(shù)據(jù)處理。6.4數(shù)據(jù)處理對比度以CR表示，按公式(1)計算。CR=Lmx/Lmin………………(1)式中：CR——對比度；Lmx——亮態(tài)輝度(或稱偏光片平行時輝度),單位為坎德拉每平方米(cd/m2);Lmx——暗態(tài)輝度(或稱偏光片垂直時輝度