ESD內(nèi)部審核檢查表

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,ESD內(nèi)審員稽查標(biāo)準(zhǔn)條款,,,,,,,

,項(xiàng)目,NO.,內(nèi)容,涉及管控部門,審核記錄,審核結(jié)果或整改日期,責(zé)任人,跟蹤結(jié)果

,一：ESD體系規(guī)劃與文件管理,1,是否建立有明確的ESD組織機(jī)構(gòu)，并有專門的ESD負(fù)責(zé)人推行ESD工作？,品質(zhì)中心,,,,

,,2,是否有完善的防靜電體系的文檔、制度(如：EPA等級(jí)、培訓(xùn)、稽查、考核、人員要求、接地要求、標(biāo)識(shí)要求、檢測方法、工程變更、用品管理、材料控制等)?,品質(zhì)中心,,,,

,,3,是否有正式的作業(yè)指導(dǎo)書(如：腕帶和人體電阻測試方法、離子風(fēng)機(jī)使用方法、接地監(jiān)控儀使用方法等)指導(dǎo)員工如何進(jìn)行正確的防靜電操作？,品質(zhì)中心,,,,

,,4,防靜電操作指導(dǎo)書的內(nèi)容是否準(zhǔn)確、一致，具有可操作性(合理性)？,品質(zhì)中心,,,,

,,5,是否有正式的ESD培訓(xùn)計(jì)劃？ESD入職、在職人員ESD培訓(xùn)教材？,人力資源部,,,,

,,6,員工ESD培訓(xùn)檔案是否保存完整，員工培訓(xùn)記錄是否有據(jù)可查？,人力資源部,,,,

,,7,是否建立了完善ESD稽查制度，包含周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查?,品質(zhì)中心,,,,

,,8,稽查記錄是否保存完整，并有據(jù)可查？,品質(zhì)中心,,,,

,,9,是否建立了定期的防靜電硬件的維護(hù)和檢測制度？,品質(zhì)中心,,,,

,,10,ESD記錄數(shù)據(jù)(人體電阻、腕帶測試、溫濕度記錄、各類防靜電硬件設(shè)施維護(hù)及功能檢測記錄等)是否完整，并經(jīng)ESD負(fù)責(zé)人審核，保存良好?,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,一：ESD體系規(guī)劃與文件管理,11,防靜電用品定期檢測記錄，是否有數(shù)據(jù)不全或不正確的現(xiàn)象？,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,12,防靜電用品定期檢測記錄中，不滿足ESD要求的項(xiàng)目是否有改善措施？,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,13,是否建立了防靜電硬件的認(rèn)證流程？,品質(zhì)中心,,,,

,,14,防靜電硬件的認(rèn)證是否有在固定的溫濕度環(huán)境(建議溫度:25±5℃，相對(duì)濕度：25%±5%)中進(jìn)行？,品質(zhì)中心,,,,

,,15,現(xiàn)場使用的新防靜電用品，是否都有對(duì)應(yīng)的防靜電硬件認(rèn)證報(bào)告，并經(jīng)ESD負(fù)責(zé)人審核？,采購部,,,,

,,16,是否有防靜電用品來料檢驗(yàn)機(jī)制?,IQC,,,,

,,17,防靜電用品的來料檢驗(yàn)記錄是否保存完整，并經(jīng)ESD負(fù)責(zé)人審核？,IQC,,,,

,,18,來料檢驗(yàn)技術(shù)指標(biāo)是否齊全，并且抽樣數(shù)量達(dá)到指定要求？,IQC,,,,

,,19,防靜電用品的來料檢驗(yàn)不滿足ESD指標(biāo)要求時(shí)，是否有拒收？,IQC,,,,

,,20,EPA內(nèi)工程變更完畢(如線體新增或搬遷整改)，是否經(jīng)ESD效果確認(rèn)后才投入生產(chǎn)，并保存有記錄？,各部門,,,,

,二:采購與開發(fā),1,是否有ESD敏感元件清單?,研發(fā),,,,

,,2,工程制圖或規(guī)格中有無提出哪些是ESD敏感元件?,研發(fā),,,,

,,3,"申購ESD敏感元件時(shí),有無提醒采購商此項(xiàng)目為ESD敏感部件?",研發(fā),,,,

,,4,在設(shè)計(jì)文件中是否使用ESD敏感元件和半成品?其抗靜電能力如何是否有說明？,研發(fā),,,,

,,5,ESD敏感元件是否在規(guī)格書或產(chǎn)品設(shè)計(jì)文件中有標(biāo)示？,研發(fā),,,,

,,6,ESD敏感元件和半成品是否在文件中有ESD包裝、ESD標(biāo)示要示？,研發(fā),,,,

,,7,產(chǎn)品包裝是否有ESD要求，是否有設(shè)計(jì)電阻值、靜電壓標(biāo)準(zhǔn)？,研發(fā),,,,

,,8,采購人員、研發(fā)人員有無接受ESD方面的培訓(xùn)?,研發(fā)、采購,,,,

,,9,采購是否有開發(fā)ESD材料供應(yīng)商？,采購,,,,

,,10,采購ESD敏感元件或ESD防護(hù)材料時(shí)有無選擇認(rèn)證合格的供應(yīng)商？,采購、SQM,,,,

,,11,對(duì)生產(chǎn)ESD元件或ESD防護(hù)材料的供應(yīng)商是否有周期性審核?是否有對(duì)供應(yīng)商的審核記錄？,SQM,,,,

,三:ESD設(shè)施配置,1,EPA內(nèi)是否有溫濕度控制系統(tǒng)，當(dāng)溫濕度超標(biāo)時(shí)有無文件規(guī)定如何操作、ESD敏感元件或ESD產(chǎn)品如何操作?,廠務(wù)部、生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,2,EPA、倉庫、IQC是否配置溫濕度計(jì)，是否有校驗(yàn)，是否每班有溫濕度記錄?,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,3,EPA區(qū)域是否安裝防靜電地板/靜電地墊？是否有定期檢測接地電阻？,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,4,EPA區(qū)域是否有配置人員（含客戶/供應(yīng)商等外來人員）使用的防靜電衣帽鞋、手環(huán)手套，外來人員是否有ESD合格人員陪同?,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,5,是否配置手腕帶測試儀、人體綜合測試儀、手環(huán)報(bào)警器、接地插點(diǎn)、接地電阻測試儀、靜電壓測試儀？,生產(chǎn)、IQC、倉庫,,,,

,,6,防靜電檢測儀器是否遵循了校驗(yàn)和維護(hù)程序，并處于有效期內(nèi)?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,7,EPA區(qū)域是否配置靜電接地線、設(shè)備接地線供人員、設(shè)備接地？是否有定期檢測接地電阻？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,8,EPA區(qū)域操作人員是否配置每人1個(gè)靜電手環(huán)并隨身攜帶？進(jìn)出入車間是否有檢測及記錄？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,9,EPA區(qū)域工作臺(tái)面是否有配置靜電臺(tái)墊，臺(tái)墊是否安裝接地扣及接地線與靜電線相連？無塵等要求高區(qū)域之金屬工作臺(tái)是否接靜電地？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,10,EPA內(nèi)是否有使用ESD傳輸帶？是否有定期檢測接地電阻？,生產(chǎn),,,,

,,11,EPA內(nèi)是否有使用ESD椅子？是否有定期檢測接地電阻？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,12,ESD物品周轉(zhuǎn)車是否安裝防靜電輪子6mm2接地鐵鏈？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,13,ESD物料架/貨架是否安裝防靜電皮并接靜電地？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,14,EPA內(nèi)是否有使用ESD包裝袋/周轉(zhuǎn)箱/盒/TARY？是否有定期檢測表面電阻/接地電阻？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,四:工具與設(shè)備,1,是金屬外殼的工藝設(shè)備(如貼片機(jī)、回焊爐、COB機(jī)臺(tái)、測試治具、烙鐵等通電儀器設(shè)備治工具)是否安裝設(shè)備接地線并接觸良好?,工程、治具部,,,,

,,2,"在工藝設(shè)備上,是否安裝靜電手環(huán)接地插座/接地點(diǎn)/報(bào)警器，是否有接地提醒標(biāo)示?",工程,,,,

,,3,在無法通過接地方式消除靜電之工作站是否配置離子消除器（風(fēng)機(jī)/風(fēng)扇/風(fēng)棒）？,工程,,,,

,,4,是否每班保養(yǎng)離子消除器（風(fēng)機(jī)/風(fēng)扇/風(fēng)棒），每月拆機(jī)清潔放電針、風(fēng)扇、機(jī)身內(nèi)部?,生產(chǎn),,,,

,,5,是否檢測通電儀器設(shè)備治工具、烙鐵嘴接地電阻<4歐、AC漏電壓<100V以防止ESD損壞到元件?,生產(chǎn),,,,

,,6,測試夾具(如電木夾具、壓克力)是否使用防靜電產(chǎn)生材料制成，且是否有接設(shè)備地線?,治具部,,,,

,,7,操作ESD敏感器件是否使用防靜電吸筆、鑷子等工具？,生產(chǎn),,,,

,五:ESD控制區(qū),1,每張ESD保護(hù)臺(tái)是否有鋪設(shè)靜電臺(tái)墊并安裝接地扣，接地扣是否有接ESD地線，金屬工作臺(tái)是否有接ESD地線?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,2,是否有定期檢測靜電膠臺(tái)墊接地電阻，金屬工作臺(tái)接地電阻？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,3,操作ESD敏感器件是否在ESD保護(hù)工作臺(tái)上操作？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,4,人員進(jìn)入EPA區(qū)域是否按照無塵服/靜電衣帽鞋著裝標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,5,手腕帶測試儀、人體綜合測試儀、手環(huán)報(bào)警器、接地插點(diǎn)、接地電阻測試儀、靜電壓測試儀是否足夠?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,6,在保護(hù)臺(tái)和工作區(qū)是否有非防靜電的絕緣物料（如普通Tary、泡棉、泡沫、膠袋、膠布、紙、筆等個(gè)人物品）是否與ESD敏感器件相距30cm以上?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,7,EPA區(qū)域防靜電地板/靜電地墊/工作椅/貨料/周轉(zhuǎn)車是否接地？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,8,"靜電產(chǎn)生物料是否使用離子中和處理或使用屏蔽辦法處理(如塑膠外殼,吸煙罩,顯微鏡臺(tái),放大鏡等)?",生產(chǎn)、IQC、品保,,,,

,,9,ESD防護(hù)區(qū)域是否有張貼醒目的EPA標(biāo)示牌（車間入口、區(qū)域入口）？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,10,ESD保護(hù)工作區(qū)域有地面是否有張貼EPA警示膠帶劃分界線，區(qū)分EPA與非EPA區(qū)域?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,11,防靜電設(shè)施/周轉(zhuǎn)容器/包裝袋是否有ESD警示標(biāo)示？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,12,是否班前檢查ESD保護(hù)工作臺(tái)接地、靜電皮接地、通電儀器設(shè)備治工具接地連接良好？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,13,是否有設(shè)置獨(dú)立的靜電接地樁、接地接網(wǎng)絡(luò)，主線分線走向是否有標(biāo)示?,廠務(wù)部、機(jī)電部,,,,

,,14,是否使用統(tǒng)一顏色的接地線，靜電地線為黃綠色銅芯線，設(shè)備地線為紅色銅芯線？,設(shè)備部,,,,

,,15,是否所有的靜電接地支線、設(shè)備接地支線都連接到公共接地點(diǎn)?,設(shè)備部,,,,

,,16,是否有設(shè)置靜電接地、設(shè)備接地公共接地點(diǎn)線箱，有無清楚標(biāo)識(shí)?,設(shè)備部,,,,

,,17,ESD保護(hù)臺(tái)操作區(qū)域是否設(shè)置靜電手環(huán)接地點(diǎn)（報(bào)警器、接地插座、接地端子）?,設(shè)備部,,,,

,,18,防靜電保護(hù)臺(tái)上是否有設(shè)置一個(gè)靜電手環(huán)接地點(diǎn)供客人和管理人員使用?,設(shè)備部,,,,

,,19,是否有檢查ESD保護(hù)臺(tái)上其它通電儀器設(shè)備治工具是否有接二次保護(hù)紅色設(shè)備接地線?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,20,離子風(fēng)機(jī)/風(fēng)扇/風(fēng)棒/風(fēng)槍是否有固定位置距產(chǎn)品30cm、定最大風(fēng)速、定45-90角度,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,21,離子風(fēng)機(jī)/風(fēng)扇/風(fēng)棒/風(fēng)槍是否有每日保養(yǎng)、每月拆機(jī)清潔及記錄與存檔,生產(chǎn)、IQC、品保,,,,

,六:人員ESD防護(hù),1,ESD控制區(qū)的人員是否都參加過ESD培訓(xùn)、是否有培訓(xùn)簽到表、考核試卷、上崗證?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,2,進(jìn)入EPA防靜電工作區(qū)的外來人員是否符合ESD操作要求或有ESD合格人員陪同?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,3,進(jìn)入EPA車間/區(qū)域人員是否每次進(jìn)入均有測試靜電手環(huán)、靜電鞋并記錄？,品保,,,,

,,4,操作ESD敏感器件的所有人員是否配戴有線靜電手環(huán)并接靜電地，或使用手環(huán)報(bào)警器?,品保,,,,

,,5,IPQC是否有每日抽查操作人員靜電手環(huán)金屬鐵片是否緊貼皮膚、按10%抽測人員手環(huán)是否接靜電地?,生產(chǎn)、品保、倉庫,,,,

,,6,手環(huán)測試儀、人體綜合測試儀、手環(huán)報(bào)警器、接地插座、接地電阻測試儀、靜電壓測試儀有無定期校驗(yàn)?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,7,進(jìn)入IQC、倉庫EPA人員是否有按要求穿戴ESD防護(hù)衣服帽鞋，是否有佩戴首飾等個(gè)人物品外露?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,8,無塵EPA車間作業(yè)時(shí)是否使用無塵手套、手指套、有線手環(huán)并接地，手環(huán)腕帶金屬鐵片是否緊貼皮膚？,品保,,,,

,,9,是否每日班前檢查靜電皮有無接地扣，接地線是否與靜電線相連、工作臺(tái)接線連接是否正常？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,10,IPQC是否每日巡查EPA內(nèi)ESD防護(hù)執(zhí)行情況，并通報(bào)異常，跟蹤改善？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,七:ESD包裝材料,1,周轉(zhuǎn)/搬運(yùn)ESD敏感產(chǎn)品是否使用ESD防護(hù)包裝/ESD周轉(zhuǎn)盒/箱/TARY或其它ESD容器？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,2,ESD敏感元件暫時(shí)不用時(shí)是否使用ESD防護(hù)材料防護(hù)或放到ESD保護(hù)袋中？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,3,ESD敏感產(chǎn)品出貨時(shí)是否有使用ESD防護(hù)包裝？,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,4,裝有ESD敏感元件的容器或包裝是否有清楚的ESD標(biāo)識(shí)?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,5,ESD保護(hù)包裝、ESD容器是否恰當(dāng)?shù)胤忾]?,生產(chǎn)、IQC、倉庫、品保,,,,

,,6,是否有使用回收利用性ESD保護(hù)包裝、ESD容器？是否有定期檢測ESD防護(hù)能力？,品保,,,,

,八:接收和驗(yàn)證,1,ESD敏感物料出貨包裝上供應(yīng)商有無ESD標(biāo)識(shí)?,IQC,,,,

,,2,在收貨區(qū)是否有清單列明哪些是靜電敏感元件?,IQC,,,,

,,3,"從P/N上有無一個(gè)方法識(shí)別ESDS物料,以保證貼有ESD標(biāo)簽?",IQC,,,,

,,4,操作ESD敏感物料人員是否通過ESD培訓(xùn)、考核、資料存檔？,IQC,,,,

,,5,來料檢驗(yàn)人員是否測試靜電手環(huán)并記錄、存檔?,IQC,,,,

,,6,抽檢ESD敏感物料人員是否佩戴好靜電手環(huán)、并接ESD地線?,IQC,,,,

,,7,檢驗(yàn)ESD敏感物料時(shí)是否在防靜電臺(tái)上開封、操作、包裝?,IQC,,,,

,,8,ESD防護(hù)材料（如ESD包裝袋/TARY/盒/手環(huán)/衣帽鞋/臺(tái)墊等）批量來料是否有按出具ESD檢測數(shù)據(jù)、第三方檢測報(bào)告，數(shù)據(jù)是否符合我司《ESD防護(hù)規(guī)范操作指導(dǎo)書》ESD相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)？,IQC,