GB/T 25915.3-2024潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

代替GB/T259153—2010

.

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分檢測方法

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part3Testmethods

:

ISO14644-32019IDT

(:,)

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

一般術(shù)語

3.1……………1

與空氣懸浮粒子有關(guān)的術(shù)語

3.2………………………2

與空氣過濾器和過濾系統(tǒng)有關(guān)的術(shù)語

3.3……………3

與氣流和其他物理狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語

3.4………………4

與靜電測量有關(guān)的術(shù)語

3.5……………4

與測量器具和測量條件有關(guān)的術(shù)語

3.6………………5

與占用狀態(tài)有關(guān)的術(shù)語

3.7……………5

檢測規(guī)程

4…………………5

潔凈室檢測

4.1…………………………5

原理

4.2…………………6

檢測報(bào)告

5…………………8

附錄資料性支持性檢測和清單的選擇

A()……………9

附錄資料性支持性檢測方法

B()………………………13

附錄資料性檢測儀器

C()………………35

參考文獻(xiàn)

……………………43

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下部分

GB/T25915《》3。GB/T25915:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

———15:;

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效

———16:。

本文件代替潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分檢測方法與

GB/T25915.3—2010《3:》,GB/T25915.3—

相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

2010,,:

第章術(shù)語和定義

a)3:

更改術(shù)語離散粒子計(jì)數(shù)器為光散射粒子計(jì)數(shù)器見年版的

———“”“”(3.6.4,20103.6.8);

增加了分辨力見靈敏度見和配有流量計(jì)的風(fēng)量罩見

———“”(3.1.5)、“”(3.1.6)“”(3.6.3);

刪除了大粒子描述符描述符超微粒子標(biāo)準(zhǔn)滲漏透過率平均風(fēng)量非等

———“”“M”“U”“”“”“”“

動(dòng)力采樣串級(jí)撞擊采樣器凝聚核計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)效率微分遷移率分析儀擴(kuò)散元

”“”“”“”“”“

件偽計(jì)數(shù)風(fēng)量罩同軸采樣等動(dòng)力采樣粒徑限制器閾值粒徑飛行時(shí)間粒徑

”“”“”“”“”“”“”“

測量和虛擬撞擊器見年版的

”“”(20103.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12、3.3.10、3.4.2、3.6.2、

3.6.3、3.6.4、3.6.5、3.6.6、3.6.7、3.6.9、3.6.10、3.6.11、3.6.12、3.6.13、3.6.14、3.6.15、3.6.16);

更改必測項(xiàng)目為一般檢測并更新了具體內(nèi)容見年版的

b)“”“”,(4.1.1,20104.1.1);

更改可選檢測項(xiàng)目為支持性檢測并更新了檢測項(xiàng)目見表年版的表

c)“”“”,(2,20102);

更改氣流檢測為風(fēng)速和風(fēng)量檢測氣流方向檢測與顯形檢查為氣流方向檢測和可視

d)“”“”,“”“

化隔離檢漏為圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性檢測見表年版的表

”,“”“”(2,20102);

更改了壓差檢測見年版的風(fēng)速和風(fēng)量檢測見年版的

e)(4.2.1,20104.2.3)、(4.2.2,20104.2.2)、

氣流方向檢測和可視化見年版的自凈檢測見版的溫

(4.2.3,20104.2.5)、(4.2.4,20104.2.9)、

度檢測見年版的濕度檢測見年版的已裝過濾系統(tǒng)泄

(4.2.5,20104.2.6)、(4.2.6,20104.2.6)、

漏檢測見年版的圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性檢測見年版的靜

(4.2.7,20104.2.4)、(4.2.8,20104.2.10)、

電和離子發(fā)生器檢測見年版的粒子沉積檢測見年版的

(4.2.9,20104.2.7)、(4.2.10,2010

4.2.8);

Ⅰ

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

刪除了空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)見年版的

f)(20104.2.1);

增加了隔離檢測見

g)(4.2.11)。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分檢測方法

ISO14644-3:2019《3:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

中表的檢測項(xiàng)目送風(fēng)速度單向流和潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)風(fēng)速的均

———ISO14644-3:2019A.1“()”“

勻性單向流與檢測程序參照條款和不對(duì)應(yīng)本文件按對(duì)應(yīng)情況做了調(diào)整

()”B.2.2.2B.2.3,。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司上?？菩艡z測科技有限公司熙邁上海檢測技

:、、()

術(shù)服務(wù)有限公司中國電子工程設(shè)計(jì)院有限公司中電投工程研究檢測評(píng)定中心有限公司中國電子系

、、、

統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司北京中瑞高科技產(chǎn)業(yè)服務(wù)有限公司深圳天溯計(jì)量檢測股份有限公司中國

、、、

標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)唐頤控股深圳有限公司中國電子系統(tǒng)工程第三建設(shè)有限公司上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行

、()、、

業(yè)協(xié)會(huì)北京市醫(yī)療器械檢驗(yàn)研究院北京市醫(yī)用生物防護(hù)裝備檢驗(yàn)研究中心中國食品藥品檢定研究

、()、

院上海市食品藥品包裝材料測試所中電精泰電子工程有限公司北京中邦興業(yè)科技有限公司蘇州鴻

、、、、

基潔凈科技股份有限公司上海蔚亞科技發(fā)展有限公司派歐尼爾環(huán)境凈化工程北京有限公司北京

、、()、

科源順達(dá)建設(shè)工程有限公司持正檢測山東有限公司上海市安裝工程集團(tuán)有限公司湖南瑞邦醫(yī)療

、()、、

科技發(fā)展有限公司蘇州康啟環(huán)境科技有限公司江蘇碩世生物科技股份有限公司深圳市研成工業(yè)技

、、、

術(shù)有限公司

。

本文件主要起草人陳思源譚軍郝胤博王立高正譚志堅(jiān)楊會(huì)英楊子強(qiáng)郭凱王丙信

:、、、、、、、、、、

魏佳鳴蘇建程宋金輝孔善平石霞徐紹坤譚莉平韓輝曾世清羅貫翔彭永昌王坤劉中華

、、、、、、、、、、、、、

賀亦峰曹曉程魏蘭郝程曲明青萬桂波肖秋貴

、、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2010GB/T25915.3—2010;

本次為第一次修訂

———。

Ⅱ

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

引言

采用系列國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,16

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染濃度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學(xué)污染的測試確定設(shè)備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

第部分粒子沉積速率應(yīng)用目的是通過測量潔凈室粒子沉積速率以確定微粒沉積到潔凈

———17:。

室易損表面的可接受風(fēng)險(xiǎn)

。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將污染物控制在合適的水平以便完成對(duì)污染敏感的工作航天微電子

,。、、

制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對(duì)空氣污染的控制

、、、。

本文件并未包含所有潔凈室參數(shù)的檢測程序中提供了按粒子劃分空氣潔凈度等

。GB/T25915.1

級(jí)檢測的程序和裝置中提供了監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求涉及特定產(chǎn)品

,GB/T25915.12。

和特定工藝的潔凈室和潔凈區(qū)及相關(guān)參數(shù)的檢測程序和所用儀器在編制的其他文件中

,ISO/TC209

討論例如微生物控制和檢測程序系列潔凈室功能性檢測以及隔離

[(GB/T25916)、(GB/T25915.4),

裝置檢測此外潔凈室的檢測活動(dòng)中也可以考慮采用其他適用標(biāo)準(zhǔn)其他潔凈等

(GB/T25915.7)]。,。

級(jí)屬性水平可使用按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)按粒子濃度劃

GB/T25915.8()、GB/T25915.9(

分表面潔凈度等級(jí)和按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)確定

)GB/T25915.10()。

Ⅲ

GB/T259153—2024/ISO14644-32019

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第3部分檢測方法

:

1范圍

本文件規(guī)定了支持潔凈室和潔凈區(qū)運(yùn)行的檢測方法以滿足空氣潔凈等級(jí)其他潔凈屬性和相關(guān)控

,、

制條件

。

性能檢測針對(duì)的是空態(tài)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)種任一占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式的潔凈室和潔

、3

凈區(qū)

。

本文件推薦了測定性能參數(shù)用的檢測儀器和檢測程序某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區(qū)的類

。

型為此本文件推薦了若干替代方法

,,。

為了滿足不同用戶的要求對(duì)于某些檢測項(xiàng)目本文件推薦了幾種不同的方法和儀器若供需雙方

,,。

協(xié)商同意也可以使用本文件未介紹的其他替代方法替代方法未必給出相同的測量結(jié)果

,。。

本文件不適用于測量潔凈室或隔離裝置內(nèi)的產(chǎn)品或工藝