砷化鎵半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線項目環(huán)評報告表

PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANIII目 錄一、建設(shè)項目基本情況 1二、建設(shè)項目工程分析 22建設(shè)內(nèi)容 22項目概況 22建設(shè)規(guī)模 23建設(shè)內(nèi)容 24平面布置 29主要設(shè)備、原輔材料及燃料 29水平衡分析 41工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié) 45本項目各生產(chǎn)工序介紹及產(chǎn)排污情況 47清洗工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 47化學(xué)氣相沉積（CVD）工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 49快速升降溫（RTP）工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 50熱氧化工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 52物理氣相沉積（PVD）工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 54電化學(xué)沉積工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 56光刻工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 57刻蝕工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 61離子注入 63背面減薄/劃片工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 65BUMP凸塊工序及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 66電學(xué)測試工序 68大宗氣站工藝簡述 68各類污染物排放情況匯總 70平衡分析 76氯平衡 76氟平衡 78氨平衡 80硝酸平衡 82磷平衡 83硫平衡 84硅烷平衡 85揮發(fā)性有機物平衡 85砷平衡 89金屬平衡 90三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及評價標(biāo)準(zhǔn) 96四、主要環(huán)境影響和保護(hù)措施 122廢氣環(huán)境影響和保護(hù)措施 125廢氣產(chǎn)生與收集系統(tǒng) 125廢氣污染物排放及治理情況 127全廠廢氣排放速率達(dá)標(biāo)分析 141非正常工況廢氣排放分析 142全廠廢氣排放量及排放口情況 145大氣污染物年排放量核算 146廢氣污染防治措施 147廢氣環(huán)境影響分析 157廢水環(huán)境影響和保護(hù)措施 157廢水處理系統(tǒng)類型及規(guī)模 158廢水污染物排放及治理情況 158事故狀況下污染物排放 166全廠廢水排放量及排放口情況 168廢水污染防治措施 171依托污水處理廠的環(huán)境可行性分析 176噪聲環(huán)境影響和保護(hù)措施 178噪聲污染源及防治措施 178噪聲環(huán)境影響分析 180固體廢物環(huán)境影響與保護(hù)措施 182固體廢物產(chǎn)生情況 182固體廢物暫存及處置情況 186地下水環(huán)境影響和保護(hù)措施 188地下水污染源及污染途徑 188地下水環(huán)境保護(hù)措施 189土壤環(huán)境影響和保護(hù)措施 190環(huán)境風(fēng)險分析 192環(huán)保投資 193環(huán)境監(jiān)測計劃 194污染物排放情況匯總 195五、環(huán)境保護(hù)措施監(jiān)督檢查清單 198六、結(jié)論 201附表 202建設(shè)項目污染物排放量匯總表 202附圖 207附圖1 地理位置圖 207附圖2 珠海市香洲區(qū)環(huán)境管控單元圖 208附圖3 廣東省“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控圖 209附圖4 珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305C06管理單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改用地規(guī)劃圖 210附圖5 珠海市高新區(qū)金鼎永豐片區(qū)區(qū)域規(guī)劃范圍圖 211附圖6 環(huán)境質(zhì)量功能區(qū)劃圖（聲環(huán)境） 212附圖7 珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分圖 213附圖8 珠海市生態(tài)控制線分級管制區(qū)圖 214附圖9 環(huán)境質(zhì)量功能區(qū)劃圖（水環(huán)境） 215附圖10 珠海市飲用水源地及保護(hù)區(qū)劃分現(xiàn)狀圖 216附圖11 項目周邊關(guān)系圖 217附圖12 環(huán)境保護(hù)目標(biāo)分布圖 218附圖13 總平面布置 219附圖14 本項目環(huán)境大氣、噪聲監(jiān)測點位示意圖 220附圖15 1號生產(chǎn)廠房平面布置圖（工藝區(qū)劃） 221附圖16中山市環(huán)境空氣質(zhì)量區(qū)劃圖 222附圖17雨水管網(wǎng)、消防廢水收集管線、事故切換閥示意圖 223附圖18污水管網(wǎng)圖 224附圖19項目運營期環(huán)境監(jiān)測計劃監(jiān)測位置圖 225附圖20本項目噪聲預(yù)測等值線圖 226附件 227附件1營業(yè)執(zhí)照 227附件2項目備案證 228附件3《關(guān)于電子行業(yè)使用低VOCS含量清洗劑替代乙醇、丙酮的可行性專家咨詢意見》 229附件4類比項目產(chǎn)污情況說明 230附件5純廢水化學(xué)品種類和預(yù)估用量 232附件6擬采用的純水系統(tǒng)制備流程圖 233PAGEPAGE1一、建設(shè)項目基本情況建設(shè)項目名稱砷化鎵半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線項目項目代碼2309-440402-04-05-859152建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點珠海市高新區(qū)金瑞二路（道路建設(shè)中、龍圖科技旁）（珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)）地理坐標(biāo)（31分56.690秒，22度23分33.030秒）國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類別建設(shè)項目行業(yè)類別建設(shè)性質(zhì)新建（遷建）□技術(shù)改造建設(shè)項目申報情形首次申報項目不予批準(zhǔn)后再次申報項目超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目（核準(zhǔn)/備案（填）珠海高新區(qū)發(fā)展改革和財政金融局項目審批（核準(zhǔn)/備案）文號（選填）/總投資（萬元環(huán)保投資（萬元）環(huán)保投資占比（%）施工工期是否開工建設(shè)■否是： 用地（用海）面積（m2）39534.77專項評價設(shè)置情況500米范圍內(nèi)有敏感保護(hù)目標(biāo)，因此設(shè)置大氣專項評價。因此無需設(shè)置海洋專項評價。規(guī)劃情況規(guī)劃名稱：《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》審批機關(guān)：珠海市人民政府批準(zhǔn)文號：珠府批[2018]97號規(guī)劃名稱：《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c06管理單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》審批機關(guān)：珠海市人民政府批準(zhǔn)文號：珠（高新）府自然資批[2021]94號規(guī)劃環(huán)境影響評價情況無規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析與《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》符合性分析A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》（以下簡稱“規(guī)劃”）A305c編制單元，東至京珠高速公路珠海段313.22公頃。本項目位于廣東省珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，屬于珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305cA305c06此規(guī)劃的強制性內(nèi)容包括編制單元及管理單元主導(dǎo)屬性、人口規(guī)模、單元用地面積、總建筑面積、公共服務(wù)設(shè)施、市政公用設(shè)施、道路交通設(shè)施、綠地與廣場和歷史文化保護(hù)等內(nèi)容。根據(jù)規(guī)劃的要求，本項目所在地為工業(yè)用地，不涉及公園綠地、防護(hù)綠地、水域等其他用地類型。承擔(dān)金鼎組團(tuán)重要高新科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)、公共服務(wù)中心、居住職能。規(guī)劃的發(fā)展目標(biāo)為踐行生態(tài)文明，推動創(chuàng)新驅(qū)動，將規(guī)劃區(qū)建設(shè)為珠海市創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設(shè)、TOD與《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c06管理單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》符合性分析A305c06管理單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》的規(guī)劃范A305c06管理單元，本項目選址為廣東省珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，位于中珠渠北路北側(cè)，金鼎西路的東側(cè)，項目用地位于管理單元A305c0604-5內(nèi)，屬于工業(yè)用地，符合規(guī)范的規(guī)劃范圍要求。其他符合性分析一、產(chǎn)業(yè)政策符合性分析1 （2019年本190.8微米以下集成電路制造，及球柵陣列封裝（BGA）、插針網(wǎng)格陣列封裝（PGA）、芯（CSP）（MCM)（LGA）（FC）（WLP）（MEMS）等先進(jìn)0.82、根據(jù)國家發(fā)展和改革委員會公布的《市場準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）》，本項目不屬于負(fù)面清單中禁止準(zhǔn)入事項，亦不屬于許可準(zhǔn)入事項，屬于市場準(zhǔn)入負(fù)面清單以外的行業(yè)，且不涉及與市場準(zhǔn)入相關(guān)的禁止性規(guī)定。3 依據(jù)《珠海市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄（2020年本1.由上分析，本項目的建設(shè)符合國家、珠海市的相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策。二、選址合理性分析本項目位于廣東省珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)。項目租用珠海格創(chuàng)投資股份有限公司在建“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”的廠房。廠房的用地性質(zhì)為工業(yè)用地，已取得建設(shè)用地規(guī)劃許可證（地字第4404022023YG0003326號）。本項目對產(chǎn)生的污染物進(jìn)行綜合治理后，污染物均能達(dá)標(biāo)排放，項目對周圍環(huán)境影響較小。在嚴(yán)格執(zhí)行本評價要求的環(huán)保措施的條件下，項目選址可行。三、環(huán)境功能區(qū)劃的符合性分析本項目位于廣東省珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，項目地塊位于管理單元A305c06，位于中珠渠北路北側(cè)，金鼎西路的東側(cè)。根據(jù)《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》及其他規(guī)劃文件，周邊環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃見下表。1與周邊環(huán)境功能區(qū)劃的符合性分析要素環(huán)境功能區(qū)劃文件環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行情況地表水環(huán)境《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》（珠府批[2018]97號）本項目所在區(qū)域執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)地下水環(huán)境《廣東省地下水功能區(qū)劃》（GB/T14848-93）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)飲用水源保護(hù)區(qū)飲用水水源保護(hù)區(qū)的請示》（〔2018〕51號）及《廣東省人民政府關(guān)于調(diào)整珠海市部分飲用水水源（2018314號）本項目不在珠海市飲用水源保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，詳見附圖9。大氣環(huán)境《珠海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)<珠（2022年修訂（珠環(huán)[2022]197號）《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》（珠府批[2018]97號）本項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量二類區(qū)，詳見附圖7；聲環(huán)境《珠海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)珠海市聲環(huán)境功能區(qū)區(qū)劃的通知》(珠環(huán)[2020]177號)本項目所在地聲環(huán)境質(zhì)量功（GB3096-2008）3類區(qū)，詳見附圖6。四、“三線一單”符合性分析本項目正在申請節(jié)能評估的審批，根據(jù)項目節(jié)能評估報告，項目能耗情況匯總?cè)缦拢罕? 本項目能耗情況一覽表（2021〕368號調(diào)整。根據(jù)目廣東省“兩高”項目范圍以《廣東省“兩高”項目管理目錄（2022年版（20221363號3973集成電路制造業(yè)，不屬于目錄列明的8項兩高項目范疇。表3 與《廣東省“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》（粵府[2020]71號）相符性分析表內(nèi)容相符性分析相符性項目消耗能源品種項目消耗能源品種能源種類計量單位年需要實物量折標(biāo)系數(shù)折標(biāo)煤量（tce）電力萬kW?h7593.421.229tce/萬kW?h（當(dāng)量值）9332.312.93tce/萬kW?h（等價值）20435.40天然氣萬m386.413.30tce/萬m31149.12柴油t5.231.4571tce/t7.62新水萬t69.282.571tce/萬m3（等價值）178.11氮氣m3120730680.0004tce/m3（等價值）4829.23氧氣m312840.0004tce/m3（等價值）0.51項目年綜合能源消費總量（tce）當(dāng)量值10489.05等價值26600.00生態(tài)保護(hù)紅線全省陸域生態(tài)保護(hù)紅線面36194.3520.13%；一般生態(tài)空間面27741.6615.44%。全省海洋生態(tài)保16490.59平方根據(jù)規(guī)劃及《廣東省環(huán)境保護(hù)規(guī)劃綱要（2006~2020年）》，本項目所在區(qū)域不屬于生態(tài)紅線區(qū)域，符合生態(tài)保護(hù)紅線要求。相符全省水環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改項目所在區(qū)域空氣環(huán)境功能為二類區(qū)，聲環(huán)境功能3類區(qū)，項目納污水體金星門水道執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》（G3097199準(zhǔn)，不在水源保護(hù)區(qū)內(nèi)。本項目在運營過程的廢水、廢氣、固體廢物和噪聲影響經(jīng)有效的治理措施治理后對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響甚小。符合環(huán)境質(zhì)量底線要求。善，國考、省考斷面優(yōu)良環(huán)境質(zhì)量底線水質(zhì)比例穩(wěn)步提升，全面V境質(zhì)量繼續(xù)領(lǐng)跑先行，PM2.5年均濃度率先達(dá)到世界衛(wèi)生組織過渡期二階段目標(biāo)值（25微克/立方米），臭氧污染得到有效相符遏制。土壤環(huán)境質(zhì)量穩(wěn)中向好，土壤環(huán)境風(fēng)險得到管控。近岸海域水體質(zhì)量穩(wěn)步提升。強化節(jié)約集約利用，持續(xù)本項目通過采用純水回用、純水制備廢水再利用等措施提高工業(yè)用水效率，單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求，不會超出區(qū)域資源利用上線，符合資源利用上線要求。提升資源能源利用效率，資源利用上線水資源、土地資源、岸線資源、能源消耗等達(dá)到或相符優(yōu)于國家下達(dá)的總量和強度控制目標(biāo)。從區(qū)域布局管控、能源資源利用、污染物排放管控環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單和環(huán)境風(fēng)險防控等方面明確準(zhǔn)入要求，建立“1+3+N”三級生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單體系?！?”為全省總體管控要求，“3”為“一核一帶一區(qū)”區(qū)域管控要求，“N”為1912個陸域環(huán)境管控單元和471個海域環(huán)境管控單元的管控要求。項目不屬于區(qū)域布局管控、能源資源利用、污染物排放管控和環(huán)境風(fēng)險防控等方面明確禁止準(zhǔn)入項目，符合環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單要求。相符“一核區(qū)域布局管控要求禁止新建、擴(kuò)建燃煤燃油火電機組和企業(yè)自備電不屬于禁止建設(shè)項目，用電、用氣均由市政提供。本項目所使用的有機物原輔材料一站，推進(jìn)現(xiàn)有服役期滿及帶落后老舊的燃煤火電機組一區(qū)”總有序退出；原則上不再新建燃煤鍋爐，逐步淘汰生物質(zhì)鍋爐、集中供熱管網(wǎng)相符體覆蓋區(qū)域內(nèi)的分散供熱鍋管爐，逐步推動高污染燃料控要擴(kuò)建水泥、平板玻璃、化求——珠學(xué)制漿、生皮制革以及國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工等項目。推廠應(yīng)用低揮本項目為密閉機臺，且設(shè)置機臺的抽風(fēng)系統(tǒng)，做到全部收集后經(jīng)沸石轉(zhuǎn)輪+焚燒系統(tǒng)處理，最大限度減少揮發(fā)性有機物的排放。符合區(qū)域布局管控要求。三發(fā)性有機物原輔材料，嚴(yán)角格限制新建生產(chǎn)和使用高核揮發(fā)性有機物原輔材料的心項目，鼓勵建設(shè)揮發(fā)性有區(qū)機物共性工廠。能源資源利用要求本項目通過采用清洗水回用等措施提高工業(yè)用水效推進(jìn)工業(yè)節(jié)水減排，重點率。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水在高耗水行業(yè)開展節(jié)水改處理站處理后排入市政污造，提高工業(yè)用水效率。水處理廠。本項目位于廣加強江河湖庫水量調(diào)度，東省珠海市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)相符保障生態(tài)流量。盤活存量開發(fā)區(qū)，項目規(guī)劃用地為建設(shè)用地，控制新增建設(shè)工業(yè)用地，屬于珠海市土用地規(guī)模。地利用總體規(guī)劃的允許建設(shè)區(qū)，符合能源資源利用要求。污染物排放管控要求在可核查、可監(jiān)管的基礎(chǔ)根據(jù)要求，本項目為新建項目，氮氧化物實施等量替代、揮發(fā)性有機物兩倍削減量替代，制定并落實項目運營期環(huán)境監(jiān)測計劃。本項目生產(chǎn)廠房、化學(xué)品庫等均為密閉廠房，化學(xué)品存于密閉的氣瓶、儲罐等。本項目生產(chǎn)過程產(chǎn)生的一般固體廢物收集后交由回收公司處理，危險廢物交由具有危險廢物處理資質(zhì)的單位處理。上，新建項目原則上實施氮氧化物等量替代，揮發(fā)性有機物兩倍削減量替代。以臭氧生成潛勢較大的行業(yè)企業(yè)為重點，推進(jìn)揮發(fā)性有機物源頭替代，相符全面加強無組織排放控大力推進(jìn)固體廢物源頭減量化、資源化利用和無害“市”試點建設(shè)。環(huán)境風(fēng)險防控要求本項目環(huán)境風(fēng)險事故發(fā)生概率較低，在落實相關(guān)防建立完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急管理體系.險應(yīng)急預(yù)案。提升危險廢范措施后，項目生產(chǎn)過程的環(huán)境風(fēng)險總體可控。本項目有危險廢物產(chǎn)生，項物監(jiān)管能力，利用信息化目建成后將依法編制事故手段，推進(jìn)全過程跟蹤管應(yīng)急預(yù)案，并嚴(yán)格落實應(yīng)相符理；健全危險廢物收集體急預(yù)案及環(huán)評中提出各項系，推進(jìn)危險廢物利用處措施和要求。項目產(chǎn)生的置能力結(jié)構(gòu)優(yōu)化。危險廢物經(jīng)集中暫存后，定期交由有資質(zhì)的單位處處置過程嚴(yán)格按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行管理，符合環(huán)境風(fēng)險防控要求。表4與《珠海市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案的通知》（珠府[2021]38號）相符性分析表環(huán)境管控單元編碼環(huán)境管控單元編碼單元名稱ZH44040220013香洲區(qū)唐家灣鎮(zhèn)重點管控單元內(nèi)容相符性分析相符性生態(tài)保護(hù)紅線全市陸域生態(tài)保護(hù)紅線面202.59平方公里，占全市陸域國土面積的11.66%；一般生態(tài)空間面積131.57平方公里，占全市陸域國土面積的7.57%全市海域生態(tài)保護(hù)紅線3281.06平方公里。府辦公室關(guān)于印發(fā)珠海市生態(tài)控制線劃定工作方案的通知》珠府辦函[2015]2048。相符，環(huán)境質(zhì)量底線到國家和省下達(dá)的水質(zhì)目地水質(zhì)達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類水體比例為項考核指標(biāo)達(dá)到省下達(dá)的目標(biāo)要求。項目所在區(qū)域空氣環(huán)境功劃為3類區(qū)。本項目污水納入納污水體金星門水道執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》（GB3097-1997）第三類標(biāo)有效的治理措施治理后對周圍環(huán)境產(chǎn)生的影響甚小。符合環(huán)境質(zhì)量底線要求。相符資源利用上線能源消耗等達(dá)到或優(yōu)于省下達(dá)的總量和強度控制目標(biāo)。本項目通過采用純水回用、純水制備廢水再利用等措施提高工業(yè)用水效率，單片排水量滿足基準(zhǔn)排水量限值要求，不會超出區(qū)域資源利用上線，符合資源利用上線要求。相符全市生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入共性清單區(qū)域布局管控要求禁止新建、擴(kuò)建燃煤燃油火電機組和企業(yè)自備電站不得新建專業(yè)電鍍、冶煉、發(fā)酵等重污染項目。禁止在磨刀門水道兩岸及線水平外延五百米范圍內(nèi)設(shè)活動。，屬于鼓勵發(fā)展產(chǎn)本項目不屬于磨刀門水道兩岸或流域范圍內(nèi)，產(chǎn)生的廢水通過廠區(qū)自建廢水站處理后經(jīng)市政管網(wǎng)排入北區(qū)污水處理廠再處理，最后地不屬于自然保護(hù)地核心區(qū)，符合區(qū)域布局管控要求。相符能源資源利用要求按照“控煤、減油、增氣、”原則，構(gòu)建綠色低碳能源體系。對生產(chǎn)生活廢水進(jìn)行深度在高耗水行業(yè)開展節(jié)水改造，提高工業(yè)用水效率。項目用氣為市政提供天然符合能源資源利用要求。處理廠區(qū)內(nèi)生活污水；此外，本項目自建污水處理目出水水質(zhì)滿足北區(qū)污水處理廠進(jìn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）后排入北區(qū)污水處理廠進(jìn)行處理。相符污染物排放管控要求實施重點污染物總量控制，重點污染物排放總量指標(biāo)“兩高”項目應(yīng)依據(jù)區(qū)域環(huán)有效的污染物區(qū)域削減措施，騰出足夠的環(huán)境容量。嚴(yán)格落實國家產(chǎn)品VOCs珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c相符無VOs目錄（2022年版）”中涉及的“兩高”項目。庫等采取有效的防雨、防目所在廠區(qū)地面進(jìn)行硬底相應(yīng)的保護(hù)層，不存在土目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中管控要求。性有機物兩倍削減量替代。加強土壤和地下水污染源點類別金屬污染防治和減物收集處理。環(huán)境風(fēng)險防控要求加強危險化學(xué)品、重金屬、項目產(chǎn)生的危險廢物經(jīng)集中暫存后，定期交由有資質(zhì)的單位處理。危險廢物暫相符照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行管理，符合監(jiān)控。環(huán)境風(fēng)險防控要求。香洲區(qū)唐家灣鎮(zhèn)重點管控單元區(qū)域布局管控【產(chǎn)業(yè)/勵工業(yè)用地集中布局于金，位于廣東省珠海高新技鼎工業(yè)片區(qū)和科創(chuàng)海岸片術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，符合產(chǎn)業(yè)要求。散的一般性加工工業(yè)和村本項目不在劃定的生態(tài)控級工業(yè)規(guī)劃期內(nèi)逐步向工制線管制范圍內(nèi)，符合生態(tài)保護(hù)紅線要求，本項目不屬于自然保護(hù)地核心區(qū)，符合相符能制造等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)為要求。主導(dǎo)?！旧鷳B(tài)/，本項目不使用溶劑型涂料、固化劑、膠黏劑等原土空間規(guī)劃中統(tǒng)籌劃定落輔材料，本項目產(chǎn)生的非甲實三條控制線的指導(dǎo)意見》烷總烴主要來源于光刻工序中使用光刻膠等材料，由PAGEPAGE11態(tài)功能不造成破壞的8有限人為活動?！旧鷳B(tài)/還可開展國家和省規(guī)定不納入環(huán)評管理的項目建設(shè)，【生態(tài)/【生態(tài)/新鳳凰山地方級自然保護(hù)區(qū)按照自然保護(hù)地相關(guān)管理要求進(jìn)行管控?！敬髿?氣環(huán)境布局敏感重點管控進(jìn)區(qū)域內(nèi)行業(yè)企業(yè)提標(biāo)改造。1-7.【其他/禁止類】禁止在單元區(qū)域內(nèi)建設(shè)畜禽養(yǎng)殖場、養(yǎng)殖小區(qū)。廢氣的收集、廢氣處理設(shè)有效降低污染物的排放量本項目不屬于畜禽養(yǎng)殖場、養(yǎng)殖小區(qū)，符合區(qū)域布局管控的要求。能源資源利用【其它/能耗達(dá)到國際國內(nèi)先進(jìn)水平?！舅Y源/污三條紅線剛性約束。本項目在建設(shè)過程中將采用節(jié)能新技術(shù)、新工藝，將低能耗作為建設(shè)方案選擇的主要考慮因素，項目符合能源資源利用的要求。本項目不在飲用水水源保足基準(zhǔn)排水量限值要求。相符污染物排放管控【水/舊工業(yè)廠房改造項目要實【水/采取控源截污、內(nèi)源治理、生態(tài)修復(fù)、活水循環(huán)等措生的生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)自建廢水處理站處理后再排到滿足污水處理廠的納管要求。相符雞山排洪渠黑臭水體沿岸浮物、河床底泥。環(huán)境風(fēng)險管控【水/處理廠和一體化生活污水處理設(shè)施應(yīng)采取有效措施，防止事故廢水直接排入水體。本項目廠區(qū)內(nèi)產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)自建廢水處理站處理后再排到市政污水處理廠，排水水質(zhì)滿足污水處理廠的納管要求。相符五、與環(huán)境保護(hù)規(guī)劃相符性分析1、《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822—2019）相符性分析“VOCs質(zhì)量占比大于等10%VOCs產(chǎn)品，其使用過程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作，廢氣VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；無法密閉的，應(yīng)采取局部氣體收集措施，廢氣VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)?！北卷椖抗饪坦ば虻耐磕z、前烘、曝光后烘以及清洗工序、回流焊工序中的有機洗焙等會產(chǎn)生有機廢氣。項目機臺與廢氣管道連接，產(chǎn)生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統(tǒng)，經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)/活性炭吸附系統(tǒng)處理后通過排氣筒排放。因此，本項目與《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822—2019）的要求相符。2、《廣東省涉揮發(fā)性有機物（VOCs）重點行業(yè)治理指引》（粵環(huán)辦〔2021〕43號）相符性分析根據(jù)《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》中的規(guī)定，本項目揮發(fā)性有機物10VOCsC3973集成電路制造（VOCs）本項目不涉及膠粘劑、網(wǎng)印油墨、無溶劑涂料、輻射固化涂料的使用。使用VOCs原輔材料主要為清洗工序使用的有機溶劑。本項目以擬采取過程控制（VOCs）重點行業(yè)治理指引》的要求，具體見下表：本項目不涉及膠粘劑、網(wǎng)印油墨、無溶劑涂料、輻射固化涂料的使用。使用的含VOCs原輔材料主要為清洗工序使用的有機溶劑。本項目以擬采取過程控制措施、末端措施、環(huán)境管理要求均符合《廣東省涉揮發(fā)性有機物（VOCs）重點行業(yè)治理指引》的要求，具體見下表。表5 與《廣東省涉揮發(fā)性有機物（VOCs）重點行業(yè)治理指引》（粵環(huán)辦〔2021〕43號）相符性VOCs治理指引環(huán)節(jié)控制要求實施要求項目情況相符性源頭控制清洗劑有機溶劑清洗劑：VOCs含量VOCs≤900g/L；要求本項目使用異丙醇、丙酮作為有機溶劑清洗劑，采用電子級產(chǎn)品相符過程控制VOCs物料儲存物料應(yīng)儲存要求項目使用的有機溶劑等VOCs物料均存儲余密閉的容器中，存放于化學(xué)品庫房內(nèi)。相符盛裝VOCs物料的容器是否VOCs在非取用狀態(tài)時應(yīng)加蓋、封口，保持密閉。要求項目使用的有機溶劑等VOCs物料均存儲余密閉的容器中，存放于化學(xué)品庫房內(nèi)?；瘜W(xué)品庫房地面均采取防滲措施。容器在非取用時均為密封保存。相符VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送液體VOCs物料應(yīng)采用管道采用密閉容器或罐車。要求有機溶劑等VOCs物料采用密閉容器轉(zhuǎn)移。配送過程均采用密閉管道輸送相符工藝過程UV固質(zhì)量占比大于等于10%物料的過程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；無法密閉的，應(yīng)采取局部氣體收集措施，廢氣排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。要求本項目工藝設(shè)備均安裝在正壓潔凈室內(nèi)，所有設(shè)備均為密閉設(shè)備，反應(yīng)過程均在密閉腔室中完成。產(chǎn)生的廢氣全部負(fù)壓收集。排至廢氣收集處理系統(tǒng)。相符廢氣收集VOCs無組0.3m/s要求本項目產(chǎn)生廢氣均采用密閉管路收集方式，無無組織排放。相符廢氣收集系統(tǒng)的輸送管道應(yīng)對管道組件的密封點進(jìn)行泄要求所有設(shè)備均為密閉設(shè)備，反應(yīng)過程均在密閉腔室中完成。產(chǎn)生的廢氣全部負(fù)壓收集。排至廢氣收集處理系統(tǒng)。相符500μmol/mol，亦不應(yīng)有感官可察覺泄漏。廢氣收集系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝工藝設(shè)備不能停止運行或不氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他代替措施。要求本項目廢氣收集系統(tǒng)與生相符非正常排放載有VOCs物料的設(shè)備及其管道在開停工（車）、檢維修和清洗時，應(yīng)在退料階段將殘存物料退凈，并用密閉容器盛裝，退料過程廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；清洗及吹掃過程排氣至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。要求料等過程產(chǎn)生廢有機溶劑均采用密閉管路收集排入產(chǎn)生的廢氣均為密閉管路收集后排入VOCs處理系統(tǒng)。清洗及吹掃過程排氣也經(jīng)廢氣收集處理系統(tǒng)。相符末端治理排放水平年1月1日前的建設(shè)項目排放的工藝有機廢氣（DB4427-2001）第一時段限值；2002年1月1日起的建設(shè)項目排放的有機（DB4427-2001）初始排放速率≥3kg/h時，建設(shè)VOCs處理設(shè)施且處理效率≥80%。（2）廠區(qū)內(nèi)無組織排放監(jiān)控點NMHC的小時平均濃度值不超過6mg/m3，任意一次濃度值不超過20mg/m3。要求本項目廢氣排放執(zhí)行生產(chǎn)設(shè)施排氣中非甲烷總≥3kg/h，VOCs處理設(shè)施且處理效率≥80%,廠區(qū)內(nèi)無組織排放監(jiān)控點非甲烷總烴執(zhí)行廣源揮發(fā)性有機物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/2367-2022）廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值，滿足小時平均濃度值不超過6mg/m3,任意一次濃度值不超過20mg/m3。相符治理設(shè)施設(shè)計與運行管理VOCs治理設(shè)施應(yīng)與生產(chǎn)工治理生產(chǎn)工藝設(shè)備不能停止運行其他替代措施要求本項目廢氣收集系統(tǒng)與生32023年大氣污染防治工作方案》工作目標(biāo)：2023年，全省空氣質(zhì)量優(yōu)良天數(shù)比例（AQI）達(dá)到94.1%，細(xì)顆粒物（PM2.5）23.5ug/m3。珠海市空氣質(zhì)量優(yōu)良天數(shù)比例（AQI）90.4%，可吸入顆粒物（PM10）37ug/m3，PM2.522ug/m310市，年均二氧化氮（NO2）20ug/m3的國控、省控站點，2023NO22020-20222-3ug/m3。經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)/VOCs的VOCs的排放，符合方案要求。2023VOCsVOCs含量原輔材料應(yīng)用，嚴(yán)格執(zhí)行涂料、油墨、膠VOCsVOCs治理設(shè)施清理整VOCs企業(yè)分級管控措施。2023VOCs年103VOCs企業(yè)完成分級。VOCs（VOCsVOCs異丙醇和乙醇使用功能基本相似，化學(xué)性質(zhì)相近，因此異丙醇在電子行業(yè)中也暫VOCs含量清洗劑替代方案。VOCs32.28VOCs新建有機廢氣的收集、廢氣處理設(shè)施，采用沸石轉(zhuǎn)輪燃燒，可有效降低污染物的VOCs治理設(shè)施，項目廢氣可實現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放，符合要求。4、《廣東省大氣污染防治條例》相符性分析條例規(guī)定重點大氣污染物排放總量控制指標(biāo)?！薄暗谑邨l珠江三角洲區(qū)域禁止新建、擴(kuò)建燃煤燃油火電機組或者企業(yè)燃煤燃油自備電站。珠江三角洲區(qū)域禁止新建、擴(kuò)建國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工、乙烯生產(chǎn)、造紙、水泥、平板玻璃、除特種陶瓷以外的陶瓷、有色金屬冶煉等大氣重污染項目。火電、鋼鐵、石油、化工、平板玻璃、水泥、陶瓷等大氣污染重點行業(yè)企業(yè)及鍋爐項目，應(yīng)當(dāng)采用污染防治先進(jìn)可行技術(shù)，使重點大氣污染物排放濃度達(dá)到國家和省的超低排放要求?！钡诙鶙l新建、改建、擴(kuò)建排放揮發(fā)性有機物的建設(shè)項目，應(yīng)當(dāng)使用污染防治先進(jìn)可行技術(shù)。下列產(chǎn)生含揮發(fā)性有機物廢氣的生產(chǎn)和服務(wù)活動，應(yīng)當(dāng)優(yōu)先使用低揮發(fā)性有機物含量的原材料和低排放環(huán)保工藝，在確保安全條件下，按照規(guī)定在密閉空間或者設(shè)備中進(jìn)行，安裝、使用滿足防爆、防靜電要求的治理效率高的污染防治設(shè)施:無法密閉或者不適宜密閉的，應(yīng)當(dāng)采取有效措施減少廢氣排放：(一)石二)三)四)五)其他產(chǎn)生揮發(fā)性有機物的生產(chǎn)和服務(wù)活動。本項目屬于新建排放重點大氣污染物的建設(shè)項目，本項目按照相關(guān)規(guī)定，在報批環(huán)境影響評價文件前向珠海市生態(tài)環(huán)境局申請取得重點大氣污染物排放總量控制指標(biāo)。2019年本)190.8微米以下集成電路制造，及球柵陣列封裝（BGA）、插針網(wǎng)格陣列封裝（PGA）、芯片規(guī)模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM)、柵格陣列封裝（LGA）、系統(tǒng)級封裝（SIP）、倒裝封裝（FC）、晶圓級封裝（WLP）、傳感器封裝（MEMS）等先進(jìn)封裝與測試”，本項目產(chǎn)品0.8生產(chǎn)工藝，建設(shè)單位采取有效收集措施和可行高效的治理設(shè)施，收集治理項目產(chǎn)89%。本項目符合《廣東省大氣污染防治條例》的相關(guān)要求。5、《廣東省臭氧污染防治（氮氧化物和揮發(fā)性有機物協(xié)同減排）實施方案（2023-2025年）》相符性分析2025600NOx減排項目，10000VOCs減排項目，2000NOxVOCs持續(xù)下降。工作要求：工作思路。堅持精準(zhǔn)、科學(xué)、依法治污，按照近期與中長期目標(biāo)NOxVOCs，NOxVOCsVOCs深度治理，加強柴油貨車NOxVOCs排放監(jiān)管。堅持突出重點、分區(qū)域、分行業(yè)、8-10月為重點時段，以廣州、深圳、珠海、佛山、惠州、東莞、中山、江門、肇慶及清遠(yuǎn)市為省大氣污染防治的重點城市，其他城市在省統(tǒng)一指導(dǎo)下開展區(qū)域聯(lián)防聯(lián)控。強化臭氧污染防治科技支撐和技術(shù)幫扶，完善臭氧和VOCs監(jiān)測體系，加強執(zhí)法監(jiān)管，切實有效開展臭氧污染防治。NOx放限值》（DB44/27-2001）2第二時段工藝廢氣大氣污染物排放限值后高空排標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/2367-2022）13VOCs無組織排放限值后高空排放，滿足固定源減排要求，切實開展抽樣污染防治。其他涉VOCs排放行業(yè)控制工作目標(biāo)：以工業(yè)涂裝、橡膠塑料制品等行業(yè)為重點，開展涉VOCs企業(yè)達(dá)標(biāo)治理，強化源頭、無組織、末端全流程治理。工作要求：加快推進(jìn)工程機械、鋼結(jié)構(gòu)、船舶制造等行業(yè)低VOCs含量原輔材料替代，引導(dǎo)生產(chǎn)和使用企業(yè)供應(yīng)和使用符合國家質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品；企業(yè)無組織排放控制措施及相關(guān)限值應(yīng)符合《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)（粵20214號VOCs水噴淋（VOCs除外）VOCs治理設(shè)施（惡臭處理除外），組織排查光催化、光氧化、水噴淋、低溫等離子及上述組合技術(shù)的低VOCs治理設(shè)施，對無法穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的實施更換或升級改造。本項目使用光刻膠、異丙醇等均在密閉設(shè)備或密閉空間中進(jìn)行，生產(chǎn)的過程VOCs廢氣全部負(fù)壓收集，排至有機廢氣收集處理系統(tǒng)，無無組織排放。本項目產(chǎn)生的非甲烷總烴主要來源于清洗工序中使用的清洗劑以及光刻工序中使用光刻膠等材料。此外，集成電路所使用的清洗劑未被列入《清洗劑揮發(fā)性有機化合物含量限值》（GB38508-2020），滿足國VOCs含量（在電子行業(yè)作為清洗劑廣泛使用，暫無成熟可行的低VOCs含量清洗劑替代方VOCs含量清洗劑替代方案。此外，本項目使用的異丙醇和乙醇使用功能基本相似，化學(xué)性質(zhì)相近，因此異丙醇在電子行業(yè)中也暫無成熟可行的低VOCs含量清洗劑替代方案。6、《廣東省碧水保衛(wèi)戰(zhàn)五年行動計劃（2021-2025年）》相符性分析202-2025（，2023（達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類90.5%，劣Ⅴ類水體比例為0%2025年，廣東國家考核斷面水質(zhì)優(yōu)良比例穩(wěn)定達(dá)到90.5%，縣級城市建成區(qū)基本消除黑臭水體?！队媱潯访鞔_10項重點任務(wù)，首先強調(diào)優(yōu)先保護(hù)飲用水水源。2023年底前，完成縣級及以上城市集中式水源地規(guī)范化建設(shè)，基本完成鄉(xiāng)鎮(zhèn)級集中式水源保護(hù)區(qū)劃定和勘界立標(biāo)，并高質(zhì)量保護(hù)重要江河源頭生態(tài)?？h級及以上城市集中式飲用水水源地達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類比例力爭保持100%?！耙蛔C式”2025年，省級以上工業(yè)園區(qū)實現(xiàn)污水全收集全處理。本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護(hù)區(qū)范圍，運營期廢水經(jīng)廠內(nèi)自建污pH（GB139731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，五日生化需氧量、動植物油滿足廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)，滿足排入市政污水處理廠的水質(zhì)要求。7、《城市黑臭水體治理攻堅戰(zhàn)實施方案》（建城〔2018〕104號）相符性分析根據(jù)《城市黑臭水體治理攻堅戰(zhàn)實施方案》的規(guī)定，要求強化工業(yè)企業(yè)污染對超標(biāo)或超總量的排污單位一律限制生產(chǎn)或停產(chǎn)整治。排入環(huán)境的工業(yè)污水要符合國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)；有特別排放限值要求的，應(yīng)依法依規(guī)執(zhí)行。新建冶金、電鍍、化工、印染、原料藥制造等工業(yè)企業(yè)（有工業(yè)廢水處理資質(zhì)且出水達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)的原料藥制造企業(yè)除外）排放的含重金屬或難以生化降解廢水以及有關(guān)工業(yè)企業(yè)排放的高鹽廢水，不得接入城市生活污水處理設(shè)施。組織評估現(xiàn)有接入城市生活污水處理設(shè)施的工業(yè)廢水對設(shè)施出水的影響，導(dǎo)致出水不能穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的要分質(zhì)處理、應(yīng)收盡收，禁止偷排漏排行為，入園企業(yè)應(yīng)當(dāng)按照國家有關(guān)規(guī)定進(jìn)行預(yù)處理，達(dá)到工藝要求后，接入污水集中處理設(shè)施處理。本項目運營期廢水經(jīng)廠內(nèi)自建污水站處理后排入市政污水處理廠，本項目廢pH（GB39731-2020）1水污染物排放限值的間接排放限值要求，五日生化需氧量、動植物油滿足廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標(biāo)準(zhǔn)。氟化物滿足《電子工業(yè)水污（GB39731-2020）1直接排放標(biāo)準(zhǔn)?？傘~、總鎳、總砷、總銀除滿足《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）1廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不經(jīng)污水廠處理達(dá)標(biāo)排放。因此，本項目符合《城市黑臭水體治理攻堅戰(zhàn)實施方案》的相關(guān)要求。8定，要求強化全過程管控。嚴(yán)禁工業(yè)企業(yè)排放的含重金屬或難以生化降解廢水、有生物毒性廢水、高鹽廢水等排入市政污水收集處理設(shè)施。禁止向生活垃圾收集設(shè)施投放工業(yè)固體廢物。加強污水處理和垃圾轉(zhuǎn)運、處置過程臭氣治理。重點針對污水直排、污水處理設(shè)施不正常運行、生活垃圾隨意堆放、滲濾液偷排直排、惡臭擾民等問題，加強排查整治，建立問題和風(fēng)險臺賬，制定整改方案，限期整改到位。組織開展污水垃圾處理設(shè)施建設(shè)、運行、維護(hù)、管理等技術(shù)培訓(xùn)。本項目運營期廢水經(jīng)廠內(nèi)自建污水站處理后排入市政污水處理廠，氟化物滿（GB39731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，滿足直接排放標(biāo)準(zhǔn)?？傘~、總鎳、總砷、總銀除滿足《電子工業(yè)水（GB39731-2020）1足《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不經(jīng)污水廠處理達(dá)標(biāo)排放。此外，本項目產(chǎn)生的生活垃圾存放在廠區(qū)東側(cè)生活垃圾存放區(qū)，由當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運處理。因此，本項目符合《關(guān)于推進(jìn)建制鎮(zhèn)生活污水垃圾處理設(shè)施建設(shè)和管理的實施方案》的規(guī)定要求。9、與《固定污染源揮發(fā)性有機物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/2367-2022）相符性分析相關(guān)要求項目情況相符性VOCs物料應(yīng)儲存于密閉的容盛裝VOCs物料的容器或包裝袋應(yīng)項目使用的化學(xué)品原輔料儲存相符存放于室內(nèi)，或存于設(shè)置有雨棚、遮陽和防滲設(shè)施的專用場地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取于化學(xué)品庫房內(nèi)，化學(xué)品庫房VOCs裝或罐裝密閉保存于危廢庫中，危廢庫地面進(jìn)行防腐防滲處理。VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送無組織排放VOCs物料應(yīng)當(dāng)采用密閉管道輸送。采用非管道輸VOCs粒裝VOCs物料應(yīng)當(dāng)采用氣力輸送設(shè)備、管狀帶式輸送機、螺旋輸送機等密閉輸送方式，或者采用密閉的包裝袋、容器或罐車進(jìn)行物料轉(zhuǎn)移。VOCs輸送。相符VOCs產(chǎn)品的使用過程：VOCs10%VOCs產(chǎn)品，其使用過程應(yīng)采用密閉設(shè)備VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)；無法VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。本項目使用光刻膠、異丙醇等均在密閉設(shè)備或密閉空間中進(jìn)行，生產(chǎn)的過程均在密閉腔室中完成。生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的VOCs廢氣全部負(fù)壓收集，排至有機廢氣收集處理系統(tǒng)。相符廢氣收集系統(tǒng)排風(fēng)罩（集氣罩）GB/T16758的規(guī)定。采用外部排風(fēng)罩的，應(yīng)按GB/T16758WS/T757—2016規(guī)定選取在距排風(fēng)罩開口面最遠(yuǎn)處的VOCs無組織排放位置，控制風(fēng)速0.3m/s（行業(yè)相關(guān)規(guī)范。本項目所有設(shè)備均為密閉設(shè)進(jìn)行，無無組織排放。相符六、“十四五”規(guī)劃相符性分析1、與《廣東省生態(tài)環(huán)境保護(hù)“十四五”規(guī)劃》相符性分析表6 《廣東省環(huán)境保護(hù)“十四五”規(guī)劃》相符性分析序號環(huán)保要求本項目情況相符性1推動工業(yè)項目入園集聚發(fā)展，引導(dǎo)重大產(chǎn)業(yè)向沿海等環(huán)境容量充足地區(qū)布局。本項目位于廣東省珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，項目用地為工業(yè)用地，符合要求。符合2生皮制革以及國家規(guī)劃外的鋼鐵、原油加工等項目。、本項目符合PAGEPAGE213珠三角禁止新建、擴(kuò)建燃煤燃油火電機組和企業(yè)燃煤燃油自備電站。本項目屬于項目用電為市政電網(wǎng)供電。符合4VOCs排放企業(yè)分級管控，全面推進(jìn)涉VOCs開展中小型企業(yè)廢氣收集的評估，強化對企業(yè)涉VOCs生產(chǎn)車間/工序廢氣治理設(shè)施升級改造。本項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的本項目有機廢氣濃度低、風(fēng)量大，芯片生產(chǎn)廠房采用沸石轉(zhuǎn)輪+燃燒設(shè)施處VOCs排放，符合要求。符合2、與《珠海市生態(tài)環(huán)境保護(hù)暨生態(tài)文明建設(shè)“十四五”規(guī)劃》相符性分析表7 《珠海市生態(tài)環(huán)境保護(hù)暨生態(tài)文明建設(shè)“十四五”規(guī)劃》相符性分析序號環(huán)保要求本項目情況相符性1磨刀門水道兩岸及流域內(nèi)500m場；畜禽禁養(yǎng)區(qū)內(nèi)不得從事畜禽養(yǎng)殖業(yè)。本項目屬于，不屬于新建的重污染項目。本項目污水體為金星門水道，不屬于磨刀門水道及其周邊流域。本項目不屬于畜禽養(yǎng)殖符合2加強揮發(fā)性有機物綜合治理。實施低揮發(fā)性有機物（VOCs）含量產(chǎn)品原輔材VOCs含量限值和有害物建生產(chǎn)和使用高VOCs含量原輔材料項目。本項目不使用溶劑型涂料、固化劑、膠黏劑等原輔材料，本項目產(chǎn)生的VOCs主要來源于光刻工序中使用光刻膠等材料，由于集成電路對原輔材料純度要求極高，目前無法替代，且所使用的清洗劑GB38508-2020，轉(zhuǎn)輪燃燒/排放，符合要求。符合3嚴(yán)格實施VOCs排放企業(yè)分級管控，全面推進(jìn)涉VOCs排放企業(yè)深度治理。開展中小型企業(yè)廢氣收集和治理設(shè)施建設(shè)、運行情況VOCs來源于，項目新建有機廢氣的收集、廢氣處理設(shè)施，采用沸石符合的評估，強化對企業(yè)涉VOCs生產(chǎn)車間/工序廢氣轉(zhuǎn)輪燃燒，封裝廠房回流治理設(shè)施升級改造。有效降低污染物的排放量及濃度，廢氣可實現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。七、土地利用相關(guān)規(guī)劃符合性分析（道路建設(shè)中、龍圖科技旁珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)A305c編制單元控制性詳細(xì)規(guī)劃修改》（珠府批[2018]97號）和《珠海市高新區(qū)金鼎組團(tuán)A305c06高新[202]94號，（（地字第4404022023YG0003326號）（土地用途為一類工業(yè)用地）用途一致。PAGEPAGE26二、建設(shè)項目工程分析建設(shè)內(nèi)容建設(shè)內(nèi)容1 項目概況砷化鎵半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線項目（以下簡稱“本項目”），由珠海華芯微電子有限公司投資建20232(珠海)(珠海)半導(dǎo)體擁有豐富的化合物半導(dǎo)體產(chǎn)線建設(shè)運營的經(jīng)驗。。本項目租用珠海格創(chuàng)投資股份有限公司在建“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”的115000片的化合物半導(dǎo)體晶圓代工生產(chǎn)線，主要用于生產(chǎn)砷化鎵半導(dǎo)體晶圓。本項目建成后兼具高速發(fā)展的市場需求價值和國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈補短板的戰(zhàn)略需求價值。根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法（2018年修訂（2021年版682（2017年（2021年版3980397-集成電路制造”，需編制環(huán)境影響報告表。本項目租用珠海格創(chuàng)投資股份有限公司在建“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”的廠區(qū)，其主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)見下表。本項目地理位置圖見附圖1，周邊關(guān)系圖見附圖10。表8本項目基本情況表項目名稱砷化鎵半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線項目建設(shè)單位珠海華芯微電子有限公司建設(shè)地點珠海市高新區(qū)金瑞二路（道路建設(shè)中，龍圖科技旁）四至范圍總投資產(chǎn)品方案勞動定員工作制

總建筑面積72118m2新建東側(cè)臨近金鼎東路；南側(cè)臨近金瑞二路；西側(cè)臨近金鼎西路；北側(cè)臨近金環(huán)西路。.本項目勞動定員為950人，其中管理人員40人、技術(shù)人員215人、研發(fā)人員45人、普通工人600人、其他人員50人。生產(chǎn)線工作人員：四班兩運轉(zhuǎn)，每班工作12小時。生產(chǎn)線設(shè)備：年運行360天，每天工作24小時，設(shè)備年時基數(shù)為8400小時（考慮設(shè)備升級保養(yǎng)及維修）；研發(fā)及行政辦公人員：單班工作制，全年工作251天；輔助生產(chǎn)、動力和值班按生產(chǎn)車間工作制度配套。2024年10月建設(shè)規(guī)模本項目廠區(qū)主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)見下表。序號名稱單位指標(biāo)備注表9 本項目主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表序號名稱單位指標(biāo)備注.10本項目建筑物指標(biāo)一覽表.序 子項名稱 層數(shù) 建筑高（m）地上總建筑號 積（m2）

地下總建筑面積（m2）建設(shè)內(nèi)容本項目租用珠海格創(chuàng)投資股份有限公司在建“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”的廠區(qū)， 。建設(shè)1座生產(chǎn)廠房、1座動力站、化學(xué)品庫房等。動力站設(shè)置純水站、廢水站、冷凍站等動力設(shè)施供各生產(chǎn)廠房使用。表11項目組成一覽表序 工程項目 建設(shè)內(nèi)容 備號一、主體工程1 1二、輔助工程2純水制備系統(tǒng)

：4生產(chǎn)區(qū)為2層結(jié)構(gòu)：2F4支持區(qū)為3層結(jié)構(gòu)：1F:主要布置各類特氣間、有機氧化酸堿等供應(yīng)位于地塊內(nèi)西部，地上3層。1F：設(shè)置水池及泵房、純水站、廢水站等；2F：設(shè)置冷凍站、空壓站、啟動柜間、廢水站等；3F：設(shè)置變電所、柴發(fā)機房、空調(diào)機房等。1套，制備能力24m3/h。21號生產(chǎn)廠房的一層。

2號綜合動力站一層水冷卻塔系統(tǒng)冷凍水系統(tǒng)

工藝設(shè)備循環(huán)冷卻水循環(huán)量490m3/h。650m3/h，7臺。6/12℃和中13/19℃

支持區(qū)站屋面2號綜合動力站二層冷凍站部分熱回收機組，制取38/28℃低溫?zé)崴?，供純水制備及空調(diào)的使用。6壓縮空氣系統(tǒng)3570Nm3/h3+1臺，同時配置與供氣量相適應(yīng)的干燥機、過濾器等后處理設(shè)備。2號綜合動力站二層1號生產(chǎn)廠房7真空系統(tǒng)3臺（21備），抽氣速率：180Am3/h，真空壓力：-660mmHg的真空泵機組。1號生產(chǎn)廠房支持區(qū)清掃真空系統(tǒng)僅預(yù)留空間，不設(shè)計及施工。8柴油發(fā)電系統(tǒng)31200KW柴油發(fā)電機，用作應(yīng)急電源，2號綜合動力設(shè)室外柴油儲罐，容積20m3。站三、儲運工程位于1號生產(chǎn)廠房一層西側(cè)11號生產(chǎn)廠房中間倉庫1號生產(chǎn)廠房一層單層建筑，用于儲存硫酸、氫氟酸、磷酸等酸性23號甲類化學(xué)品庫物質(zhì)，氨水、雙氧水等堿性物質(zhì)，異丙醇、光刻膠等有機溶劑。34號大宗氣站區(qū)大宗氣體包括工藝高純氮氣和超純氮氣。這些大及大宗氣體供應(yīng)宗氣體均需由管道供氣至設(shè)備使用點。根據(jù)化學(xué)品特性在1號生產(chǎn)廠房一層設(shè)置有機1號生產(chǎn)廠房一層溶劑間、有機儲罐間、酸供應(yīng)間、堿供應(yīng)間等。1號生產(chǎn)廠房的一層（潔凈下夾層）配送柜，再供應(yīng)至二層工藝區(qū)工藝設(shè)備使用。1號生產(chǎn)廠房一層供應(yīng)罐設(shè)置情況：有機溶應(yīng)間：去膠液1：1200L×1。4液態(tài)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)有機儲罐間：丙酮（Acetone）：20m3×1；異丙醇（IPA）：30m3×1；管道輸送至生N-甲基吡咯烷酮（NMP）：10m3×1。產(chǎn)廠房各使用點堿供應(yīng)間：氫氧化鉀（KOH）：2000L×1；氫氧化四甲基銨（TMAH）：2000L×1。雙氧水供應(yīng)間：雙氧水（H2O2）：5000L×1。5特氣供應(yīng)系統(tǒng)11號生產(chǎn)廠房支持區(qū)四、公用工程擬從地塊南側(cè)接入兩路市政給水管，作為生產(chǎn)區(qū)1供水的生產(chǎn)、生活用水水源。接口管徑為DN200，供水壓力不小于0.20MPa。2排水本項目采用雨污分流制。在地塊南側(cè)設(shè)置一個DN400市政污水排放接口雨水排口：本項目地塊南側(cè)廠界設(shè)3個DN600雨水排放口全廠熱水供應(yīng)為低溫?zé)崴到y(tǒng)（38/28℃），采3供熱為補充和備用。4供電10kV電源。5供氣本項目所需天然氣來自市政管網(wǎng)供應(yīng)。五、環(huán)保工程1號生產(chǎn)廠房G1酸性廢氣處理系統(tǒng)：3（21備3（2用1備），排氣筒高度37m。G2堿性廢氣處理系統(tǒng)2（11備2（1用1備），排氣筒高度36m。G3有機廢氣處理系統(tǒng)設(shè)置1套沸石轉(zhuǎn)輪+焚燒塔處理系統(tǒng)，備用1套活性炭處理系統(tǒng)，單臺設(shè)計處理能力為61000m3/h2（11備38m。排氣筒均設(shè)置于1號生產(chǎn)廠1廢氣處理設(shè)施G4含砷廢氣處理系統(tǒng)2（11備房屋面2（1用1備），排氣筒高度31m。G5供應(yīng)間廢氣處理系統(tǒng)設(shè)置有機供液間、有機廢液廢氣（G5-1）處理系2（11備理能力為2200mh21用1備，排氣筒高度28m。設(shè)置有機儲罐間、有機供液間廢氣（G5-2）處理1（11備1200m3/h2根排氣筒（11備），排氣筒高度26.3m。2號綜合動力站G6廢水站廢氣：廢水站廢氣納入1號生產(chǎn)廠房酸性廢氣處理系統(tǒng)排氣筒均設(shè)置1房屋面2生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)82號綜合動力于2號綜合動力站一層。1區(qū)內(nèi)環(huán)保處理設(shè)施處理達(dá)標(biāo)后排至市政污水管網(wǎng)。站W(wǎng)1含氟廢水處理系統(tǒng)采用化學(xué)沉淀法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為75m3/d。W2有機廢水處理系統(tǒng)采用AO法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為100m3/d。W3含砷廢水處理系統(tǒng)采用化學(xué)沉淀+AO+過濾+離子交換法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為470m3/d。W4含銅廢水處理系統(tǒng)采用化學(xué)沉淀+過濾法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為1m3/d。W5含鎳廢水處理系統(tǒng)采用化學(xué)沉淀+過濾+pH1m3/d。W6含銀廢水處理系統(tǒng)采用過濾+離子交換法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為1m3/d。W7含金廢水處理系統(tǒng)采用過濾+離子交換法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為25m3/d。W8含鈀廢水處理系統(tǒng)采用過濾+離子交換法處理工藝后，進(jìn)入最終中和池調(diào)節(jié)pH。設(shè)計處理規(guī)模為10m3/d。生活污水處理系統(tǒng)項目生活污水來源于食堂、沖廁、盥洗等。3噪聲防治措施大降低。4固廢間暫存面積約30m2，暫存一般固體廢物，包括包裝材料、辦公垃圾、廢靶材、廢耗材等。3號甲類化學(xué)品庫暫存面積約170m2，暫存一般固體廢物，包括包裝材料、辦公垃圾、廢靶材、廢耗材等1號生產(chǎn)廠房一層危廢間暫存面積約20m2，暫存固態(tài)危險廢物，包括廢溶劑空桶、沾染固廢等。3號甲類化學(xué)品庫廢水廢液收集區(qū)面積約180m2根據(jù)廢液的特性設(shè)置各類廢液收集間，用于收集酸、堿、有機、含砷廢液等。有機廢液間：異丙醇廢液（IPA廢液）：12m3+6m3；丙醇廢液（Acetone廢液）：8m3×1；N-甲基吡咯烷酮（NMP）：5m3×1；1號生產(chǎn)廠房一層含砷廢酸液間：含砷廢酸液：10m3×1；不含砷廢硫酸液：2m3×1；含砷廢堿液間：含砷廢堿液：2m3×1；污泥脫水機房位于站內(nèi)，廢水處理的污泥暫存于泥斗間。2號綜合動力站廢水站二層5環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急排風(fēng)：3號甲類化學(xué)品庫應(yīng)急排放系統(tǒng)：氯氣儲存間設(shè)1套洗滌塔，單套處理能力1200m3/h125m。1號生產(chǎn)廠房化學(xué)品間應(yīng)急排風(fēng)系統(tǒng)：1128m啟動，處理后的廢氣經(jīng)排風(fēng)系統(tǒng)排放排氣筒位于建筑屋面間除設(shè)計普通換氣外還設(shè)計事故排風(fēng)，事故照PN2CDA排風(fēng)接口等室外事故水池：700m3。室內(nèi)事故水池：2號綜合動力站內(nèi)設(shè)置1個室內(nèi)事故水池，有效容積為700m3，主要收集生產(chǎn)事故廢水。本項目事故水池總?cè)莘e為1400m3，滿足事故下≥983.03m3的應(yīng)急需求。室外事故水池位于廠區(qū)西北學(xué)品庫東側(cè)2動力站一層雨水：廠區(qū)道路及其他地方的雨水經(jīng)雨水口收集后排入廠區(qū)雨水管網(wǎng)，雨水管道最終接至市政雨水管網(wǎng)。雨水接口布置在南側(cè)廠界，擬規(guī)劃3個DN600的雨水接口。雨水排放口末端設(shè)置緊急切斷閘門，一旦廠區(qū)發(fā)生火災(zāi)、水體污染事故，可切斷雨水總排口的閥門，將事故控制在廠界內(nèi)，防止對下游造成污染。六、生活輔助設(shè)施15號綜合樓十二層建筑，一層功能主要為門廳、餐廳、廚房等，二至六層功能主要為停車庫，七層功能主要為員工活動中心，八至十二層主要為員工宿舍。26號門衛(wèi)1單層民用建筑，值班室37號門衛(wèi)2單層民用建筑，值班室平面布置珠海華芯微電子有限公司半導(dǎo)體科技有限公司擬租用珠海格創(chuàng)投資股份有限公司在建的位于珠海市高新區(qū)金鼎片區(qū)內(nèi)的“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”廠區(qū)，，本項目地塊東西布局，全廠按功能分為核心生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)輔助區(qū)、生活配套區(qū)。11號生產(chǎn)廠房建筑內(nèi)部功能分為生產(chǎn)區(qū)和研發(fā)調(diào)度區(qū)兩部分。其中：研發(fā)調(diào)度區(qū)位于建筑南側(cè)，靠近南側(cè)城市道路，以便更好展示企業(yè)形象；生產(chǎn)區(qū)位于建筑北側(cè)，合理組織建筑內(nèi)部工藝流線，保障生產(chǎn)高效性。2號綜合動力站含廢水處理系統(tǒng)、3號甲類化學(xué)品倉4號大宗氣站區(qū)等建（構(gòu)筑物。其中：21號生產(chǎn)廠房西南側(cè)，3號化41號生產(chǎn)廠房西北側(cè)。各種動力及氣體用房緊鄰主要用戶，使生產(chǎn)用房與輔助用房之間聯(lián)系方便，物流及工程線路短捷順暢，節(jié)約運輸成本，也便于統(tǒng)一協(xié)調(diào)、管理。生活配套區(qū)：位于地塊內(nèi)東部且位于城市常年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)口，避免生產(chǎn)區(qū)對生活區(qū)的56號門衛(wèi)組成。其中：5號綜合樓包含食堂、停車場、員工活動中心、員工宿舍等功能，6號門衛(wèi)則結(jié)合南側(cè)入口廣場進(jìn)行景觀設(shè)計，提升園區(qū)品質(zhì)和對外形象展示效果。113，生15。主要設(shè)備、原輔材料及燃料12主要生產(chǎn)設(shè)備表序號工序設(shè)備名稱數(shù)量（片/年P(guān)AGEPAGE30本項目輔助動力設(shè)備見下表表13輔助動力設(shè)備一覽表序號 名

單 數(shù) 備位 量

安裝位置備注動力用量備注動力用量單位動力種類序號本項目主要能源動力消耗見下表。表14主要能源消耗量PAGEPAGE3715主要原輔材料使用情況一覽表序號 名稱 主要成分 包裝規(guī)格 儲存數(shù)量 物態(tài) 壓力 用途 單位 年使用量 最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）.~序號 名稱

主要成分

包裝規(guī)格

儲存數(shù)量 物態(tài) 壓力

用途 單位

年使用量

最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）-- 、 .序號名稱主要成分包裝規(guī)格儲存數(shù)量物態(tài)壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）序號名稱主要成分包裝規(guī)格儲存數(shù)量物態(tài)壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）序號 名稱

主要成分

包裝規(guī)格

儲存數(shù)量 物態(tài) 壓力

用途 單位

年使用量

最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）PAGEPAGE40序號名稱主要成分包裝規(guī)格儲存數(shù)量物態(tài)壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設(shè)計火災(zāi)危險類別）PAGEPAGE41建設(shè)內(nèi)容6水平衡分析表16本項目用排水量一覽表單位：m3/d類別新鮮水用量純水用量重復(fù)利用水量工業(yè)廢水排放量類別新鮮水用量純水用量重復(fù)利用水量工業(yè)廢水排放量表17濕法刻蝕清洗工序用排水量一覽表序號設(shè)備臺數(shù)單次溶液體積(L)工藝步驟晶圓數(shù)量片/次月片數(shù)平均快排次數(shù)(次/day)設(shè)備定期排水(L/day)排水量（m3/d）廢水種類： ，43圖1 本項目水量平衡圖44PAGEPAGE45工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié) PAGEPAGE50PAGEPAGE60PAGEPAGE70PAGEPAGE73類別 主要生產(chǎn)

29廢氣主要污染物產(chǎn)排情況表單元 主要工

廢氣種類

處理設(shè)施

排氣筒

主要污染物，主要污染物主要污染物排氣筒處理設(shè)施廢氣種類收集措施主要工序主要生產(chǎn)單元類別30廢水主要污染物產(chǎn)排情況表主要污染物主要污染物排水去向處理設(shè)施廢水種類主要工序主要生產(chǎn)單元類別類別主要生產(chǎn)單元主要工序廢水種類處理設(shè)施排水去向主要污染物、、、主要污染物排水去向處理設(shè)施廢水種類主要工序主要生產(chǎn)單元類別類別 主要生產(chǎn)元

31主要危險廢物產(chǎn)排情況表主要工序 危險廢物 廢物類別 廢物代碼、 - -PAGEPAGE763 平衡分析工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)79工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)8081PAGEPAGE86工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)，工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)88PAGEPAGE89PAGEPAGE96工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)與項目有關(guān)的原有環(huán)境污染問題本項目為新建項目，用地現(xiàn)狀為在建“珠海格創(chuàng)智能元件廠房及配套建設(shè)項目”的廠房，不涉及原有環(huán)境污染問題。污染物年平均質(zhì)量濃度污染物年平均質(zhì)量濃度現(xiàn)狀濃度μg/m3標(biāo)準(zhǔn)值μg/m3占標(biāo)率%超標(biāo)率%達(dá)標(biāo)情況SO2年平均質(zhì)量濃度860130達(dá)標(biāo)NO2年平均質(zhì)量濃度1940480達(dá)標(biāo)PM10年平均質(zhì)量濃度3070430達(dá)標(biāo)PM2.5年平均質(zhì)量濃度1735490達(dá)標(biāo)CO年平均質(zhì)量濃度8004000200達(dá)標(biāo)O3年平均質(zhì)量濃度1601601000達(dá)標(biāo)區(qū)域一、大氣環(huán)境（1）基本污染物環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀本項目在廣東省珠海市香洲區(qū)，本項目地塊位于珠海市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園金瑞二<珠海市聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)適用區(qū)劃分>和<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分>(357號)以及珠海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)<珠海市環(huán)境空氣質(zhì)（2022年修訂（2022197號（GB3095-2012）及其修改單中的二級標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)珠海市生態(tài)環(huán)境局《2022年珠海市環(huán)境質(zhì)量狀況》，珠海市環(huán)境空氣質(zhì)量主要指SO2NO2PM10PM2.5COO3表48 2022年珠海市環(huán)境空氣主要污染物濃度本項目大氣環(huán)境評價范圍內(nèi)涉及中山市大氣環(huán)境功能一類區(qū)。根據(jù)中山市生態(tài)環(huán)境局2022年大氣環(huán)境質(zhì)量狀況公報》，中山市環(huán)境空氣質(zhì)量主要指標(biāo)見下表。其中，SO2、NO2、PM10、PM2.5CO2495百分位數(shù)質(zhì)量濃度達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及其修改單的二級標(biāo)準(zhǔn)限值要求，O3日最890百分位數(shù)質(zhì)量濃度不滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及其修改單的二級標(biāo)準(zhǔn)限值要求，具體見下表。表492022環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀污染物評價指標(biāo)現(xiàn)狀濃度標(biāo)準(zhǔn)值占標(biāo)率超標(biāo)率達(dá)標(biāo)情況μg/m3μg/m3%%SO2年平均質(zhì)量濃度5608.3%0達(dá)標(biāo)NO2年平均質(zhì)量濃度224055.0%0.3%達(dá)標(biāo)PM10年平均質(zhì)量濃度347048.6%0達(dá)標(biāo)PM2.5年平均質(zhì)量濃度193554.3%0達(dá)標(biāo)CO2495百分位數(shù)質(zhì)量800400020.0%0達(dá)標(biāo)濃度O3890百分位數(shù)質(zhì)量濃度184160115.0%16.2%未達(dá)標(biāo)本項目大氣環(huán)境評價范圍內(nèi)涉及中山市大氣環(huán)境功能一類區(qū)，其環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)《2022年中山市空氣質(zhì)量監(jiān)測點均值數(shù)據(jù)》中長江旅游區(qū)站的監(jiān)測數(shù)據(jù)進(jìn)行評價，具體結(jié)果見下表。表502022SO2COPM10PM2.5NO2（GB3095-2012）及修改單一級標(biāo)準(zhǔn)，O3不滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及修改單一級標(biāo)準(zhǔn)。綜上所述，因此本項目所在評價區(qū)域判定為非達(dá)標(biāo)區(qū)。（2）特征污染物環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀評價本項目排放國家、地方環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)中有標(biāo)準(zhǔn)限值要求的特征污染物為氨、氟化物、氮氧化物、氯化氫、氯氣、硫酸、TVOC、砷。此外，項目還涉及排放污染物硫化氫、錫及其化合物、非甲烷總烴、臭氣濃度。為了了解項目周邊環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀，建設(shè)單位20231016日~1022日在五桂山自然風(fēng)景區(qū)東南側(cè)布點，進(jìn)行了特征污染物砷的環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測，其它特種污染物20221213日~12192023410日4月17HXJ222070HXJC2300070，點位名稱點位名稱監(jiān)測點坐標(biāo)/m污染物評價指標(biāo)評價標(biāo)準(zhǔn)μg/m3現(xiàn)狀濃度μg/m3最大濃度占標(biāo)率%超標(biāo)率%達(dá)標(biāo)情況XY長江旅游區(qū)站長江旅游區(qū)站SO224小時平均質(zhì)量濃度505.35240達(dá)標(biāo)NO224小時平均質(zhì)量濃度8017.5893.750達(dá)標(biāo)PM1024小時平均質(zhì)量濃度5027.581788.49達(dá)標(biāo)PM2.524小時平均質(zhì)量濃度3517.91228.576.85達(dá)標(biāo)O3890質(zhì)量濃度10017829835.89超標(biāo)CO24小時平均第95百分位數(shù)質(zhì)量濃度4000800300達(dá)標(biāo)Q2（現(xiàn)狀香洲區(qū)西部沿海高速錦石豬場距本1200m。監(jiān)測結(jié)果匯總?cè)缦卤硭尽狱c布設(shè)見下表，具體布設(shè)點位見附圖14。51大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測點布設(shè)一覽表編 測點 相對號 位置 方位 距離 監(jiān)測因子 備注表52 空氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價結(jié)果統(tǒng)計表監(jiān)測點位污染物平均時間評價標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測濃度范圍（μg/m3）占標(biāo)率（%）超標(biāo)率（%）達(dá)標(biāo)情況124（GB3095-2012）A1小時平均濃度、24小時平均濃度滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）21小時平均濃度241小時平均濃度滿足《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2–2018)DTVOC8D的要求。二、地表水環(huán)境本項目位于珠海市高新區(qū)金鼎片區(qū)金瑞二路北側(cè)，項目地塊東側(cè)臨近金鼎東路；南側(cè)臨近金瑞二路；西側(cè)臨近金鼎西路；北側(cè)臨近金環(huán)西路。本項目廢水經(jīng)廠內(nèi)自建污水站處理后排入市政污水處理廠。本項目廢水經(jīng)市政管網(wǎng)排PAGEPAGE100入珠海海源再生水有限公司（北區(qū)污水處理廠），經(jīng)處理后的尾水進(jìn)入金星門水道，最終匯入金星門海域。根據(jù)《廣東省近海域環(huán)境功能區(qū)劃》，唐家灣附近海域執(zhí)行《海水水質(zhì)（GB3097-1997）（污染影響類型試行20235222022年全市水環(huán)境質(zhì)量穩(wěn)中向好，地表水考核斷面水質(zhì)優(yōu)良比例100%，9100%。為了了解金星門海域水質(zhì)現(xiàn)狀，本項目引用同創(chuàng)偉業(yè)（廣東）檢測技術(shù)股份有限公司20229282022929報告編號：TCWY檢字（2022）0928116號）O1500m、O2500m、O3120m。監(jiān)測結(jié)果匯總?cè)缦卤硭尽AGEPAGE101表53 金星門海域海水環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測結(jié)果表PAGEPAGE109由上表可知，金星門海域各監(jiān)測項目指標(biāo)均符合《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》（GB3097-1997）第三類標(biāo)準(zhǔn)，本項目區(qū)域水質(zhì)環(huán)境質(zhì)量良好。三、聲環(huán)境根據(jù)珠海市生態(tài)環(huán)境局印發(fā)的《珠海市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)珠海市聲環(huán)境功能區(qū)區(qū)劃的通知》(珠環(huán)[2020]177號)，本項目所在地聲環(huán)境功能區(qū)劃屬于3類區(qū)，執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）3類標(biāo)準(zhǔn)。20231024日對本項目環(huán)境噪聲進(jìn)行現(xiàn)狀監(jiān)測，晝夜間現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果見下表。表54 項目區(qū)廠界聲環(huán)境監(jiān)測結(jié)果區(qū)域 根據(jù)噪聲監(jiān)測結(jié)果可知，廠界晝間、夜間噪聲監(jiān)測結(jié)果滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》環(huán)境 （GB3096-2008）中3類標(biāo)準(zhǔn)。質(zhì) 四、生態(tài)環(huán)量現(xiàn) 本項目所在地為工業(yè)用地?zé)o其他用地類型植被類型主要為人工植被無大型野生動物。狀 五、電磁輻射不屬于電磁輻射類項目，無需開展電磁輻射現(xiàn)狀監(jiān)測與評價。六、地下水、土壤環(huán)境（GB18597-2023）、《石油化工防滲工程技術(shù)規(guī)范》（GB/T50934-2013）等規(guī)范設(shè)計地下水污染防滲措施。不存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑。根據(jù)《珠海市人民政府關(guān)于調(diào)整珠海市飲用水水源保護(hù)區(qū)的請示》（珠府〔2018〕51號）（2018314號）中的規(guī)定，本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護(hù)區(qū)范圍。（GB18597-2023）、《石油化工防滲工程技術(shù)規(guī)范》（GB/T50934-2013）等規(guī)范設(shè)計地下水污染防滲措施。不存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑。根據(jù)《珠海市人民政府關(guān)于調(diào)整珠海市飲用水水源保護(hù)區(qū)的請示》（珠府〔2018〕51號）（2018314號）中的規(guī)定，本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護(hù)區(qū)范圍。綜上所述，根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南（污染影響類）（試行）》開展現(xiàn)狀調(diào)查以留作背景值。地下水環(huán)境為了了解項目周邊環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀，建設(shè)單位委托廣東智環(huán)創(chuàng)新環(huán)境科技有限公司有限2023102420231026日~20231030日在本項目廠址所在地及項目地的上游及下游布點，開展地下水環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測。地下水環(huán)境監(jiān)測共設(shè)置3個監(jiān)測點位，監(jiān)測點信息見表53，監(jiān)測結(jié)果見表54。表55 地下水監(jiān)測點信息表編號位置水位標(biāo)高（m）井深（m）采樣深度（m）地下水位埋深（m）地表高程（m）備注.. . . . 檢測項目

表56 地下水檢出物質(zhì)一覽表最檢出限 限值 含量范圍 檢出率 超標(biāo)率 大超標(biāo)/ mg/L mg/L （％） （％） 倍數(shù)q根據(jù)評價結(jié)果，地下水現(xiàn)狀環(huán)境的濁度、總大腸菌群、細(xì)菌總數(shù)超出《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017）中Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，其余各項監(jiān)測因子的監(jiān)測結(jié)果均滿足《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017）中Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。2.土壤環(huán)境為了解項目所在地土壤質(zhì)量現(xiàn)狀，本次評價共設(shè)置7個土壤環(huán)境監(jiān)測點位，其中廠界內(nèi)的4個監(jiān)測點分別位于廠區(qū)內(nèi)西、北、東、南側(cè)，廠區(qū)外的3個監(jiān)測點分別位于廠界外東側(cè)、西北側(cè)和西南側(cè)，為建設(shè)單位委托廣東智環(huán)創(chuàng)新環(huán)境科技有限公司有限公司于20231018日~2023102356監(jiān)測結(jié)果見表57和表58。編號采樣位置布點類型監(jiān)測時間及頻次監(jiān)測項目57土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測點布設(shè)情況編號采樣位置布點類型監(jiān)測時間及頻次監(jiān)測項目.表58監(jiān)測土壤環(huán)境參數(shù)信息.編號 檢測點位 顏色 質(zhì)地 砂礫含量（%）

土層結(jié)構(gòu) 其他異物序號 監(jiān)測項

表59 土壤檢出物質(zhì)一覽表1監(jiān)測結(jié)果（mg/kg） 第二類用地風(fēng)險篩

達(dá)標(biāo)情況表層樣0-0.2m

選值標(biāo)準(zhǔn)（mg/kg）表60 土壤檢出物質(zhì)一覽表2監(jiān)測結(jié)果（mg/kg） （GB36600-2018）序號 監(jiān)測項目 第二類用地風(fēng)險 達(dá)標(biāo)情柱狀樣 柱狀樣 柱狀樣 篩選值標(biāo)準(zhǔn)0-0.5m 0.5-1.5m 1.5-3m由監(jiān)測結(jié)果可知，項目所在地各建設(shè)用地土壤污染基本項目均符合《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險管控標(biāo)準(zhǔn)》（試行）（GB36600-2018）中的二類用地土壤污染風(fēng)險篩選值限值要求，區(qū)域土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀良好。PAGEPAGE110環(huán)境保護(hù)目標(biāo)本項目位于珠海市高新區(qū)金鼎片區(qū)內(nèi)，通過現(xiàn)場調(diào)查，本項目環(huán)境保護(hù)目標(biāo)情況如下：1、大氣環(huán)境：項目邊界外邊長5km范圍內(nèi)，大氣環(huán)境保護(hù)目標(biāo)見下表及附圖。表61 環(huán)境保護(hù)目標(biāo)一覽表序號名稱經(jīng)緯度保護(hù)對象保護(hù)內(nèi)容環(huán)境功能區(qū)相對廠址方位相對廠界距離/m經(jīng)度緯度1外沙村E113.530783N22.398094環(huán)境空氣居住二類東側(cè)2002雅居樂國際花園E113.538916N22.400812環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)11203會桐別苑E113.541083N22.396864環(huán)境空氣居住二類東側(cè)12704禮和中學(xué)E113.541083N22.396864環(huán)境空氣學(xué)校二類東北側(cè)12705招商雍華府花園E113.542156N22.400078環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)14606萬科翠瓏苑E113.542000N22.401109環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)14807萬科翡玲苑E113.541619N22.402379環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)15008首開龍湖天璽院E113.541641N22.403807環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)15809E113.541233N22.405454環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)165010華庭云谷E113.541233N22.406227環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)172011星灣幼兒園E113.543250N22.399800環(huán)境空氣學(xué)校二類東北側(cè)160012唐家公館E113.543701N22.400276環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)160013唐嘉名苑E113.543207N22.401010環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)161014禮和小學(xué)E113.543186N22.402359環(huán)境空氣學(xué)校二類東北側(cè)164015美的寶龍城E113.543336N22.405235環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)177016頤璟名庭E113.542606N22.406406環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)183017華庭云谷二期E113.543572N22.406723環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)195018惠景慧園E113.545889N22.396983環(huán)境空氣居住二類東側(cè)171019仁恒河濱花園E113.544902N22.400355環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)173020創(chuàng)雅苑E113.549880N22.397538環(huán)境空氣居住二類東側(cè)213021天地源E113.549280N22.406267環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)2380上唐府22珠海公園九里E113.549237N22.407219環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)239023海岸家園E113.553528N22.398213環(huán)境空氣居住二類東側(cè)242024萬科第五園E113.552498N22.401149環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)249025華潤置地廣場E113.553657N22.404363環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)270026E113.553271N22.407021環(huán)境空氣居住二類東北側(cè)279027上柵村E113.529624N22.390436環(huán)境空氣居住二類南側(cè)50028金峰學(xué)校E113.534817N22.387777環(huán)境空氣學(xué)校二類南側(cè)111029幼兒園E113.525762N22.383253環(huán)境空氣居住二類南側(cè)117030金景豪園E113.538722N22.384484環(huán)境空氣居住二類南側(cè)158031惠景嘉園E113.535032N22.382499環(huán)境空氣居住二類南側(cè)159032金暉苑E113.537006N22.382103環(huán)境空氣居住二類南側(cè)175033惠景暢園E113.542413N22.384364環(huán)境空氣居住二類南側(cè)190034下柵圩村E113.541812N22.383015環(huán)境空氣居住二類南側(cè)149035惠景和園E113.539924N22.379126環(huán)境空氣居住二類南側(cè)207036金鼎第一小學(xué)及幼兒園E113.544250N22.378214環(huán)境空氣學(xué)校二類南側(cè)240037官塘村E113.539452N22.376230環(huán)境空氣居住二類南側(cè)209038恒隆華萃園E113.541941N22.372420環(huán)境空氣居住二類南側(cè)288039金鼎中學(xué)E113.524818N22.372975環(huán)境空氣學(xué)校二類南側(cè)223040恒大云錦E113.552112N22.373848環(huán)境空氣居住二類東南側(cè)332041北京理工大學(xué)珠海學(xué)院E113.538122N22.367181環(huán)境空氣學(xué)校二類南側(cè)265042寶龍世家E113.552348N22.381061環(huán)境空氣居住二類東