單晶硅生產(chǎn)廢水處理

單晶硅生產(chǎn)廢水處理1、 什么是單晶硅？單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造，其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。2、 單晶硅生產(chǎn)廢水如何產(chǎn)生？單晶硅在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢水。該廢水主要含有硅粉、碳化硅、聚乙二醇、氫氟酸、檸檬酸、洗滌劑及少量的表面活性劑，綜合廢水COD及SS含量較高、可生化性效果差等特點(diǎn)。3、 單晶硅生產(chǎn)廢水處理方法簡介某單晶硅廠由于引進(jìn)6英寸單晶硅拋光生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線投產(chǎn)后，廢水排放量將大大的增加.現(xiàn)有的廢水處理站的處理能力已不能滿中要求,加之原處理站的處理較果不穩(wěn)定,因此必須進(jìn)行治理,因此在原有設(shè)施的基礎(chǔ)上對廢水處理站進(jìn)行改造。3.1現(xiàn)廢水處理站接納廢水的水質(zhì)及水量現(xiàn)廢水處理站接納三個(gè)部位的廢水，經(jīng)均化調(diào)節(jié)后進(jìn)行處理.廢水的來源水質(zhì).水量見表3.2：廢水來源及水質(zhì)水量廢水來源水量(m3/d)水質(zhì)PHCOD(mg/l)SS(mg/l)多晶硅600V2300100--150切.磨600--86100--150200.拋00有機(jī)硅200V3200--300100--150混合后1400-1600V3200--250150--2003.3廢水的特點(diǎn)廢水產(chǎn)生的部門不同，其特點(diǎn)各異3.3.1：多晶硅廢水：是二氯硅烷還原生成多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)水淋洗產(chǎn)生的.主要反應(yīng)為：SiHCl3+H2---Si+HCl（產(chǎn)品反應(yīng)）SiHCl3+H2O---SiO2+HCl（尾氣淋洗）廢水中主要物質(zhì)為：SiO2.HCl硅醇及脫水成聚硅氧烷和硅酸，偏硅酸等.廢呈強(qiáng)酸性，SiO2的粒徑極小,大部分聚成團(tuán)漂浮的水面.3.3.2：切.磨.拋廢水來自三個(gè)工序：（1）切片工序主要為:粘石臘，冷卻水等，廢水中主要物質(zhì)為：石臘，硅粉.（2）磨片工序的磨液成分為:洗液和肥皂制成浮液.廢水中主要物質(zhì)為:表面活性劑.硅粉.（3）拋光工序的拋光液的成分:環(huán)烷烴，廢水中主要物質(zhì)為:硅粉和烴類有機(jī)物.三種廢水混合中灰色有乳狀體。3.3.3:有機(jī)硅廢水是:由氯丙烷在鉑酸作催化劑的條件下,與二氯硅烷加成反應(yīng)生成氯丙基二氯硅烷然后經(jīng)粗精餾后產(chǎn)生的殘液和氯丙烯瓶中的殘液，用水沖洗產(chǎn)生的，廢水中主要物質(zhì)為：二氯硅烷，氯丙烷和HCl.氯丙烷和HCl的來源是氯丙烯水解產(chǎn)生的，故廢水呈酸性,反應(yīng)式為：CH2=CH-CH-CH2Cl+H2O----CH2=CH-CH2-OH=H2O三部分廢水混合后，廢水呈酸性，灰的色乳狀有降低（強(qiáng)酸有一定的破乳性）,但有膠體存在，主要是硅酸，偏硅酸和硅醇分子間脫水聚縮而成聚硅氧烷引起的。3.4處理工藝流程及出水水質(zhì)3,4.1：處理工藝流程I康均化調(diào)節(jié)艷—中和塔一＞混合治?加速澄清池一》詠腐穩(wěn)定袍一污泥干化?泥運(yùn)走3,4.2：出水水質(zhì)廢水經(jīng)過上述工藝流程處理的出水水質(zhì)為：PH=6-9COD=100—160mg/lSS=40—60mg/lBOD值在5--10mg/l之間，有時(shí)為零，COD時(shí)常超標(biāo)。3.5存在問題及分析3.5.1：根據(jù)現(xiàn)廢水處理站運(yùn)行情況，存在問題1：石灰乳配制及投加不定，混合池混合不充分，混合效果差。2：藥劑投加設(shè)施定量尾差，藥劑消耗量大。3：COD出水超標(biāo)，污泥量大。4：處理成本高，處理噸水僅藥劑費(fèi)用平均1元。3.5.2：COD超標(biāo)分析根據(jù)出水水質(zhì)分析，COD超標(biāo).而BOD值很低說明該廢水的可生化性差，造成出水COD超標(biāo)的原因是廢水中存在多價(jià)態(tài)的無機(jī)物處在低價(jià)態(tài)和少量有機(jī)物所致，分析化驗(yàn)COD時(shí)加入氧化劑氧化有機(jī)物同時(shí)也氧化低態(tài)的無機(jī)物，故引起起廢水中COD超標(biāo)。4、 改擴(kuò)建后廢水方案4.1:改擴(kuò)建后廢水水質(zhì)，水量及處理規(guī)模4.1.1新增廢水的水量，水質(zhì)新增廢水來源為切,磨,拋，清洗工序,其廢水水量為1000m3/d,水質(zhì)為：PH=6.COD=100--150mg/lSS=200mg/l4.1.2:改擴(kuò)建后廢水水質(zhì)水量廢水總水量為：2000----2600m3/d,水質(zhì)為：PHV4.COD=200--250mg/lSS=200mg/l5、 廢水處理工藝的選擇根據(jù)廢水呈酸性，并存在有多價(jià)態(tài)的無機(jī)物，用生鐵屑和焦炭組成微電解工藝作為混凝沉淀處理的預(yù)處理，微電解是由原電池反應(yīng)原理，電極反應(yīng)為氧化還原反應(yīng).能將廢水中有機(jī)物分解和能使多價(jià)態(tài)的無機(jī)物氧化成