GBT 25915.3-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測方法

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布GB/T25915.3—2010/ISO14644-3:2005前言 I Ⅱ 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 3.1一般術(shù)語 3.2空氣懸浮粒子測量 23.3空氣過濾器和過濾系統(tǒng) 33.4氣流 3.5靜電測量 3.6測量器具和測量條件 53.7占用狀態(tài) 64檢測規(guī)程 74.1潔凈室檢測 74.2原理 85檢測報告 9附錄A(資料性附錄)檢測項目的選擇和實施順序 附錄B(資料性附錄)檢測方法 附錄C(資料性附錄)檢測儀器 參考文獻 53I——第2部分：證實持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測與監(jiān)測技術(shù)要求；本部分是GB/T25915的第3部分。Ⅱ潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將空氣污染物控制在合適的水平，以便完成對污染敏感的工作。航天、微電GB/T25915的本部分給出了對GB/T25915其他各部分所介紹并規(guī)定的潔凈室特征進行檢測的GB/T25915的本部分的陳述中參照了美國材料與試驗協(xié)會(ASTM),歐洲標(biāo)準(zhǔn)化委員會(CEN),德國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(DIN),美國環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會(IEST),日本空氣潔凈協(xié)會(JACA),日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(JIS)和國際半導(dǎo)體制造協(xié)會(SEMI)等團體編制的標(biāo)準(zhǔn)。1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法GB/T25915的本部分規(guī)定了潔凈室和潔凈區(qū)空氣懸浮粒子潔凈度等級的檢測方法，以及潔凈室和潔凈區(qū)性能的檢測方法。性能檢測針對是空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)3種可能的占用狀態(tài)下的單向流和非單向流型式潔凈室和潔凈區(qū)。本文件推薦了測定性能參數(shù)用檢測儀器和檢測規(guī)程。某些檢測方法受限于GB/T25915.2—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測ISO7726:1998熱環(huán)境人體功效學(xué)物理量2空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間，其建造和使用方式使區(qū)內(nèi)進入連同所有建筑結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)以及服務(wù)、公用系統(tǒng)的潔凈室，或一個或數(shù)個這樣的潔凈區(qū)。采用構(gòu)造和動力學(xué)方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。3.2空氣懸浮粒子測量氣溶膠發(fā)生器aerosolgenerator微粒物質(zhì)的器具?？諝鈶腋×Ｗ觓irborneparticle懸浮在空氣中、活或非活、固體或液體、粒徑(對GB/T25915的本部分而言)1nm～100μm的數(shù)量中值粒徑countmedianparticlediameter按粒徑排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。M描述符Mdescriptor每立方米空氣中大粒子的實測或規(guī)定濃度。M描述符中的當(dāng)量粒徑與測量方法有關(guān)。質(zhì)量中值粒徑massmedianparticlediameter按質(zhì)量排列粒子時，處于中位數(shù)的粒子的粒徑值。3U描述符Udescriptor當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。4已裝過濾系統(tǒng)installedfiltersystem已裝過濾系統(tǒng)檢漏installedfiltersystemleakagetest(過濾系統(tǒng))因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風(fēng)向濃度超過預(yù)期值。讓氣溶膠光度計或離散粒子計數(shù)器的采樣口覆蓋面，以略有重疊的往復(fù)行程移過規(guī)定的檢測區(qū)來查找過濾器及其他部件滲漏的方法。標(biāo)準(zhǔn)滲漏透過率standardleakpenetration離散粒子計數(shù)器或氣溶膠光度計的采樣頭停頓在滲漏處，以標(biāo)準(zhǔn)采樣流量測得的滲漏透過率。換氣次數(shù)airexchangerate單位時間的換氣值，以單位時間送入的空氣體積除以該空間的體積計算。單位時間內(nèi)通過的平均空氣容積，可據(jù)此確定潔凈室或潔凈區(qū)的換氣次數(shù)。用來檢測或測量風(fēng)速等性能參數(shù)的橫斷面。送入潔凈區(qū)的空氣以誘導(dǎo)方式與區(qū)內(nèi)空氣混合的一種氣流分布。單位時間內(nèi)從末端過濾器或風(fēng)管送人設(shè)施的體積空氣量。單位時間內(nèi)通過設(shè)施某斷面的體積空氣量。5氣流均勻度uniformityofair靜電耗散特性static-dissipativeproperty以傳導(dǎo)等機理將工作表面或產(chǎn)品表面的靜電荷6離散粒子計數(shù)器discrete-particlecounter粒子計數(shù)器可顯示并記錄確定體積空氣中離散粒子數(shù)量和直徑(可辨別粒徑)的儀器。不存在粒子時，因儀器內(nèi)外多余電信號造成的離散粒子計數(shù)器的誤計?？煞謩e將設(shè)施的各個末端過濾器或散流器完全罩住并直接測量其風(fēng)量的裝置。采樣口進氣氣流方向與被采樣單向流氣流方向一致的采樣條件。等動力采樣isokineticsampling采樣口進氣氣流的平均風(fēng)速與該位置上單向流的平均風(fēng)速相等的采樣條件。粒徑限制器particlesizecutoffdevice連接在離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器采樣口、能夠?qū)⑿∮陉P(guān)注粒徑的粒子清除的裝置。閾值粒徑thresholdsize選定的最小粒徑，以測量大于或等于該粒徑的粒子濃度。以粒子飛越兩固定平面間距離所需的時間，測定其空氣動力學(xué)直徑。令粒子以慣性力撞擊假設(shè)(虛擬)表面而分離不同粒徑粒子的儀器。當(dāng)特定表面無法接近或?qū)μ幹锰舾卸鵁o法直接進行測量時，作為被測表面替代物的、具有規(guī)定表面積的污染敏感材料。3.7占用狀態(tài)設(shè)施已建成并運行，但沒有生產(chǎn)設(shè)備、材料和人員的狀態(tài)。7為了依據(jù)GB/T25915.1—2010進行分級，應(yīng)按GB/T25915.2—2010規(guī)定的周期，對設(shè)施的空氣懸浮粒子數(shù)量進行測定(見表1)。必測項目GB/T25915.3—2010的對應(yīng)條目的檢測GB/T25915.1和表2列出適用于設(shè)施的其他檢測項目。這些項目適用于所有3種占用狀態(tài)。所列檢測可能并不全有些檢測項目可列人設(shè)施的常規(guī)監(jiān)測計劃(見GB/T25915.2—2010)定期進行。附錄A給出了檢測項目選擇指南和一份檢測清單。各種檢測方法的介紹見附錄BGB/T25915.3—2010的對應(yīng)條目空氣超微粒子計數(shù)空氣大粒子計數(shù)氣流檢測°GB/T25915.1和GB/T25空氣壓差檢測GB/T25915.1和GB/T25已裝過濾系統(tǒng)檢漏溫度檢測8表2(續(xù))選擇性檢測項目GB/T25915.3—2010的對應(yīng)條目濕度檢測靜電和離子發(fā)生器檢測粒子沉降檢測自凈檢測隔離檢漏GB/T25915.1和GB/T25上述b)項和c)項檢測可起補充說明的作用，或只針對某具體要求，這兩項檢測不能用于潔凈度9耗散特性。離子發(fā)生器檢測用于評估離子發(fā)生器消除表面靜電的性能。檢測規(guī)程見B.10粒子沉降檢測中，測量置于各種方向表面上沉降的粒子量(數(shù)量或質(zhì)量)或效果(光散射或覆蓋面自凈檢測是測定設(shè)施暫時暴露于空氣懸浮粒子源后，能否在有限時間內(nèi)恢復(fù)到規(guī)定的潔凈度向流設(shè)施不推薦本項檢測。檢測規(guī)程見B.12。5檢測報告c)清楚標(biāo)明所測潔凈室或潔凈區(qū)的具體位置(必要時以鄰近區(qū)域作參照),并標(biāo)注所有采樣點的選擇檢測參照條目選擇檢測參照條目離散粒子計數(shù)器(DPC)空氣超微粒子計數(shù)凝聚核計數(shù)器(CNC)離散粒子計數(shù)器(DPC)空氣大粒子計數(shù)顯微鏡觀測采樣濾紙串級撞擊采樣器離散粒子計數(shù)器(DPC)飛行時間粒徑測量儀和葉輪風(fēng)速計葉輪風(fēng)速計已裝過濾器下風(fēng)向總風(fēng)選擇檢測施順序*參照條目選擇檢測參照條目電子微壓計已裝過濾器檢漏已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏和離散粒子計數(shù)器(DPC)氣溶膠物質(zhì)風(fēng)管或空氣處理機組內(nèi)的過濾器檢漏離散粒子計數(shù)器(DPC)氣溶膠物質(zhì)一般溫度檢測熱電偶嚴(yán)格溫度檢測熱電偶選擇檢測施順序“參照條目選擇檢測參照條目電容式濕度計自凈離散粒子計數(shù)器(DPC)隔離檢漏離散粒子計數(shù)器(DPC)°檢測的規(guī)劃人員可在第1欄的空格中填寫所選檢測項目的順序編b檢測的規(guī)劃人員可在第4欄的空格中標(biāo)記針對檢測方法所選擇的檢測器具。B.1屬于潔凈度分級與常規(guī)檢測的空氣懸浮粒子計數(shù)態(tài)、動態(tài)所有3種占用狀態(tài)下進行。本方法用于設(shè)施符合GB/T25915.1—2010規(guī)定潔凈度的認(rèn)證或驗采樣點數(shù)量，采樣點位置的選擇，潔凈區(qū)級別的判定，所需數(shù)據(jù)的量，所有這些都要符合GB/T25915.1—2010的規(guī)定。B.1給出的是在每個采樣點進行空氣采樣的基準(zhǔn)方法。若供需雙方另空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不B.1.4檢測報告a)離散粒子計數(shù)器的偽計數(shù)率；c)設(shè)施的潔凈度級別；計數(shù)效率/%計數(shù)效率/%本檢測方法用于測量粒徑小于0.1μm的空氣懸浮粒子濃度；該濃度以U描述符表示。B.2給出的方法源自IEST-G-CC1001:1999[狀態(tài)下進行。此項測量可按GB/T25915.1—2010附錄E的規(guī)定測定超微粒子濃度，或用于應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為±10%,見圖B.1中的超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，UU其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限架設(shè)離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的采樣探頭(需要時接粒徑限制器)。按GB/T25915.1—2010附錄B或GB/T25915.2—2010的規(guī)定，在每個采樣點按規(guī)定流量采樣并重復(fù)測量。小流量長采樣管線可能造成相當(dāng)大的超微粒子擴散損失。因擴散造成超微粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)超過5%。計算供需雙方議定的超微粒徑范圍內(nèi)U描述符的濃度，并報告數(shù)據(jù)。若需要有關(guān)超微粒子濃度使用C.3規(guī)定的離散粒子計數(shù)器(DPC)或C.2規(guī)定的凝聚核計數(shù)器(CNC)。若使用離散粒子計數(shù)器，則其對GB/T25915.1—2010附錄B規(guī)定的超微粒的粒子仍具有準(zhǔn)確的粒徑分辨力。應(yīng)根據(jù)圖B.1來確定DPC計數(shù)器和CNC計數(shù)器閥值粒徑的計數(shù)效率。若所用DPC或CNC的可探測粒徑小于規(guī)定粒徑，則應(yīng)使用B.2.1.3規(guī)定的粒徑透過率已知的粒根據(jù)供需雙方的協(xié)議，對潔凈區(qū)設(shè)施U描述符檢測，第5章規(guī)定的檢測報告及下述信息和數(shù)據(jù)應(yīng)a)離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器及粒徑限制器(若使用)的具體型號和校準(zhǔn)狀況；g)超微粒子測量系統(tǒng)采樣口與讀出體積流率；h)采樣點位置；本檢測方法用于測量粒徑大于5μm的空氣懸浮粒子(大粒子)。B.3給出的方法源自IEST-G-2010附錄E的規(guī)定測定大粒子濃度，或用于GB/T25915.2—2010規(guī)定的定期復(fù)檢。為減少采樣過程1)離散粒子計數(shù)器測量(B.3.3.3.2),報告的大粒子是光學(xué)當(dāng)量粒徑的大粒子；2)粒子飛行時間測量(B.3.3.3.3選擇一片濾膜和一個濾膜夾，或一套預(yù)先組裝好的氣溶膠采樣器；所用濾膜夾和氣溶膠采樣器的進風(fēng)口應(yīng)朝上。對等于或優(yōu)于ISO6級(見GB/T25915.1—2010)的潔沉降在可拆卸的平板上，平板可移出稱重或顯微鏡觀測。這種撞擊采樣器的采樣流量一般不低于a)用第一種串級撞擊采樣器測量前，先記錄每一級的初始質(zhì)量或測出每一級單位面積的初始粒撞擊器中采集大粒子的各級大粒子的總質(zhì)量或總b)第二種串級撞擊采樣器在采樣期間同時獲得采集到的粒子質(zhì)量數(shù)據(jù)。由于各級上的微天平傳感器均可顯示質(zhì)量變化，所以一般無須在采樣前測定初始質(zhì)量。與前一種撞擊采樣器相量粒子的構(gòu)成。將采樣流量調(diào)整為0.00039m3/s,采樣時間按潔凈區(qū)的等級設(shè)為10min至數(shù)小時。將撞擊器放在預(yù)定采樣點并啟動，采樣結(jié)束后，可將撞擊樣本測量。大粒子濃度定義為：撞擊器中采集大粒子的各級大粒子的總不必從空氣中采集粒子也可測量大粒子，即對懸浮在空氣中的粒子進行光學(xué)測量?？諝鈽颖疽砸?guī)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣；計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離至少0.00047m3/s。單向流潔凈室中，計數(shù)器采樣設(shè)定計數(shù)器的粒徑范圍，使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個低于5μm(見GB/T25915.1—2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計數(shù)器最大濃度建議值的50%。間氣壓的壓差，可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑，粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測架設(shè)所選儀器的空氣采樣探頭，每個采樣點的采樣空氣量，至少需要采集到20顆大粒子，并按GB/T25915.1—2010或GB/T25915.2—2010的規(guī)定進行測量。根據(jù)供需雙方的協(xié)議選擇粒徑范圍，隔在選定位置進行不少于3次測量。f)儀器的采樣流量和實際進入傳感器的體積流量；B.4氣流檢測本檢測用于測量潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)的風(fēng)速，風(fēng)速均勻性及送風(fēng)量。單向風(fēng)管中。兩者測量的都是通過已知截面的風(fēng)速，風(fēng)速與面積的乘積即為風(fēng)量方協(xié)商確定。這種檢測可用于所有3種占用狀態(tài)。測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根，且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾風(fēng)速均勻性的測點距過濾器出風(fēng)面約150mm～300mm所測數(shù)據(jù)可能無法表明潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施本身的特性。用以判定風(fēng)速均勻性即風(fēng)速分布的數(shù)Q=Z(U.×A?)……為等面積網(wǎng)格，然后測量每個網(wǎng)格單元中心點的風(fēng)速。網(wǎng)格單元的數(shù)量由供需雙方議定，例如9個、16個。使用B.4.2.4規(guī)定的方法對風(fēng)量進行評估。遇到圓形風(fēng)管，可按照EN12599介紹的方法使用為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響，建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器平坦的表面。若采用帶流量計的風(fēng)量罩，則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測量各個末B.4.3.3按過濾器面風(fēng)速計算的送風(fēng)量B.4.3.4風(fēng)管中的送風(fēng)量氣流測量儀的介紹和測量技術(shù)要求見C.4。風(fēng)速測風(fēng)速測量不應(yīng)受到短距離內(nèi)點與點間速度波動的影響。例如，為了在某一波動范圍內(nèi)測出“平均”B.5.1原理測適用于所有3種占用狀態(tài)。定期進行這項檢測，并將其列入GB/T25915.2—2010規(guī)定的設(shè)施常規(guī)在測量各房間之間以及房間與外部之間的壓差前，宜先確認(rèn)送風(fēng)量和設(shè)施的風(fēng)量均衡符合規(guī)定環(huán)境中可能成為安全隱患。本部分無意探討相關(guān)安全問題。用戶有責(zé)任在采用此項檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生。B.6給出的檢測方法部分源自IEST-RP-CC034.2[18]。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏。檢測中，在B.6.2和B.6.3給出了2種方法，用于檢測頂棚和墻壁以及設(shè)備上的過濾器系統(tǒng)。B.6.4介紹了安裝在風(fēng)管中過濾器的檢測方法。下述各種檢測活動中，可使用氣溶膠光度計(B.6.2介紹的方法)或離散粒子計數(shù)器(B.6.3介紹的方法)。這2種方法獲得的結(jié)果不能進行直接比較。b)最易透過粒徑(MPPS)整體透過率不小于0.003%的過濾系統(tǒng)；B.6.1.3使用離散粒子計數(shù)器(DPC)a)配備任何類型空氣處理系統(tǒng)的潔凈室；b)配有最易透過粒徑(MPPS)透過率低至0.000005%的過濾器系統(tǒng)；c)設(shè)施不允許有油基揮發(fā)性檢測氣溶膠沉降在過濾器和風(fēng)管內(nèi)并產(chǎn)生釋放氣體，或推薦使用固準(zhǔn)備步驟見B.6.2.2～B.6.2.5,具體檢測規(guī)程見B.6.2.6,驗收限值和修補工作見B.6.2.7和將人工生成的多分散氣溶膠或大氣氣溶膠注入上風(fēng)向氣流，使上風(fēng)向氣溶膠均的濃度。這種發(fā)塵方式產(chǎn)生氣溶膠粒子的質(zhì)量中值粒徑一般為0.5μm～0.7μm,幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達1.7B.6.2.3上風(fēng)向氣溶膠發(fā)塵濃度與濃度驗證過濾器上風(fēng)向氣溶膠發(fā)塵的濃度為10mg/m3~100mg/m3。濃度低于20mg/m3時檢漏的靈敏應(yīng)采取適當(dāng)手段來驗證注人的氣溶膠與送風(fēng)均勻混合。對系統(tǒng)進行第1次檢測時應(yīng)驗證氣溶膠混在緊靠過濾器上風(fēng)向處測量，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。濃B.6.2.4確定采樣頭尺寸按式(B.2)計算采樣頭開口尺寸時應(yīng)考慮儀器采樣流量和過濾器出風(fēng)面風(fēng)速，以使采樣口的風(fēng)速[JB.6.2.5確定掃描速度B.6.2.6已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏規(guī)程b)應(yīng)先按B.6.2.3的規(guī)定測量過濾器上風(fēng)向的氣溶膠，驗證氣溶膠濃度和分布的均勻性符合略有重疊。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cmd)掃描應(yīng)遍及過濾器的整個出風(fēng)面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝架構(gòu)之間的密封處及安e)掃描檢漏過程中，為了確認(rèn)上風(fēng)向氣溶膠濃度穩(wěn)定(見B.6.2.7驗收限值掃描時有任何顯示大于或等于滲漏限值處，都應(yīng)將采樣頭停在滲漏處當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的10-*(0.01%)時，就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收2)將采樣探頭返回至每個可疑滲漏處粒子計數(shù)最大的將人工生成的多分散氣溶膠或大氣氣溶膠引入上風(fēng)向氣流，使上風(fēng)向氣溶膠均b)計數(shù)器的小粒徑閥值小于氣溶膠的平均粒徑；c)若計數(shù)器在小閥值至0.5μm的粒徑范圍內(nèi)的粒徑通道不只一個，應(yīng)選擇下風(fēng)向計數(shù)中讀數(shù)d)將氣溶膠當(dāng)量平均粒徑的總平均數(shù)調(diào)到接近于所用計數(shù)器最合適通道的中點粒徑。B.6.3.3上風(fēng)向氣溶膠的濃度與驗證為了達到B.6.3.5規(guī)定的掃描速度，過濾器上風(fēng)向氣溶膠的濃度應(yīng)足夠高。大多數(shù)情況下，為了監(jiān)測上風(fēng)向濃度。供需雙方應(yīng)協(xié)商確定氣溶膠混合檢驗的具體細節(jié)，包括上B.6.3.4確定采樣探頭尺寸B.6.3.5已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏規(guī)程參見B.6.2.6,實施時用B.6.3.3和B.6.3.6.4替代B.6.2.3和B.6.2.5B.6.3.6預(yù)備性計算與評估B.6.3.6.1預(yù)備性計算與評估中使用的符號和流程圖P——被試過濾器MPPS(最易透過粒徑)處最大允許整體透過率；qv?——離散粒子計數(shù)器實際采樣流量(cm3/s);N,——有滲漏時的預(yù)期粒子計數(shù)(個);N——有滲漏時的實際粒子計數(shù)(個);的透過率。此處規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)采樣流量qv?=472cm3/s(28.3L/min)。P?=K×P最大允許透過率P。P,應(yīng)定義為制造商規(guī)定的被試過濾器最大允許整體MPPS(最易透過粒徑)透過率。如果沒有這手動掃描時，可用N,取代C.。建議取Np≥2,同時不考慮B.6.3.6.3。若想與光度計法驗收限值(見B.6.2)相關(guān)，可設(shè)定氣溶膠的平均粒徑應(yīng)為0透過率0.05%和0.005%的過濾器，最大允許透過率取0.01%。被試過濾器Np(個),見表B.2S≤[C。(PL-P?)qv?+C?×P?×qv?](DpNu=C×PL×q×T若實際采樣流量qv?(cm3/s)不是標(biāo)準(zhǔn)流量，則Nm=[C?(PL-??)qv?++C?×P?×qv?}采樣時間T,[s]C=Nw-2N當(dāng)選C=1(個)時，在一段短時間(<T?)內(nèi)計數(shù)增加≥2,應(yīng)將采樣探頭置于滲漏位置，以靜止方式復(fù)測。若計數(shù)不增加，若探頭靜止時間T;內(nèi)觀測計數(shù)小于C。(個),則認(rèn)為該點無滲漏。若探頭靜止時間T;內(nèi)觀測計數(shù)總是大于C,(個),則認(rèn)為該點有滲漏。圖B.2預(yù)備性計算與評估流程圖CN,大于19.7時，?。?617283945S,不應(yīng)大于8cm/s。B.6.3.6.5靜止時間T.和對應(yīng)T,的N和C.計算C。b)觀測計數(shù)大于C(個)時遇到任何觀測計數(shù)大于C?(個)的情況，都應(yīng)將采樣頭靜止在滲漏位置一段時間以檢查滲漏手工掃描時，通過計數(shù)器的顯示或報警音就能檢測出疑似滲漏。為了區(qū)分合格與不合格計B.6.3.6.7用靜止法再測疑似滲漏a)觀測計數(shù)小于C?(個)時若T,內(nèi)觀測到的計數(shù)不大于C,則確認(rèn)無滲漏。b)觀測計數(shù)大于C(個)時若觀測計數(shù)大于C,應(yīng)考慮以靜止方式再測量。若靜止觀測的計數(shù)仍大于C,則認(rèn)為存在標(biāo)準(zhǔn)滲漏透過率P是按qv?=472cm3/s(28.3L/min)這個標(biāo)準(zhǔn)采樣流量定義的。此時，滲漏的粒子計數(shù)與實際采樣流量qv?(cm3/s)無關(guān)。若采樣流量并非這個標(biāo)準(zhǔn)流量，計算公式應(yīng)修正為式Nm=[C?(P?-P?)qv,+C×P,×qv.]T,……(B.10)C?=1(個)=30×10-3×472×2/5.6=5.1Nm=Ce×PL×qw×T;C?=Nm-2JNm=85-2/85=67(個)漏，而無需逐級檢測。位于設(shè)施中非單向流區(qū)的末端過濾器也可采用這種方法。此方法的靈敏度比若過濾器下風(fēng)向的氣溶膠混合均勻，則每只過濾器下風(fēng)向的氣溶膠濃度測點不少于一個。若混合不均勻，就應(yīng)改變測量方法，在風(fēng)管內(nèi)過濾器下風(fēng)向截面上設(shè)置若干等距離測點，測點間隔30cm~不應(yīng)大于10-^(0.01%)。供需雙方可協(xié)商確定過濾效率檢測的其他驗收限值。B.6.5.1～B.6.5.4中規(guī)定的儀器應(yīng)配有有效校準(zhǔn)證書。采樣流量要足夠高，能夠探測到檢漏相關(guān)的粒徑。粒子計數(shù)器和氣溶膠光度景濃度小于10%滲漏限值的情況下使用。只有在供需雙方協(xié)議允許的情況下才可進行滲下述4種方法可用于氣流方向檢測和顯形檢查：d)借助速度分布測量的氣流顯形檢查。B.7.3氣流方向檢測和顯形檢查規(guī)程察與記錄氣流狀況。通過測量兩點(例如2m～0.5m)之間的氣信息。產(chǎn)生示蹤粒子的物質(zhì)可選去離子水、噴射的或用化學(xué)法生成的乙醇和乙使用液滴生成法時應(yīng)考慮液滴的粒徑。液滴要大到圖像處理技術(shù)可探測到利用B.7.3.2的方法生成圖像，對錄像或照片上的粒子圖像數(shù)據(jù)進行處理，給出檢測區(qū)的二維風(fēng)速矢量的數(shù)量特征。這項處理技術(shù)需要配有適當(dāng)接口和軟件的計算機。可使用激可在被觀測設(shè)施內(nèi)的幾個規(guī)定點上放置熱風(fēng)速儀或超聲波風(fēng)速儀等風(fēng)速根據(jù)供需雙方的協(xié)議，第5章規(guī)定的檢測報告及下述信d)若規(guī)定使用圖像處理技術(shù)或測量速度分布，照片或錄像帶上記錄的圖像，或每項測量的原始空氣溫度的能力。B.8給出的檢測方法部分取自IEST-RP-CC006.3[ls]。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的，測量時間不少于5min,每分鐘至少記錄1個讀數(shù)。檢測點不少于2個。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的，測量時間不少于5min,每分鐘至少記錄1個讀數(shù)。b)所用測量儀器的型號和校準(zhǔn)狀況；B.9.1原理氣濕度(用相對濕度或露點表示)的能力。B.9給出的檢測方法取自IEST-RP-CC006.3[13]B.9.4檢測報告特性要測量表面電阻和表面泄漏電阻。評估離子發(fā)生器的性能要檢測帶電荷監(jiān)定絕緣監(jiān)測板的補償電壓。每項測量結(jié)果均說明靜電荷的耗散(或中評估靜電耗散特性需使用高阻歐姆計測量表面電阻(表面不同位置之間的電阻)和泄漏電阻(表面用質(zhì)量和尺寸適當(dāng)?shù)碾姌O來測量表面電阻和泄漏電阻。測量表面電阻時計算離子發(fā)生器消除靜電荷的效率；測量補償電壓是為了評估離子發(fā)生器生成使用具有已知電容(例如20pF)的監(jiān)測板(絕緣了的導(dǎo)電板)進行測量。首先用電源向監(jiān)測板充將監(jiān)測板置于待評估的雙極離子發(fā)生器的電離氣流中，使用靜電電壓計和計時放電時間的定義是，監(jiān)測板上靜電荷減少至10%初始電壓所需的時間。離子發(fā)生器的合格補償電壓依工作區(qū)內(nèi)物體對靜電荷的敏感性而定f)與測量有關(guān)的其他數(shù)據(jù)。這里說明的規(guī)程與儀器用于設(shè)施內(nèi)的空氣中沉降在或可能沉降在產(chǎn)品和鏡或表面掃描儀器測定粒徑并計數(shù)。可用沉降粒子光度計測定粒子沉降率。粒位時間、單位表面積粒子的質(zhì)量或計數(shù)。B.11.2粒子沉降檢測規(guī)程B.11.2.1代測板采集粒子將代測板放在風(fēng)險表面所在的同一平面。代測板的電勢應(yīng)與檢測表面相同。使用代測板時應(yīng)遵守下述規(guī)程和方法：a)驗證潔凈室的各個系統(tǒng)功能正常，符合運行要求。b)在每塊代測板上作唯一標(biāo)識，按要求清潔代測板，將表面粒子濃度減少到最低程度。測定每塊代測板上粒子的背景濃度。c)保留10%的代測板用于對照。對照板的處置方式與實際檢測用代測板完全相同，但不暴露。d)將所有代測板運到檢測現(xiàn)場。運送時應(yīng)避免空氣懸浮粒子污染板的表面。e)令代測板暴露，時間最長可達48h,具體暴露時間依潔凈室的類型、運行方式和使用的粒子計數(shù)儀器而定。為了給出可滿足需方要求的、具有統(tǒng)計意義的有效數(shù)據(jù)，必要時可調(diào)整暴露時間，以便在代測板上得到足夠多的沉降粒子。f)蓋好并取回暴露過的代測板，將其存放在密封的容器中以防再受污染。B.11.2.2對采集的粒子進行計數(shù)和計徑對代測板采集的粒子進行計數(shù)和計徑，以得到可再現(xiàn)的數(shù)據(jù)，依此可對被測區(qū)域的潔凈程度歸類。使用光學(xué)顯微鏡時，可利用經(jīng)過校準(zhǔn)的線性或圓形測微尺測量粒徑。使用電子顯微鏡時，可利用經(jīng)校準(zhǔn)的已知線距光柵，用圖像尺寸與實際尺寸相關(guān)的辦法來測量粒徑。使用表面掃描儀時，可利用制造商提供的粒徑校準(zhǔn)信息?？蓪⒋鷾y板上局部面積的計數(shù)數(shù)據(jù)外推到代測板的整個表面(統(tǒng)計學(xué)計數(shù))。外推方法可參照參考文獻[4]a)對所有代測板上及對照板上的粒子進行計數(shù)和計徑。對所有代測板總面積上的粒子計數(shù)，并對粒子按適當(dāng)?shù)牧椒秶诸?。b)確定每塊代測板表面沉降粒子的濃度，見式(B.11): (B.11)D——沉降在表面的粒子濃度；N——表面粒子的總濃度；N?——表面清潔后、暴露于潔凈室環(huán)境之前，代測板表面大于或等于規(guī)定的最小粒徑的粒子Aw——代測板面積，單位為平方厘米(cm2)。c)計算對照代測板的D平均值。d)用每塊代測板的濃度減去對照代測板濃度的平均值，確定每塊代測板表面濃度的凈增量。用濃度的凈增長除以暴露時間，得到單位時間內(nèi)每平方厘米的粒子沉降率(PDR)。e)記錄PDR的均值和標(biāo)準(zhǔn)差。B.11.3粒子沉降檢測器具B.11.3.1代測板材料依據(jù)需待測的粒徑、測量手段來確定代測板的用材：a)微孔濾膜；e)攝影膠片(薄片);為了易于看到粒子，代測板表面的光潔度應(yīng)與待測粒子的粒徑相適。可利用各種儀器對沉降在代測板表面的粒子進行計數(shù)和計徑測量。按所a)光學(xué)顯微鏡(粒徑不小于2μm);c)表面分析掃描儀(粒徑不小于0.1μm);d)粒子沉降光度計(粒子最大覆蓋面積1%)。按關(guān)注粒徑范圍內(nèi)粒子的探測需要選擇儀器。其他需要考慮的因素有，本項檢測是測定設(shè)施清除空氣懸浮粒子的能力。產(chǎn)生粒子的事件發(fā)生后施最重要的能力之一。自凈檢測僅對非單向流系統(tǒng)重要并ISO8級和ISO9級不推薦此項檢測。自凈性能由100:1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率來表示。100:1自凈時間的定義是：粒子濃度降低至0.01倍初始濃度所需時間；潔凈度恢復(fù)率的定義是：粒子濃度隨時間的變B.12.3.1用100:1自凈時間進行評估若能將初始粒子濃度提高到目標(biāo)潔凈程度的100倍或更高時，可直接測量100:1自凈時間。應(yīng)小心避免計數(shù)器的重疊誤差和污染計數(shù)器光學(xué)器件的風(fēng)險。檢測前，需要計算檢測100:1自凈時間所需濃度。若計算出的濃度超出計數(shù)器的最大可測誤差，或以恢復(fù)率檢測(B.12.3.2)來取代100:1自凈時間檢測。a)按制造商的說明和校準(zhǔn)證書設(shè)置計數(shù)器。b)將粒子計數(shù)器的采樣探頭置于檢測點，測點位置和測量次數(shù)由供需雙方議定。計數(shù)器的采樣c)將單次采樣體積量調(diào)整到測定潔凈度級別時用的同一量值。計數(shù)器每次開始計數(shù)到輸出計數(shù)結(jié)果的延時應(yīng)調(diào)整到不超過10s。d)本檢測中使用的粒徑應(yīng)小于1μm。建議用計數(shù)器上氣溶膠濃度讀值最高的那個粒徑通道作f)將氣溶膠初始濃度提高到目標(biāo)潔凈程度的100倍或更高。h)記錄粒子濃度降至目標(biāo)潔凈程度的時間(t?)。B.12.3.2使用恢復(fù)率的評估t?——第1次和第2次測量的間隔時間；恢復(fù)率與100:1自凈時間兩者的關(guān)系如下：計數(shù)效率符合C.1和C.6的規(guī)定。部的距離不大于5cm記錄并報告所有對應(yīng)粒徑的氣溶膠濃度高于外部環(huán)境0.01倍的讀數(shù)。在光度計的0.1%檔測量，讀數(shù)超過0.01%即表明存在滲漏。記錄并報告所有超過0.01%光度計刻度的讀數(shù)。粒子計數(shù)器見C.1,光度計見C.6.1。計數(shù)器和光度計都應(yīng)具有識別0.5μm或更小粒子的能力。檢測儀器表C.1～表C.29中給出的參數(shù)是每件儀器的最低要求。本附錄的條目編號和附錄B的條目相對表C.1給出光散射離散粒子計數(shù)器的技術(shù)要求。靈敏度(分辨率)不超過12個月，或規(guī)定的性能驗證時最小粒徑閾值時(50±20)%,大于或等于最小粒徑閾值的1.5低濃度范圍與實際預(yù)期的最低計數(shù)相比，偽計數(shù)不顯著。自凈階(例如，5min內(nèi)無計數(shù))高濃度范圍在使用點，大于設(shè)施潔凈度上限濃度2倍，且不超過制造商建議粒徑分辨率大于10%的儀器，給出的粒子計數(shù)結(jié)果可能有高達1個數(shù)量級的波動。C.2.1凝聚核粒子計數(shù)器(CNC)對被采粒子凝聚過飽和蒸氣而形成的全部液滴進行計數(shù)的儀器。它對大于或等于CNC最小可測粒子濃度可高達3.5×10?/m3表C.2(續(xù))可受環(huán)境氣體類型的影響不超過12個月低濃度范圍與實際預(yù)期的最低計數(shù)量相比，偽計數(shù)不顯著注：計數(shù)效率見圖B.1。C.2.2離散粒子計數(shù)器(DPC)可對空氣中包括超微粒子在內(nèi)的粒子進行逐個計數(shù)和計徑的儀器。離散粒子計數(shù)器的技術(shù)要求見表C.3。表C.3離散粒子計數(shù)器技術(shù)要求粒子濃度可高達3.5×10?/m3不超過12個月小閾值粒徑時(50±20)%,大于或等于小閾值粒徑的1注：計數(shù)效率見圖B.1。C.2.3粒徑限制器安裝在超微粒子計數(shù)裝置采樣口的一種空氣采樣傳輸元件?？汕宄∮谝?guī)定粒徑的粒子。這類裝粒徑限制器的技術(shù)要求見表C.4。表C.4粒徑限制器技術(shù)要求經(jīng)過粒徑限制器的流量應(yīng)恒定(±10%),不小C.3大粒子計數(shù)C.3.1用顯微鏡觀測濾紙采集的粒子板采集面的流體流速都比前一層高一級，其采集的粒子就比前一級小一號。響應(yīng)時間幾分鐘到幾天，依樣本測量方法而定不超過12個月粒子濃度可高達1.0×10?/m3隨粒子的成份或形狀而異不超過12個月最小粒徑閾值處(50±20)%,大于或等于最小粒徑閾值的1.5對離散粒子進行計數(shù)和計徑的儀器，它通過測量粒子適應(yīng)氣流速度變化的時粒子濃度可高達1.0×10?/m3不超過12個月最小粒徑閾值時(50±20)%,大于或等于最小粒徑閾值的1.5不超過12個月對于比重為2的粒子10pg/m3熱風(fēng)速儀的技術(shù)要求見表C.9設(shè)施檢測為0.1m/s～1.0m/s,風(fēng)管檢測為0.5m/s～20`m/s響應(yīng)時間滿刻度的90%時小于1s不超過12個月測量靈敏度和不確定度參見ISO7726:1998。儀器需要按空氣溫差和大氣壓的變化進行修正。C.4.1.23維或等效3維超聲波風(fēng)速儀3維或等效3維超聲波風(fēng)速儀的技術(shù)要求見表C.10。表C.103維或等效3維超聲波風(fēng)速計技術(shù)設(shè)施檢測為0m/s～1m/s響應(yīng)時間小于1s不超過12個月響應(yīng)時間滿刻度的90%時小于10s不超過12個月響應(yīng)時間滿標(biāo)度的90%時小于10s校準(zhǔn)周期不超過12個月風(fēng)量50m3/h?~1700m3/h*響應(yīng)時間滿刻度的90%時小于10s不超過12個月常見風(fēng)量罩的尺寸為600mm×600mm。所用風(fēng)量罩的尺寸決定了測量限值和分辨率。一般小量程為0Pa～100Pa;一般大量程為0k0Pa～100Pa量程時滿刻度的士1.5%,0kPa～100kPa肉眼測定傾斜量管內(nèi)水或乙醇等液體在刻度上的變幅，即小壓頭(高度),來測量兩測點間的空氣機械壓差計的技術(shù)要求見表C.16。量程0Pa～50Pa時滿刻度的±5%,量程0kPa～50kPa時光度計采用前散射光腔、以μg/L為單位測量氣溶膠質(zhì)量濃度響應(yīng)時間12個月或400個工作小時，以快者為準(zhǔn)采樣口C.6.1.2對數(shù)氣溶膠光度計以μg/L為單位測量氣溶膠質(zhì)量濃度。光度計測量用的是前散射光腔。該儀器不能直接測量過濾器的滲漏透過率。對數(shù)氣溶膠光度計的技術(shù)要求見表C.18表C.18對數(shù)氣溶膠光度計技術(shù)要求響應(yīng)時間12個月或400工作小時，以快者為準(zhǔn)采樣口C.6.2離散粒子計數(shù)器C.6.3氣溶膠發(fā)生器定的微粒物質(zhì)。C.6.4檢測氣溶膠物質(zhì)下面列舉的是生成檢測氣溶膠的常見物質(zhì)。這些物質(zhì)通過霧化噴射到環(huán)境中，生成液態(tài)或固態(tài)氣a)聚α烯油”(poly-alphaolefinPAO),黏度4厘斯(cSt)(例如CAS2)68649-12-7);b)癸二酸二辛酯(dioctylsebacate,DOS);c)癸二酸二酯(di-2-ethylhexylsebacate,DEHS);e)殼牌安定來礦物油(ShellOndina,EL),食品級(例如CAS8042-47-5);f)石蠟油(例如CAS64742-46-7);g)聚苯乙烯乳膠球(PSL)。如能達到要求的濃度，也可用大氣氣溶膠。按已知容積比(10～100)將氣溶膠與潔凈空氣混C.7氣流方向檢測和顯形檢查測點處空氣中的中性氣泡。的記錄裝置氣流高對比度觀測和成像使用的各種光源對氣流圖像進行量化測量的圖激光片光源法，由高功率激光源(氬氣或YAG激光)、帶柱面透液滴粒徑范圍空氣懸浮濃度溶液量1mL/min～6mL/min時70g/cm3~150g/cm3粒徑范圍因超聲波的頻率而異，例如，1MHz產(chǎn)生粒子的粒徑范圍為6μm～9μm。液滴粒徑范圍C.10.1靜電電壓計0.8mm直徑點(區(qū))0.3V(rms)或2V(p-p)響應(yīng)時間小于4ms(10%～90%)校準(zhǔn)周期不超過12個月響應(yīng)時間0kV~±5kV小于2s不超過12個月103Ω~3×10?Ω測量不確定度響應(yīng)時間校準(zhǔn)周期不超過12個月最大電流輸出<100V時10mA,<250V時5mA,<500V時2mA,<1000V時1mA響應(yīng)時間不超過12個月當(dāng)相對濕度40%、離子濃度少于200cm-3時，5分鐘內(nèi)自放電小于10%每個極性不低于1kV(限流)測量沉降在暗色玻璃采集板上的粒子發(fā)出的總散射光，以沉降系數(shù)報告校準(zhǔn)間隔時間不超過12個月粒徑范圍霧化空氣壓力C.12自凈檢測C.12.1離散粒子計數(shù)器C.12.2氣溶膠發(fā)生器C.12.3稀釋裝置C.13隔離檢漏C.13.1離散粒子計數(shù)器C.13.2氣溶膠發(fā)生器C.13.3稀釋裝置[1]ASMEN510-1989,TestingofNuclearAAmericanSocietyofMechanicalEnginee[2]ASTMF24-00,StandardMethodforMeasuringandCountingParticulateContaminationonSurfaces.Philadelphia,Pennsylvania,US:AmericanSocietyforTesborneParticlesinDust-ControlledAreasandCleanRoomsUsingInstrumentCapableofDetectingSingleSub-MicrometreandLargerParticles.Philadelphia,Pennsylvania,US:AmericanSocietyforParticlesfromAerospaceFluidsonMembraneFilters.Philadelphia,Pennsylvania,US:American[5]ASTMF328-98(2003),StandardPracticeforCalibrationofanAirborneParticleCounter