單晶硅項目環(huán)評報告書

銀笛〔揚州〕微電子年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片工程環(huán)境影響報告書〔簡本〕銀笛〔揚州〕微電子20239月名目1總論51.1任務(wù)由來51.2評價目的錯誤！未定義書簽。1.3編制依據(jù)錯誤！未定義書簽。1.4評價原則錯誤！未定義書簽。1.5評價重點錯誤！未定義書簽。1.6評價因子錯誤！未定義書簽。1.7評價等級錯誤！未定義書簽。1.8評價范圍錯誤！未定義書簽。1.9評價工作技術(shù)路線錯誤！未定義書簽。2 建設(shè)工程四周地區(qū)環(huán)境概況

錯誤！未定義書簽。2.1自然環(huán)境概況錯誤！未定義書簽。2.2社會環(huán)境狀況錯誤！未定義書簽。2.3經(jīng)濟開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃錯誤！未定義書簽。2.4開發(fā)區(qū)環(huán)境功能區(qū)劃錯誤！未定義書簽。2.5評價標(biāo)準(zhǔn)錯誤！未定義書簽。2.6建設(shè)工程環(huán)境保護目標(biāo)錯誤！未定義書簽。3工程分析錯誤！未定義書簽。3.1本工程概況73.2生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗103.3主要生產(chǎn)、公用及貯運設(shè)備173.4公用工程183.5污染源分析錯誤！未定義書簽。4污染防治措施25銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書6大氣污染防治措施評述水污染防治措施評述噪聲污染防治措施評述固體〔廢液〕污染防治措施評述非正常排放防范措施綠化排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置環(huán)保投資及“三同時”清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟分析產(chǎn)業(yè)政策相符性分析清潔生產(chǎn)循環(huán)經(jīng)濟環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測與評價地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價環(huán)境影響推想及評價大氣環(huán)境影響推想及評價地表水環(huán)境影響分析聲環(huán)境影響分析固廢環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響分析與防治施工期環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響防治總量把握分析總量把握要求

2527303031313333353535363838384040404040錯誤！未定義書簽。41錯誤！未定義書簽。9.2總量把握原則9.2總量把握原則錯誤！未定義書簽。9.3總量把握因子419.4總量把握指標(biāo)419.5總量平衡方案41環(huán)境風(fēng)險評價 4310.1風(fēng)險評價等級確實定錯誤！未定義書簽。10.2風(fēng)險識別錯誤！未定義書簽。10.3源項分析錯誤！未定義書簽。10.4事故防范4310.5結(jié)論錯誤！未定義書簽。工程廠址可行性分析 4511.1工程選址與規(guī)劃相容性4511工程選址與評價區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀的相容性分析 45本工程實施后對四周環(huán)境的影響 46公眾參與建設(shè)工程環(huán)評公眾參與公示公眾意見問卷調(diào)查環(huán)境經(jīng)濟損益分析經(jīng)濟效益分析社會效益分析環(huán)境效益分析環(huán)境治理與監(jiān)控打算環(huán)境治理環(huán)境監(jiān)控打算排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置

結(jié)論與建議結(jié)論建議

總論任務(wù)由來加坡銀笛科技〔控股〕私人股份，經(jīng)過多年的攻關(guān)，攻克了功率場控器件用高CMOS技產(chǎn)品認(rèn)定中心的認(rèn)定。加坡銀笛科技〔控股〕私人股份已在上海金橋出口加工區(qū)投資建設(shè)了外延片的生產(chǎn)基地，由于現(xiàn)目前國內(nèi)半導(dǎo)體材料市場嚴(yán)峻供不應(yīng)求，為了滿足國內(nèi)外半〔揚州300萬硅拋光片、604~126~8英寸的硅外延片。本工程的建設(shè)有利于加速集成電路芯片主要材料的國產(chǎn)化進程。境保護治理條例》的有關(guān)規(guī)定，應(yīng)當(dāng)在工程工程可行性爭論階段對該工程進展環(huán)境影響評價。為此，銀笛〔揚州〕2023年8月托付蘇州工業(yè)園區(qū)東方環(huán)境保護科學(xué)爭論所擔(dān)當(dāng)該工程環(huán)境影響報告書的編制工作。我單位承受托付后，即認(rèn)真爭論該工程的有關(guān)資料，并踏勘現(xiàn)場的社會、自然環(huán)境狀況，調(diào)查、收集有關(guān)工程現(xiàn)有狀況及擬建工程資料，通過對工程所在區(qū)域的環(huán)境特征和本工程的工程推想建成后對四周水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍，并提出防治污染措施，減緩建設(shè)工程對四周環(huán)境的影響，為建成后的環(huán)境治理供給科學(xué)依據(jù)。主要環(huán)境保護目標(biāo)

2-1環(huán)境保護目標(biāo)環(huán)境要素環(huán)境要素大氣環(huán)境水環(huán)境環(huán)境保護對象蒲村〔待拆遷〕長江儀征與儀化水源取水口揚州水廠取水口方位南南距離〔m〕1002023規(guī)模100戶—環(huán)境功能二類區(qū)東1202350萬噸/天Ⅲ類水體西8000聲環(huán)境聲環(huán)境廠界四周廠界3類區(qū)3(a)

本工程概況本工程名稱、建設(shè)地點、建設(shè)性質(zhì)、投資總額、環(huán)保投資工程名稱：銀笛〔揚州〕微電子年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片工程建設(shè)地點：江蘇省儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)區(qū)建設(shè)性質(zhì)：外商投資建8000576萬元(b)本工程建設(shè)內(nèi)容銀笛〔揚州〕微電子向儀征市高技術(shù)開發(fā)區(qū)提誕生產(chǎn)、辦公用房及生產(chǎn)設(shè)施的建設(shè)要求，儀征市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)按要求建筑廠房及相應(yīng)的設(shè)施，然后租賃給銀笛(揚州)微電子有限公司使用。租用廠房面積約48680㎡，包括外延片生產(chǎn)廠房、拋光片生產(chǎn)廠房、綜合動力站、化學(xué)品庫、辦公樓、門衛(wèi)等。設(shè)施主要包括供水系統(tǒng)、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、變配電系統(tǒng)、應(yīng)急電源、通信信息及生命安全系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、制冷及供熱系統(tǒng)、環(huán)保設(shè)施〔廢水處理站、廢氣處理設(shè)施、消防設(shè)施、勞動保護安全設(shè)施以及室外工程等。3-13-2。序年運行時數(shù)8520h序年運行時數(shù)8520h工程名稱產(chǎn)品名稱號 設(shè)計力氣/〔車間或生產(chǎn)線〕 及規(guī)格1單晶硅拋光片4英寸6英寸8英寸40萬片150萬片80萬片2硅外延片12英寸合計6英寸8英寸30萬片300萬片30萬片30萬片合計60萬片3-2公用及關(guān)心工程類別建設(shè)名稱設(shè)計力氣備注承受防腐蝕環(huán)氧樹脂地面，主要存放硫酸、甲類化學(xué)品倉庫200m2硝酸、雙氧水、鹽酸、氫氟酸、氨酸和氫氧化鈉溶液等倉庫4000m2主要存放原料單晶硅棒、硅襯底材料和成類別 建設(shè)名稱

設(shè)計力氣 備注品給水排水供電公用工程循環(huán)冷卻系統(tǒng)

102.1萬t/a65.93萬t/a5452.8萬度110t/h400t/h

存放各類酸堿廢液和固體廢棄物326由專業(yè)公司建站制造，供給氫氣、氮氣等SiHCl3鋼瓶柜各2個，PH、BH各一個326儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)給水管網(wǎng)供給廠處理由開發(fā)區(qū)的110KV變電所供給使用純水箱等組成的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。供汽綠化廢氣處理環(huán)保工程 廢水處理

10萬噸，有開發(fā)區(qū)的供氣管網(wǎng)供給。冷卻塔、加壓泵和冷凍機組成。側(cè)進展種草植樹，綠化面積51979m2，綠化到達38.8%對工程中產(chǎn)生的各種廢氣承受技術(shù)可行、經(jīng)濟合理的治理措氣體清洗器處理，各種廢氣均達標(biāo)排放州污水處理廠處理，經(jīng)處理達標(biāo)后，統(tǒng)一排入長江儀征段依據(jù)規(guī)定對產(chǎn)生的固體廢物進展處置(c)地。

占地面積、廠區(qū)布置占地面積：本工程總占地面積133334m2，所占土地為儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)區(qū)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)用廠區(qū)布置：廠區(qū)包括生產(chǎn)用房、辦公樓、關(guān)心生活設(shè)施、甲類化學(xué)品倉庫、倉庫、成品倉庫、氣體供給站、綜合動力站及進展預(yù)留用地等(d) 職工人數(shù)、工作制度220160人。355248520小時。銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書11生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗生產(chǎn)工藝流程一、單晶硅拋光片制作單晶硅棒固定水 切片

S1W1

水 純水洗分檔檢測

A：W11B：W12氮氣快速退火

研磨劑 粗拋光

S13氧氣水磨片劑水

倒角分檔檢測研磨純水洗清洗

S2W2S3S4W3G1S5

水精磨劑水

純水洗精拋光純水洗RCA清洗檢測

W13S14W14W15~21S15~19G9~13B：堿液氮氣

RCA清洗磨片檢測腐蝕A/B

W4~10S6~10G2~6A：G7、8S11B：S12

水 純水洗檢測包裝出貨

W223-1單晶硅拋光片工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：固定：將單晶硅棒固定在加工臺上。水和硅渣。300~500℃，硅片外表和氧氣發(fā)生反響，使硅片外表形成二氧化硅保護層。光阻層的平坦度。此過程中產(chǎn)生的硅粉承受水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。分檔檢測：為保證硅片的規(guī)格和質(zhì)量，對其進展檢測。此處會產(chǎn)生廢品。度與平行度，到達一個拋光過程可以處理的規(guī)格。此過程產(chǎn)生廢磨片劑。生有機廢氣和廢有機溶劑。RCA清洗：通過多道清洗去除硅片外表的顆粒物質(zhì)和金屬離子。具體工藝流程如下：硫酸、雙氧水SPM清洗水純水洗氫氟酸DHF清洗水純水洗GSW4GSW5氨水、雙氧水水水水APM清洗純水洗熱水洗純水洗GSW6W7W8鹽酸、雙氧水水氟化氫水HPM清洗純水洗DHF清洗純水洗GSW9GSW103-2RCA清洗工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖2 2 4 2 SPMHSOHOSPM溶液，SPM溶液具有很強的氧化力氣CO和HOSPM2 2 4 2 DHF清洗：用確定濃度的氫氟酸去除硅片外表的自然氧化膜，而附著在自然氧化膜上的金屬也被溶解到清洗液中，同時DHF抑制了氧化膜的形成。此過程產(chǎn)生氟化氫和廢氫氟酸。4 2 2 2 APM清洗：APMNHOH溶液、HOHO氧化作用生成氧化膜〔約6nm呈親水性，該氧化膜又被NH4OH4 2 2 2 2 HPMHClHOHPM2 DHF清洗：去除上一道工序在硅外表產(chǎn)生的氧化膜。RCARCA清洗。腐蝕A/B學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本工程一局部硅片承受腐蝕A，一局部承受腐蝕B。分檔監(jiān)測：對硅片進展損傷檢測，存在損傷的硅片重進展腐蝕。粗拋光：使用一次研磨劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。精拋光：使用精磨劑改善硅片外表的微粗糙程度，一般去除量1um以下，從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。檢測：檢查硅片是否符合要求，如不符合則從進展拋光或RCA清洗。檢測：查看硅片外表是否清潔，外表如不清潔則從刷洗，直至清潔。包裝：將單晶硅拋光片進展包裝。二、硅外延片制作純水洗檢測純水洗檢測外延生長水 W23HCl+N、H、2 2SiHCl、PH、3 3BH、N、石2 6 2

G14S20S21英、石墨硫酸、雙氧水SPM清洗G15S22水純水洗W24氨水堿清洗G16S23水純水洗測試檢驗W25S24真空包裝3-3硅外延生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖外延爐石英管清洗外延爐石英管清洗水洗混酸S23純水 W263-4外延爐石英管清洗工序及產(chǎn)污節(jié)點圖生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：純水洗：簡潔清洗，去除硅襯底材料外表的外表雜質(zhì)。外延生長：外延爐經(jīng)氯化氫和氮氣吹掃清洗后，通入SiHCl3和H2，為了滿足硅片的電學(xué)性能，還要摻入50ppm的特種氣體PH3或B2H6，紅外加熱至1100~1200℃下，通過化學(xué)氣相沉積法在硅襯底材料上生長一層與襯底材料具有一樣晶格排列的單晶硅，形成單晶硅外延片。有99%的SiHCl、PH、BH參與反響。此工序產(chǎn)生的廢氣主要是氯化氫，還有一些沒有反響的PH、BH3 3 2 6 3 2 6SiHCl；外延爐的石墨基座和石英夾套需要定期更換，產(chǎn)生廢石英和廢石墨。具體反響如下：3SiHCl H 10012Si3HCl3 22PH 1001202P3H 3 2BH 1001202B3H 2 6 2SPM清洗：去除硅片外表的雜質(zhì)。此處產(chǎn)生硫酸霧和廢硫酸。堿洗：去除上一道工序在硅片外表形成的氧化膜。雜質(zhì)顆粒等是否符合相應(yīng)的指標(biāo)。此處會產(chǎn)生一些廢品。真空包裝：通過工藝真空系統(tǒng)對產(chǎn)品進展真空包裝。外延爐石英管清洗：在外延生長中會在外延爐的石英管上沉積一些雜質(zhì)。主要原輔料及能源消耗主要原輔料、能源消耗見表3-3。3-3主要原輔料及能源消耗類別類別名稱研磨劑重要組份、規(guī)格、指標(biāo)99.99%Si70%水SiO210%，無機堿水89%SiO210%年耗量存貯量來源及運輸單晶硅棒2023t167t60t6t精磨劑40t4t單晶硅延片精磨劑10.2t1t≧45%ZrO≦33%2磨片劑SiO≦20%2101t9tFe2O≦0.5%于國內(nèi)購輸為主。3溶劑2C6H5CH3TiO≦2%56%24%4t0.4t固形分20%HNO63%54L5LHSO98%3750L312L工藝真空85.8萬m3壓縮空氣87萬m3活性炭1.5t穎水自來水HO1022045t——水網(wǎng)電電5452.8萬度——電網(wǎng)燃料燃?xì)庾匀粴?5.2萬m3——氣網(wǎng)類別名稱類別名稱HF7.2%年耗量存貯量來源及運輸混酸HNO341.2%280t1tCHCOOH318.1%氫氟酸鹽酸HF49%HCl35%HO2 2HO2 231%80t12t290t1t1t25t324NaOHNaOH氨水NaOH 48%NaOH 3%499.999%NHOH28%單晶硅拋光片SiHCl3HCl和硅外石英〔配件〕 SiO2延片石墨〔配件〕CPH3BH2 6H268t25t180t12t7.5t0.1t0.5t0.0002t0.0002t36萬m36t2.1t3t6萬片0.055t0.055t0.01t0.05t0.0002t0.0002tN299.99999%以上99.99999%90萬m32工程主要的生產(chǎn)、公用、貯運設(shè)備見表3-5。3-5主要設(shè)備清單類型設(shè)備名稱規(guī)格型號數(shù)量〔臺、套〕產(chǎn)地拋光機SILTEC99美國生產(chǎn)雙面拋光機SPEEDFAM10美國拋光機STRASBAUGH10美國類型 設(shè)備名稱規(guī)格型號 數(shù)量〔臺、套〕產(chǎn)地內(nèi)圓切片機QP－613IDSAWER 10美國磨片機OKAMOTO 12日本雙工位熱氧化爐OxidationFurnace 3美國全自動硅片清洗機DNS 4美國清洗機VerteqCobra 2美國清洗機AKRION 2美國外延爐ASM-EPSilon2023 6美國外延爐Epipro5000 6DASEpitaxy美國尾氣處理器Scrubber2德國外延膜測厚儀ECO/RS2美國生產(chǎn)電阻測試儀RESMAP1782美國外表顆粒度檢測儀WITS-CR822美國干預(yù)顯微鏡MX502日本烘箱T67602德國硅片清洗系統(tǒng)BoldCleanBench2美國硅片甩干機SRD-870/8802美國特種氣體柜Uni-tech6美國電阻率測試儀SSM4902美國燃?xì)鉄崴仩t2.8MW2進口公用純水設(shè)備160t/h1進口循環(huán)冷卻水系統(tǒng)4000kW1國產(chǎn)公用工程供電110KV153600kwh。供水工程供水由開發(fā)區(qū)的給水管網(wǎng)供給，開發(fā)區(qū)內(nèi)建有日供水力氣20萬噸的自來水廠二座。供熱10萬噸有開發(fā)區(qū)的供熱管網(wǎng)供給。純水制備110t/2099.8t/，產(chǎn)生的濃水和反沖洗水642t/d作為清下水排放，其超純水制備工藝流程如下：加絮凝劑自來水自來水原水箱原水泵機械過濾器活性炭吸附熱交換器清洗裝置pH加阻垢劑Ⅱ級高壓泵Ⅰ級高壓泵5μ保安過濾水箱水泵循環(huán)冷卻系統(tǒng)冷卻器真空脫氣裝置中間水箱中間水泵氮封純水箱生產(chǎn)工藝用水超過濾器器拋光樹脂床純水泵3-5超純水制備工藝流程圖排水工程承受雨污分流、清污分流的排水體制。廢水包括生產(chǎn)廢水1808.3t/d、生活污水49t/d和清潔排水648t/d。生產(chǎn)廢水經(jīng)過有效預(yù)處理到達接收標(biāo)準(zhǔn)后與生活污水通過開發(fā)區(qū)管網(wǎng)排入真州污水處理廠集中處理，達標(biāo)后排入長江儀征段。清潔排水通過雨水管網(wǎng)排入四周河流。氫氣、氮氣的供給生產(chǎn)工藝中需要的氫氣、氮氣由大宗氣體供給商在本廠區(qū)建筑配套氣站，供給氫氣和氮氣。氫氣制備原理：通過水電解便可得到一般氫氣，經(jīng)過催化除氧，吸附枯燥和過濾除塵后獲得高純氫氣；氮氣制備原理：變壓吸附制氮承受碳分子篩為吸附劑。確定的壓力下，碳分子篩對空氣中B減壓脫附，完成氧氮分別，得到所需純度的氮氣。污染源強及污染物排放量分析〔1〕大氣污染物產(chǎn)生及排放狀況工程在生產(chǎn)過程中排放的大氣污染物主要包括生產(chǎn)工藝廢氣：甲苯、異丙醇、HF、HCl、HSO、NOx、NH、SiHCl、PH、BH。2 4 3 3 3 2 6有組織排放廢氣工程在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有組織排放廢氣的種類與產(chǎn)生環(huán)節(jié)見表3-6。4#特種廢氣G144#特種廢氣G14、3FH、BH外延生長32 6排氣筒廢氣類別廢氣編號污染物名稱產(chǎn)生環(huán)節(jié)1#有機廢氣G1甲苯、異丙醇清洗G2、G9、G15H2SO4RCA清洗2#酸性廢氣G13、G17HFRCAA英管清洗G5、G12HClRCA清洗G8、G18NOx腐蝕A、外延爐石英管清洗3#堿性廢氣G4、G11、G16NH3RCA清洗、堿清洗〔揚州吸附，去除效率到達80%；酸性廢氣用堿液進展噴淋吸取，去除率為≥90%；對堿性廢氣承受酸95%以上；對特種廢氣HCl、SiHCl、PH、BH廢氣承受濕式外3 3 2 6延氣體清洗器去除，SiHCl3、HCl、B2H6的去除效率≥99%。擬建工程大氣污染物三本帳狀況見表3-7。銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書252 43332 62 43332 6污染物產(chǎn)生量削減量排放量甲苯0.1020.0820.020異丙醇0.2390.1910.048HF6.1345.5210.613HCl17.73217.5060.226HSO0.8180.7360.082NOx11.58710.4281.159NH4.9844.7350.249SiHCl0.1200.1190.001PHBH2×10-62×10-62×10-81.98×10-61.98×10-62×10-8無組織排放廢氣3 3 2 擬建工程所用的氫氟酸承受0.5L的PVC瓶存儲；鹽酸、硝酸、硫酸、氫氧化鈉溶液承受0.5L3L3L4L的PVCHCl、SiHCl、PH和BH用鋼瓶柜存儲，鋼瓶柜自帶減壓裝置、閥門盤。工程的生產(chǎn)車間設(shè)計為密閉的車間，廢氣收集效率較高，到達99%。實際物料裝運、使用、貯存和廢氣收集過程中廢3-83 3 2 123412345HFHClNOx污染源位置HSO各清洗區(qū)2 4NH3污染物產(chǎn)生量t/a面源面積m2面源高度m0.09601~90.008801~90.171201~90.012801~90.39601~9水污染物產(chǎn)生及排放狀況工程各類廢水的來源、類別及排放量詳見3-9。3-9廢水種類及水量狀況序號類別編號水量t/d1切片倒角廢水W1、W262研磨廢水W31073拋光廢水W13、W142144酸性廢水438.55堿性廢水W1253.56含氟廢水296.37含氨廢水5518一般廢水W22、W231129廢氣洗滌水W273010生活污水W314911清下水648依據(jù)儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)境影響評價與環(huán)境保護規(guī)劃，擬建工程所排生產(chǎn)廢水應(yīng)在廠內(nèi)處理達標(biāo)后統(tǒng)一排入長江儀征段。3-10。3-10擬建工程水污物三本帳一覽表單位t/a種類污染物名稱產(chǎn)生量廠內(nèi)削減量廠內(nèi)排放量進入環(huán)境的量COD92.3548.36283.99239.560SS130.19860.78569.41313.187廢水氟化物21.02314.6046.4196.419NH3-N12.2460.81111.4359.890TP0.0690.0000.0690.009清潔排水COD11.502011.50211.502噪聲污染產(chǎn)生及排放狀況本工程噪聲主要來源于各類機械設(shè)備，如冷凍機、廢氣塔、空壓機、鍋爐風(fēng)機、真空泵等。3-11。序號設(shè)備名稱1冷凍機序號設(shè)備名稱1冷凍機所在車間工段dB〔A〕75~85界距離m49治理措施降噪效果2冷卻塔70~75綜合動力站片車間片車間片車間70選用技術(shù)廠界噪聲達3廢氣塔85~9068、低噪聲到《工業(yè)企業(yè)設(shè)備；承受廠界噪聲標(biāo)4空調(diào)機組70~7561準(zhǔn)》降噪等措(GB12348-90)5水泵70~75綜合動力站90施；廠區(qū)內(nèi)3類標(biāo)準(zhǔn)6空壓機80~85綜合動力站49綠化的要求7鍋爐風(fēng)機80~85綜合動力站908真空泵80~85綜合動力站49對噪聲實行的主要防治措施為：選用技術(shù)先進低噪聲的設(shè)備、對設(shè)備進展隔聲減震、消聲吸聲等措施，使廠界噪聲到達《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-90)3類標(biāo)準(zhǔn)的要求。固體廢物產(chǎn)生及排放狀況建設(shè)工程產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片外表處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、外表處理廢物〔包括廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，具體產(chǎn)生與排放處置狀況見表3-17。工程中實行的固體廢物處理措施為：廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿和含氟污泥，屬于國家規(guī)定的危急廢物，托付具有相應(yīng)處理資質(zhì)的單位進展處置；廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等可由有關(guān)單位回收利用；生活垃圾等依據(jù)環(huán)衛(wèi)部門的有關(guān)要求進展處置。12名稱廢有機溶劑12名稱廢有機溶劑S5廢硫酸S6、S15、S20廢氫氟酸S7S10S16、HW42HW173.830液液處置方式3HW1796液單位處理由相應(yīng)的單位置求處理合計1956.5S19、S21、S244 廢鹽酸S9、S18、S21HW1720液5 廢混酸S11、S26HW17300液6 廢堿液S12HW17111液7 廢活性炭HW062固8 含氟污泥HW32620固9 廢氨水S8、S17、S20188固10 廢研磨劑141液11 廢拋光劑170液12 單晶硅渣71固13 廢石墨0.5固14 廢石英0.1固15 廢品125固16 生活垃圾78.1固44.1(a)

污染防治措施大氣污染防治措施評述大氣污染源依據(jù)工程分析，擬建工程的主要大氣污染源有：單晶硅拋光片制作產(chǎn)生的甲苯、異丙醇、HFHClNH3NOxNH3HClSiHCl3和微量的PH3、B2H6；外延爐的石英管清洗產(chǎn)生HF、NOx。大氣污染防治措施及可行性分析銀笛〔揚州〕微電子依據(jù)同類型企業(yè)廢氣治理措施的閱歷，對工程中的各種廢氣實行了技術(shù)可行、經(jīng)濟合理、可操作性較強的治理方案。廢氣處理主要工藝具體如下：有機廢氣清洗工序產(chǎn)生的有機廢氣甲苯、異丙醇通過集氣罩、風(fēng)管導(dǎo)入吸附設(shè)備，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯、異丙醇，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣。甲苯和異丙醇的去除率可80%4-1。集氣罩風(fēng)管集氣罩風(fēng)管吸附設(shè)備引風(fēng)機排放4-1有機廢氣處理系統(tǒng)流程圖酸、堿廢氣酸性或堿性廢氣通過集氣罩收集，由抽風(fēng)機將其抽至填充式廢氣洗滌塔，用稀堿液或稀酸液進展噴淋吸取處理，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣，所產(chǎn)生的廢氣洗滌水進入廢氣洗滌循環(huán)水池，該水池中的排污水進入廢水處理系統(tǒng)進展處理。酸、堿廢氣系統(tǒng)處理力氣分別為80000m3/h，15000m3/h。4-2。洗滌液廢氣 支風(fēng)管 主風(fēng)管 洗滌塔 引風(fēng)機 排放進入廢水處理系統(tǒng) 廢氣洗滌循環(huán)水池4-2酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖洗滌塔承受氣液逆向吸取方式處理，即吸取液霧撒而下形成小水滴，氣體由塔底向上逆流而上，使氣體充分接觸。承受具疏松外表的填充濾料，較大的外表積，可使氣體、液體停留時間延長，提高吸取效率。凈化后的廢氣通過排氣筒排入大氣。酸性廢氣HHClNO、硫酸霧90%，堿性廢氣〔NH3〕95%以上。特種廢氣對外延生產(chǎn)工序產(chǎn)生的特種廢氣HClSiHCl3

以及微量的PH3

和BH2 65段水噴淋和水洗方式對外延尾氣進展充分的水洗和稀釋，將其中絕大局部的HCl、SiHCl3

、BH 和微2 6量的PH 溶解于水，經(jīng)過水洗后的尾氣在設(shè)備中被大量的空氣稀釋，再3通過管道向室外高空排放；廢氣洗滌水進入廢水處理設(shè)施處理。濕式外延清洗器設(shè)有手動的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并承受氮氣密封裝置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒有尾氣泄漏；通過水流量表和調(diào)整閥，用于水流量調(diào)整，以滿足使用；承受不銹鋼做骨架，增加強度和仿腐蝕力氣；其他均承受透亮PVC材料，抗腐蝕和阻燃力氣強，同時還便于觀測內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備構(gòu)造簡潔、防爆、牢靠性高。特種廢氣HCl、SiHCl

BH

99%PH的1%。

3 2 6 3上述各種廢氣治理措施是半導(dǎo)體、IC企業(yè)普遍承受、閱歷較成熟的方案。只要加強治理、嚴(yán)格依據(jù)廢氣治理措施進展運營，本工程中產(chǎn)生的廢氣污染物在滿足達標(biāo)排放的前提下，會盡可能的削減向四周環(huán)境的排放量，使其對大氣環(huán)境的影響得到合理的把握與減緩。水污染防治措施評述廢水處理工藝擬建工程廢水設(shè)施建設(shè)遵循雨污分流、清污分流、分質(zhì)處理的原則。依據(jù)工程中廢水來源、廢水水質(zhì)的不同，將廢水按種類分為切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氟廢水、含氨廢水、一般清洗水、廢氣洗滌水、生活污水和清下水〔包括鍋爐排水、純水制備產(chǎn)生的濃水、空調(diào)系統(tǒng)排水〕。其中生產(chǎn)工藝廢水產(chǎn)生量為1778.3t/d，廢氣洗滌水為30t/d，生活污水49t/d。擬建工程所排總量為1857.3t/d，廢水中的主要污染因子為：COD、SS、氟化物、NH3-N、TP。依據(jù)建設(shè)工程的實際狀況，并結(jié)合開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃與環(huán)境保護規(guī)劃，擬建工程對所產(chǎn)生的各種廢水實行的處理排放方案為：①含氟廢水含氟廢水來源于單晶硅拋光片的清洗工序、外延爐石英管的清洗。含氟廢水排至生產(chǎn)廢水處理站相應(yīng)的集水池。含氟廢水承受化學(xué)沉淀法進展處理。廢水先進入混凝反響槽，在凝反響槽內(nèi)投加HSO、PAC、PCM、Ca(OH)，然后進入沉淀池進展固液分別。廢水再進入進入廢水調(diào)2 4 2節(jié)池。沉淀池污泥經(jīng)污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機干化后運至指定地點填埋。②酸堿廢水酸堿廢水主要來自于各清洗工序、廢氣洗滌水，此類廢水排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)整池中。由于酸堿廢水中主要成分是無機酸、堿，故承受化學(xué)中和法處理。在反響槽中投加NaOH〔或Ca(OH)、HSO使廢水pH6-9。2 2 4③切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水切片倒角用水噴淋硅粉產(chǎn)生的切片倒角廢水；研磨廢水主要來源于研磨清洗工序；拋光廢,然后排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)整池中，再用泵送入混凝反響槽進展沉淀處理。④一般廢水一般廢水來自拋光片的最終一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類廢水較為清潔，直接排至混合廢水調(diào)整池中，與其他廢水一起處理。⑤生活污水依據(jù)開發(fā)區(qū)的要求，建設(shè)后的生活污水經(jīng)化糞池簡潔處理后，進入真州污水處理廠集中處理。經(jīng)過廢水處理設(shè)施處理過的廢水到達真州污水處理廠的接收標(biāo)準(zhǔn)，與生活污水接入真州污水處理廠處理到達《城鎮(zhèn)污水處理廠排放標(biāo)準(zhǔn)〔JB18198-2023〕表1中一級B級標(biāo)準(zhǔn)后，統(tǒng)一銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書排入長江儀征段，廢水排放標(biāo)準(zhǔn)見表4-1。4-1地表水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及廢水排放標(biāo)準(zhǔn)真州污水處理廠自建廢水站排放真州污水處理廠排放標(biāo)工程的接收標(biāo)準(zhǔn)mg/L標(biāo)準(zhǔn)值mg/L準(zhǔn)限值mg/LPH(無量綱)6—96-96-9COD500≤20060SS400≤20020TP8.0≤50.5NH3-N35≤3515氟化物20≤1010廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有氟化物、PH值的自動監(jiān)控儀表，并設(shè)有常規(guī)化學(xué)器，定時檢測水中有害成分，監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。4-3。含氟廢水Ca(OH)、2

P1HF調(diào)整池

研磨廢水拋光廢水HSO 、

混凝反響槽2 4PACPAM酸性廢水堿性廢水一般廢水

沉淀槽28廢水調(diào)整池

沉淀池銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書32污泥處理回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥槽進展污泥的濃縮脫水，脫水的對象是污泥中的空隙水，濃縮的目的是為了削減污泥體積。濃縮后的污泥由泵送入到廂式壓濾機，脫水的泥餅裝袋后托付處理。污泥濃縮池、貯泥罐、廂式壓濾機產(chǎn)生的濾液經(jīng)過濾液儲池收集后泵入綜合廢水調(diào)整池。真州污水處理廠概況真州污水處理廠一期工程設(shè)計規(guī)模為2.5萬t/d,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。真州污水處202310月建成投入試運行。真州污水處理廠效勞范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚州化學(xué)工業(yè)園〔管道路以東、儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)〔包括船舶工業(yè)園〕等范圍。真州污水處理廠廢水處理工藝承受改進的A2/O工藝，污泥處理承受一體化帶式濃縮脫水4-4。真州污水處理廠尾水處理到達《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18918-2023)中的一級B標(biāo)準(zhǔn)后排入長江儀征段。進進水粗 水格 泵柵 房

細(xì) 沉格 砂柵 池回流 沉渣外運剩余污泥

鼓風(fēng)機房曝氣池

二沉池污泥泵房

紫外線殺毒接 排觸 江消 泵毒

出水至長江儀征段儲泥 濃縮脫水間 泥餅外運4-4真州污水處理廠廢水處理工藝流程圖其工藝主要特點如下:①污染物去除效率高,運行穩(wěn)定;②承受A2/O工藝,可將經(jīng)過一級物理處理后的污水、通過厭氧、缺氧、好氧的三個生物處理過程，將水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸鹽同時去除；③污泥沉降性能好；④能較好的耐受沖擊負(fù)荷；⑤出水水質(zhì)穩(wěn)定。建設(shè)工程在污水收集范圍之內(nèi)。建設(shè)工程廢水排放量為1857.3t/d,僅為污水處理廠一期規(guī)模的14.3%，在其處理力氣之內(nèi)。本工程廢水經(jīng)廠區(qū)自建廢水處理設(shè)施處理后各項污染物濃度均低于接收標(biāo)準(zhǔn)限值。目前儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在樂觀建設(shè)中，打算在建設(shè)工程投產(chǎn)前將全部完工并投入使用，本工程建設(shè)期為一年，與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠連接。因此從接收水量、接收標(biāo)準(zhǔn)、時間和管網(wǎng)布設(shè)等方面綜合考慮，本工程廢水排入真州污水處理廠是可行的。噪聲污染防治措施評述①選用低噪聲設(shè)備；②設(shè)置減振、隔振根底：對有振動的設(shè)備設(shè)置減振臺、隔振根底以減少噪聲產(chǎn)生和傳遞；③隔聲、吸音處理：對空壓機組、冷凍機組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備，設(shè)置隔音門窗，墻面實行吸音板。以削減噪聲的對外傳播。此外，承受封閉式廠房、隔聲墻壁，隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音，利用建筑物隔聲減輕污染；同時在廠區(qū)加強綠化也可降低噪聲對裝置區(qū)外的影響。經(jīng)上述治理后可有效的削減各類噪聲源在廠區(qū)內(nèi)外的集中，降低噪聲對環(huán)境造成的污染，廠區(qū)四周環(huán)境噪聲根本能到達《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》中的Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。固體〔廢液〕污染防治措施評述建設(shè)工程產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片外表處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、外表處理廢物〔廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、1961t/a。本工程依據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來源、組成及性質(zhì)，比照《國家危急廢物名錄/方案如下：危急廢物:對屬于國家規(guī)定危急廢物之列的固體廢物，必需托付有資質(zhì)的處置單位進行妥當(dāng)處理。其中廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危急廢物，應(yīng)依據(jù)危急廢物處置的有關(guān)規(guī)定，托付具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進展無害化處理。一般固體廢物：廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等具有確定再利用價值的廢物，由相應(yīng)的廢品回收部門進展收購；對員工辦公與生活中產(chǎn)生的生活垃圾，在廠內(nèi)定點收集儲存，依據(jù)當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護和衛(wèi)生治理部門的要求統(tǒng)一處置。/處理率到達了100%，沒有直接外排。非正常排放防范措施對廢水處理裝置進水水質(zhì)進展常規(guī)監(jiān)測，準(zhǔn)時調(diào)整運行參數(shù)，確保穩(wěn)定達標(biāo)。加強安全治理，建立崗位責(zé)任制，避開因治理不當(dāng)、操作失誤等，造成不達標(biāo)排放。對水泵、閥門等定期檢修維護，防止跑、冒、滴、漏。對各種化學(xué)藥品的儲存與使用，要嚴(yán)守治理制度與操作要求，嚴(yán)防泄露、著火等意外事故，消退安全隱患制定定時巡檢制度，對污水、廢氣處理設(shè)施非正常狀況準(zhǔn)時覺察、準(zhǔn)時處理，盡量削減污染物外排。綠化2 綠化在防治污染保護環(huán)境方面起著特別作用。綠色植物具有吸附塵埃、吸取CO、NO、SO2、凈化空氣、減弱噪聲、調(diào)整溫度濕度、改善小氣候的功能。因此，在加強“三廢”治理的同2 1：綠化原則2 2 在廠區(qū)綠化設(shè)計中，主要以喬、灌木以及草地相結(jié)合的自然式布局為主，其主要優(yōu)點為：利用多種植物在空間上的協(xié)作，可以充分吸取塵埃，吸取CO、NO、SO2 2 喬木、灌木、草地組合遵循以下幾放面的協(xié)調(diào)與統(tǒng)一：樹木的大小喬木與灌木均有大小之分，各種樹又表現(xiàn)不同的高矮尺度。喬、灌木的妥當(dāng)搭配，可使樹叢具有豐富的層次感。在配置中要綜合考慮整體中各樹木的平、立面關(guān)系，不同高度的樹木做到錯落有致。常綠與落葉常綠樹可以穩(wěn)定地保持廠區(qū)四季綠貌。落葉樹一般季相特色比較明顯，尤其是花木和一些結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。樹木的栽植樹木栽植有孤植、對植、列植、從植和群植、林植等多種。其中以列植、從植和群植方式為主，在具體應(yīng)用中依據(jù)具體狀況結(jié)合起來應(yīng)用。草地的配置廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項重要的、具有普遍意義的綠化工程。廠區(qū)中暴露的地面〔道路除外〕應(yīng)全部用草皮掩蓋。綠化方案廠區(qū)綠化承受集中與分散相結(jié)合的方式進展。廠區(qū)空地較多，承受集中綠化方式，大片空地以裝飾性草坪為主。該類草種的選擇，野牛草、羊胡子草等。在草坪中間孤植、對植、列植、從植一些高大的喬木，主要起點綴作用，可以承受開花喬木并具有顯著顏色效果的樹種，如合歡、玉蘭、泡桐、木棉、巨紫荊等都是喬木觀花樹種；著色率較高的樹種有：紫薇、紅楓、紫葉李、楓香、三角楓、黃櫨、銀杏、柿樹、黃連木、烏桕、池杉、重陽木、石楠、白蠟等。道路兩旁綠化以種植行道樹為主，考慮在道路兩側(cè)種植高大喬木。形成行列式的林香樟等為骨干，輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。中層可選用珊瑚、紫薇、月季等開花灌木，地層草坪綠化。廠外主干道種植鉆天揚、白樺、云杉。車間人行道兩側(cè)承受側(cè)柏、小葉黃楊等綠籬輔之以夾竹桃、紫薇等灌木及草本花卉等植物。，種植四時花草，沿步行小道兩側(cè)設(shè)植綠籬，花卉在整個廠區(qū)中的應(yīng)用不如樹木和草坪那樣廣泛，規(guī)劃時又分為花壇、花境、花臺等幾種方式。一般用一、二年生草花和宿根性花卉，不同花卉應(yīng)彼此參差穿插，疏密相間，并留意景觀的層次要求。、廣玉蘭等常綠喬木為主，輔之以梧桐、紫荊、金絲桃等，低層以結(jié)縷等草皮綠化。綠化面積建設(shè)工程綠化面積約占總占地面積的38.8%。排污口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置廢水排放口標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置本建工程廢水包括生活污水和生產(chǎn)廢水，生活污水排入污水廠，生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水處[蘇環(huán)控〔97〕122號]，建設(shè)工程廠區(qū)的排水體制必需實施“雨污分流”制，公司設(shè)一個廢水總排放口，一個雨水排放口。同時排污口必需進展標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，便于采樣、監(jiān)測，并設(shè)置排污口標(biāo)志。廢氣排氣筒〔煙囪〕標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置建設(shè)工程廢氣排放口必需進展標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)，按要求裝好標(biāo)志牌，廢氣排氣筒高度應(yīng)符合國家大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。固定噪聲污染源標(biāo)準(zhǔn)化標(biāo)志牌設(shè)置固定噪聲污染源對邊界影響最大處，應(yīng)設(shè)置噪聲監(jiān)測點，依據(jù)上述原則并兼顧廠界外形在邊界上設(shè)置噪聲監(jiān)測點同時設(shè)置標(biāo)志牌。固體廢物貯存〔處置〕場所標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置露天貯存工業(yè)固體廢物的，應(yīng)當(dāng)設(shè)置專用的貯存設(shè)施或堆放場地；并依據(jù)實際狀況實行苫布遮蓋或適時灑水等，以防二次揚塵污染。固體廢物貯存〔處置〕場所應(yīng)在醒目處設(shè)置標(biāo)志牌。環(huán)保投資及“三同時”4-24-3。污染源環(huán)保設(shè)施名稱污染源環(huán)保設(shè)施名稱100效果廢水處理系統(tǒng)隔聲、承受低噪樹木、草坪等到達標(biāo)準(zhǔn)要求200達標(biāo)排放設(shè)備自帶主體工程同時建成100廠界達標(biāo)固體廢物綠化101504零排放綠化率為38.8%滿足有關(guān)要求與廢水處理設(shè)施同步設(shè)施同步排污口整治流量計、COD在線監(jiān)測儀、排污口標(biāo)志生產(chǎn)廢水管網(wǎng)4管網(wǎng)建設(shè)8576與廢水、廢氣等處理設(shè)施同步與廠區(qū)基建同步序號 名稱

4-3“三同時”驗收表驗收內(nèi)容 處理效果生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)廢水處理站經(jīng)過有效預(yù)處

到達污水廠的接收治設(shè)施 標(biāo)準(zhǔn)處理。有機廢氣承受活性炭吸附，去除效率到達80%；酸、堿廢氣承受填充式洗滌塔進展凈大氣污染化處理，去除率到達90%、95%；特性廢氣滿足有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。防治設(shè)施要求，排氣筒高度滿足要求。噪聲污染防治措施通過建筑物阻隔、綠化等減聲降噪。固體廢物治理措施

零排放

圾依據(jù)環(huán)衛(wèi)部門要求處置。在廠內(nèi)四周、道路兩側(cè)、生產(chǎn)廠房、宿舍等綠化面積51979四周種植樹木、鋪設(shè)草坪等。滿足相關(guān)治理部門

的要求，具有可操作中的軟、硬件要求。性清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟分析產(chǎn)業(yè)政策相符性分析銀笛〔揚州〕微電子是加坡銀笛科技〔控股〕私人股份在儀征市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)區(qū)投資8000萬美金建立的，制作單晶硅拋光片和硅外延片，依據(jù)《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》〔GB/T4757-2023，本工程屬于C4061電子元件及組件制造?！?023年修訂〕中“鼓舞外商投資產(chǎn)業(yè)名目”制造業(yè)中其次十局部第10條“半導(dǎo)體、元器件專用材料開發(fā)、生產(chǎn)”與國家發(fā)改委、科技部、商務(wù)部《當(dāng)前優(yōu)先進展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點領(lǐng)域指南〔2023年度〕信息中的第18項“電子材料”中的相關(guān)內(nèi)容；符合省經(jīng)貿(mào)委2023年《江蘇省工商領(lǐng)域鼓舞投資的產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)品和技術(shù)導(dǎo)向名目》中制造業(yè)類第十九項電子及通信設(shè)備制造業(yè)第3項和蘇發(fā)改投資發(fā)[2023]198號《江蘇省鼓舞投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)名目》中制造業(yè)類第八項電子及通信設(shè)備制造業(yè)第4項的內(nèi)容；符2023年第40號《產(chǎn)業(yè)構(gòu)造調(diào)整指導(dǎo)名目〔2023年本〕鼓舞類其次23條“型電子元器件制造”的內(nèi)容。綜上所述，本工程的建設(shè)符合國家的相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策。清潔生產(chǎn)清潔生產(chǎn)是對企業(yè)提出要求，從原料、生產(chǎn)、產(chǎn)品和效勞全過程，削減和節(jié)約原材料、能源，淘汰有毒材料；不斷實行改進設(shè)計工藝、承受先進的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善治理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，削減或者避開生產(chǎn)、效勞和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減免或者消退對人類安康和環(huán)境的危害。本工程為半導(dǎo)體單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)，具有特種工藝，特種原材料和特種設(shè)備的特點，為此對工程的清潔生產(chǎn)進展分析和提出存在的問題。生產(chǎn)工藝與設(shè)備a、本工程為單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)。單晶硅棒經(jīng)切、磨、拋、清洗而成，在進展機械拋光的同時，用化學(xué)方法做外表處理，即消退應(yīng)力，又保證硅片外表平坦度，再經(jīng)過超純清洗技術(shù)去除硅片加工過程中產(chǎn)生的外表污染；硅外延片則以每臺外延爐為單元組成生產(chǎn)流程，硅襯外延片。生產(chǎn)工藝流程簡潔，各生產(chǎn)制程配料合理，技術(shù)穩(wěn)定，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提下，做到了生產(chǎn)工藝的清潔性。b、特種氣體三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷、氯化氫存于進口鋼瓶柜，氫氣、氮氣、高純氮由大宗氣體供給商在廠區(qū)內(nèi)建站制造，這些氣體通過氣體管道、安排閥供給，使用量相對較少，不與人體和環(huán)境接觸，具有泄漏警報裝置。c、關(guān)心材料主要是硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸、混酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液和氨水等清洗液，清洗方式承受浸漬清洗，清洗液均屢次重復(fù)使用，定期更換并分類用專用容器存放，收集后托付有資質(zhì)的單位處理。d、工程選用的生產(chǎn)設(shè)備均為進口設(shè)備，計算機程序把握，使用清潔能源，氧化爐和外延爐承受電加熱的方法，濕式外延氣體清洗器、酸堿廢氣洗滌塔的凈化效率較高，成套設(shè)備及使用均通過國際或歐洲相關(guān)機構(gòu)的認(rèn)證和培訓(xùn)，運行安全牢靠。單位產(chǎn)品的物耗和排放工程生產(chǎn)單位產(chǎn)品的能耗、物耗和單位產(chǎn)物量見表5-1。5-1單位產(chǎn)品的能耗和產(chǎn)污序號工程單晶硅拋光片硅外延片1生產(chǎn)規(guī)模2原材料消耗0.67kg/片0.675kg/片3穎水耗0.246t/片0.196t/片4廢水0.181t/片0.145t/片清潔生產(chǎn)保障措施清潔生產(chǎn)是要求從原材料、生產(chǎn)工藝到產(chǎn)品效勞的全過程把握，徹底轉(zhuǎn)變單純的末端治理的污染防治模式，因此，必需建立完善牢靠的保障體系，把清潔生產(chǎn)治理放在首要位置，才能保障保證清潔生產(chǎn)的落實，因此建議銀笛〔揚州〕微電子實行以下清潔生產(chǎn)保障措施：成立清潔生產(chǎn)治理機構(gòu)，建立獎懲考核目標(biāo)責(zé)任制度。清潔生產(chǎn)治理機構(gòu)應(yīng)負(fù)責(zé)整個公司各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)的清潔生產(chǎn)治理工作，制定清潔生產(chǎn)治理規(guī)程和獎懲考核目標(biāo)，把把握使用化學(xué)物品、節(jié)能、降耗納入到生產(chǎn)治理目標(biāo)中。開展清潔生產(chǎn)審計工作，由公司總經(jīng)理任審計小組組長，為開展清潔生產(chǎn)審計工作奠定良好根底。審計小組應(yīng)制定并實施削減能源，水和原材料使用，消退或削減產(chǎn)品和生產(chǎn)過程中有害物質(zhì)的使用，削減各種廢物排放量。加強業(yè)務(wù)培訓(xùn)和宣傳教育工作，使每個職工樹立節(jié)能意識，環(huán)保意識，保障清潔生產(chǎn)的目的順當(dāng)實施。循環(huán)經(jīng)濟循環(huán)經(jīng)濟主要遵循“減量化、再利用、資源化”三大原則，本工程以科技進步為動力，以清潔審查為載體，以提高資源能源的利用效率、削減廢物排放為主要目的，努力構(gòu)建全的循環(huán)經(jīng)濟進展體系。本工程對生產(chǎn)中排放的廢氣實行分類的收集方式，確保負(fù)壓操作，對酸、堿廢氣承受填充洗滌塔處理；特種廢氣承受專用的濕式外延氣體清洗器處理，在保證各污染物達標(biāo)排放的前提下，盡量降低向四周環(huán)境排放的污染物總量。在清洗方式上承受淋洗、噴洗的方法，酸、堿廢氣的噴淋液屢次重復(fù)利用，循環(huán)冷卻系統(tǒng)的水循環(huán)利用，大大節(jié)約穎水用量。本工程使用的硫酸、鹽酸、氫氟酸、硝酸、雙氧水、氨水和氫氧化鈉溶液等清洗液重復(fù)利用。工程產(chǎn)生的危急廢物全部托付處理，一般固廢最大限度的利用，各種固體廢物取向明確。源頭上削減污染物的產(chǎn)生，亦可削減后續(xù)污染治理費用，符合循環(huán)經(jīng)濟的要求。綜上所述，建設(shè)工程符合清潔生產(chǎn)以及循環(huán)經(jīng)濟的要求。66.1(a)

環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測與評價大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀〔1〕監(jiān)測布點、監(jiān)測工程在以建設(shè)工程所在地為中心的評價范圍內(nèi)，按環(huán)境功能區(qū)與主導(dǎo)風(fēng)向相結(jié)合的布點原則，3個大氣監(jiān)測點，監(jiān)測點位、監(jiān)測工程及所屬功能區(qū)見表12-2。監(jiān)測點點位名稱方位m監(jiān)測點點位名稱方位m監(jiān)測工程所在環(huán)境功能二類區(qū)SO、NO、PMHCl二類區(qū)2210化物、NH、異丙醇、甲苯3二類區(qū)編號G1建設(shè)工程所在地——G2蒲心村南100G3園區(qū)管委會西偏北1700〔2〕監(jiān)測結(jié)果通過監(jiān)測結(jié)果的統(tǒng)計分析，可得知各監(jiān)測點PM 、NO、SO、氟化物、氨、氯化氫小時濃10 2 2度值和日平均濃度值都沒有消滅超標(biāo)現(xiàn)象；硫酸霧、異丙醇、甲苯均未檢出，G3〔園區(qū)管委會〕監(jiān)測點的氟化物也未檢出。6.2 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價地表水環(huán)境質(zhì)量斷面和監(jiān)測點布設(shè)斷面監(jiān)測點布設(shè)為：長江斷面為每斷面布設(shè)3個測點，分別離北岸50m、100m、250m。取0.5m。Ⅰ水體 ⅡⅢ水質(zhì)現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果

6-2地表水現(xiàn)狀調(diào)查斷面布設(shè)斷面位置真州污水處理廠排口上游500m真州污水處理廠排口下游1000m真州污水處理廠排口下游2023m長江儀征段水質(zhì)尚可，長江〔Ⅰ～Ⅲ斷面〕評價江段各斷面除SS外其余各監(jiān)測指標(biāo)：pH、COD、氨氮、氟化物標(biāo)準(zhǔn)指數(shù)P均小于1，均到達了《地表水環(huán)境質(zhì)量〔GB3838-2023〕Ⅲ類ij水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)限值，能滿足地表水Ⅲ類水體功能要求。環(huán)境噪聲現(xiàn)狀評價監(jiān)測布點83-1。監(jiān)測結(jié)果監(jiān)測結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值比照評價說明，目前四周聲環(huán)境質(zhì)量較好，各測點晝夜監(jiān)測值均達標(biāo)。環(huán)境影響推想及評價大氣環(huán)境影響推想2 有風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物〔NO、NH2 對四周環(huán)境的影響很小。在各類穩(wěn)定度下顆粒物、氯化氫、氨、氮氧化物、氟化物的最大落地濃度均小于標(biāo)準(zhǔn)限值。靜小風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物〔煙塵、NO2、NH3、氟化物、氯化氫〕排放對四周環(huán)境的影響雖然大于有風(fēng)氣象條件，但各穩(wěn)定度下NO2、NH3、氟化物、氯化氫的最大落地濃度均小于標(biāo)準(zhǔn)限值，對四周環(huán)境影響較小。無組織排放的氟化氫、氯化氫、硫酸霧、氨氣、氮氧化物的廠界濃度達標(biāo)。無組織排放的100米。地表水環(huán)境影響推想在正常狀況下，不會對長江儀征段水質(zhì)產(chǎn)生大的影響。事故排放：由于事故時廢水均進入事故池，不會排入水體，因此不會對地表水環(huán)境產(chǎn)生不利影響。聲環(huán)境影響推想建設(shè)工程廠界各推想點的晝間、夜間噪聲推想值均可到達《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》中相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求。因此待工程建成后，其四周噪聲能夠到達標(biāo)準(zhǔn)要求。響。

固廢環(huán)境影響分析建設(shè)工程產(chǎn)生的固廢〔液〕均得到妥當(dāng)處置，不向環(huán)境排放，因此不會對環(huán)境產(chǎn)生有害影總量把握分析總量把握因子依據(jù)《江蘇省排放污染物總量把握暫行規(guī)定》的要求，結(jié)合建設(shè)工程的具體特征，確定本工程的總量把握因子為：大氣污染總量把握因子：NOx、甲苯、異丙醇、硫酸霧、氯化氫、氟化氫、氨氣、三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷；廢水總量把握因子：COD、SS、NH3-N、TP、氟化物；固體廢物總量把握因子：工業(yè)固體廢物?？偭堪盐罩笜?biāo)依據(jù)工程分析核算結(jié)果，結(jié)合總量把握的根本原則和要求，該工程廢水污染物排放的總量10-1。種類污染物產(chǎn)生量自身削減量廠內(nèi)排放量進入環(huán)境量建議申請量廢氣3種類污染物產(chǎn)生量自身削減量廠內(nèi)排放量進入環(huán)境量建議申請量廢氣3332 6廢水3清潔排水甲苯0.1020.082——0.0200.020異丙醇0.2390.191——0.0480.048HF6.1345.521——0.6130.613HCl17.73217.506——0.2260.226HSO2 40.8180.736——0.0820.082NOx11.58710.428——1.1591.159NH4.9844.735——0.2490.249SiHClPHBH0.1202×10-62×10-60.1192×10-81.98×10-6——————0.0011.98×10-62×10-80.0011.98×10-62×10-8COD92.3548.36283.99239.56039.560SS130.19860.78569.41313.18713.187氟化物21.02314.6046.4196.4196.419NH-N12.2460.81111.4359.8909.890TP0.0690.0000.0690.0090.009COD11.5020——11.50211.502總量平衡方案本工程為建工程，污染物總量把握首先考慮落實個工程污染治理措施，實現(xiàn)污染物達標(biāo)排放，然后在技術(shù)經(jīng)濟合理條件下，盡可能削減污染物對四周環(huán)境的排放量。工程排放的污染物總量應(yīng)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保主管部門申請，有環(huán)保部門在區(qū)域內(nèi)進展調(diào)劑，確保區(qū)域內(nèi)的污染物排放總量平衡。依據(jù)儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的規(guī)劃狀況，COD、SS、NH3-N、TP納入真州污水處理廠排放總量之中，氟化物和大氣污染排放指標(biāo)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門申請，在區(qū)域內(nèi)平衡調(diào)劑。銀笛〔揚州〕微電子將承受環(huán)保部門的污染物排放總量的安排與監(jiān)控。銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書銀笛〔揚州〕微電子建設(shè)工程環(huán)境影響報告書43環(huán)境風(fēng)險評價風(fēng)險評價結(jié)論本工程使用的特種廢氣PH3、B2H6、HCl其有用量很少，存儲量也很少，承受特總氣體柜存儲；對于氫氟酸、硫酸、鹽酸、硝酸、混酸、氨水和氫氧化鈉溶液承受合理的存儲方式存放于化學(xué)品倉庫中。依據(jù)相關(guān)導(dǎo)則判定，本工程不夠成重大危急源，進展二級評價。本工程的風(fēng)險類型可能是火災(zāi)、爆炸、泄露，此類事故發(fā)生的風(fēng)險值遠(yuǎn)小于化工企業(yè)風(fēng)險統(tǒng)計值，因此本工程的風(fēng)險是可承受的。事故防范事故防范措施合理布置總平面和工藝布局，主體建筑劃分為辦公區(qū)、拋光生產(chǎn)區(qū)、外延生產(chǎn)區(qū)、綜合動力站、倉庫和關(guān)心生活設(shè)施。廠區(qū)設(shè)置環(huán)行通道，建筑物間距滿足規(guī)劃要求，保持充分緩沖空間和人物隔離距離。易爆區(qū)域的防范對具有爆炸危急的區(qū)域〔氣體交接區(qū)、為期處理間等〕設(shè)有防暴與泄爆面積和安全的250化學(xué)藥品的防范集中使用化學(xué)液的拋光片、外延片清洗間需設(shè)緊急噴淋洗眼器及安全沖淋裝置。使用品運輸、儲存、使用制度和操作規(guī)程的規(guī)定，配備現(xiàn)場急救設(shè)備、藥品，從事生產(chǎn)人員均培訓(xùn)持證上崗。特種