JJF 2067-2023射線能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF2067—2023

X射線能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforEnergy-DispersiveX-raySpectrometers

2023-10-12發(fā)布2024-04-12實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF2067—2023

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Energy-DispersiveX-raySpectrometers

歸口單位全國(guó)新材料與納米計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位山東省計(jì)量科學(xué)研究院

:

中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

蘇州市計(jì)量測(cè)試院

參加起草單位上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

:

本規(guī)范委托全國(guó)新材料與納米計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF2067—2023

本規(guī)范主要起草人

:

曹叢山東省計(jì)量科學(xué)研究院

()

李適中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

王云祥蘇州市計(jì)量測(cè)試院

()

參加起草人

:

李旭中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

趙東升山東省計(jì)量科學(xué)研究院

()

施玉書中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

周瑩上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

JJF2067—2023

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和計(jì)量單位

3………………………(1)

射線能譜儀

3.1X………………………(1)

譜峰半高寬

3.2………………………(1)

定量分析

3.3……………(1)

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

3.4……………(1)

過壓比

3.5………………(1)

死時(shí)間

3.6………………(2)

概述

4……………………(2)

計(jì)量特性

5………………(2)

能量分辨率

5.1…………(2)

元素含量測(cè)量的相對(duì)示值誤差

5.2……………………(3)

元素含量測(cè)量的重復(fù)性

5.3……………(3)

校準(zhǔn)條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備

6.2………………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(4)

校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

7.1…………(4)

能量分辨率

7.2…………(4)

元素含量測(cè)量的相對(duì)示值誤差

7.3……………………(4)

元素含量測(cè)量的重復(fù)性

7.4……………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(5)

附錄射線能譜儀元素含量測(cè)量的相對(duì)示值誤差測(cè)量不確定度評(píng)定示例

AX……(6)

附錄射線能譜儀校準(zhǔn)記錄格式

BX…………………(8)

附錄射線能譜儀校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式

CX()………(10)

Ⅰ

JJF2067—2023

引言

通用計(jì)量術(shù)語及定義國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1001《》、JJF1071—2010《》

和測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)

JJF1059.1—2012《》

性文件本規(guī)范主要參考了微束分析能譜法定量分析

。GB/T17359—2012《》、

微束分析電子探針顯微分析射線能譜儀主要性能參數(shù)及核查

GB/T20726—2015《X

方法微束分析電子探針顯微分析術(shù)語

》、GB/T21636—2021《(EPMA)》、

微束分析掃描電鏡能譜儀定量分析參數(shù)的測(cè)定方法等相關(guān)國(guó)

GB/T25189—2010《》

家標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容

。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF2067—2023

X射線能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于基于掃描電子顯微鏡或者電子探針的射線能譜儀的校準(zhǔn)

X。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件

:

國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071

微束分析電子探針顯微分析射線能譜儀主要性能參數(shù)及

GB/T20726—2015X

核查方法

微束分析電子探針顯微分析術(shù)語

GB/T21636—2021(EPMA)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和計(jì)量單位

和界定的及下列術(shù)語和定義適用于本規(guī)范

GB/T20726—2015GB/T21636—2021。

射線能譜儀

3.1Xenergy-dispersiveX-rayspectrometer;EDS

同時(shí)記錄整個(gè)射線譜來測(cè)定射線強(qiáng)度作為輻射能量函數(shù)的裝置

X,X。

注:射線能譜儀包括固態(tài)探測(cè)器、前置放大器和脈沖處理器。探測(cè)器將射線光子能轉(zhuǎn)換為

XX

電脈沖,并經(jīng)前置放大器進(jìn)行信號(hào)放大。脈沖處理器根據(jù)波幅將脈沖分類并形成射線強(qiáng)

X

度對(duì)能量的直方圖分布。

來源有修改

[:GB/T20726—2015,3.1,]

譜峰半高寬

3.2fullpeakwidthathalfmaximum;FWHM

譜峰扣除背底后強(qiáng)度最高值之半處的峰寬度單位為電子伏特

,(eV)。

注:最大峰強(qiáng)度是通過擬合相應(yīng)的譜峰所有通道來測(cè)定,