




版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1GB/TXXXXX-XXX近年來(lái)隨著其他半導(dǎo)體材料如碳化硅、磷化銦修訂后標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍擴(kuò)大,不僅適用于硅本項(xiàng)目在下達(dá)計(jì)劃后,組織了專門的標(biāo)準(zhǔn)編和其他半導(dǎo)體晶片直徑的測(cè)試指南》全文,對(duì)原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《硅片直徑測(cè)量方法》和GB/T容,于2023年2月完成標(biāo)準(zhǔn)討論稿,提交到全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料麥斯克電子材料有限公司成立于1995年,是一家集直拉單晶硅、硅切磨片、硅拋光2GB/TXXXXX-XXX本標(biāo)準(zhǔn)的修訂主要根據(jù)材料的發(fā)展情況對(duì)其適用范圍和技術(shù)要點(diǎn)內(nèi)容進(jìn)行了必要的原標(biāo)準(zhǔn)GB/T14140-2009包括光學(xué)投影儀測(cè)試硅片直徑和千分尺法測(cè)試硅片直徑兩種方法,這兩種方法從原理上講也同樣適用于其他半導(dǎo)體材料晶片直徑的測(cè)試,GB/T30866-2014規(guī)定了用千分尺測(cè)量碳化硅單晶片直徑的方法,該標(biāo)準(zhǔn)中描述的方法可以完全合并至GB/T14140-2009中,根據(jù)國(guó)標(biāo)體系優(yōu)化結(jié)論,將GB/T14140-2009和GB/T本標(biāo)準(zhǔn)整合修訂GB/T14140-2009《硅片直徑測(cè)量方法》和GB/T30866-2014《碳化3GB/TXXXXX-XXX本標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)投影法參照ASTMF613-93《半導(dǎo)體晶片直徑的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法》進(jìn)行修訂,由于目前大直徑晶片依然采用光學(xué)投影法測(cè)量直徑,在本次修訂中保留光學(xué)投影法。千分尺法是根據(jù)目前國(guó)內(nèi)晶片生產(chǎn)、使用行業(yè)的實(shí)際需要修訂的。在精密度方面,后續(xù)對(duì)單個(gè)實(shí)驗(yàn)室和實(shí)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 2025年度餐飲行業(yè)食材采購(gòu)掛賬支付協(xié)議書
- 襪子購(gòu)銷合同范本
- 2025年度大數(shù)據(jù)中心設(shè)備融資抵押借款合同樣本
- 2025年度二手房買賣糾紛調(diào)解服務(wù)協(xié)議樣本
- 礦山租車合同范本
- 金融培訓(xùn)合同范本
- 防水專業(yè)合同范本
- 2025年中國(guó)懷山藥行業(yè)市場(chǎng)發(fā)展監(jiān)測(cè)及投資潛力預(yù)測(cè)報(bào)告
- 2025年容量瓶項(xiàng)目可行性研究報(bào)告
- 2025年RF收發(fā)模塊項(xiàng)目投資可行性研究分析報(bào)告
- 五年級(jí)人教版上冊(cè)數(shù)學(xué)應(yīng)用題解決問(wèn)題專題練習(xí)(含答案)100解析試題
- 【幼兒教師與家長(zhǎng)溝通現(xiàn)狀、問(wèn)題及優(yōu)化建議分析7000字(論文)】
- 2023新時(shí)代解決臺(tái)灣問(wèn)題的總體方略PPT
- 甘蔗渣制備木聚糖的研究
- 電化學(xué)儲(chǔ)能電站運(yùn)行維護(hù)規(guī)程
- 少年英雄(課件)小學(xué)生主題班會(huì)通用版
- 《會(huì)稽山紹興酒營(yíng)銷策略現(xiàn)狀、問(wèn)題及對(duì)策》開(kāi)題報(bào)告文獻(xiàn)綜述4000字
- 2021年中國(guó)高尿酸及痛風(fēng)趨勢(shì)白皮書
- 最全-房屋市政工程安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化指導(dǎo)圖冊(cè)
- 《魅力教師的修煉》讀書心得體會(huì)4篇
- 15 分章專項(xiàng)練習(xí)-整本書閱讀系列《經(jīng)典常談》名著閱讀與練習(xí)
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論