機器人驅(qū)動器調(diào)研報告

有關(guān)機器人驅(qū)動器的調(diào)研報告摘要：在當(dāng)代發(fā)展中，機器人的重要性不停體現(xiàn)，在各個領(lǐng)域內(nèi)都有著機器人的身影。而機器人驅(qū)動器是維持機器人運動并實現(xiàn)多個運動必不可少的部分。本文重要介紹多個機器人驅(qū)動器的原理、特點以及應(yīng)用，為機器人驅(qū)動研究提供參考。核心詞：機器人 驅(qū)動器 原理特點應(yīng)用ResearchReportonRobotDriverAbstract：Inmoderndevelopment,theimportanceoftherobotcontinuestoreflect,presentingtherobotfigureinallareas.Therobotdriveristheessentialparttomaintainthemovementoftherobotandachieveallkindsofmovements.Thispapermainlyintroducestheprinciple,characteristicsandapplicationofvariousrobotdrivers,andprovidesreferenceforrobotdrivingresearch.Keywords：robot，robotdriver，principle，characteristic，application目錄TOC\o"1-3"\h\u41221前言 2209092電機驅(qū)動 2317612.1普通電機驅(qū)動 2147812.2步進電機驅(qū)動 3275502.3直線電機驅(qū)動 4289283液壓驅(qū)動 4155444氣壓驅(qū)動 5325535磁致伸縮驅(qū)動 5234166壓電驅(qū)動 6241537靜電驅(qū)動 6179828形狀記憶合金驅(qū)動器 6217989光驅(qū)動器 719481參考文獻 80前言隨著各學(xué)科的進步，機器人驅(qū)動的方式不停發(fā)展，方式多樣。重要分為三大類：電氣驅(qū)動、流體驅(qū)動、新型驅(qū)動。而新型驅(qū)動方式根據(jù)原理不同，又能分為六種：磁致伸縮驅(qū)動、壓電驅(qū)動、形狀記憶合金驅(qū)動、靜電驅(qū)動、光驅(qū)動等。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>王煒</Author><Year></Year><RecNum>47</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[1]</style></DisplayText><record><rec-number>47</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">47</key></foreign-keys><ref-typename="JournalArticle">17</ref-type><contributors><authors><author>王煒</author><author>秦現(xiàn)生</author></authors></contributors><auth-address>西北工業(yè)大學(xué);</auth-address><titles><title>仿肌肉驅(qū)動器及其在仿生機器人中的應(yīng)用</title><secondary-title>微特電機</secondary-title></titles><periodical><full-title>微特電機</full-title></periodical><pages>56-60</pages><number>06</number><keywords><keyword>仿肌肉驅(qū)動器</keyword><keyword>仿生機器人</keyword><keyword>仿生控制</keyword></keywords><dates><year></year></dates><isbn>1004-7018</isbn><call-num>31-1428/TM</call-num><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"王煒,#47"1]1電機驅(qū)動1.1普通電機驅(qū)動a)原理:直流電機里邊固定有環(huán)狀永磁體，電流通過轉(zhuǎn)子上的線圈產(chǎn)生安培力，當(dāng)轉(zhuǎn)子上的線圈與磁場平行時，再繼續(xù)轉(zhuǎn)受到的磁場方向?qū)⒆兓?，因此此時轉(zhuǎn)子末端的電刷跟轉(zhuǎn)換片交替接觸，從而線圈上的電流方向也變化，產(chǎn)生的洛倫茲力方向不變，因此電機能保持一種方向轉(zhuǎn)動。b)特點:交流電機普通不能進行調(diào)速或難以進行無級調(diào)速，即使是多速電機，也只能進行有限的有級調(diào)速；直流電機能實現(xiàn)無級調(diào)速，低速性能好，運行平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)矩容易控制。換相器需要經(jīng)常維護，電極刷易磨損，噪音大。實現(xiàn)了位置,速度和力矩的閉環(huán)控制;克服了步進電機失步的問題;高速性能好,抗過載能力強,低速運行平穩(wěn),動態(tài)響應(yīng)時間短,發(fā)熱和噪聲明顯減少。c)應(yīng)用:應(yīng)用于機床、印刷設(shè)備、包裝設(shè)備、紡織設(shè)備、激光加工設(shè)備、機器人、自動化生產(chǎn)線等對工藝精度、加工效率和工作可靠性等規(guī)定相對較高的設(shè)備。其中在機器人領(lǐng)域西南科技大學(xué)設(shè)計一款普通電機驅(qū)動的偵測型機器人。在這款機器人中，將兩臺直流電機布置在兩側(cè)履帶，一臺直流電機布置在兩側(cè)前擺臂，實現(xiàn)機器人前后左右轉(zhuǎn)動，同時對左右履帶電機做閉環(huán)鎖零控制，確保運動可靠性；在底盤上布置3臺電機，確保機器人在上下樓梯時在斜坡上能夠?？?；云臺升降采用電機帶動，實現(xiàn)云臺的轉(zhuǎn)動。如圖1-1所示。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>于艦</Author><Year></Year><RecNum>45</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[2;3]</style></DisplayText><record><rec-number>45</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">45</key></foreign-keys><ref-typename="Thesis">32</ref-type><contributors><authors><author>于艦</author></authors><tertiary-authors><author>時獻江,</author></tertiary-authors></contributors><titles><title>基于DSP的四足液壓機器人伺服驅(qū)動器的設(shè)計與研究</title></titles><keywords><keyword>液壓伺服系統(tǒng)</keyword><keyword>DSP</keyword><keyword>CAN總線</keyword><keyword>前饋PID</keyword></keywords><dates><year></year></dates><publisher>哈爾濱理工大學(xué)</publisher><work-type>碩士</work-type><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite><Cite><Author>楊煬</Author><Year></Year><RecNum>46</RecNum><record><rec-number>46</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">46</key></foreign-keys><ref-typename="Thesis">32</ref-type><contributors><authors><author>楊煬</author></authors><tertiary-authors><author>徐殿國,</author></tertiary-authors></contributors><titles><title>微小型高性能電機伺服驅(qū)動器設(shè)計</title></titles><keywords><keyword>仿人機器人</keyword><keyword>伺服驅(qū)動器</keyword><keyword>永磁同時電機</keyword><keyword>高功率密度</keyword></keywords><dates><year></year></dates><publisher>哈爾濱工業(yè)大學(xué)</publisher><work-type>碩士</work-type><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"于艦,#45"2;\o"楊煬,#46"3]圖1-1機器人構(gòu)造{!!!INVALIDCITATION!!!,#0;于艦,#45;楊煬,#46;閆磊,#44;徐小龍,#43}2.2步進電機驅(qū)動a）原理:步進電動機是一種將電脈沖信號轉(zhuǎn)換成角位移或線位移的機電元件。步進電動機的輸入量是脈沖序列，輸出量則為對應(yīng)的增量位移或步進運動。正常運動狀況下，它每轉(zhuǎn)一周含有固定的步數(shù)；做持續(xù)步進運動時，其旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速與輸入脈沖的頻率保持嚴(yán)格的對應(yīng)關(guān)系，不受電壓波動和負載變化的影響。b）特點:(1)反映式步進電動機(VR)。反映式步進電動機構(gòu)造簡樸，生產(chǎn)成本低，步距角?。坏珓討B(tài)性能差。(2)永磁式步進電動機(PM)。永磁式步進電動機出力大，動態(tài)性能好；但步距角大.(3)混合式步進電動機(HB)?；旌鲜讲竭M電動機綜合了反映式、永磁式步進電動機兩者的優(yōu)點，它的步距角小，出力大，動態(tài)性能好，是現(xiàn)在性能最高的步進電動機。它有時也稱作永磁感應(yīng)子式步進電動機。c)應(yīng)用:隨著微電子和計算機技術(shù)的發(fā)展,步進電機廣泛應(yīng)用于數(shù)控領(lǐng)域和電子計算機的外圍設(shè)備中,同時也在軍用儀器和醫(yī)療設(shè)備得到廣泛應(yīng)用.另外也用于某些特殊用途的機器人驅(qū)動器。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>魯有宏</Author><Year>1987</Year><RecNum>48</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[4]</style></DisplayText><record><rec-number>48</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">48</key></foreign-keys><ref-typename="JournalArticle">17</ref-type><contributors><authors><author>魯有宏</author></authors></contributors><auth-address>華東工學(xué)院</auth-address><titles><title>步進電機電子驅(qū)動器及其在機器人中的運用</title><secondary-title>電氣傳動</secondary-title></titles><periodical><full-title>電氣傳動</full-title></periodical><pages>46-51+63</pages><number>01</number><keywords><keyword>機器人</keyword><keyword>步進電機</keyword><keyword>電子驅(qū)動器</keyword></keywords><dates><year>1987</year></dates><isbn>1001-2095</isbn><call-num>12-1067/TP</call-num><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"魯有宏,1987#48"4]如意大利的SUPERSIGMA機器人，波蘭華沙航空工程和運用機械技術(shù)大學(xué)研究機構(gòu)研究制造的機器人等。2.3直線電機驅(qū)動a）原理：在直線電機中通入三相電流后，會在氣隙中產(chǎn)生磁場，如果不考慮端部效應(yīng)，磁場在直線方向呈正弦分布，只是這個磁場是平移而不是旋轉(zhuǎn)的，因此稱為行波磁場。行波磁場與磁極互相作用便產(chǎn)生電磁推力，驅(qū)動動子沿定子作往復(fù)直線運動。b)特點：由于系統(tǒng)中取消了某些時間響應(yīng)常數(shù)大的機械傳動件，因此系統(tǒng)動態(tài)響應(yīng)性能大大提高，反映敏捷；通過直線位置檢測反饋控制，大大提高定位精度；由于“直接驅(qū)動”，避免了運動滯后現(xiàn)象，提高了傳動剛度；能實現(xiàn)啟動時瞬間達成高速，高速運行時又能瞬間準(zhǔn)停；行程長度不受限制，運動安靜，噪聲低，效率高。c)應(yīng)用：最常見的有管道內(nèi)壁清潔機器人，另外在涉及生產(chǎn)流水線系統(tǒng)高速機器人，涉及單軸機械手，工作滑臺等。其中工作滑臺與直線移動的直線電機相連，并且工作滑臺連接有四軸機械手，在流水線生產(chǎn)過程中，直線電機帶動滑臺移動，確保機械手的范疇與生產(chǎn)線的相對靜止，實現(xiàn)一種相對靜止的工作環(huán)境。3液壓驅(qū)動a）原理：由于液壓油液含有不可壓縮性，依靠液體介質(zhì)的靜壓力，完畢能量的積壓，傳遞，進而實現(xiàn)機械傳動。b）特點：獲得較大的功率重量比，構(gòu)造簡樸緊湊，剛性好，定位精度高，平穩(wěn)，能有效避免過載現(xiàn)象發(fā)生；油液容易泄露，油液粘度多變，對環(huán)境溫度規(guī)定高，油液中容易混入雜質(zhì)。c）應(yīng)用：適于在承載能力大，慣量大以及在防旱環(huán)境中工作的機器人中應(yīng)用。山東大學(xué)提出一種液壓驅(qū)動四足機器人，實現(xiàn)在復(fù)雜地形環(huán)境下攜帶大負載進行作業(yè)，含有快速響應(yīng)的能力。液壓驅(qū)動系統(tǒng)剛度好，精度高，響應(yīng)快，易于在大的速度范疇內(nèi)工作，能夠明顯增強機器人的負載能力，在獲物載運量和快速性方面更具優(yōu)勢。這種機器人由液壓放大元件和執(zhí)行元件構(gòu)成直接控制負載的液壓拖動系統(tǒng)，并采用閥控液壓缸系統(tǒng)驅(qū)動。機器人再輔以位置控制和速度控制，能夠有效彌補閥控液壓缸系統(tǒng)非線性、不擬定性的特點。4氣壓驅(qū)動a）原理：以壓縮機為動力源，壓縮空氣為工作介質(zhì)，來進行能量傳遞和控制的驅(qū)動方式。b）特點：由于壓縮空氣的粘性小，流速大，因此快速性好；氣源方便，普通工廠都有空氣壓縮站提供；廢氣直接排入大氣不會造成污染；通過調(diào)節(jié)氣量可實現(xiàn)無級變速；由于空氣的可壓縮性，氣壓系統(tǒng)含有較好的緩沖作用；構(gòu)造簡樸，剛性好，成本低；基于空氣的壓縮性，氣壓驅(qū)動很難確保很高的定位精度；向大氣排放廢氣時，會產(chǎn)生噪聲；因壓縮空氣含冷凝水，使得氣壓系統(tǒng)易銹蝕。c）應(yīng)用：最常見的有生產(chǎn)線上氣動助力機械手；在智能軟體機器人領(lǐng)域也有重大應(yīng)用，如“小章魚”機器人是世界上第一種完全軟體的且自我驅(qū)動的機器，3D打印軟體四足機器人等，作為氣動業(yè)全球領(lǐng)先廠商的德國Festo會選推出類似各類昆蟲機器人。圖3-1自驅(qū)動軟體“小章魚”原理：世界上第一種完全軟體自驅(qū)動機器人，用“氣動”替代“電動”。“小章魚”依靠體內(nèi)的化學(xué)反映供能，在這個化學(xué)反映里，少量的過氧化氫轉(zhuǎn)變成大量氣體，這些氣體流入“小章魚”的手臂，給手臂充氣而引發(fā)運動。圖3-2“小章魚”電子振蕩器模擬電路上圖模擬了簡樸的電子振蕩器，以控制過氧化氫反映的時機，實現(xiàn)自我驅(qū)動。5磁致伸縮驅(qū)動a）原理：磁性體的外部一旦加上磁場，則磁性體的外形尺寸發(fā)生變化（焦耳效應(yīng)），這種現(xiàn)象稱為磁致伸縮現(xiàn)象。此時，如果磁性體在磁化方向上的長度增大，則稱為正磁致伸縮；相反，則稱為負磁致伸縮。從外部對磁性體施加壓力，則磁性體的磁化狀態(tài)會發(fā)生變化（維拉利效應(yīng)），則稱為逆磁致伸縮現(xiàn)象。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>劉慧芳</Author><Year></Year><RecNum>52</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[5]</style></DisplayText><record><rec-number>52</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">52</key></foreign-keys><ref-typename="Thesis">32</ref-type><contributors><authors><author>劉慧芳</author></authors><tertiary-authors><author>賈振元,</author><author>王福吉,</author></tertiary-authors></contributors><titles><title>超磁致伸縮材料力傳感執(zhí)行器核心技術(shù)研究</title></titles><keywords><keyword>超磁致伸縮材料</keyword><keyword>磁致伸縮正逆耦合效應(yīng)</keyword><keyword>力傳感執(zhí)行器</keyword><keyword>解禍</keyword></keywords><dates><year></year></dates><publisher>大連理工大學(xué)</publisher><work-type>博士</work-type><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"劉慧芳,#52"5]b）優(yōu)點：分辨率高（微米級）、反映速度快（微秒級）、輸出力大、產(chǎn)生位移大、體積小、驅(qū)動電壓低、傳動無間隙等；穩(wěn)定性好，可靠性高，其磁致伸縮性能不隨時間而變化，無疲勞，無過熱失效問題。缺點：磁滯特性、預(yù)壓力特性（預(yù)壓力時會得到更大的磁致伸縮系數(shù)，同時系數(shù)與場強的非線性更強）、彈性模量非線性（與預(yù)壓力有關(guān)）、溫度特性（對伸縮率影響大）、渦流特性（高頻時對工作性能影響大）。c）應(yīng)用：伺服閥、轉(zhuǎn)動式步進馬達（扭矩輸出12.2N·m，精度高達800微弧度）。超磁致伸縮執(zhí)行器（較成熟）產(chǎn)生的微位移實現(xiàn)高分辨率的微進給、小尺寸非圓車削、深孔與異形孔加工、機床的振動主動控制等微小驅(qū)動場合。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>李永</Author><Year></Year><RecNum>51</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[6]</style></DisplayText><record><rec-number>51</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">51</key></foreign-keys><ref-typename="Thesis">32</ref-type><contributors><authors><author>李永</author></authors><tertiary-authors><author>林明星,</author><author>張承瑞,</author></tertiary-authors></contributors><titles><title>超磁致伸縮致動器驅(qū)動系統(tǒng)核心技術(shù)研究</title></titles><keywords><keyword>超磁致伸縮致動器</keyword><keyword>非線性動態(tài)模型</keyword><keyword>廣義預(yù)測控制</keyword><keyword>半橋斬波</keyword><keyword>模型降階</keyword></keywords><dates><year></year></dates><publisher>山東大學(xué)</publisher><work-type>博士</work-type><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"李永,#51"6]6壓電驅(qū)動a）原理：含氟聚合物聚偏氟乙烯（PVDF），當(dāng)受到外界沖擊或振動時，壓電材料原子層的偶極子的排列次序被打亂，并試圖恢復(fù)原有狀態(tài)，從而產(chǎn)生電子流進而產(chǎn)生電荷；相反，當(dāng)給壓電薄膜接通變化的電壓信號，會使的薄膜的上下運動或振動，從而產(chǎn)生動力。b）優(yōu)點：有更加好的柔韌性，壓電振子能夠在更高頻率下運行，更合用于交變載荷，壽命更長。缺點：變形較小（多層，壓電堆疊），變形非線性，大變形時受外界影響較大，驅(qū)動器用材料及新工藝、大行程高精度（幾毫米）、較高電場（大變形）時的非線性、遲滯和蠕變（控制系統(tǒng)優(yōu)化）。c）應(yīng)用：水聽器（水下傳聲器，聲信號轉(zhuǎn)換為電信號），動態(tài)稱重，用于管道監(jiān)測的雙壓電薄膜驅(qū)動微機器人。7靜電驅(qū)動a）原理：靜電驅(qū)動是運用靜電間的庫侖力，通過通入步進電壓使得固定與可動部件的電容周期不同，從而產(chǎn)生相對運動的一種驅(qū)動方式。靜電驅(qū)動器運用電荷間的吸力和排斥力互相作用次序驅(qū)動電極而產(chǎn)生平移或旋轉(zhuǎn)的運動。因靜電作用屬于表面力，它和元件尺寸的二次方成正比，在微小尺寸變化時，能夠產(chǎn)生很大的能量。b）特點：靜電驅(qū)動器含有高敏捷度、高精度、響應(yīng)速度快、構(gòu)造設(shè)計加工簡樸等特點，可與控制電路實現(xiàn)單片集成，但驅(qū)動范疇相對較小，輸出驅(qū)動力遠不大于電機。c）應(yīng)用：靜電驅(qū)動器是微機電系統(tǒng)(MEMS）中一種重要的驅(qū)動裝置，大量應(yīng)用于微泵、微馬達、微諧振器、加速度計等微器件中。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>謝蛟</Author><Year></Year><RecNum>50</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[7]</style></DisplayText><record><rec-number>50</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">50</key></foreign-keys><ref-typename="Thesis">32</ref-type><contributors><authors><author>謝蛟</author></authors><tertiary-authors><author>謝進,</author></tertiary-authors></contributors><titles><title>諧振式微靜電驅(qū)動系統(tǒng)的非線性分析與控制</title></titles><keywords><keyword>MEMS</keyword><keyword>微靜電驅(qū)動構(gòu)造</keyword><keyword>剛度</keyword><keyword>非線性</keyword><keyword>諧振器</keyword></keywords><dates><year></year></dates><publisher>西南交通大學(xué)</publisher><work-type>碩士</work-type><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"謝蛟,#50"7]8形狀記憶合金驅(qū)動器a)原理:形狀記憶效應(yīng)是指發(fā)生馬氏體相變的合金形變后，又回復(fù)到形變前固有形狀的現(xiàn)象。形狀記憶合金驅(qū)動器運用高溫和低溫互相轉(zhuǎn)變過程中產(chǎn)生的變形或者回復(fù)力達成驅(qū)動的目的?，F(xiàn)在慣用的形狀記憶合金驅(qū)動器有溫控和磁控兩種。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>徐小兵</Author><Year></Year><RecNum>57</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[8]</style></DisplayText><record><rec-number>57</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">57</key></foreign-keys><ref-typename="JournalArticle">17</ref-type><contributors><authors><author>徐小兵</author><author>鄧荊江</author></authors></contributors><auth-address>長江大學(xué)機械工程學(xué)院;江漢石油管理局技術(shù)監(jiān)督處;</auth-address><titles><title>形狀記憶合金驅(qū)動器的研究現(xiàn)狀及展望</title><secondary-title>機械研究與應(yīng)用</secondary-title></titles><periodical><full-title>機械研究與應(yīng)用</full-title></periodical><pages>187-190</pages><number>06</number><keywords><keyword>智能材料</keyword><keyword>形狀記憶合金</keyword><keyword>驅(qū)動器</keyword></keywords><dates><year></year></dates><isbn>1007-4414</isbn><call-num>62-1066/TH</call-num><urls></urls><remote-database-provider>Cnki</remote-database-provider></record></Cite></EndNote>[\o"徐小兵,#57"8]b)特點：與磁致伸縮驅(qū)動器和壓電驅(qū)動器相比，形狀記憶何家勁驅(qū)動器含有較大的驅(qū)動行程，較高的工作和斷裂能力。溫控形狀記憶合金驅(qū)動器含有非常高的能量密度，但響應(yīng)頻率低。相反，磁控形狀記憶合金驅(qū)動器的能量密度是磁致伸縮驅(qū)動器和壓電驅(qū)動器的幾倍到幾十倍，但仍有較大的響應(yīng)頻率。具體參數(shù)以下表。材料溫控形狀記憶合金驅(qū)動器磁控形狀記憶合金驅(qū)動器磁致伸縮驅(qū)動器壓電驅(qū)動器最大形變（%）860.20.2最大頻率(Hz)5100005000050000能量密度(kJm3)300090272工作應(yīng)力(N/mm2)150/5050斷裂應(yīng)力(N/mm2)900/700600總而言之，形狀記憶合金驅(qū)動器含有驅(qū)動快速、驅(qū)動力大、高阻尼、抗疲勞效應(yīng)、抗腐蝕能力、構(gòu)造簡樸、不噪音、驅(qū)動電壓低等特點。但溫控驅(qū)動器響應(yīng)頻率較低，磁控驅(qū)動器含有磁致非線性問題。c）應(yīng)用：壓電驅(qū)動器因壓電效應(yīng)的雙向性，因而兼有傳感和執(zhí)行雙重功效，用途廣泛?？捎糜跈C器人等的定位裝置、緊固件等的連接裝置、流體閥門、振動裝置等等。9光驅(qū)動器a）原理：光驅(qū)動根據(jù)驅(qū)動的介質(zhì)不同分固體光驅(qū)動和流體光驅(qū)動。固體光驅(qū)動重要是應(yīng)用光致形變材料在光照下的形變來輸出驅(qū)動力；而流體光驅(qū)動則是在光照條件下構(gòu)造不對稱的梯度場，從而形成微流驅(qū)動馬達。ADDINEN.CITE<EndNote><Cite><Author>董任峰</Author><Year></Year><RecNum>62</RecNum><DisplayText><styleface="superscript">[9]</style></DisplayText><record><rec-number>62</rec-number><foreign-keys><keyapp="EN"db-id="p5dxrxttwxzeppezfw6vd5xnrere9v9vsrp5">62</key></foreign-keys><ref-typename="JournalArticle">17</ref-type><contributors><authors><author>董任峰</author><author