cf-彩色濾光片的研究開發(fā)和生產(chǎn)-ln課件

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彩色濾光片的研究開發(fā)和生產(chǎn)1彩色濾光片顯示器的應(yīng)用彩色濾光片顯示器彩色手機(jī)筆記本電腦可視電話PDA監(jiān)控面板電子字典游戲機(jī)2偏光片彩色濾光片定向?qū)右壕TO透明電極偏光片背光源彩色濾光片在彩色STN顯示器中的應(yīng)用基板玻璃基板玻璃3偏光片彩色濾光片定向?qū)右壕FTITO透明電極偏光片背光源彩色濾光片在TFT顯示器中的應(yīng)用基板玻璃基板玻璃4深圳萊寶CF生產(chǎn)線2002年5月設(shè)備到廠，開始安裝調(diào)試2002年9月投入試生產(chǎn)月生產(chǎn)能力：3萬片填補(bǔ)了國內(nèi)彩色濾光片生產(chǎn)的空白5CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)前言一、彩色濾光片的構(gòu)成二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡(jiǎn)介三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作

四、彩色濾光片的品質(zhì)性能五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn)6CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)一、CF

的構(gòu)成透過型----TRANSMISSIVE

TYPE反射型----TRANSFLECTIVE

TYPE（REFLECTIVE

TYPE）7透過型CF的構(gòu)造紅色光綠色光

藍(lán)色光透明導(dǎo)電膜保護(hù)膜紅綠藍(lán)膜黑矩陣膜

SiO2

膜白色光白色光白色光玻

璃

基

板8反射型CF的構(gòu)造紅色光綠色光

藍(lán)色光透明導(dǎo)電膜保護(hù)膜紅綠藍(lán)膜黑矩陣膜反射膜

開口白色光白色光白色光玻

璃

基

板9CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡(jiǎn)介1、CF

制做方法2、CF

生產(chǎn)流程10彩色濾光片制做方法電著法印刷法光刻型非光刻型噴墨法?顏料分散法彩膠法11顏料分散型光刻膠CF的制做光刻膠玻璃滴膠旋轉(zhuǎn)涂膠紫外線鉻掩膜板圖形曝光圖形顯像12CF

生產(chǎn)流程1000級(jí)凈化O/C

線B

線G

線R

線BK

線后烘烤現(xiàn)

像曝

光預(yù)烘烤旋轉(zhuǎn)涂膠清洗后烘烤現(xiàn)

像曝

光預(yù)烘烤旋轉(zhuǎn)涂膠清洗后烘烤現(xiàn)

像曝

光預(yù)烘烤旋轉(zhuǎn)涂膠清洗后烘烤現(xiàn)

像曝

光預(yù)烘烤旋轉(zhuǎn)涂膠清洗后烘烤預(yù)烘烤旋轉(zhuǎn)涂膠清洗13CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作1、工藝試驗(yàn)與結(jié)果2、研發(fā)工作14BK

膜特性材料：樹脂類顏料分散型黑色光刻膠特點(diǎn)：生產(chǎn)流程簡(jiǎn)單成本低

反射率低污染小膜厚0.8—1.5μm時(shí)，其OD值為1.8—3.5以上最小寬度：10μm15BM

膜厚----OD值16BK

膜的樣式BM(Black

matrix)BS(Black

Stripe)BL(Black

Less)17R、G、B膜的特性1、材料：樹脂類顏料分散型彩色光刻膠2、特性：色度（透過型和反射型）透光率膜厚尺寸精度18膜厚----色度0.60.50.4y

0.30.20.1000.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7x19膜厚----后烘烤20膜厚----轉(zhuǎn)速21膜厚均勻性膜厚偏差：±1.83%22曝光能量----線寬MASK

線寬：70um23現(xiàn)像時(shí)間、溫度----線寬MASK線寬：70um24圖形對(duì)位控制一、MASK

的制做精度和套合精度二、采用先進(jìn)的圖象處理和對(duì)位技術(shù)，提高對(duì)位精度三、研究設(shè)計(jì)了曝光機(jī)精密溫控裝置，穩(wěn)定對(duì)位精度四、采取有效的工藝控制保證對(duì)位精度25O/C

膜層一、材料：丙烯系樹脂二、膜厚：1—2um三、功能1、保護(hù)RGB色層2、表面平坦化微觀波紋度：無O/C層，0.860—0.1225um有O/C層，0.677—0.963um26ITO

膜層?鍍膜工藝：RF+DC?鍍膜溫度：小于230℃電阻率：1.8x10-4Ω.cm面電阻：7--15Ω透過率：大于80%27ITO膜電阻率----RF功率分量28CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)四、彩色濾光片的品質(zhì)性能彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)29彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（一）項(xiàng)

目性能指標(biāo)1.基片材料鈉鈣玻璃，拋光，鍍SiO2膜長(zhǎng)度300、400、420mm，14、16”寬度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al膜厚1000

反射率≥90%開口精度±3μm30彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（二）項(xiàng)

目性能指標(biāo)3.BM材料顏料分散型光刻膠膜厚1.0μmOD值≥1.7（

3.0）圖形精度±3μm4.RGB材料顏料分散型光刻膠膜厚1.0μm圖形精度±3μm31彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（三）項(xiàng)

目性能指標(biāo)5.O/C材料丙烯系樹脂膜厚1.4μm透過率≥80%

(550nm)像素間高度差≤0.15μm6.ITO膜厚2000

電阻Rs≤10

Ω∕□透過率≥80%

(550nm)32彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（四）項(xiàng)

目性能指標(biāo)7.色度透射型透射型x,yR0.585,0.3450.406,0.303G0.305,0.5200.312,0.357B0.140,0.1700.224,0.263YR≥15≥15G≥45≥45B≥40≥4033彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（五）項(xiàng)

目性能指標(biāo)8.可靠性溫度穩(wěn)定性250℃,1小時(shí)無膨脹、無開裂、無損傷透過率變化率≤10%△E*ab≤5耐化學(xué)性能5%NaOH,50℃,20分鐘NMP,25℃,30分鐘丙酮，25℃,30分鐘O/C

附著性3M,

No.610膠帶無損傷ITO穩(wěn)定性250℃,1小時(shí)電阻變化率≤±10%34CF

的研究開發(fā)和生產(chǎn)五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn)1、客戶提出的具體CF圖形排列和尺寸2、BK膜OD值和厚度3、RGB膜色度和厚度4、