電子束物理氣相沉積用8YSZ陶瓷靶材 技術(shù)條件

GJBGJB8036－2002·表1所示。表SEQ表\*ARABIC18YSZ陶瓷靶材成分及雜質(zhì)含量化學(xué)成分/wt.%主元素含量雜質(zhì)元素含量Y2O3+ZrO2(HfO2)HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳?xì)埩簟?9.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15wt.%3.3外觀靶材外觀應(yīng)為白色或灰白色，外觀無明顯缺陷及裂紋；細(xì)小孔洞缺陷應(yīng)不大于2mm，數(shù)量不超過5個(gè)，小于2mm的細(xì)小孔洞不計(jì)，靶材端面邊緣尺寸大于5mm磕碰缺口不超過3個(gè)，小于5mm磕碰缺口不計(jì)。3.4晶體結(jié)構(gòu)靶材晶體結(jié)構(gòu)以四方相為主。3.5平均晶粒度靶材平均晶粒度應(yīng)不大于10μm。3.6密度靶材的密度應(yīng)在3.5~4.2g/cm3。3.7密度均勻性同批次靶材的密度偏差應(yīng)小于±2.5%。3.8靶材尺寸靶材尺寸應(yīng)符合需方需求的尺寸和形狀，一般直徑為φ68.5-0.1mm，長度至少為100mm。4質(zhì)量保證規(guī)定4.1檢驗(yàn)分類本規(guī)范規(guī)定的檢驗(yàn)為質(zhì)量一致性檢驗(yàn)。4.2質(zhì)量一致性檢驗(yàn)4.2.1組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收，每批應(yīng)由同一牌號(hào)、同一規(guī)格、同一批原料連續(xù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組成。4.2.2檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣產(chǎn)品的質(zhì)量一致性檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣應(yīng)符合表2的規(guī)定表2檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣數(shù)量取樣方法要求的章條號(hào)檢驗(yàn)方法的章條號(hào)化學(xué)成分3根任取3.24.1外觀100%-3.34.2晶體結(jié)構(gòu)3根任取3.44.3平均晶粒度3根任取3.54.4密度100%-3.64.5密度均勻性100%-3.74.6靶材尺寸100%-3.84.74.2.3檢驗(yàn)結(jié)果判斷4.2.3.1檢驗(yàn)結(jié)果全部符合3中的要求，該批次靶材合格。4.2.3.2當(dāng)靶材尺寸、外觀、密度與本標(biāo)準(zhǔn)不符時(shí)，該根靶材判為不合格。4.2.3.3其余項(xiàng)目的檢驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)不符時(shí)，允許對(duì)不合格項(xiàng)目取雙倍樣品進(jìn)行二次復(fù)驗(yàn)，若仍不合格，則該批次靶材為不合格。4.3試驗(yàn)方法4.3.1化學(xué)成分SiO2、Al2O3、ZrO2+HfO2、TiO2、Fe2O3、CaO、MgO按照GB/T4984規(guī)定的方法進(jìn)行測定，或按照YS/T568中相關(guān)方法進(jìn)行測定，或由供需雙方商定。YS/T568相關(guān)方法具體如下：ZrO2+HfO2按照YS/T568.1規(guī)定的方法進(jìn)行測定。Fe2O3按照YS/T568.2規(guī)定的方法進(jìn)行測定。SiO2按照YS/T568.3規(guī)定的方法進(jìn)行測定。Al2O3按照YS/T568.4規(guī)定的方法進(jìn)行測定。TiO2按照YS/T568.6規(guī)定的方法進(jìn)行測定。CaO、MgO、HfO2、Y2O3按照YS/T568.8規(guī)定的方法進(jìn)行測定。碳?xì)埩舨捎肎B/T20123的規(guī)定進(jìn)行測試。如出現(xiàn)供需雙方測試結(jié)果不一致時(shí)，采用供需雙方協(xié)商一致的具有國家相關(guān)檢測資質(zhì)的第三方檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行測定。4.3.2外觀靶材外觀采用目視方法檢驗(yàn)，照明度不低于300lux；缺陷尺寸采用游標(biāo)卡尺測量。4.3.3晶體結(jié)構(gòu)靶材的晶體結(jié)構(gòu)采用YB/T5320的規(guī)定進(jìn)行測試。4.3.4平均晶粒度靶材的晶粒度采用GB/T21649.1的規(guī)定進(jìn)行測試，在放大倍率不低于2000倍條件下觀察靶材斷面顆粒尺寸，取至少3個(gè)不同視場，每個(gè)視場測量顆粒數(shù)量不少于10個(gè)，不規(guī)則顆粒取長軸尺寸作為顆粒尺寸，平均晶粒度由算數(shù)平均值計(jì)算。4.3.5密度靶材的密度檢驗(yàn)通過天平稱取靶材質(zhì)量，根據(jù)靶材尺寸計(jì)算體積，用質(zhì)量除以體積的方式進(jìn)行計(jì)算。4.3.6密度均勻性靶材密度均勻性通過測試批次內(nèi)靶材密度平均值、最大值和最小值計(jì)算批次內(nèi)靶材密度均勻性。密度均勻性=(ρa(bǔ)ve-ρmax或ρmin)/ρa(bǔ)ve×100%4.3.7靶材尺寸靶材尺寸采用游標(biāo)卡尺測量。5包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和質(zhì)量證明書5.1包裝單根靶材應(yīng)采用真空塑封進(jìn)行包裝。5.2標(biāo)志包裝應(yīng)有明顯的標(biāo)識(shí)，內(nèi)容包括：a)產(chǎn)品名稱；b)批次號(hào)；c)制造廠商；d)產(chǎn)品外形尺寸（mm）e)產(chǎn)品重量；f)生產(chǎn)日期。5.3質(zhì)量證明書每批產(chǎn)品應(yīng)附有質(zhì)量證明書或合格證，應(yīng)注明：a)需方名稱；b)批次號(hào)；c)數(shù)量（件數(shù)或凈重）；d)供方名稱；e)各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果和檢驗(yàn)印章；f)