賽瑞達(dá)PE作業(yè)指導(dǎo)書

賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部1/141目的1.1為保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行、工藝正常穩(wěn)定，符合技術(shù)規(guī)定。1.2為本工序生產(chǎn)人員提供基本的生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)文獻(xiàn)。2合用范圍2.1本文獻(xiàn)規(guī)定了管式PE工序機(jī)器操作措施和生產(chǎn)操作規(guī)程。本文獻(xiàn)合用于管式PE工序操作崗位。3規(guī)范性引用文獻(xiàn)1賽瑞達(dá)PECVD設(shè)備操作維護(hù)手冊(cè)；橢偏儀檢測(cè)作業(yè)指導(dǎo)書；石墨舟清洗作業(yè)指導(dǎo)書；制程不合格品處理措施。4術(shù)語和定義4.1PECVD名詞化學(xué)全名：MicrowaveRemotePlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition中文解釋：微波間等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD：是借助微波或射頻等使具有薄膜構(gòu)成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強(qiáng)，很輕易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，運(yùn)用了等離子體的活性來增進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).4.2試驗(yàn)機(jī)理：是借助微波或射頻等使具有薄膜構(gòu)成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很輕易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。4.3PECVD的目的和作用1，減反膜在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜-SiN膜。對(duì)光的減反射能力增賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部2/14加短路電流。其還具有卓越的抗氧化和絕緣性能，同步具有良好的阻擋鈉離子、掩蔽金屬和水蒸汽擴(kuò)散的能力；它的化學(xué)穩(wěn)定性也很好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢腐蝕外，其他酸與它基本不起作用5職責(zé)5.1技術(shù)部人員制定本文獻(xiàn)，如需要修改，由電池技術(shù)部工藝人員提出本文獻(xiàn)的修改申請(qǐng)。5.2生產(chǎn)部鍍膜崗位員工須嚴(yán)格按照本文獻(xiàn)的規(guī)定進(jìn)行操作。5.3品管部和技術(shù)部負(fù)責(zé)按文獻(xiàn)規(guī)定對(duì)工藝進(jìn)行檢查、監(jiān)督。6內(nèi)容6.1本職工作：6.1.1）．純熟掌握PECVD崗位的工藝流程，平常操作設(shè)備及工夾具的掌握6.1.2）．理解PECVD崗位使用的多種原輔料的特性（NH3、SiH4、N2））做到能對(duì)的識(shí)別，對(duì)的使用6,1,3）．可以分清鈍化后硅片的擴(kuò)散面與非擴(kuò)散面，保證擴(kuò)散面與鍍膜面一致。6.1.4）．懂得鍍膜質(zhì)量優(yōu)劣的區(qū)別，能根據(jù)鍍膜質(zhì)量對(duì)的鑒定與否需要返工。6.1.5）．懂得噴頭的平常清理，以保證鍍膜均勻。6.1.6）．懂得維護(hù)設(shè)備，保證反應(yīng)腔的純凈度。6.1.7）．懂得各《操作記錄》及《工序流程卡》的對(duì)的填寫，保證生產(chǎn)過程中的記錄精確。6.1.8)協(xié)同PECVD員工不停提高并保持工藝衛(wèi)生按原則作業(yè)進(jìn)行文明生產(chǎn)。6.1.9)能及時(shí)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的多種問題，并及時(shí)向上級(jí)匯報(bào)，爭取在第一時(shí)間內(nèi)處理問題。6.1.10)生產(chǎn)人員在取片時(shí)不要摩擦硅表面的氮化硅膜、在工序長的指導(dǎo)下對(duì)錯(cuò)誤的操作手法及時(shí)改正。6.1.11)與組員團(tuán)結(jié)協(xié)作，共創(chuàng)故意的工作環(huán)境。賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部3/146.2產(chǎn)前準(zhǔn)備圖1圖2口罩汗布手套PVC手套6.2.1）、（見圖1）準(zhǔn)時(shí)做好交接班工作，保證班組之間的帳、物相符，檢查石墨舟口罩汗布手套PVC手套圖（1）6.2.2）、（見圖2）穿好無塵服和無塵鞋，戴好工作帽和口罩，并按工藝衛(wèi)生規(guī)定搞好安全衛(wèi)生工作。圖（2）賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部4/146.2.3）、（見圖3）按《設(shè)備操作規(guī)程》中的規(guī)定檢查水、電、氣與否到達(dá)使用規(guī)定，開機(jī)以及檢查設(shè)備與否處在良好的運(yùn)行狀態(tài)。圖（3）賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部5/14賽瑞達(dá)PECVD設(shè)備操作注意事項(xiàng)：6.3.1)（見圖4）臂槳處在“上限位”位置時(shí)，管內(nèi)有舟時(shí)不可手動(dòng)進(jìn)槳圖（4）此垂直舟位為正值6.3.2)（見圖5）臂槳處在“下位”位置時(shí)，槳上有舟時(shí)不可手動(dòng)進(jìn)舟。c圖（5）此垂直舟位為負(fù)值賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部6/14（見圖6）時(shí)，報(bào)警顯示中有紅色報(bào)警，不準(zhǔn)切換到自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)。圖（6）（見圖7）取放石墨舟必須兩個(gè)人操作，嚴(yán)禁一人搬運(yùn)石墨舟。圖(7)賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部7/14進(jìn)舟、退舟失敗報(bào)警時(shí)，一定要檢查舟的位置與否在合理的位置，才可操作，自動(dòng)/手動(dòng)的切換要謹(jǐn)慎，若舟不在對(duì)的位置請(qǐng)手動(dòng)移動(dòng)到對(duì)的位置后再對(duì)報(bào)警進(jìn)行操作。6.3.6)上料時(shí)必須要看到機(jī)械手把舟平穩(wěn)的放到槳上后來，操作人員才可以離開設(shè)備。6.3.7)不要隨意把頭伸進(jìn)機(jī)器內(nèi)，注意不要被機(jī)械運(yùn)動(dòng)所傷。設(shè)備運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)有異常時(shí)按下急停后及時(shí)聯(lián)絡(luò)設(shè)備人員。6.3.8)下料后及時(shí)把舟放入冷卻房，小車解鎖后嚴(yán)禁放置在設(shè)備中不移走。6.3.9)出現(xiàn)返工片要及時(shí)告知當(dāng)班工藝人員查找問題。6.3.10)當(dāng)機(jī)器出現(xiàn)報(bào)警時(shí)及時(shí)告知工序負(fù)責(zé)人或工藝設(shè)備人員。6.3.11)生產(chǎn)員工嚴(yán)禁更改工藝參數(shù)。6.4作業(yè)過程：6.4.1膜厚折射率監(jiān)控(如下圖)檢測(cè)措施（參見《橢偏儀作業(yè)指導(dǎo)書》）；檢測(cè)原則片內(nèi)85±5nm片內(nèi)2.05±0.03；監(jiān)控頻率：每兩小時(shí)測(cè)量記錄一次。6.4.3不合格品處理措施合格品按照正常程序轉(zhuǎn)序；規(guī)定的不合格品，按照文獻(xiàn)規(guī)定進(jìn)行處理；賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部8/146.5操作流程6.5.1、裝片：確認(rèn)ＰＳＧ后的來片擴(kuò)散面（一般根據(jù)片盒標(biāo)識(shí)）．裝片次序一般從左手至右次序每槽插一片（可按個(gè)人左右手習(xí)慣）后將石墨舟旋轉(zhuǎn)１８０度再按次序每槽添加一片．雙片的背靠背面為非擴(kuò)散面．保證每片擴(kuò)散面朝外。（假如是雙面擴(kuò)散則揀無色斑的為鍍膜面進(jìn)行鍍膜）。6.5.2、（見圖8）硅片按規(guī)定放入石墨舟內(nèi)，輕拿輕放，注意卡入工藝點(diǎn)貼緊石墨舟壁內(nèi)新員工按工序長的措施去做。圖（8）6.5.3、（見圖9）硅片裝載完畢后,將石墨舟依次放置在貨架車上,確認(rèn)石墨舟的電極方向（參照設(shè)備操作規(guī)程）．后將貨架車推至上料臺(tái)，放準(zhǔn)位置然后在操作,每次放舟時(shí)作業(yè)員必須看著舟進(jìn)入反應(yīng)腔內(nèi)。圖（9）賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部9/146,5，4、（見圖10）.程序運(yùn)行完畢后，將石墨舟卸至貨架車上推至冷卻房冷卻．待硅片冷卻后用吸筆取下5片單片(固定方向固定點(diǎn)從爐口到爐尾)用橢偏儀測(cè)試膜厚和折射率并進(jìn)行記錄。圖（10）,6.5.5（見圖11）、.從石墨舟上卸下硅片，放入片盒內(nèi)，鍍膜面盡量防止互相摩擦。認(rèn)真填寫好流轉(zhuǎn)單和返工及破片的狀況后移交下一工序。圖（11）賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部10/146.6、責(zé)任本工序的全體生產(chǎn)員工嚴(yán)格按本作業(yè)指導(dǎo)書的規(guī)定做好生產(chǎn)和質(zhì)量的自控工作；工序長和生產(chǎn)班長等嚴(yán)格按照本作業(yè)指導(dǎo)書的規(guī)定監(jiān)控好本工序的生產(chǎn)作業(yè)和質(zhì)量控制工作。出現(xiàn)工藝或設(shè)備問題，應(yīng)立即告知工藝人員或設(shè)備人員進(jìn)行處理，不得私自進(jìn)行調(diào)整；生產(chǎn)過程中，嚴(yán)禁員工嬉戲打鬧；生產(chǎn)員工須嚴(yán)格遵守車間勞動(dòng)紀(jì)律及工藝衛(wèi)生規(guī)定；生產(chǎn)過程中應(yīng)時(shí)刻保持PVC手套潔凈，一旦沾污，需立即更換；一般PVC手套每一小時(shí)更換一次；生產(chǎn)過程中要時(shí)刻關(guān)注設(shè)備的運(yùn)行狀況，需要離動(dòng)工作崗位時(shí)，需要找人代為關(guān)注設(shè)備運(yùn)行狀況；工藝人員在進(jìn)行工藝試驗(yàn)時(shí)，須持有對(duì)應(yīng)的工藝協(xié)作單，效率排查試驗(yàn)除外；在進(jìn)行正常工藝試驗(yàn)時(shí)，生產(chǎn)人員須按試驗(yàn)規(guī)定全力配合協(xié)助工藝人員完畢試驗(yàn)；賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部11/147記錄7.1工藝參數(shù)范圍參數(shù)SiN膜的作用備注70…75…80nm膜的厚度對(duì)最大的光吸取為最佳的減反膜參數(shù)在燒結(jié)后膜的光學(xué)特性有某些變化1.9…2.0…2.1…2.2折射率對(duì)最大的光吸取為最佳的減反膜參數(shù)在燒結(jié)后膜的光學(xué)特性有某些變化+-1…+-3…+-5%膜的均勻性氫對(duì)硅表面的鈍化強(qiáng)烈依賴燒結(jié)工藝氫對(duì)體內(nèi)的鈍化強(qiáng)烈依賴硅片的體材料氮化硅顏色與厚度的對(duì)照表顏色厚度（nm）顏色厚度（nm）顏色厚度（nm）硅本色0-20很淡藍(lán)色100-110藍(lán)色210-230褐色20-40硅本色110-120藍(lán)綠色230-250黃褐色40-50淡黃色120-130淺綠色250-280紅色55-70黃色130-150橙黃色280-300深藍(lán)色73-80橙黃色150-180紅色300-330藍(lán)色80-93紅色180-190淡藍(lán)色93-100深紅色190-210此工藝參數(shù)僅可作參照，要根據(jù)硅電池片的性質(zhì)所決定其性能參數(shù)賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部12/147.2、工藝衛(wèi)生和安全：7.2.1）氨氣：無水氨氣是一種刺激性、無色、可燃的儲(chǔ)存于鋼瓶的液化壓縮氣體。氨氣會(huì)嚴(yán)重灼傷眼、皮膚及呼吸道。當(dāng)它在空氣中的濃度超過15%時(shí)有立即導(dǎo)致火災(zāi)及爆炸的危險(xiǎn)，因此進(jìn)入這樣的區(qū)域前必須排空。進(jìn)入濃度超過暴露極限的區(qū)域要佩戴自給式呼吸器。大規(guī)模泄露時(shí)需要全身防護(hù)服，并應(yīng)隨時(shí)意識(shí)到潛在的火災(zāi)和爆炸危險(xiǎn)。暴露在氨氣中會(huì)對(duì)眼睛導(dǎo)致中度到重度的刺激。氨氣強(qiáng)烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。癥狀包括灼傷感、咳嗽、喘息加重、氣短、頭痛及惡心。過度暴露會(huì)影響中樞神經(jīng)系統(tǒng)并會(huì)導(dǎo)致痙攣和失去知覺。上呼吸道易受傷害并導(dǎo)致氣管炎。聲帶在高濃度下尤其輕易受到腐蝕，下呼吸道傷害會(huì)導(dǎo)致水腫和出血，暴露在5000ppm下5分鐘會(huì)導(dǎo)致死亡。如發(fā)生泄露，從泄漏區(qū)疏散所有的人，切斷氨氣泄漏源，然后根據(jù)燃燒的物質(zhì)進(jìn)行滅火。由于受熱鋼瓶內(nèi)壓力會(huì)升高，假如泄壓裝置功能失靈，會(huì)引起鋼瓶爆炸。7.2.2）防護(hù)措施：眼睛接觸：用大量的水沖洗，立即進(jìn)行醫(yī)療處理。吸入：將人員移到空氣清新處，若呼吸困難，則輸氧，并迅速進(jìn)行醫(yī)務(wù)處理。皮膚接觸：用大量水沖洗，立即脫掉被污染的衣服，并立即進(jìn)行藥物處理。如發(fā)生火災(zāi)，滅火劑：干粉、二氧化碳或水7.2.3）硅烷：硅烷是一種無色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體。該氣體一般與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色無定型二氧化硅煙霧。它對(duì)健康的首要危害是它自燃的火焰會(huì)引起嚴(yán)重的熱灼傷。假如嚴(yán)重甚至?xí)旅?。假如火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分?huì)使鋼瓶在安全閥啟動(dòng)之前爆炸，假如泄放硅烷時(shí)壓力過高或速度過快，會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近，不要試圖在切斷氣源之前滅火。硅烷會(huì)刺激眼睛，硅烷分解產(chǎn)生的無定型二氧化硅顆粒會(huì)引起眼睛刺激。吸賽瑞達(dá)管式PECVD作業(yè)指導(dǎo)書溫州中硅科技有限企業(yè)版本/狀態(tài)文獻(xiàn)編號(hào)頁碼部門電池生產(chǎn)部13/14入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。硅烷會(huì)刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過度吸入硅烷會(huì)引起肺炎和腎病。硅烷會(huì)刺激皮膚、硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅顆粒會(huì)引起皮膚刺激。如發(fā)生泄露，切斷氣源滅火，用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物，不要用鹵化物類滅火器。從最遠(yuǎn)的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。從泄漏區(qū)疏散所有人，切斷氣源，根據(jù)燃燒的物質(zhì)滅火。由于熱量的作用氣瓶內(nèi)壓力會(huì)升高，假如泄壓裝置失靈會(huì)引起鋼瓶爆炸。7.2.4防護(hù)措施：由于硅烷泄漏引起人員灼傷應(yīng)由受過培訓(xùn)的人員進(jìn)行急救，并立即尋求醫(yī)療處理。眼睛接觸：應(yīng)立即用水沖洗至少15分鐘，水流不要太快，同步翻開眼