貴州筑芯威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司年產(chǎn)60萬片半導(dǎo)體防浪涌芯片產(chǎn)研銷項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告

報(bào)批本一”環(huán)境影響報(bào)告表(含風(fēng)險(xiǎn)專項(xiàng)評(píng)價(jià))項(xiàng)目名稱：年產(chǎn)60萬片半導(dǎo)體防浪涌芯片產(chǎn)研銷項(xiàng)目建設(shè)單位(蓋章)：貴州筑芯威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司月中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制1一、建設(shè)項(xiàng)目基本情況建設(shè)項(xiàng)目名稱年產(chǎn)60萬片半導(dǎo)體防浪涌芯片產(chǎn)研銷項(xiàng)目項(xiàng)目代碼/建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點(diǎn) 貴州省(自治區(qū))貴陽市花溪縣(區(qū))燕樓鎮(zhèn)(鄉(xiāng)/街道)獅子口龍燕路南側(cè)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地地理坐標(biāo)(106度37分48.94秒，26度20分7.26秒)國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類別C3979其他電子器件制造建設(shè)項(xiàng)目行業(yè)類別三十六、計(jì)算機(jī)、通信和其他電及電子專用材料制造398—有酸洗的建設(shè)性質(zhì)團(tuán)新建(遷建)改建擴(kuò)建技術(shù)改造建設(shè)項(xiàng)目申報(bào)情形團(tuán)首次申報(bào)項(xiàng)目不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/備案)部門(選填)/項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/備案)文號(hào)(選填)/總投資(萬元)2000環(huán)保投資(萬元)31環(huán)保投資占比(%)施工工期2022年4月~2022年10月(6個(gè)月)是否開工建設(shè)是：2500專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情況根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南污染影響類》(試行)，本項(xiàng)目中有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過臨界量，需進(jìn)行環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)專項(xiàng)評(píng)價(jià)，環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)專項(xiàng)評(píng)價(jià)內(nèi)容附報(bào)告后規(guī)劃情況規(guī)劃名稱：《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃》規(guī)劃實(shí)施單位：貴陽市花溪區(qū)產(chǎn)業(yè)園區(qū)管理委員會(huì)審查機(jī)關(guān)：貴陽市花溪區(qū)人民政府審批文號(hào)：花府函[2020]173號(hào)規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)情況文件名稱：《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》審查機(jī)關(guān)：貴陽市生態(tài)環(huán)境局審批文件名稱：貴陽市生態(tài)環(huán)境局筑環(huán)函[2020]55號(hào)<關(guān)于對(duì)《中關(guān)2村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》審查意見函>審批文號(hào)：筑環(huán)函[2020]55號(hào)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)符合性分析1、項(xiàng)目與《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)》的符合性分析項(xiàng)目位于貴陽市花溪區(qū)燕樓鎮(zhèn)中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園，項(xiàng)目屬于燕樓產(chǎn)業(yè)園產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃先進(jìn)制造基礎(chǔ)配套產(chǎn)業(yè)，項(xiàng)目用地屬于規(guī)劃工業(yè)用地之中，符合用地規(guī)劃。項(xiàng)目與中關(guān)村貴陽科技園經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園位置關(guān)系見附圖1、項(xiàng)目與燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃關(guān)系見附圖2。2、項(xiàng)目與《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》及審查意見的符合性分析⑴與規(guī)劃環(huán)境影響報(bào)告書的符合性項(xiàng)目與規(guī)劃產(chǎn)業(yè)負(fù)面清單分析見表1、與生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入要求分析2。表1項(xiàng)目與規(guī)劃產(chǎn)業(yè)負(fù)面清單符合性分析結(jié)果產(chǎn)業(yè)負(fù)面清單要求本項(xiàng)目符合性⑴禁止新(改、擴(kuò))建除熱電聯(lián)產(chǎn)以外的煤電、鋼鐵、建材、焦化、有色、石化、化工等行業(yè)中的高污染項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于該類項(xiàng)目。符合⑵禁止新建涉及有毒有害氣體排放的化工項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于化工項(xiàng)目且不涉及有毒有害氣體排放。符合⑶禁止使用有磷洗滌劑；禁止生產(chǎn)、銷售和使用各種含磷洗滌劑。本項(xiàng)目不涉及含磷洗滌符合⑷禁止未經(jīng)評(píng)估和無害化治理的污染場(chǎng)地進(jìn)行土地流轉(zhuǎn)和開發(fā)利用。本項(xiàng)目租用貴陽市花溪產(chǎn)業(yè)投資(集團(tuán))有限公司在建花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地103廠房。符合⑸綠色生態(tài)廊道內(nèi)禁止開發(fā)建設(shè)。本項(xiàng)目位于燕樓產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃工業(yè)用地，不涉及綠色廊道。符合⑹禁止建設(shè)生產(chǎn)和使用高VOCs含量的溶劑型涂料、油墨、膠粘劑等項(xiàng)目。本項(xiàng)目不涉及生產(chǎn)和使用高VOCs含量的溶劑型涂料、油墨、膠粘劑。符合⑺禁止以化工原料名義出售調(diào)和油組分，禁止以化工原料勾兌調(diào)和油，嚴(yán)禁運(yùn)輸企業(yè)儲(chǔ)存使用非標(biāo)油，堅(jiān)決取締黑加油站點(diǎn)。本項(xiàng)目不涉及。符合3⑻禁止新建每小時(shí)75蒸噸及以下燃煤鍋爐。本項(xiàng)目不涉及鍋爐。符合⑼嚴(yán)禁引入國(guó)家明令淘汰的落后生產(chǎn)能力、工藝和產(chǎn)品和國(guó)家明確禁止建設(shè)本項(xiàng)目不屬于禁止建設(shè)符合⑽禁止不符合園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位的項(xiàng)目入駐本項(xiàng)目屬于燕樓產(chǎn)業(yè)園產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃先進(jìn)制造基礎(chǔ)配套產(chǎn)業(yè)，與園區(qū)產(chǎn)業(yè)相符。符合⑾嚴(yán)禁不符合部分國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的項(xiàng)本項(xiàng)目屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》中鼓勵(lì)類，符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策。符合表2項(xiàng)目與規(guī)劃生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單符合性分析結(jié)果清單類型產(chǎn)業(yè)負(fù)面清單要求本項(xiàng)目符合性空間布局⑴生態(tài)紅線范圍內(nèi)禁止開發(fā)活動(dòng)本項(xiàng)目不占用生態(tài)保護(hù)符合⑵燕魯小河水源保護(hù)區(qū)上有集雨面積范圍內(nèi)禁止加上地下水污染型建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目不在該保護(hù)區(qū)范符合⑶根據(jù)園區(qū)產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃，企業(yè)必須進(jìn)入相應(yīng)產(chǎn)業(yè)布局區(qū)域。本項(xiàng)目為半導(dǎo)體防浪涌芯片產(chǎn)研銷項(xiàng)目，位于先進(jìn)制造基礎(chǔ)配套產(chǎn)業(yè)區(qū)域。符合⑷園區(qū)涉重項(xiàng)目，必須嚴(yán)格執(zhí)行重點(diǎn)重金屬污染物特別排放限值。無明確具體重金屬總量來源的，各級(jí)生態(tài)環(huán)境管理部門不得審批項(xiàng)本項(xiàng)目含鎳廢水為生產(chǎn)工藝中的化學(xué)鍍鎳后清洗產(chǎn)生，含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水預(yù)處理GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)后，經(jīng)特殊運(yùn)輸車運(yùn)至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司處理，無需另行申請(qǐng)總量。符合污染物排放管控⑸園區(qū)實(shí)行污染物總量管控，污染物總量滿負(fù)荷后不得繼續(xù)引進(jìn)項(xiàng)目本項(xiàng)目大氣有組織污染請(qǐng)總量，本項(xiàng)目廢水屬于間接排放，且下游污水處理廠及處置單位均能處理本項(xiàng)目廢水，不會(huì)突破園區(qū)污染物總量控制。符合⑹甕崗河禁止設(shè)置排污口本項(xiàng)目廢水為間接排放，不新增排污口。符合⑺青巖河實(shí)行污染物排放總量管控。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)⑻近期完成園區(qū)污水管網(wǎng)、中水回用管網(wǎng)建設(shè)，與近期建設(shè)項(xiàng)目同步設(shè)施、同步完成、同步投入使用。本項(xiàng)目租用貴陽市花溪產(chǎn)業(yè)投資(集團(tuán))有限公司在建花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地103廠房設(shè)符合4置生產(chǎn)線，園區(qū)污水管網(wǎng)等基礎(chǔ)設(shè)施已配套。資源開發(fā)利用要求⑼規(guī)劃區(qū)土地資料利用上限12.3505平方公里工業(yè)用地，未突破園區(qū)規(guī)劃限制。符合⑽規(guī)劃區(qū)禁止使用燃煤鍋爐本項(xiàng)目不涉及鍋爐。符合2.3-5產(chǎn)業(yè)入駐準(zhǔn)入指標(biāo)體系表的要求，控制好工業(yè)用水重復(fù)利用率、可再生能源使用率、單位工業(yè)增加值廢水產(chǎn)生量、單位工業(yè)增加值新鮮水耗等指標(biāo)。本項(xiàng)目嚴(yán)格按照?qǐng)@區(qū)規(guī)劃相關(guān)要求實(shí)施，廢水、廢氣、固體廢物、噪聲等采取防治措施后均可滿足規(guī)劃中生態(tài)環(huán)境保護(hù)要求。符合根據(jù)表1、表2分析結(jié)果可知，本項(xiàng)目符合《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》規(guī)劃產(chǎn)業(yè)負(fù)面清單及生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入要求規(guī)定。⑵與規(guī)劃環(huán)境影響報(bào)告書審查意見的符合性《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》審查意見中提出的相關(guān)要求及符合性分析如下：①加強(qiáng)空間管制、總量管控和環(huán)境準(zhǔn)人在前文的表1、表2中已分析，本處不再贅述。②嚴(yán)格企業(yè)污染控制措施項(xiàng)目廢氣污染物主要為生產(chǎn)線清洗、光刻、蝕刻、鈍化等工序產(chǎn)生的酸性廢氣和有機(jī)廢氣，以及噴砂產(chǎn)生的粉塵。生產(chǎn)線設(shè)置在密閉廠房?jī)?nèi)，工藝節(jié)點(diǎn)酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋塔處理后經(jīng)1#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)粉塵采取集氣罩收集后經(jīng)2#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)有機(jī)廢氣采取活性炭吸附處理后經(jīng)3#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；車間無組織廢氣采用排風(fēng)系統(tǒng)加強(qiáng)通風(fēng)換氣。廢氣經(jīng)采取處理措施后對(duì)環(huán)境空氣影響小，滿足大氣污染治理要求。項(xiàng)目生產(chǎn)廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水處理站處理，設(shè)置含氟廢水、含鎳廢水分質(zhì)處理設(shè)施，兩種廢水處理設(shè)施均采取“化學(xué)沉淀”工藝。其中含氟廢水采取“pH調(diào)節(jié)+CaCl2化學(xué)沉淀+絮凝沉淀”工藝，含鎳廢水采取“pH調(diào)節(jié)+H2O2破絡(luò)+Na2S化學(xué)沉淀”工藝。含氟廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后與純水制備產(chǎn)生濃水混合后排至項(xiàng)目北側(cè)龍燕路的市政污水管后排入燕樓污水處理廠處理(已辦理含5氟廢水處置協(xié)議，見附件5)；含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)后運(yùn)輸至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理(已辦理含鎳廢水處置協(xié)議，見附件6)。職工辦公等產(chǎn)生的生活污水主要為車間衛(wèi)生間污水，依托基地化糞池截留沉淀處理達(dá)燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，符合水污染防治要求。項(xiàng)目生產(chǎn)產(chǎn)生的一般固體廢物(廢砂、廢刀片、廢包裝、不合格產(chǎn)品等)集中收集后外售；含氟廢水處理設(shè)施產(chǎn)生的污泥定期清掏，根據(jù)實(shí)際工藝產(chǎn)生的污泥進(jìn)行危險(xiǎn)廢物性質(zhì)的鑒定，若鑒定為危險(xiǎn)廢物則委托有資質(zhì)的單位進(jìn)行處置，若為一般固廢，則移交園區(qū)建材企業(yè)綜合利用。危險(xiǎn)廢物(酸性廢液、含氟廢液、廢弱堿液、有機(jī)廢液、廢鎳液、廢活性炭、廢機(jī)油、含鎳污泥等)集中收集后，分區(qū)暫存于危廢暫存間，交有資質(zhì)單位處置；職工辦公等生活垃圾由車間一層設(shè)置垃圾箱收集后依托基地垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)箱收集，由環(huán)衛(wèi)部門運(yùn)至中電項(xiàng)目燕樓生活垃圾綜合處置場(chǎng)處理。③嚴(yán)格遵循重金屬污染物排放“減量置換”或“等量替換”的原則，涉重項(xiàng)目環(huán)評(píng)階段必須有明確具體的重金屬總量來源本項(xiàng)目含鎳廢水為生產(chǎn)工藝中的化學(xué)鍍鎳后清洗產(chǎn)生，含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水預(yù)處理GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)后，經(jīng)特殊運(yùn)輸車運(yùn)至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司處理，廢水屬于間接排放，不涉及總量控制。④加強(qiáng)工業(yè)發(fā)展過程中的環(huán)境管理與風(fēng)險(xiǎn)管控，污水處理管網(wǎng)、中水回用管網(wǎng)、必須與園區(qū)同步建設(shè)，強(qiáng)化風(fēng)險(xiǎn)管理，完善風(fēng)險(xiǎn)防控管理體系。本項(xiàng)項(xiàng)目嚴(yán)格按照規(guī)劃及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)管理，完善風(fēng)險(xiǎn)防控管理體系，環(huán)評(píng)對(duì)企業(yè)提出了應(yīng)急預(yù)案內(nèi)容要求以及風(fēng)險(xiǎn)防范措施，詳細(xì)內(nèi)容見下文環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)專項(xiàng)評(píng)價(jià)章節(jié)。綜上所述，項(xiàng)目在嚴(yán)格采取相應(yīng)環(huán)保治理措施的前提下，與《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》審查意見中相關(guān)內(nèi)容相符。其他符合性分析1、產(chǎn)業(yè)政策符合性分析根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》(中華人民共和6國(guó)國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)令第29號(hào))，項(xiàng)目屬于鼓勵(lì)類中“二十八、信息產(chǎn)業(yè)；21、新型電子元器件(片式元器件、頻率元器件、混合集成電路、電力電子器件、光電子器件、敏感元器件及傳感器、新型機(jī)電元件、高密度印刷電路板和柔性電路板等)制造”類，符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策。2、項(xiàng)目與《“十三五”揮發(fā)性有機(jī)物污染防治工作方案》(環(huán)大氣[2017]121號(hào))符合性分析本項(xiàng)目與《“十三五”揮發(fā)性有機(jī)物污染防治工作方案》符合性分析見表3。表3項(xiàng)目與“十三五”揮發(fā)性有機(jī)物污染防治工作方案符合性分析一覽表序號(hào)方案條例本項(xiàng)目符合性1嚴(yán)格建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入。提高VOCs排放重點(diǎn)行業(yè)環(huán)保準(zhǔn)入門檻，嚴(yán)格控制新增污染物排放量。重點(diǎn)地區(qū)要嚴(yán)格限制石化、化工、包裝印刷、工業(yè)涂裝等高VOCs排放建設(shè)項(xiàng)目。新建涉VOCs排放的工業(yè)企業(yè)要入園區(qū)。嚴(yán)格涉VOCs建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)，實(shí)行區(qū)域內(nèi)VOCs排放等量或倍量削減替代，并將替代方案落實(shí)到企業(yè)排污許可證中，納排放項(xiàng)目，應(yīng)從源頭加強(qiáng)控制，使用低(無)VOCs含量的原輔材料，加強(qiáng)廢氣收集，安裝高效治理設(shè)施。符合。本項(xiàng)目位于花溪區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)，所在區(qū)域不屬于重點(diǎn)地區(qū)。本項(xiàng)目有機(jī)物料設(shè)置專門的有機(jī)物料倉庫存儲(chǔ)，采用專門的化學(xué)品膠桶密封存儲(chǔ)并做好相關(guān)防滲防漏措施，減少了源頭排放。生產(chǎn)過程中光刻和鈍化工序等涉及有機(jī)物料使用的在通風(fēng)櫥中進(jìn)行，生產(chǎn)活動(dòng)產(chǎn)生的VOCs經(jīng)活性炭吸附處理裝置處理后達(dá)標(biāo)排放。2因地制宜推進(jìn)其他行業(yè)VOCs綜合治理。各地應(yīng)結(jié)合本地產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)特征，光刻、涂膠、涂裝等工序VOCs排放控制。3、項(xiàng)目與《揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)污染防治技術(shù)政策》符合性分析根據(jù)生態(tài)環(huán)境部公告2013年第31號(hào)《揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)污染防治技術(shù)政策》，項(xiàng)目與其符合性分析見表4。表4項(xiàng)目與揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)污染防治技術(shù)政策符合性分析一覽表序號(hào)政策條例本項(xiàng)目符合性1源頭和過程控制。含VOCs產(chǎn)品的使用過程中，應(yīng)采取廢氣收集措施，提高廢氣收集效率，減少廢氣的無組織排放與逸散，并對(duì)收集后的廢氣進(jìn)行回收或處理后達(dá)標(biāo)排放。符合。本項(xiàng)目有機(jī)物料設(shè)置專門的有機(jī)物料倉庫存儲(chǔ)，采用專門的化學(xué)品膠桶密封存儲(chǔ)并做好相關(guān)防滲防漏措施。生產(chǎn)過程中涉及有機(jī)物料使用的在通風(fēng)櫥中進(jìn)行，生產(chǎn)活72VOCs回收價(jià)值時(shí)可采用吸附技術(shù)、吸收技術(shù)對(duì)有機(jī)溶劑回收后達(dá)標(biāo)排放，不宜回收時(shí)，可采用吸附濃縮燃燒技術(shù)、生物技術(shù)、吸附技術(shù)、等離子體技術(shù)或紫外高級(jí)氧化技術(shù)等凈化后達(dá)標(biāo)排放。動(dòng)產(chǎn)生的VOCs經(jīng)活性炭吸附處理裝置處理后達(dá)標(biāo)排放。3末端治理與綜合利用。對(duì)于不能再生的過濾材料、吸附劑及催化劑等凈化材料，應(yīng)按照國(guó)家固體廢物管理的相關(guān)規(guī)定處理處置。符合。本項(xiàng)目有機(jī)廢氣處理的活性炭吸附凈化裝置中產(chǎn)生的廢活性炭收集后暫存于危險(xiǎn)廢物暫存間，定期交有資質(zhì)單位處置。4、與《打贏藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)三年行動(dòng)計(jì)劃》符合性分析根據(jù)國(guó)務(wù)院文件國(guó)發(fā)〔2018〕22號(hào)關(guān)于印發(fā)《打贏藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)三年行動(dòng)計(jì)劃》的通知，本項(xiàng)目不屬于高耗能、高污染企業(yè)，項(xiàng)目廢氣嚴(yán)格采取污染防治措施后達(dá)標(biāo)排放，與行動(dòng)計(jì)劃相符。5、項(xiàng)目與“三線一單”符合性分析根據(jù)筑府發(fā)〔2020〕20號(hào)《貴陽市人民政府關(guān)于印發(fā)貴陽市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案的通知》，本項(xiàng)目與“三線一單”符合性分析如下：⑴生態(tài)紅線根據(jù)黔府發(fā)〔2018〕16號(hào)《省人民政府關(guān)于發(fā)布貴州省生態(tài)保護(hù)紅線的通知》，項(xiàng)目位于貴陽市花溪區(qū)燕樓鎮(zhèn)中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)，項(xiàng)目租用貴陽市花溪產(chǎn)業(yè)投資(集團(tuán))有限公司在建花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地103廠房，不占用生態(tài)保護(hù)紅線，項(xiàng)目與生態(tài)紅線位置關(guān)系見附圖3。⑵環(huán)境質(zhì)量底線①大氣環(huán)境項(xiàng)目所在區(qū)域貴陽市大氣環(huán)境質(zhì)量底線(以PM2.5年均濃度為基準(zhǔn))2020年、2025年及2035年分別為<35μg/m3、<33μg/m3、28μg/m3。根據(jù)《2020年貴陽市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》，現(xiàn)狀滿足大氣環(huán)境質(zhì)量底線要求。項(xiàng)目生產(chǎn)線設(shè)置于密閉廠房?jī)?nèi)，工藝節(jié)點(diǎn)酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋塔處理后經(jīng)1#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)粉塵采取集氣罩收集后經(jīng)2#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)有機(jī)廢氣采取活性炭吸附處理后經(jīng)3#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；車間無組織廢氣采用排風(fēng)系統(tǒng)加強(qiáng)通風(fēng)換氣。廢氣采取處理措施后對(duì)環(huán)境空氣影響小。8②水環(huán)境項(xiàng)目周圍環(huán)境主要地表水為翁崗河和青巖河(下游稱漣江)，翁崗河為青巖河支流，屬于漣江花溪區(qū)控制單元，漣江水環(huán)境質(zhì)量底線為2020年、2025年2035年均達(dá)到Ⅲ類。根據(jù)《2020年貴陽市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》中數(shù)據(jù)顯示，現(xiàn)狀青巖河水質(zhì)為Ⅱ類，滿足水環(huán)境管控單元Ⅲ類水質(zhì)目標(biāo)。本項(xiàng)目建成后，含氟生產(chǎn)廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，與純水制備產(chǎn)生濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后運(yùn)輸至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理；職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地化糞池截留沉淀處理達(dá)燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，項(xiàng)目建設(shè)不會(huì)導(dǎo)致水質(zhì)發(fā)生突發(fā)性變化。③土壤到2020年，全市土壤環(huán)境質(zhì)量總體保持穩(wěn)定，農(nóng)用地和建設(shè)用地土壤環(huán)境安全得到基本保障，土壤環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)得到基本管控。到2025年，土壤環(huán)境質(zhì)量繼續(xù)保持穩(wěn)定，農(nóng)用地和建設(shè)用地土壤環(huán)境安全得到進(jìn)一步保障，土壤環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)得到進(jìn)一步管控。到2030年，土壤環(huán)境質(zhì)量穩(wěn)中向好，農(nóng)用地和建設(shè)用地土壤環(huán)境安全得到有效保障，土壤環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)得到全面管控。到2035年，全市土壤環(huán)境質(zhì)量得到進(jìn)一步改善，生態(tài)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)良性循環(huán)。項(xiàng)目租用貴陽市花溪產(chǎn)業(yè)投資(集團(tuán))有限公司在建花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地103廠房設(shè)置生產(chǎn)線，用地穩(wěn)定安全，與底線相符。⑶資源利用上線本項(xiàng)目不涉及能源(煤炭)、岸線內(nèi)容，則僅分析水資源和土地資源。貴陽市花溪區(qū)用水總量約束性指標(biāo)至2030年為1.45億m3。本項(xiàng)目用水取自市政給水，在花溪區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃用水范圍。貴陽市花溪區(qū)土地利用上線控制指標(biāo)中建設(shè)用地總規(guī)模指標(biāo)為17002.49ha。本項(xiàng)目用地屬于《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)》規(guī)劃工業(yè)用地，用地不會(huì)突破許可用地要求。9⑷生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單ZH52011120002)，項(xiàng)目與花溪區(qū)燕樓工業(yè)園重點(diǎn)管控單元位置關(guān)系見附圖4。符合性分析見表5。表5項(xiàng)目與花溪區(qū)燕樓工業(yè)園重點(diǎn)管控單元符合性分析一覽表序號(hào)管控單元要求本項(xiàng)目符合性1①按照貴州省、黔中經(jīng)濟(jì)控要求中水環(huán)境工業(yè)污染重點(diǎn)管控放區(qū)普適性準(zhǔn)入要求執(zhí)行。污染、高能耗行業(yè)。③不得引入與目前園區(qū)功能定位和產(chǎn)業(yè)規(guī)劃相沖突的企業(yè)。④嚴(yán)禁引入國(guó)家明令淘汰工藝和產(chǎn)品和國(guó)家明確禁止建設(shè)的“新五小”⑤花溪區(qū)燕樓工業(yè)園主要足《貴陽市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于貴陽市產(chǎn)業(yè)園區(qū)主要行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)》(筑環(huán)函[2019]245號(hào))附件《貴陽市產(chǎn)業(yè)園區(qū)主要行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入一覽表》要求。符合。①本項(xiàng)目不排放重金屬廢氣，不使用燃煤，項(xiàng)目符合貴州省及貴陽市水要素普適性要求；②項(xiàng)目廢氣及廢氣污染物排放量均較小，對(duì)環(huán)境影響小；③本項(xiàng)目為半導(dǎo)體芯片產(chǎn)研硝項(xiàng)目，位于先進(jìn)制造基礎(chǔ)配套產(chǎn)④本項(xiàng)目不屬于限制及淘汰類產(chǎn)業(yè)，項(xiàng)目不采用落后的生產(chǎn)工藝、技術(shù)和設(shè)備。⑤本項(xiàng)目滿足主要行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入相關(guān)要求。2①園區(qū)企業(yè)廢水處理達(dá)到相應(yīng)行業(yè)預(yù)處理標(biāo)準(zhǔn)并經(jīng)允許接納后，可進(jìn)入園區(qū)污水處理廠處理后達(dá)標(biāo)排放；排放污水需滿足規(guī)劃環(huán)評(píng)提出的對(duì)應(yīng)受納水體水環(huán)境容量要求。②所有入駐企業(yè)必須實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)廢水、生活廢水達(dá)標(biāo)循升級(jí)工業(yè)集聚區(qū)應(yīng)同步規(guī)劃建設(shè)污水集中處理設(shè)施并安裝自動(dòng)在線監(jiān)控裝置。③在規(guī)劃園區(qū)內(nèi)盡可能實(shí)現(xiàn)廢物的資源化，建設(shè)中水回用設(shè)施，提高水循環(huán)利用符合。①本含氟廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，與純水制備產(chǎn)生濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，含鎳廢水預(yù)處理達(dá)GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)后，運(yùn)至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理；職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地化糞池截留沉淀處理后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理。②對(duì)建設(shè)單位提出了自行監(jiān)測(cè)要求，企業(yè)運(yùn)行期間按照相關(guān)技術(shù)規(guī)范和自行監(jiān)測(cè)要求進(jìn)行監(jiān)測(cè)管率。④采取多措并舉提高工業(yè)固廢的綜合利用水平。⑤大氣污染物排放需要滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-2017)排放 等)需滿足園區(qū)規(guī)劃環(huán)評(píng)大氣環(huán)境容量和總量控制要求，工業(yè)廢氣排放達(dá)標(biāo)率100%。理，并建議建設(shè)單位對(duì)(含廢水中流量、pH、氟化物、鎳等因子安裝自動(dòng)監(jiān)測(cè)設(shè)備)③項(xiàng)目廢水的下游處置單位燕樓污水處理廠、貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站尾水，在園區(qū)內(nèi)實(shí)現(xiàn)綜合利用，實(shí)現(xiàn)園區(qū)中水回用。④本項(xiàng)目一般固廢集中收集后外售，含氟污泥若鑒定為一般固廢后，可移交園區(qū)進(jìn)行資源化利用。⑤項(xiàng)目生產(chǎn)工藝節(jié)點(diǎn)產(chǎn)生的酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋塔處理后經(jīng)1#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)粉塵采取集氣罩收集后經(jīng)2#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)有機(jī)廢氣采取活性炭吸附處理后經(jīng)3#排氣筒達(dá)標(biāo)排放；車間無組織廢氣采用排風(fēng)系統(tǒng)加強(qiáng)通風(fēng)換氣。3①園區(qū)應(yīng)制定環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案，按要求開展突發(fā)環(huán)境事件風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估?；痉稀－h(huán)評(píng)提出建設(shè)單位應(yīng)按照[2015]4號(hào)《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案?jìng)浒腹芾磙k法(試行)》要求編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案并報(bào)生態(tài)環(huán)境主管部門備案，應(yīng)急預(yù)案編制時(shí)考慮與園區(qū)應(yīng)急預(yù)案聯(lián)動(dòng)，形成多級(jí)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控體系。4水資源：2020年用水總量控mGDP水量下降26%，萬元工業(yè)增加值用水量下降28%，土地資源：2020年人均城鎮(zhèn)工礦用地不超過130m2，億元GDP建設(shè)用地量不超過23.59公頃/億元。符合。本項(xiàng)目新鮮用水量較低，且用水量在園區(qū)水資源估算范圍內(nèi)，對(duì)區(qū)域總用水量控制影響?。豁?xiàng)目用地位于園區(qū)已規(guī)劃用地，不屬于新增占用地，對(duì)區(qū)域國(guó)土空間開發(fā)強(qiáng)度無影響。綜上分析，項(xiàng)目不在生態(tài)保護(hù)紅線內(nèi)，滿足環(huán)境質(zhì)量底線要求，未超出資源利用上線，本項(xiàng)目與貴陽市“三線一單”相符。6、與《貴州省建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入清單管理辦法(試行)》([2018]303號(hào))通知的符合性分析根據(jù)貴州省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于印發(fā)黔環(huán)通[2018]303號(hào)《貴州省建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入清單管理辦法(試行)》的通知，項(xiàng)目屬于“二十八、計(jì)算機(jī)、通信設(shè)備和其他電子設(shè)備制造業(yè)；83、電子元件及電子專用材料制造”，屬于綠色通道類(綠線)，編制環(huán)境影響報(bào)告表，并符合相關(guān)功能區(qū)、規(guī)劃、總量控制等要求，符合管理辦法要求。7、與《貴州省推動(dòng)長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單實(shí)施細(xì)則(試行)》符合性分析根據(jù)貴州省推動(dòng)長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室文件第22號(hào)關(guān)于印發(fā)《貴州省推動(dòng)長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單實(shí)施細(xì)則(試行)》的通知，本項(xiàng)目與其符合性分析結(jié)果見表6。表6項(xiàng)目與細(xì)則符合性分析結(jié)果序號(hào)細(xì)則要求本項(xiàng)目符合性1第五條：禁止在自然保護(hù)區(qū)核心區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)旅游和生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目。區(qū)、緩沖區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)。符合2第六條：禁止在風(fēng)景名勝區(qū)核心景區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)與風(fēng)景名勝資源保護(hù)無關(guān)的項(xiàng)目。風(fēng)景名勝區(qū)核心段保護(hù)范圍。符合3第七條：禁止在飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建與供水設(shè)施和保護(hù)水源無關(guān)的項(xiàng)目。河段范圍內(nèi)、不在內(nèi)。符合4第八條：禁止在飲用水水源二級(jí)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建排放污染物的投資建設(shè)項(xiàng)目。符合5第九條：禁止在水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的及圍湖造田等投資建設(shè)項(xiàng)目。種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)，符合6第十條：禁止在國(guó)家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi)挖沙、采礦，以及任何不符合主體功能定位的投資建設(shè)項(xiàng)目。國(guó)家濕地公園。符合7第十四條：禁止在《全國(guó)重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河段保護(hù)區(qū)、保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)不利于水資源及自然生態(tài)保護(hù)的項(xiàng)目。于劃定的河段保護(hù)區(qū)及保留區(qū)內(nèi)。符合8第十五條：禁止在生態(tài)保護(hù)紅線和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)投資建設(shè)除國(guó)家重大戰(zhàn)略資源勘查項(xiàng)目、生態(tài)保護(hù)修復(fù)和環(huán)境治理項(xiàng)目、重大基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目、軍事國(guó)防項(xiàng)目以及農(nóng)村居民基本生產(chǎn)生活等必要的民生項(xiàng)目以外的項(xiàng)目。與永久基本農(nóng)田。符合9第十七條：禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴(kuò)建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染項(xiàng)目。合規(guī)園區(qū)為列入《中國(guó)開發(fā)區(qū)審核公告目錄》或省人民政府批準(zhǔn)設(shè)立的園區(qū)。污染項(xiàng)目，且選址業(yè)園區(qū)內(nèi)符合第十九條：禁止新建、擴(kuò)建法律法規(guī)和符合相關(guān)政策明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目。后產(chǎn)能項(xiàng)目。第二十條：禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家產(chǎn)能置換要求的嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的重過剩產(chǎn)能行業(yè)。符合注：僅分析與本項(xiàng)目相關(guān)的條例根據(jù)上表分析結(jié)果可知，本項(xiàng)目符合《貴州省推動(dòng)長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單實(shí)施細(xì)則(試行)》條例規(guī)定。二、建設(shè)項(xiàng)目工程分析建設(shè)本項(xiàng)目位于貴陽市花溪區(qū)燕樓鎮(zhèn)中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園，租用花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地在建103廠房西側(cè)(總樓層高4層，每層高5m)1、2層作為項(xiàng)目生產(chǎn)車間。廠房占地面積2500m2，總建筑面積約5000m2。項(xiàng)目計(jì)劃建設(shè)一條4英寸高可靠性瞬態(tài)電壓抑制二極管(TransientVoltageSuppressor，TVS)生產(chǎn)線，產(chǎn)能為50000片/月，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)60萬片TVS芯片。項(xiàng)目組成見表7，廠區(qū)平面布置示意圖見附圖5。表7項(xiàng)目組成一覽表組成主要工程內(nèi)容主體工程純水制備區(qū)面積36.9m2，布設(shè)純水機(jī)。液氮、液氧存放區(qū)面積36.9m2，存放液氮、液氧。空壓機(jī)房面積41.6m2噴砂車間面積41.6m2封裝預(yù)留面積2033.6m2，封裝預(yù)留不在本次評(píng)價(jià)范圍內(nèi)。2F清洗車間面積158.6m2，設(shè)置清洗臺(tái)，布設(shè)清洗機(jī)、烘箱、冰柜等設(shè)備。擴(kuò)散車間面積205.6m2，布設(shè)擴(kuò)散爐。光刻車間面積84.7m2，布設(shè)涂膠、顯影、烘箱設(shè)備。測(cè)試劃片區(qū)預(yù)留實(shí)驗(yàn)室面積351.7m2，預(yù)留實(shí)驗(yàn)室不在本次評(píng)價(jià)范圍內(nèi)。酸類物料倉庫面積49.5m2，堆存酸類物料。有機(jī)類物料倉庫面積41.4m2，堆存有機(jī)物料。原料倉庫面積44.1m2，堆存其他物料。硅片來料及出貨包裝區(qū)面積25.6m2車間辦公室及會(huì)議室面積90.4m2輔助工程辦公區(qū)(設(shè)置于車間2F)面積226.4m2，作為管理人員辦公用地。休息區(qū)(設(shè)置于車間2F)面積100.0m2，設(shè)置更衣間、洗手池和外套存放區(qū)。公用工程供電接園區(qū)供電網(wǎng)供水接市政給水管網(wǎng)環(huán)保工程大氣污廢氣生產(chǎn)線設(shè)置在密閉廠房?jī)?nèi)，工藝節(jié)點(diǎn)酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋塔處理后通過1#排氣筒(25m高)達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)粉塵采取集氣罩收集后經(jīng)2#排氣筒(25m高)達(dá)標(biāo)排放；工藝節(jié)點(diǎn)有機(jī)廢氣采取活性炭吸附處理后經(jīng)3#排氣筒(25m高)達(dá)標(biāo)排放；車間無組織廢氣采用排風(fēng)系統(tǒng)加強(qiáng)換氣。水污生產(chǎn)廢水車間一層北側(cè)設(shè)置一處生產(chǎn)廢水處理站，廢水采取分質(zhì)分工藝處理。含氟廢水經(jīng)含氟廢水處理設(shè)施(規(guī)模為150m3/d)處理，采取“pH調(diào)節(jié)+CaCl2化學(xué)沉淀+絮凝沉淀”工藝；含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水處理設(shè)施(規(guī)模為20m3/d)處理，采取“pH調(diào)節(jié)+H2O2破絡(luò)+Na2S化學(xué)沉淀”工藝。含氟廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度(其中氟化物達(dá)到GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn))后，與純水制備產(chǎn)生濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理；含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后采用特殊運(yùn)輸車運(yùn)至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理。生活污水職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地廠房設(shè)置化糞池截留沉淀處理達(dá)燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理。噪聲設(shè)備噪聲清洗機(jī)、劃片機(jī)、測(cè)試機(jī)等設(shè)備設(shè)置在廠房?jī)?nèi)，并設(shè)置隔聲、減振墊等降噪措施。生活垃圾車間一層北側(cè)靠西側(cè)設(shè)置一個(gè)垃圾收集箱，生活垃圾收集后依托基地垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)箱運(yùn)至中電項(xiàng)目燕樓生活垃圾綜合處置場(chǎng)處理。一般固廢廢金剛砂收、廢刀片、不合格產(chǎn)品和廢包裝材料分類收集后暫存于一層設(shè)置的一般固廢暫存間(約15m2)，定期外售；含氟廢水處理設(shè)施產(chǎn)生的污泥定期清掏，企業(yè)投產(chǎn)后，根據(jù)實(shí)際工藝產(chǎn)生的污泥進(jìn)行危險(xiǎn)廢物性質(zhì)的鑒定，若鑒定結(jié)果為危險(xiǎn)廢物則委托有資質(zhì)的單位進(jìn)行處置，若為一般固廢，則移交園區(qū)建材企業(yè)綜合利用。危險(xiǎn)廢物設(shè)置一間危險(xiǎn)廢物暫存間，位于廠房二層北側(cè)，總面積約42m2，容積約210m3，做好相應(yīng)防滲防漏防腐蝕措施。危險(xiǎn)廢物(酸性廢液、含氟廢液、廢弱堿液、有機(jī)廢液、廢鎳液、廢活性炭、廢機(jī)油、含鎳污泥等)集中收集后，分區(qū)暫存于危險(xiǎn)廢物暫存間，定期交有資質(zhì)單位處置；含鎳廢水處理設(shè)施污泥清掏后委托有資質(zhì)單位處置。危險(xiǎn)廢物的暫存嚴(yán)格按照GB18597-2001《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》及其2013年修改單相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。地下水、土壤嚴(yán)格按照HJ610-2016《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則地下水環(huán)境》要求對(duì)酸類物料倉庫、有機(jī)物料倉庫區(qū)、危廢暫存間、涉及用酸等危險(xiǎn)物質(zhì)清洗的車間和生k≤1×10-7cm/s材料作為地面防滲材料。廠房辦公地面等進(jìn)行常規(guī)硬化處理。2、主要原輔材料項(xiàng)目主要原輔料統(tǒng)計(jì)見表8，相關(guān)能耗見表9。表8主要原輔料用量一覽表序號(hào)名稱純度或成分年用量存儲(chǔ)量單位存儲(chǔ)方式儲(chǔ)存地點(diǎn)1原硅片>99.9%60000050000片紙箱原料倉庫2磷紙/60000050000片袋裝3硼砂紙四硼酸鈉60000050000片膠袋4氨水26%~28%21.3.8t桶裝5玻璃粉/1247kgk袋裝6玻璃結(jié)合液/33028L桶裝7次亞磷酸鈉NaH2PO2·H2O70158kgk袋裝8氯化鎳NiCl2·6H2O2092kgk袋裝9雙氧水30%~35%43.03.6t桶裝氧化鋁粉/9.6kgk袋裝金剛砂/t袋裝液氮/172801440kgk儲(chǔ)罐液氧/8400700kgk儲(chǔ)罐冰醋酸>99.7%1.1t桶裝酸類物料倉庫硫酸95%~98%54.94.6t桶裝氫氟酸49%~50%25.62.1t桶裝硝酸69%~71%48.94.1t桶裝鹽酸36%~38%38.93.2t桶裝負(fù)膠漂洗液乙酸丁酯5961497L桶裝有機(jī)類物料倉庫20光刻膠含31.8%的二甲苯(1,3-二甲苯)和41.9%的乙苯5783803L桶裝21顯影液含70%~80%的正庚烷和20%~30%的二甲苯131691097L桶裝22乙基纖維素/kgk袋裝23硅膠含4%~6%的二氧化硅粉(氣相)、1%~2%的含氫硅油、86%~94%的乙烯基硅油、0.1%~0.3%的抑制劑、3~6ppm的鉑催化劑40033kkg紙箱表9相關(guān)能耗一覽表序號(hào)名稱數(shù)量單位1水60309.6t/t/2電960000、主要設(shè)備主要生產(chǎn)設(shè)備見表10，測(cè)試中心設(shè)備見表11表10主要生產(chǎn)設(shè)備一覽表序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格數(shù)量單位1純水機(jī)20t/h(每天制水8~10小時(shí))1臺(tái)2清洗臺(tái)2.3×0.9臺(tái)3大超聲機(jī)8花籃擺動(dòng)超聲2臺(tái)4小超聲清洗機(jī)4花籃2臺(tái)5擴(kuò)散爐4管7臺(tái)6噴砂機(jī)/1臺(tái)7熱電偶/47臺(tái)8蝕刻清洗臺(tái)雙花籃2臺(tái)9烤箱3排烤箱臺(tái)機(jī)3工位3臺(tái)曝光機(jī)雙工位臺(tái)顯影機(jī)/2臺(tái)體式顯微鏡/7臺(tái)晶向顯微鏡/1臺(tái)石英工具/8套四探針測(cè)試儀RTS-81臺(tái)測(cè)試機(jī)/8臺(tái)點(diǎn)測(cè)機(jī)/6臺(tái)分選機(jī)/1臺(tái)20劃片機(jī)/8臺(tái)表11測(cè)試中心設(shè)備一覽表序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量單位1高溫高壓帶電測(cè)試Hast1臺(tái)2快速溫變?cè)囼?yàn)箱EC-25EXTH1臺(tái)31000浪涌測(cè)試1/4IS07637-25a1臺(tái)51.2/50usf8/20浪涌發(fā)生器30kA1臺(tái)6靜態(tài)機(jī)臺(tái)測(cè)試機(jī)1臺(tái)7晶像顯微鏡1臺(tái)8研磨機(jī)1臺(tái)9解剖機(jī)1臺(tái)晶體管圖示儀器1臺(tái)觸屏示波器1臺(tái)4、勞動(dòng)定員及工作制度擬建項(xiàng)目勞動(dòng)定員80人，實(shí)行每天3班制，每班8h，年工作日312天。不在廠內(nèi)食宿。職工辦公等生活污水依托基地設(shè)置的化糞池截留沉淀處理，職工生活及餐飲依托燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地已建生活區(qū)及配套設(shè)施，不在本次評(píng)價(jià)內(nèi)容中。5、給排水方案⑴給水本項(xiàng)目用水取自市政給水管，生產(chǎn)線生產(chǎn)用水以建設(shè)單位設(shè)計(jì)用水為準(zhǔn)(見附件3)，生活用水定額參考DB52/T725-2019《用水定額》。⑵排水本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水處理站處理。其中含氟廢水經(jīng)含氟廢水處理設(shè)施處理，含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水處理設(shè)施處理，含氟生產(chǎn)廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度(其中氟化物達(dá)到GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn))后，與純水制備產(chǎn)生濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)后采用特殊運(yùn)輸車運(yùn)至至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理。職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地已設(shè)置的化糞池截留沉淀處理后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理。項(xiàng)目污廢水排污路徑見附圖6。本項(xiàng)目所用純水采用純水設(shè)備制得，純水設(shè)備定期由銷售廠家安排維護(hù)(包括設(shè)備中EDI系統(tǒng)涉及的廢舊離子交換樹脂由廠家定期更換，不在廠內(nèi)再生，無其他污染物產(chǎn)生)，純水制備過程中產(chǎn)生的濃水排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，純水制備工藝流程見圖1。。雙級(jí)脫脫終原箱原水純水雙級(jí)脫脫終原箱水圖1純水制備工藝流程圖表12用排水量一覽表用水項(xiàng)目(純水)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)模用水(m3/d)排水(m3/d)備注新鮮用水純水用水*1純水制備用水//171.7/42.9制水率75%2擴(kuò)散前清洗13L/片1923片/25.021.2該部分用水由純水機(jī)制備3光刻前清洗10L/片/26.34溝槽蝕刻清洗22L/片/42.336.05化學(xué)鍍鎳清洗7L/片/13.546劃片清洗15L/片/28.824.57廢氣洗滌用水//0.012/0.01循環(huán)使用(定期補(bǔ)充，表中用排水量按全年所用平均折算)8辦公用水80人4.0/3.4職工餐飲及生活污水依托基地建設(shè)的生活區(qū)及其配套環(huán)保設(shè)施處內(nèi)容中分析生產(chǎn)區(qū)辦公產(chǎn)的生活污水。9//175.7/155.7/不可預(yù)見用水//7.6/5.6按上述的10%計(jì)消防用水20L/s(室內(nèi))s/////合計(jì)193.3128.8171.3/注：“*”：表中所用純水均由新鮮水制得，即純水用水總量包含于新鮮用水總量之中。0.0020.010.01塔廢氣洗滌補(bǔ)水3.825.021.2擴(kuò)散前清洗2.998.019.298.0光刻前清洗6.378(純水)78(純水)溝槽蝕刻清洗4.328.824.5332.1電有限公42.9(濃水)0.6.4.44.03.4.44.032.0不可預(yù)見用水圖2項(xiàng)目水平衡圖(單位：m3/d)6、平面布置合理性項(xiàng)目位于中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園，租用花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地在建103標(biāo)準(zhǔn)廠房西側(cè)1、2層作為生產(chǎn)用房。一層預(yù)留封裝區(qū)域不在本次評(píng)價(jià)范圍。一層設(shè)置有液氮和液氧存放區(qū)、純水制備用房、噴砂車間、生產(chǎn)廢水處理站、生活垃圾收集箱。二層首先是北側(cè)自東向西設(shè)置有機(jī)物料倉庫、酸類物料倉庫、危險(xiǎn)廢物暫存間；其次，二層自北向南依次是更衣間、生產(chǎn)作業(yè)區(qū)(現(xiàn)場(chǎng)看板辦公區(qū)、清洗車間和擴(kuò)散車間、光刻車間)、原料倉庫、測(cè)試劃片區(qū)、預(yù)留實(shí)驗(yàn)室(不在本次評(píng)價(jià)范圍)、前臺(tái)及展廳、辦公區(qū)域。生產(chǎn)作業(yè)區(qū)分區(qū)明顯，生產(chǎn)線布局明確，無交叉操作影生產(chǎn)廢水處理站設(shè)置于一層北側(cè)，二層生產(chǎn)線產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水可自流流入廢水處理設(shè)施處理，既有效將生產(chǎn)和廢水處理設(shè)施分隔，也能降低廢水處理設(shè)施事故對(duì)生產(chǎn)線的風(fēng)險(xiǎn)影響。衛(wèi)生間設(shè)置于二層南側(cè)，衛(wèi)生間污水可沿污水管道自流進(jìn)入基地設(shè)置的化糞池。危廢暫存間設(shè)置于二層北側(cè)，與生產(chǎn)線之間有走廊間隔，危廢暫存間事故風(fēng)險(xiǎn)對(duì)生產(chǎn)線影響較?。煌瑫r(shí)危廢暫存間與廢水處理設(shè)施位于同一側(cè)，危廢暫存間發(fā)生泄露后，可由布設(shè)管道直接接入廢水處理設(shè)施，進(jìn)一步減輕危廢暫存間事故風(fēng)險(xiǎn)對(duì)周圍環(huán)境帶來的影響。一般固廢暫存間和垃圾收集點(diǎn)設(shè)置于一層北側(cè)偏西，可便于一般固體廢物的清運(yùn)和垃圾傾倒。辦公區(qū)與預(yù)留實(shí)驗(yàn)室之間設(shè)置展廳間隔，距離生產(chǎn)線較遠(yuǎn)，可降低噪聲對(duì)辦公區(qū)的影響。二層?xùn)|側(cè)有走廊，樓梯和電梯設(shè)置于南側(cè)靠東，產(chǎn)品與大件物料通過電梯輸送，方便快捷。綜合分析，項(xiàng)目平面布置較為合理。7、選址合理性項(xiàng)目用地為中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃工業(yè)用地，位于規(guī)劃先進(jìn)制造基礎(chǔ)配套產(chǎn)業(yè)組團(tuán)，項(xiàng)目與《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)》及其規(guī)劃環(huán)評(píng)與審查意見相符。同時(shí)，也符合貴陽市“三線一單”相關(guān)管控要求。本項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)施布設(shè)于密閉廠房?jī)?nèi)，生產(chǎn)線工藝節(jié)點(diǎn)酸性廢氣、粉塵、有機(jī)廢氣處理后達(dá)標(biāo)排放，車間廢氣采用排風(fēng)系統(tǒng)通風(fēng)換氣，對(duì)外環(huán)境影響小。項(xiàng)目含氟廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水處理站處理達(dá)燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度后，與純水制備產(chǎn)生的濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理；含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后運(yùn)輸至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理；職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地化糞池截留沉淀處理后，經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，對(duì)周圍水環(huán)境影響較小。設(shè)備設(shè)置于廠房?jī)?nèi)，通過設(shè)備源頭降噪、車間降噪及距離衰減后，對(duì)聲環(huán)境影響小。此外，項(xiàng)目北毗鄰龍燕路、北側(cè)500m為花安高速，項(xiàng)目東側(cè)200m為園km處為燕樓收費(fèi)站，交通便利。區(qū)域電力、給水、排水工程均已完善。20工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)1、施工期主要產(chǎn)污工序⑴施工期施工簡(jiǎn)述本項(xiàng)目租用花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地標(biāo)準(zhǔn)廠房，施工期主要為生產(chǎn)分區(qū)的設(shè)置、設(shè)備安裝，以及辦公區(qū)的內(nèi)部裝修等，施工工程規(guī)模較小。施工期工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)見圖3。廢氣廢氣、廢水施工隊(duì)伍進(jìn)場(chǎng)設(shè)備安裝室內(nèi)裝修清場(chǎng)投入使用圖3施工期工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖⑵施工期主要污染工序分析如下：①施工期廢氣：施工裝修、設(shè)備安裝鉆孔等產(chǎn)生揚(yáng)塵和少量裝修廢氣。②施工期廢水：施工人員生活污水，以及廠房改造、辦公區(qū)內(nèi)部裝修產(chǎn)生施工廢水。③施工期噪聲：施工安裝使用機(jī)械產(chǎn)生噪聲。④固體廢物：主要來自施工期裝修產(chǎn)生的裝修固廢、施工人員產(chǎn)生的生活垃圾以及設(shè)備安裝時(shí)產(chǎn)生的廢棄包裝物(廢木材及紙箱等)。2、營(yíng)運(yùn)期主要產(chǎn)污工序⑴生產(chǎn)線項(xiàng)目設(shè)置1條生產(chǎn)線，生產(chǎn)線設(shè)置清洗車間(擴(kuò)散前清洗、光刻前清洗、溝槽蝕刻)、擴(kuò)散車間(擴(kuò)散、鈍化)、噴砂車間(噴砂)、光刻車間(光刻)、測(cè)試劃片區(qū)(劃片、測(cè)試)和出貨包裝區(qū)(包裝)。生產(chǎn)線主要生產(chǎn)工藝包括：擴(kuò)散前清洗→擴(kuò)散→噴砂→光刻前清洗→光刻→溝槽蝕刻→鈍化→化學(xué)鍍鎳→劃片→測(cè)試、包裝入庫→待售。生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖4。216份硝酸1份乙酸酸性廢氣烘箱6份硝酸1份乙酸酸性廢氣烘箱擴(kuò)散爐廢水光刻前清洗廢氣水槽烘箱弱堿液硅烘箱廢水光刻廢氣甩膠盤光刻膠溝槽蝕刻廢氣烘箱廢水化學(xué)鍍鎳酸性廢氣鎳水化學(xué)鍍鎳水測(cè)試、包裝入庫水烘箱劃片烘箱測(cè)試、包裝入庫待售片廢水液水槽廢水硅片廢氣顯影液槽UV光機(jī)顯影液廢氣漂洗槽漂洗液硅酸性廢氣硅片酸槽液水槽廢水3份氫氟酸3份乙酸酸槽擴(kuò)散前清洗1份雙氧水氨氣廢水廢氣水槽廢水酸槽液廢包裝材料酸槽液噴砂機(jī)水槽鈍化烘箱片5份硝酸廢氣烘箱烘箱酸槽水槽水槽水槽液劃片鈍化擴(kuò)散片圖4生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖22①擴(kuò)散前清洗：為保證產(chǎn)品清潔度，原硅片首先進(jìn)入盛有硝酸、氫氟酸和乙酸(配比為6:1:1)混合酸的酸槽進(jìn)行浸洗，浸洗時(shí)間為2~30s，以除去原材料表面雜質(zhì)，該工序操作在清洗操作臺(tái)上進(jìn)行。浸洗完成后，進(jìn)入純水槽進(jìn)行沖洗。清洗完成進(jìn)入100~150℃干燥箱烘干后待用，采用電加熱。類比同行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，每清洗2000片硅片需對(duì)混合酸進(jìn)行更換，收集的廢酸采用專用化學(xué)品收集桶存儲(chǔ)，暫存于危廢暫存間。擴(kuò)散前清洗工序產(chǎn)生的污染物為酸洗過程中產(chǎn)生的酸性廢氣，廢酸液和清洗過程產(chǎn)生的清洗廢水，以及清洗時(shí)超聲清洗機(jī)產(chǎn)生的噪聲。②擴(kuò)散：硅片烘干后，采用人工操作在硅片表面覆上1張硼砂紙，把硅片轉(zhuǎn)移至擴(kuò)散爐中，爐內(nèi)通入O2、N2混合氣體，并采用電加熱，使擴(kuò)散爐爐內(nèi)溫度升至1200℃，使硼砂紙中硼均勻擴(kuò)散至單晶硅中，擴(kuò)散時(shí)間為1~100h，以形成P/N結(jié)(二極管的最基本核心單元，具有單向?qū)щ娞匦?。擴(kuò)散完成后待擴(kuò)散爐降至室溫后取出硅片待用。③噴砂：擴(kuò)散處理后的硅片轉(zhuǎn)移至噴砂室采用噴砂機(jī)對(duì)硅片進(jìn)行噴砂處理，噴砂工序是采用壓縮空氣為動(dòng)力，以形成高速噴射束將金剛砂高速噴射到硅片表面，由于磨料對(duì)硅片表面的沖擊和切削作用，以去除硅片表面用化學(xué)方法難以去除的雜質(zhì)。噴砂工序產(chǎn)生的污染物主要為噴砂過程中產(chǎn)生的噴砂粉塵廢氣、廢砂和噪。④光刻前清洗：噴砂后的硅片轉(zhuǎn)移至光刻前清洗臺(tái)，首先浸入氫氟酸(濃度為50%)槽，進(jìn)行約1min的浸洗，除去硅片表面的氧化物；浸洗完成后取出再進(jìn)入盛有氨水、雙氧水的水槽(氨水：雙氧水=1:1)浸洗，進(jìn)行約30s的浸洗，以進(jìn)一步去除硅片表面的氧化物。最后進(jìn)入盛有鹽酸、雙氧水的水槽(鹽酸：雙氧水=1:1)浸洗，浸洗時(shí)間約1min。每步浸洗完成后均采用純水對(duì)硅片進(jìn)行沖洗和烘干，工藝同擴(kuò)散前清洗，純水沖洗均在同一水槽進(jìn)行。類比同行業(yè)運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，上述浸洗溶液每處理2000片硅片就需進(jìn)行更換，廢液經(jīng)收集后采用專用化學(xué)品收集桶存儲(chǔ)，暫存于危廢暫存間。光刻前清洗工序產(chǎn)生的污染物主要為酸洗過程酸揮發(fā)產(chǎn)生的酸性廢氣、氨氣、廢酸液，清洗過程產(chǎn)生的清洗廢水，清洗過程超聲清洗機(jī)產(chǎn)生的噪聲。⑤光刻：完成清洗的硅片通過人工轉(zhuǎn)移至光刻區(qū)，硅片在光刻區(qū)完成3步操→顯影。涂膠：首先將硅片放置于甩膠盤上，然后用滴管滴上數(shù)滴負(fù)性光刻膠，利用甩膠盤轉(zhuǎn)動(dòng)(轉(zhuǎn)速=1000轉(zhuǎn)/min)時(shí)產(chǎn)生的離心力，將片子上多余的膠液甩掉，23在光刻膠表面粘附和離心力的共同作用下形成厚度均勻的膠膜。然后對(duì)硅片進(jìn)行加熱，溫度為90℃，加熱45min，對(duì)光刻膠進(jìn)行預(yù)烘。曝光：涂膠完成后把硅片放置于UV光機(jī)中進(jìn)行選擇性曝光，利用UV光機(jī)發(fā)射的波長(zhǎng)為315~400nm的紫外線照射，曝光時(shí)間為1min。曝光區(qū)的光刻膠很快發(fā)生光固化反應(yīng)，形成不溶于蝕刻酸的物質(zhì)。顯影：曝光后，將硅片浸入盛有顯影液的槽中，使未經(jīng)曝光的光刻膠溶解，使硅片表面形成圖形掩膜。顯影完成后取出硅片晾干再浸入盛有負(fù)膠漂洗液的槽，對(duì)硅片進(jìn)行浸洗，加固經(jīng)曝光的光刻膠。光刻工序均在通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行，產(chǎn)生的污染物主要為甩膠盤、顯影液槽、漂洗槽等使用的有機(jī)物料揮發(fā)產(chǎn)生的TRVOC，同時(shí)甩膠產(chǎn)生廢光刻膠、顯影產(chǎn)生廢顯影液、漂洗產(chǎn)生廢漂洗液。類比同行業(yè)實(shí)際生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，顯影液、負(fù)膠漂洗液每處理2000片硅片需更換，廢液收集后采用專用化學(xué)品收集桶存儲(chǔ)，暫存于危廢暫存間。⑥溝槽蝕刻：光刻完成后，將工件轉(zhuǎn)移至蝕刻操作臺(tái)，浸入盛有硝酸、氫將表面沒有光刻膠保護(hù)的硅片進(jìn)行蝕刻，形成凹凸或者鏤空的效果。類比同行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，蝕刻液每處理2000片硅片需更換，廢液收集后采用膠桶存儲(chǔ)，暫存于危廢暫存間。蝕刻完成后取出工件置于盛有硫酸(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為95%)的酸槽中浸洗，浸洗時(shí)間為1~60min，浸硫酸目的是為除去經(jīng)曝光的光刻膠。硫酸每處理1500片需更換，廢液收集后采用專用化學(xué)品收集桶存儲(chǔ)，暫存于危廢暫存間。上述每步浸洗完成后均采用純水對(duì)硅片進(jìn)行沖洗和烘干，工藝同擴(kuò)散前清洗，純水沖洗均在同一水槽進(jìn)行。溝槽蝕刻工序產(chǎn)生的污染物主要為酸槽中酸揮發(fā)產(chǎn)生的酸性廢氣、廢酸液，清洗過車產(chǎn)生的清洗廢水，清洗過車中超聲清洗機(jī)等產(chǎn)生的噪聲。⑦鈍化：經(jīng)蝕刻的工件轉(zhuǎn)移至涂覆區(qū)進(jìn)行硅膠涂覆，涂覆目的是為對(duì)硅片溝槽進(jìn)行保護(hù)，防止后續(xù)工序?qū)喜鄣钠茐?。使用硅橡膠對(duì)硅片溝槽進(jìn)行人工涂覆，涂覆好后的工件置于電熱干燥箱中固化，固化溫度為120℃，時(shí)間15min。固化完成后待烤箱降溫后取出工件轉(zhuǎn)移至鍍鎳操作臺(tái)。鈍化工序產(chǎn)生的污染物主要為硅膠涂覆所產(chǎn)生的TRVOC。⑧化學(xué)鍍鎳：鈍化后的硅片采用化學(xué)鍍鎳的方式在硅片表面進(jìn)行鍍鎳。鍍鎳方式：硅片浸入盛有鎳水(NiCl2·6H2O：NaH2PO2·H2O=2:5)的槽中，采用電對(duì)槽液進(jìn)行加熱，使鎳組升溫至95℃進(jìn)行鍍鎳?；瘜W(xué)鍍鎳主要分為三步：第24一步，在加熱條件下，通過金屬的催化作用，鍍液的次磷酸根在催化金屬表面上催化脫氫，生成原子氫([H])和氫離子(H+)，同時(shí)次磷酸跟被氧化成亞磷酸根；第二步，原子氫[H]吸附于催化金屬表面，并使鍍液中的鎳離子(Ni2+)進(jìn)行還原反應(yīng)，在金屬表面沉積出現(xiàn)鎳層；第三步，在催化金屬表面，部分次磷酸根在氫離子(H+)作用下，被原子氫[H]還原成單質(zhì)磷(P)，并進(jìn)入鎳層，進(jìn)而形成Ni-P合金鍍層。鍍鎳浸漬2min，鍍鎳完成后取出再采用水進(jìn)行沖洗和烘干，操作同擴(kuò)散前清洗。鍍鎳相關(guān)化學(xué)反應(yīng)方程式見式⑴~式⑶：加熱2-+HPO+H2OH2PO3+H+2[H]Ni2++2[H]加熱2-+(1)(2)(3)化學(xué)鍍鎳工序產(chǎn)生的污染物為鍍鎳時(shí)產(chǎn)生的廢鎳液，清洗產(chǎn)生的清洗廢水，以及清洗時(shí)超聲清洗機(jī)產(chǎn)生的噪聲。⑨劃片：硅片人工轉(zhuǎn)移至劃片區(qū)，采用劃片機(jī)的金剛石刀片對(duì)硅片進(jìn)行切割，形成符合規(guī)格大小的晶粒，切割過程中采用純水進(jìn)行沖洗。切割完成的晶粒采用干燥箱烘干。劃片工序產(chǎn)生的污染物為劃片產(chǎn)生的廢刀片和清洗廢水。⑩測(cè)試、包裝入庫：上述產(chǎn)品經(jīng)測(cè)試合格后包裝入庫待售。此階段產(chǎn)生的污染物主要為不合格產(chǎn)品和廢包裝材料，以及測(cè)試包裝過程中分選機(jī)、測(cè)試機(jī)等產(chǎn)生的噪聲。⑵其他環(huán)節(jié)運(yùn)營(yíng)期除生產(chǎn)線工藝節(jié)點(diǎn)產(chǎn)排污之外，還有廠區(qū)職工辦公等產(chǎn)生的生活垃圾和生活污水，設(shè)備維修與養(yǎng)護(hù)產(chǎn)生的廢機(jī)油，廢水處理過程產(chǎn)生的污泥和廢氣處理產(chǎn)生的廢活性炭等。與項(xiàng)關(guān)的原有環(huán)境污染本項(xiàng)目租用花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地在建103廠房作為項(xiàng)目生產(chǎn)加工用房。廠房目前處于鋪設(shè)雨、污管線及廠區(qū)綠化階段，項(xiàng)目地未見其他環(huán)境污染問題。25三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀1、環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)《2020年貴陽市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》(貴陽市生態(tài)環(huán)境局，2021.5)，貴陽市空氣質(zhì)量現(xiàn)狀濃度統(tǒng)計(jì)，見表13。表13貴陽市環(huán)境空氣質(zhì)量6項(xiàng)污染物濃度統(tǒng)計(jì)分析一覽表監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)值(年平均濃度，μg/m3)標(biāo)準(zhǔn)值(μg/m3)(%)超標(biāo)情況SO2607達(dá)標(biāo)NO24045達(dá)標(biāo)PM104170586達(dá)標(biāo)PM2.5233565.7達(dá)標(biāo)CO900(日均第95百分位濃度)4000225達(dá)標(biāo)O3113(最大8小時(shí)平均第90百分位數(shù)濃度)70.6達(dá)標(biāo)由上表可知，貴陽市環(huán)境空氣質(zhì)量良好，達(dá)到GB3095-2012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(及其2018年修改單)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，根據(jù)《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)區(qū)域大氣環(huán)境中氟化物均低于檢出限，達(dá)到GB3095-2012二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。2、地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀項(xiàng)目區(qū)域環(huán)境地表水主要有項(xiàng)目西北側(cè)2.1km的翁崗河和東北側(cè)4.6km的青巖河，翁崗河為青巖河支流，河流屬于Ⅲ類水體。根據(jù)《2020年貴陽市生態(tài)GB3838-2002《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類水質(zhì)。根據(jù)“中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書”，翁崗河水質(zhì)滿足GB3838-2002《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類水質(zhì)。3、地下水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀本項(xiàng)目廠址附近區(qū)域無地下泉點(diǎn)出露，項(xiàng)目區(qū)域地下水執(zhí)行GB14848-2017《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》III類標(biāo)準(zhǔn)。參考《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》2020年2月23日至27日地下水監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，選取距離本項(xiàng)最近的槐舟壩村泉點(diǎn)(項(xiàng)目西南2.5km)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)作為項(xiàng)目區(qū)域地下水環(huán)境現(xiàn)狀評(píng)價(jià)，除總大腸菌群和菌落總數(shù)超標(biāo)外，其余指標(biāo)均滿足GB14848-2017《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》III類標(biāo)準(zhǔn)。監(jiān)測(cè)4。26表14項(xiàng)目區(qū)域地下水環(huán)境質(zhì)量狀況pH04500000<0016.5~8.50500.520.039—5////////////////類鎳<0002<0002<001<001<00019200000//0////67////////////67注：“*”僅作參考，不作評(píng)價(jià)。4、聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀目用地為工業(yè)用地。項(xiàng)目50m范圍內(nèi)無居民點(diǎn)和其他聲環(huán)境敏感目標(biāo)，聲環(huán)境執(zhí)行GB3096-2008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中的3類標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集年1月14日~15日區(qū)域環(huán)境噪聲監(jiān)測(cè)數(shù)顯示，各類區(qū)聲環(huán)境質(zhì)量均滿足對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)限值。5、土壤境質(zhì)量現(xiàn)狀項(xiàng)目位于燕樓產(chǎn)業(yè)園建設(shè)用地中工業(yè)用地，根據(jù)《中關(guān)村貴陽科技園—經(jīng)開園區(qū)燕樓產(chǎn)業(yè)園布局規(guī)劃暨燕樓集鎮(zhèn)控制性詳細(xì)規(guī)劃(修編)環(huán)境影響報(bào)告書》2020年1月監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)及調(diào)查，燕樓產(chǎn)業(yè)園規(guī)劃區(qū)域內(nèi)的土壤環(huán)境質(zhì)量均可滿足GB15618-2018《土壤環(huán)境質(zhì)量農(nóng)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》和GB36600-2018《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》。6、生態(tài)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀項(xiàng)目所在地周邊主要為綠化植被，如香樟、桂花等景觀喬木。環(huán)境保護(hù)本項(xiàng)目位于貴州省貴陽市花溪區(qū)燕樓鎮(zhèn)獅子口龍燕路南側(cè)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵區(qū)域環(huán)境地表水為項(xiàng)目西北側(cè)2.1km的翁崗河、東北側(cè)4.6km的青巖河，翁崗河為青巖河支流，河流屬于Ⅲ類水體，項(xiàng)目水系見附圖8。本項(xiàng)目東南側(cè)440m處有羅家山居民點(diǎn)(42戶122人)，項(xiàng)目周邊主要為企業(yè)在建廠房。本項(xiàng)目的保護(hù)目標(biāo)主要是附近河流及周圍生態(tài)環(huán)境等，評(píng)價(jià)區(qū)范圍內(nèi)無特殊保護(hù)的歷史文化及文物保護(hù)敏感點(diǎn)。項(xiàng)目主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及分27表15項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)目標(biāo)環(huán)境要素保護(hù)目標(biāo)相對(duì)位置關(guān)系規(guī)模/性質(zhì)保護(hù)要求方位距離環(huán)境羅家山居民點(diǎn)ES440mGB3095-2012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》噪聲50m范圍(無居民點(diǎn))GB3096-2008《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》3類花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地建設(shè)項(xiàng)目辦公用房EN40m20人花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地建設(shè)項(xiàng)目施工生活營(yíng)地N60m30人地表水翁崗河WN/GB3838-2002《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類青巖河(下游稱漣江)EN4.6km/地下水500m范圍內(nèi)無地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源，項(xiàng)目所在地?zé)o地下水泉點(diǎn)出露；項(xiàng)目所在地的水文地質(zhì)單元GB/T14848-2017《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類土壤環(huán)境土壤四周//GB36600-2018《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》第二類用地風(fēng)險(xiǎn)篩選值生態(tài)環(huán)境植被四周200m避免對(duì)周圍生態(tài)環(huán)境擾動(dòng)和破壞污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)1、大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目施工期和運(yùn)營(yíng)期產(chǎn)生的粉塵污染物執(zhí)行GB316297-1996《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表2二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。運(yùn)營(yíng)期產(chǎn)生的氟化物、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、顆粒物執(zhí)行GB16297-1996《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表2二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；氨執(zhí)行DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表4二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；甲苯與二甲苯合計(jì)、總反應(yīng)活性揮發(fā)性有機(jī)物(TRVOC)參考天津市DB12/524-2020《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》表1中電子工業(yè)“電子元器件”制造標(biāo)準(zhǔn)。排放表16大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)別污染排氣筒高度(m)排放限值(mg/m3)排放速率(kg/h)無組織排放(mg/m3)GB16297-1996《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)顆粒物2514.5氟化物259.00.40.02氯化氫250.90.2硫酸霧25455.7氮氧化物*252402.9DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)氨氣25202DB12/524-2020《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》表1中電子工業(yè)“電子元器件”制造標(biāo)準(zhǔn)甲苯與二甲苯合計(jì)253.930**TRVOC(表征VOCs)25407.7注：“*”廢氣中揮發(fā)的硝酸轉(zhuǎn)化為NO2后執(zhí)行；“**”執(zhí)行GB37822-2019《揮發(fā)性有機(jī)物無28組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》表A.1標(biāo)準(zhǔn)。2、水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目生產(chǎn)廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水處理站處理，其中含氟廢水經(jīng)含氟廢水處理設(shè)施處理，含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水處理設(shè)施處理。含氟廢水預(yù)處理后執(zhí)行燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度；含鎳廢水預(yù)處理后執(zhí)行GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放標(biāo)準(zhǔn)。生活污水出水執(zhí)行燕樓污水處理廠接管協(xié)議濃度。水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)見表17。表17水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/L)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)標(biāo)準(zhǔn)名稱污染因子標(biāo)準(zhǔn)值GB39731-2020《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表1間接排放pH6~9懸浮物(SS)400化學(xué)需氧量(COD)50045石油類20F-F200.58.0GB978-1996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》三級(jí)pH6~9懸浮物(SS)400五日化學(xué)需氧量(BOD5)300化學(xué)需氧量(COD)500/動(dòng)植物油燕樓污水處理廠接管進(jìn)水協(xié)議濃度pH6~9五日化學(xué)需氧量(BOD5)200化學(xué)需氧量(COD)400懸浮物(SS)300306603、噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)施工期噪聲執(zhí)行GB12523-2011《建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》表1排放限值。詳見表18。表18建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放限值標(biāo)準(zhǔn)號(hào)標(biāo)準(zhǔn)名稱標(biāo)準(zhǔn)值晝夜GB12532-2011《建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》70dB(A)55dB(A)運(yùn)營(yíng)期噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行GB12348-2008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)29表19工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放限值標(biāo)準(zhǔn)號(hào)標(biāo)準(zhǔn)名稱標(biāo)準(zhǔn)值晝間夜間GB12348-2008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》65dB(A)55dB(A)GB18599-2020《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》；GB18597-2001《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》及其2013年修改單?？偭靠刂浦笜?biāo)1、本項(xiàng)目含氟廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水處理站處理達(dá)標(biāo)后與純水制備產(chǎn)生濃水混合排至市政污水管排入燕樓污水處理廠處理；含鎳廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后運(yùn)輸至貴陽中電環(huán)保發(fā)電有限公司污水處理站處理；職工辦公等產(chǎn)生的生活污水依托基地化糞池截留沉淀處理后經(jīng)市政污水管排入燕樓污水處理廠處理，屬間接排放。因此本項(xiàng)目不設(shè)水污染物總量控制指標(biāo)。2、本項(xiàng)目大氣污染物主要為氟化物、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、顆粒物、氨、甲苯與二甲苯、TRVOC等；根據(jù)參考的HJ1031-2019《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》，本項(xiàng)目大氣污染物排放口為一般排放口，僅許可排放濃度，不設(shè)置許可排放量30四、主要環(huán)境影響和保護(hù)措施施工期環(huán)境保護(hù)措施本項(xiàng)目租用花溪區(qū)燕樓創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)孵化基地在建103廠房，施工期主要為車間生產(chǎn)分區(qū)的設(shè)置、設(shè)備安裝，以及辦公休息區(qū)的內(nèi)部裝修等，施工擾動(dòng)小。施工期環(huán)境保護(hù)措施分析如下：⑴施工期生產(chǎn)區(qū)設(shè)置、設(shè)備安裝時(shí)，鉆孔固定設(shè)備等操作采取灑水降塵措施，降低粉塵影響。辦公區(qū)等裝修時(shí)選用環(huán)保裝修材料，裝修期間加強(qiáng)室內(nèi)通風(fēng)排氣。⑵施工廢水經(jīng)沉淀后循環(huán)使用或用于灑水防塵，不外排。施工期施工人員為當(dāng)?shù)毓と耍┕て诓辉陧?xiàng)目地食宿。施工人員產(chǎn)生的生活污水經(jīng)基地已建化糞池截留沉淀后進(jìn)入龍燕路市政污水管網(wǎng)排至燕樓污水處理廠處理。⑶施工中合理布置施工機(jī)械和設(shè)備，設(shè)備布置在廠房?jī)?nèi)，通過合理安排施工時(shí)間，且夜間不施工，降低噪聲對(duì)周圍環(huán)境的影響。場(chǎng)界噪聲晝間滿足GB12523-2011《建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》限值要求。⑷施工裝修產(chǎn)生的廢油漆桶等危險(xiǎn)廢廢集中收集，交有資質(zhì)單位處置；其他裝修固體廢物收集后運(yùn)至主管部門指定地方堆放；施工人員產(chǎn)生生活垃圾，設(shè)置垃圾桶收集，依托基地垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)箱運(yùn)至中電項(xiàng)目燕樓生活垃圾綜合處置場(chǎng)處理。31運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影保護(hù)措施1、大氣環(huán)境影響和保護(hù)措施⑴有組織廢氣污染物本項(xiàng)目廢氣產(chǎn)生于擴(kuò)散前清洗、噴砂、光刻前清洗、光刻、蝕刻和硅膠鈍化等工序，各工序?qū)?yīng)特征污染物情況見表20。表20生產(chǎn)線主要特征大氣污染物序號(hào)編號(hào)污染工序特征污染物G1酸性廢氣擴(kuò)散前清洗氮氧化物、氟化物G2粉塵噴砂粉塵G3酸性廢氣光刻前清洗氟化物、氨氣、鹽酸G4有機(jī)廢氣光刻甲苯與二甲苯、TRVOCG5酸性廢氣、氨氣蝕刻氮氧化物、氟化物、硫酸霧G6有機(jī)廢氣鈍化TRVOC①酸性廢氣(G1、G3、G5)產(chǎn)生于擴(kuò)散前清洗、光刻前清洗和蝕刻工序，氨氣產(chǎn)生于蝕刻工序。以上工序酸液揮發(fā)產(chǎn)生酸性廢氣及蝕刻產(chǎn)生的氨氣均在通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)建設(shè)單位提供的設(shè)計(jì)資料，估算本項(xiàng)目廢氣中各污染物產(chǎn)生情況見表14。酸性廢氣及氨氣通過通風(fēng)櫥集氣系統(tǒng)(收集效率為90%)收集后，采取堿液噴淋塔(處理效率為70%~90%)吸收處理經(jīng)1#排氣筒(25m高，排氣筒根據(jù)項(xiàng)目所屬廠房高度設(shè)置，由車間引至車間頂高出5m排放，車間每層中氮氧化物、氟化物、HCl、硫酸霧排放濃度達(dá)到GB316297-1996《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表2二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，氨氣排放濃度達(dá)到DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表4二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。②粉塵(G2)產(chǎn)生于噴砂工序，為金剛砂高速噴射時(shí)產(chǎn)生的粉塵，噴砂工序設(shè)置于密閉車間。含塵廢氣量為4500m3/h，粉塵產(chǎn)生濃度(速率)為95mg/m3 (0.43kg/h)，通過集氣罩收集(收集效率為90%)后經(jīng)2#排氣筒(25m高)排放。粉塵排放濃度(速率)同產(chǎn)生相同，且排放濃度達(dá)到GB316297-1996《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表2二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)限值。③有機(jī)廢氣(G4、G6)產(chǎn)生于光刻工序使用的光刻膠、顯影液、負(fù)膠漂洗液和鈍化工序使用的硅橡膠階段。根據(jù)建設(shè)單位提供物料成分資料，光刻膠主要成分為二甲苯和乙苯，顯影液為正庚烷和二甲苯，負(fù)性漂洗液為乙酸丁酯，原料在使用過程中均會(huì)產(chǎn)生TRVOC廢氣(包括甲苯與二甲苯等廢氣污染物)。根據(jù)建設(shè)單位提供的設(shè)計(jì)資料，光刻膠、顯影液和負(fù)膠漂洗液揮發(fā)量約占總使用量的10%。項(xiàng)目光刻在通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行，廢氣經(jīng)通風(fēng)櫥收集后(收集效率為90%)，采用活性炭吸附裝置吸附處理后，經(jīng)3#排氣筒(25m高)排放。鈍化工序使用的硅橡膠在高溫固化32階段會(huì)產(chǎn)生TRVOC廢氣，固化過程中產(chǎn)生的TRVOC量約等于硅膠中的含氫硅油和2%的乙烯基硅油。固化工序在密閉的烤箱中進(jìn)行，廢氣經(jīng)密閉的煙道收集后采用活性炭吸附裝置吸附處理后經(jīng)3#排氣筒(25m高)排放。光刻與鈍化工序TRVOC廢氣混合后排放，污染物甲苯與二甲苯合計(jì)、TRVOC排放濃度達(dá)到參考DB12/524-2020《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》表1中電子工業(yè)“電子元器件”制造標(biāo)準(zhǔn)。⑵無組織廢氣污染物生產(chǎn)車間采用排風(fēng)系統(tǒng)加強(qiáng)通風(fēng)換氣，車間換氣次數(shù)達(dá)每小時(shí)6次，無組織廢氣污染物(氟化物、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物和顆粒物)排放濃度滿足DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表4無組織排放標(biāo)準(zhǔn)，TRVOC (VOCs)滿足GB37822-2019《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》表A.1標(biāo)準(zhǔn)。無組織排放濃度低，對(duì)環(huán)境影響小。⑶廢氣污染物產(chǎn)排污統(tǒng)計(jì)廢氣污染物產(chǎn)排污統(tǒng)計(jì)見表21；廢氣產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)、污染物及污染防治設(shè)施信息見表22；項(xiàng)目有組織排放口基本情況見表23；大氣污染源自行監(jiān)測(cè)要求見表24。33表21廢氣污染物產(chǎn)排污統(tǒng)計(jì)一覽表產(chǎn)污環(huán)節(jié)編號(hào)名稱污染物產(chǎn)生速率(kg/h)產(chǎn)生濃度(mg/m3)治理措施排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)有組織廢氣污染物擴(kuò)散前清蝕刻酸性廢氣及氨DA001廢氣排放口氟化物40通風(fēng)櫥收集(收集率90%)后，設(shè)置1套堿液噴淋塔處理后通過1#排氣筒(25m高)排放，處理效率4500m3/h4物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)氯化氫2310.09421硫酸霧2440.09922氮氧化物0.5834.9溝槽蝕刻氨0.0360.0030.6DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表4二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)噴砂粉塵DA002廢氣排放口粉塵0.4395設(shè)置1套集氣罩收集后通過2#排氣筒(25m高)排放，收集效率0.4395物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)光刻有機(jī)廢氣DA003廢氣排放口甲苯與二甲苯合計(jì)0.0839通風(fēng)櫥收集(收集率90%)后，設(shè)置1套活性炭吸附裝置處理后通過3#排氣筒(25m高)排放，處理效率0.013.5DB12/524-2020《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控中電子工業(yè)“電子元器件”制造標(biāo)準(zhǔn)光刻TRVOC0.300.027.5鈍化0.0010.530.0010.05無組織廢氣污染物////氟化物/0.02//0.02標(biāo)準(zhǔn)》表2無組織排放標(biāo)準(zhǔn)氯化氫/0.1//0.1硫酸霧///氮氧化物/0.1//0.1顆粒物/0.8//0.8氨/0.5//0.5DB52/864-2013《貴州省環(huán)境污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表4無組織排放標(biāo)準(zhǔn)TRVOC///30GB37822-2019《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)34表22廢氣產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)、污染物及污染防治設(shè)施信息表序號(hào)對(duì)應(yīng)產(chǎn)污環(huán)節(jié)名稱污染物種類排放形式污染防治設(shè)施有組織排放口編號(hào)名稱設(shè)置是否符合要求污染防治設(shè)施名稱收集效率治理效率是否為可行技術(shù)1擴(kuò)散前清洗、光刻前清洗、溝槽蝕刻物、氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、氨氣組織無組織堿液噴淋塔90%90%是DA001是一般排放口2噴砂顆粒物組織無組織集氣罩收集90%/是DA002是一般排放口3光刻、鈍化甲苯與二甲苯合計(jì)、TRVOC組織無組織活性炭吸附裝置90%97%是DA003是一般排放口表23項(xiàng)目有組織排放口基本情況一覽表地理坐標(biāo)溫度(℃)DA001106°37′4843″、26°20′755″250220DA00218″、26°20′8.20″250.220DA001106°37′48.72″、26°20′6.94″250.220表24大氣污染源自行監(jiān)測(cè)要求序號(hào)源類別/監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)內(nèi)容監(jiān)測(cè)設(shè)施手工監(jiān)測(cè)采樣方法及個(gè)數(shù)手工監(jiān)測(cè)頻次手工測(cè)定方法1廢氣DA001煙氣流速，煙氣溫度氟化物自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年大氣固定污染源氟化物的測(cè)定離子選擇電極法HJ/T67-20012廢氣DA001煙氣流速，煙氣溫度氯化氫自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年環(huán)境空氣和廢氣氯化氫的測(cè)定離子色譜法HJ549-20163廢氣DA001煙氣流速，煙氣溫度硫酸霧自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年固定污染源廢氣硫酸霧測(cè)定離子色譜法(暫行)HJ544－20094廢氣DA001煙氣流速，煙氣溫度氮氧化物自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年環(huán)境空氣氮氧化物(一氧化35序號(hào)源類別/監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)內(nèi)容監(jiān)測(cè)設(shè)施手工監(jiān)測(cè)采樣方法及個(gè)數(shù)手工監(jiān)測(cè)頻次手工測(cè)定方法氮和二氧化氮)的測(cè)定鹽酸479-20095廢氣DA001煙氣流速，煙氣溫度自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年空氣和廢氣氨的測(cè)定納氏試劑分光光度法HJ533-20096廢氣DA002煙氣流速，煙氣溫度顆粒物自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年固定污染源排氣中顆粒物測(cè)GB/T16157-19967廢氣DA003煙氣流速，煙氣溫度自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年環(huán)境空氣苯系物的測(cè)定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法HJ583-20108廢氣DA003煙氣流速，煙氣溫度二甲苯自動(dòng)非連續(xù)采樣至1次/年環(huán)境空氣苯系物的測(cè)定固體吸附/熱脫附