壓力傳感器原理【詳解】

壓力傳感器原理【詳解】壓力傳感器原理內(nèi)容來源網(wǎng)絡(luò)，由“深圳機(jī)械展（11萬%1100多家展商，超10萬觀眾了收集整理！更多cnc加工中心、車銑磨鉆床、線切割、數(shù)控刀具工具?工業(yè)機(jī)器人、非標(biāo)自動(dòng)化?數(shù)字化無人工廠?精密測(cè)量?3D打印.激光切割、鈑金沖壓折彎、精密零件加工等展示，就在深圳機(jī)械展.一.壓力^感器原理一些常用傳感器原理及其應(yīng)用:1?應(yīng)變片壓力傳感器原理與應(yīng)用力學(xué)傳感器的種類繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器?壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器.電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用?為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。在了解壓阻式力傳感器時(shí)，我們首先認(rèn)識(shí)一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用最多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí)，電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變，使應(yīng)變片的限值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時(shí)產(chǎn)生的阻值變化通常較小，一般這種應(yīng)變片都組蛔變電橋，井通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大，再傳輸給處理電路（通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU）顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu)。金屬電阻應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)1■應(yīng)變片壓力傳感器原理如圖1所示，是電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)示意圖，它由基體材料.金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔,絕緣保護(hù)片和引出線等部分組成。根據(jù)不同的用途，電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì)，但電阻的取值范圍應(yīng)注意：阻值太小，所需的驅(qū)動(dòng)電流太大,同時(shí)應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身的溫度過高，不同的環(huán)境中使用，使應(yīng)變片的阻值變化太大，輸出零點(diǎn)漂移明顯，調(diào)零電路過于復(fù)雜。而電阻太大,阻抗太高，抗外界的電磁干擾能力較差。一般均為幾十歐至幾十千歐左右。電阻應(yīng)變片的工^原理金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生陽值變化的現(xiàn)象，俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示:式中中一金屬導(dǎo)體的電阻率（。^皿2/皿）導(dǎo)體的截面積（cm2）導(dǎo)體的長(zhǎng)度（m）我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí)，其長(zhǎng)度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,從上式中可很容易看出，其電阻值即會(huì)發(fā)生改變，假如金屬絲受外力作用而伸長(zhǎng)時(shí)，其長(zhǎng)度增加，而截面積減少，電阻值便會(huì)增大。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí)，長(zhǎng)度減小而截面增加，電I阻值則會(huì)減小。只要測(cè)出加在電阻的變化（通常是測(cè)■電阻兩端的電壓），即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情2、陶瓷壓力傳感器原理壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋），由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào)。

3?擴(kuò)散硅壓力傳感器原理原理獷散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

二.測(cè)量電路原理二.測(cè)量電路原理應(yīng)變式傳感器通常采用電橋線路將應(yīng)變片的電阻變化轉(zhuǎn)換成電壓變化。由于應(yīng)變橋路的輸出信號(hào)極弱，還需通過放大器將信號(hào)進(jìn)一步放大并進(jìn)行一些必要的補(bǔ)償。信號(hào)放大方式可以采用直流放大或交流放大，應(yīng)變橋路也就相應(yīng)地可采用直流電源或交流電源供電。交流電橋的輸出特性方程及其平衡條件在形式上與直流電橋類似，只是其橋臂阻抗與電源頻率有關(guān)，將各橋臂阻抗代入公式后的計(jì)算要比直流電橋復(fù)雜些。下面僅以直流電橋?yàn)槔齺矸治鰬?yīng)變橋路的工作原理、(1)測(cè)量電橋電路

應(yīng)變式傳感器的橋路額定輸出電壓一般為8毫伏到數(shù)十毫伏。因此還需將其放大后再進(jìn)行顯示和記錄。對(duì)于應(yīng)用較多的直流電橋，多采用低漂移的集成運(yùn)放（如OP07等）構(gòu)成零點(diǎn)和增益可調(diào)的直流放大器，并通常采用差動(dòng)輸入方式進(jìn)行直施壓放大。R1R4RaRR1R4RaRRotB供橋電源電橋輸出 應(yīng)變傳感器測(cè)量電橋電路另外，為提高電橋穩(wěn)定性和性能，還需要附設(shè)橋路初始平衡校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)雀郊与娐?。?.12為一應(yīng)變傳感器電橋電路，其中設(shè)置了多種補(bǔ)償和調(diào)節(jié)電路。其中R1-R4為應(yīng)變片組成電橋；用用于調(diào)節(jié)電橋輸入阻抗；口2可以調(diào)節(jié)電橋輸出阻抗；人框中為溫度補(bǔ)償電阻；B框中設(shè)置有零調(diào)整電路；C^人框中Ret共同構(gòu)成輸出調(diào)整電阻；?？蛑袨閮商壮跏计胶庑?zhǔn)電路，Wz1、電構(gòu)成直流初始調(diào)零電路,Wz2、Cz用于交流電橋時(shí)初始調(diào)零（交流相位調(diào)零）。三、特性及相關(guān)參數(shù)選擇壓力傳感器的種類繁多,其性能也有較大的差異，在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)具體的使用場(chǎng)合、條件和要求，選擇較為適用的傳感器，做到經(jīng)濟(jì)、合理。一、壓力傳感器的主要性能參數(shù)

1.額定壓力范一匚■1.額定壓力范一匚■額定壓力范圍是滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。一匚■也就是在最高和最低溫度之間，傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測(cè)壓力在該范圍之內(nèi)。2.最大壓力范匚=12.最大壓力范匚=1最大壓力范圍是指?jìng)鞲衅髂荛L(zhǎng)時(shí)間承受的最一匚■大壓力，且不引起輸出特性永久性改變。特別是半導(dǎo)體壓力傳感器，為提高線性和溫度特性，一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此，即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。一般最大壓力是額定壓力最高值的2?3倍。.損壞壓力

損壞壓力是指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的最大壓力。.線性度線性度是指在工作壓力范圍內(nèi)，傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的最大偏離。.壓力遲滯為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi)，從最小工作壓力和最大工作壓力趨近某一壓力時(shí)，傳感器輸出之差。6.溫度范匚=1壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和一匚■一匚6.溫度范匚=1壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和一匚■一匚■工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度一匚■三一一一匚■補(bǔ)償，精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范匚二1■乙、壓力傳感器應(yīng)用實(shí)例1.陶瓷壓力傳感器原理及應(yīng)用抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電網(wǎng)印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋），由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào)，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0/3.0/3.3mV/V等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。2、藍(lán)寶石壓力傳感器原理與應(yīng)用利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，具有無與倫比的計(jì)量特性。藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固，硬度更高，不怕形變；藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000OC以內(nèi)），因此，利用建藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性；藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng)；另外，硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件，無p-n漂移，因此，從根本上簡(jiǎn)

化了制造工藝，提高了重復(fù)性，確保了高成品率。用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器，可在最惡劣的工作條件下正常工作，并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性3.壓電壓力傳感器原理與應(yīng)用壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氧胺。其中石英（二氧化硅）是一種天然晶體，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電一匚種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電一匚■性質(zhì)一直存在，但溫度超過這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)完全消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低），所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù)，但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氧胺屬于人造晶體，能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度，所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上，比如現(xiàn)在的壓電陶瓷，包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理，壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量，因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存。實(shí)際的情況不是這樣的，所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力。壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕.使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī).汽車.船|白?橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。也可以用