化學(xué)奕w9站機(jī)臺名稱手動清洗a1qxc018異常原因tank2溶液消耗

1周報(bào)—W9劉基奕—化學(xué)站一.重大事項(xiàng)概述提綱三.本周自我總結(jié)二.異常處理心得日期:

2015/1/13

(08:00-8:30)機(jī)臺名稱：手動清洗臺A1QXC018異常原因：Tank#2溶液消耗速度過快處理內(nèi)容：檢查Tank#2的槽體正常，無裂痕；檢查Tank#2的排放管，管壁周圍無漏液；檢查排液氣動閥，發(fā)現(xiàn)閥門關(guān)閉的情況下，有微量溶液流出；檢查排液氣動閥的啟動信號正常，確認(rèn)排液氣動閥損壞；更換新的氣動閥，測試槽體溶液是否會減少。將槽體加滿水，觀察槽體OK,排液閥OK。日期:

2015/1/15

(7:00-9:00)機(jī)臺名稱：自動清洗櫥A1QXC037異常原因：Tank#3內(nèi)的溫度異常。處理內(nèi)容：檢查并確認(rèn)溫控器正常（開啟溫控時SCR控制器為R000說明加熱電流正常）；查看溫度當(dāng)前顯示值：127.6℃，測量溫度128℃，確認(rèn)熱電偶正常；檢查過程中發(fā)現(xiàn)槽體循環(huán)功能異常。檢查循環(huán)管路，發(fā)現(xiàn)循環(huán)回路中的AV3-4氣動閥異常。氣動信號正常輸出，氣動閥沒有動作，確認(rèn)該氣動閥損壞；

4.更換新的氣動閥（因暫無備件，從A1QXC039拆取一備件應(yīng)急）；確認(rèn)溫控器、熱電偶、循環(huán)功能正常，重新測試Tank#3的溫控功能；調(diào)節(jié)加熱溫度為60℃，將Tank#3加水，開啟循環(huán)→溫控進(jìn)行測試；循環(huán)功能正常，待Tank#3中的水加熱至60℃左右，測量槽內(nèi)水的溫度 溫度顯示60.3℃，測量溫度61.2℃。溫控功能正常；確認(rèn)Tank#3的所有功能正常后，交予生產(chǎn)正常補(bǔ)酸；與工藝確認(rèn)當(dāng)時作業(yè)的片源是否正常續(xù)流。1.手動清洗臺的制程槽管路相對簡單，排查問題的速度也會快些。手動機(jī)臺主要是槽體漏液的問題較多。所以當(dāng)發(fā)現(xiàn)漏液時，需要及時的查找漏點(diǎn)并處理這樣可以有效的減少漏液對機(jī)臺的影響。

2.當(dāng)制程槽溫度異常時，需及時查看加熱電流是否正常。避免因?yàn)榧訜犭娏鬟^大導(dǎo)致槽體或整個電路出現(xiàn)異常。然后及時的進(jìn)行制程槽溶液溫度的測量，確認(rèn)是否溫度異常。排除因熱電偶損壞導(dǎo)致溫度偵測異常，然后再來排查其他肯能導(dǎo)致溫度過高的因素。本周主要是提高自己對機(jī)臺異常的考量面。通過全面的思考，快速有效的處理問題。但是還是會遇到不能理解的問題，機(jī)臺一些異常不能通過