透射電鏡光路

透射電鏡光路第1頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月§透射電鏡的電子光學第2頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆透鏡---磁透鏡有極靴Bz沒有極靴短線圈透射電鏡中心

不同情況下的軸向磁感應強度分布ACOO’Z

電磁透鏡的聚焦原理示意圖

用磁場來使電子波聚焦成像。第3頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆成像---公式焦距總是正的，是一種變焦距或變倍率的匯聚透鏡。第4頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆成像---像差（球差）P1透鏡PP2球差

最小散焦圓斑光軸第5頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆成像---像差（像散）消像散器像散

弱聚焦P1P光軸P2強聚焦最小散焦圓斑透鏡第6頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆成像---像差（色差）色差

束流穩(wěn)定的電子束第7頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆分辨率---景深和焦長景深:不影響分辨率條件下,電磁透鏡物平面允許的軸向偏差。焦長:不影響透鏡分辨率條件下,像平面可沿軸向平移距離。第8頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月第9頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月§透射電鏡的結構第10頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月電子光學系統(tǒng)真空系統(tǒng)供電系統(tǒng)第11頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月電子槍聚光鏡試樣物鏡中間象投影鏡觀察屏照相底板◆電子光學系統(tǒng)照明系統(tǒng)成像系統(tǒng)觀察記錄系統(tǒng)第12頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月照明系統(tǒng)組成:電子槍、聚光鏡等.作用:提供一束高亮度、孔徑半角小、平行度好、束流穩(wěn)定的電子波

第13頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月襯度光闌選區(qū)光闌聚光鏡光闌樣品臺物鏡中間鏡投影鏡消像散器偏轉線圈中間鏡投影鏡第14頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月§透射電鏡的電子衍射第15頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月電子衍射原理圖

物鏡背焦平面中間鏡物平面襯度光闌物鏡像平面選區(qū)光闌中間鏡中間鏡像平面第16頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月*電子衍射基本公式

電子衍射操作是把例易陣點的圖像進行空間轉換并在正空間中記錄下來。用底片記錄下來的圖像稱為衍射花樣。平行入射束與試樣作用產(chǎn)生衍射束，同方向衍射束經(jīng)物鏡作用于物鏡后焦面會聚成衍射斑。透射束會聚成中心斑或稱透射斑。衍射花樣相當于倒易點陣被反射球所截的二維倒易面的放大投影。從幾何觀點看，倒易點陣是晶體點陣的另一種表達式，但從衍射觀點看，有些倒易點陣也是衍射點陣。第17頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月2q試樣入射束愛瓦爾德球倒易點陣底板

電子衍射花樣形成示意圖第18頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月第19頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月§透射電鏡的顯微成像第20頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月物鏡中間鏡投影鏡選區(qū)光闌物鏡像平面中間鏡物平面襯度光闌物鏡焦平面第21頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆衍襯成像晶體試樣各部分滿足布拉格反射條件不同和結構振幅的差異。第22頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月第23頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月衍襯成像----明、暗場像明場像（BF）——上述采用物鏡光欄將衍射束擋掉，只讓透射束通過而得到圖象襯度的方法稱為明場成像，所得的圖象稱為明場像。暗場像——用物鏡光欄擋住透射束及其余衍射束，而只讓一束強衍射束通過光欄參與成像的方法，稱為暗場成像，所得圖象為暗場像。暗場成像有兩種方法：偏心暗場像（DF）與中心暗場像（CDF）。第24頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月衍射成像原理（a）明場像（b）中心暗場衍射成像

第25頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月衍襯成像----用途

(晶體缺陷分析)層錯孿晶位錯第二相粒子“應變場襯度”:

晶體內存在第晶格畸變,存在畸變的晶體部分和不產(chǎn)生畸變的晶體部分之間出現(xiàn)襯度差別，這些情況引起襯度。第26頁，課件共28頁，創(chuàng)作于2023年2月◆質厚成像對于非晶薄膜而言原子序數(shù)越大、密度越大、樣品越厚被散射到物鏡光闌外的電子就越多