潔凈室送風(fēng)系統(tǒng)

潔凈室送風(fēng)系統(tǒng)（1）集中送風(fēng)方式這種送風(fēng)方式一般是數(shù)臺大型新風(fēng)處理機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，空調(diào)機(jī)組可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過溫濕度處理和過濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī)加壓后通過風(fēng)道送入送風(fēng)靜壓箱，再由高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器過濾后送入潔凈室?；仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng)，流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。集中送風(fēng)方式的結(jié)構(gòu)形式如圖5-8和圖5-9所示。走腳O1表冷鳳機(jī)5*8集中送風(fēng)方式（空調(diào)機(jī)在傭面、軸就風(fēng)機(jī)送風(fēng)）送鳳靜壓箱三二三__◎二三二三呻滬呼沖q滬沖七嚴(yán)舒丫鏟嚴(yán)y護(hù)p.注叩滬耳|竺|門甘、?可峠呼廠叫嚴(yán)辛亠護(hù)弁*丫護(hù)走腳O1表冷鳳機(jī)5*8集中送風(fēng)方式（空調(diào)機(jī)在傭面、軸就風(fēng)機(jī)送風(fēng)）送鳳靜壓箱三二三__◎二三二三呻滬呼沖q滬沖七嚴(yán)舒丫鏟嚴(yán)y護(hù)p.注叩滬耳|竺|門甘、?可峠呼廠叫嚴(yán)辛亠護(hù)弁*丫護(hù):尸HHIImIIIHIIHImIIHIH圏乳9集中送風(fēng)方式（空調(diào)機(jī)在頂部｝(2)隧道潔凈室送風(fēng)方式這種送風(fēng)方式一般將潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)和維護(hù)區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度和嚴(yán)格的溫濕度控制，設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi)；維護(hù)區(qū)要求較低，設(shè)置在生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備的尾部或配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū)，維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)是由多個空氣循環(huán)系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)控。隧道送風(fēng)方式結(jié)構(gòu)形式如圖5-10所示。(3)風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)方式在潔凈室的吊頂上安裝多臺風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)機(jī)組，構(gòu)成循環(huán)系統(tǒng)，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓。空氣由FFU送到潔凈室，從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱。根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要，一般在回風(fēng)夾道設(shè)干式表冷器。新風(fēng)處理機(jī)可集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，處理后的新風(fēng)直接送人送風(fēng)靜壓。因送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓，有利于高效空氣過濾器頂棚的密封；但由于FFU機(jī)組臺數(shù)較多，在滿布率較高時，一般投資較大，運(yùn)行費(fèi)用也高。有些FFU噪聲較大，選用時需要注意。FFU送風(fēng)方式如圖5-11所示。??

??（4）模塊式風(fēng)機(jī)單元送風(fēng)方式它是送風(fēng)機(jī)安裝在高效空氣過濾器（ HighEfficiencyParticulateAirFilter,HEPA或超高效空氣過濾器（UltraLowPenetrationAirFilter,ULPA之上，1臺送風(fēng)機(jī)可配置數(shù)臺過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)。這種模塊式風(fēng)機(jī)單元（FanModuleU-nit，F(xiàn)MU）循環(huán)系統(tǒng)屬無管道方式，空氣輸送速度較低，送風(fēng)機(jī)和過濾器維修較方便，能量消耗較少其送風(fēng)方式如圖5-12所示。nn-XXXnn-XXXXXXX1i過濾器II回鳳夾道圖5?12FMU送風(fēng)方式示意圖（5）微環(huán)境+開放式潔凈室的送風(fēng)方式這種方式可以確保極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境或設(shè)備的微環(huán)境控制達(dá)到高潔凈度等級（如0.05~0.1“m,IS01級），而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級（如ISO5級或ISO6級），微環(huán)境內(nèi)為潔凈度控制嚴(yán)格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能