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寬禁帶半導(dǎo)體ZnO材料的調(diào)研演示文稿目前一頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)優(yōu)選寬禁帶半導(dǎo)體ZnO材料的調(diào)研目前二頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)半導(dǎo)體的發(fā)展20世紀(jì)50年代,以硅材料為代表的第一代半導(dǎo)體材料取代了笨重的電子管,導(dǎo)致了以集成電路為核心的微電子工業(yè)的發(fā)展和整個(gè)IT產(chǎn)業(yè)的飛躍,廣泛應(yīng)用于信息處理和自動(dòng)控制等領(lǐng)域。20世紀(jì)90年代,隨著移動(dòng)無限通信的飛速發(fā)展和以光纖通信為基礎(chǔ)的信息高速公路和互聯(lián)網(wǎng)的興起,第二代半導(dǎo)體材料開始興起。由于其具有電子遷移率高、電子飽和漂移速度高等特點(diǎn),適于制備高速和超高速半導(dǎo)體器件,目前基本占領(lǐng)手機(jī)制造器件市場(chǎng)。當(dāng)前,電子器件的使用條件越來越惡劣,為了滿足未來電子器件需求,新發(fā)展起來了第三代半導(dǎo)體材料——寬禁帶半導(dǎo)體材料,該類材料具有熱導(dǎo)率高、電子飽和速度高、擊穿電壓高、介電常數(shù)低等特點(diǎn)。目前三頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)半導(dǎo)體材料的基本特性電阻率能帶原先在不同孤立原子中但具有相同能級(jí)的許多電子形成晶體時(shí),由于量子效應(yīng),不能有兩個(gè)電子處于相同的狀態(tài),它們的能量必定彼此錯(cuò)開,各自處在一個(gè)能量略有差異的一組子能級(jí)上,形成能帶。禁帶寬度根據(jù)電子的能量分布,在某些能量范圍內(nèi)是不許有電子存在的稱之為禁帶,半導(dǎo)體的禁帶寬度是一個(gè)決定電學(xué)和光學(xué)性能的重要參數(shù)。目前四頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)半導(dǎo)體的應(yīng)用元素半導(dǎo)體材料硅:半導(dǎo)體集成電路,半導(dǎo)體器件和硅太陽能電池的基礎(chǔ)材料。鍺:由于其特有性質(zhì),應(yīng)用主要集中與制作各種二極管,三極管等。有機(jī)半導(dǎo)體材料有機(jī)半導(dǎo)體材料具有熱激活電導(dǎo)率。有機(jī)半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品的生產(chǎn)能力差,但是擁有加工處理方便,結(jié)實(shí)耐用,成本低廉,耐磨耐用等特性。非晶半導(dǎo)體材料在工業(yè)上,非晶半導(dǎo)體材料主要用于制備像傳感器,太陽能鋰電池薄膜晶體管等非晶體半導(dǎo)體器件?;衔锇雽?dǎo)體材料如今化合物半導(dǎo)體材料已經(jīng)在太陽能電池,光電器件,超高速器件,微波等領(lǐng)域占據(jù)重要位置,且不同種類具有不同的應(yīng)用。目前五頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)第三代半導(dǎo)體材料znoZn0是一種新型的寬禁帶半導(dǎo)體材料。具有優(yōu)異的晶格、光電、壓電和介電特性。ZnO薄膜可以在低于500℃溫度下獲得,不僅可以減少材料在高溫制備時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)和缺陷,同時(shí)也大大簡(jiǎn)化了制備工藝;同時(shí)ZnO來源豐富,價(jià)格低廉,又具有很高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性。ZnO在UV、藍(lán)光LED和LDS器件等研究方面被認(rèn)為是最有希望取代GaN的首選材料。ZnO以其特殊的性質(zhì)成為Si電路的補(bǔ)充。無論是薄膜ZnO還是納米ZnO在我國夠有很好的發(fā)展。目前六頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)Zn0的性質(zhì)Zno基本結(jié)構(gòu)
閃鋅礦結(jié)構(gòu);纖鋅礦結(jié)構(gòu);NaCl結(jié)構(gòu);CsCl結(jié)構(gòu)ZnO晶體結(jié)構(gòu)會(huì)隨著環(huán)境條件的改變而改變。在常溫下ZnO的穩(wěn)定相是纖鋅礦結(jié)構(gòu)目前七頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)ZN0的性質(zhì)材料ZnoGaN4H-SiC6H-SiC禁帶寬度(eV
)3.373.393.263.03晶格類型纖鋅礦纖鋅礦纖鋅礦纖鋅礦晶格常數(shù)(A
)a=3.250a=3.189a=3.073a=3.018c=5.205c=5.185c=10.053c=15.117熔點(diǎn)(K
)2250277020702070熱導(dǎo)率(Wcm-6K-1
)0.61.33.0~3.83.0~3.8CET(10-6K-1)a=6.5a=5.63.5~5.03.5~5.0c=3.0c=7.7電子遷移率(cm2V-1s-1
)1961000800370電子飽和速度(cms-1
)3.03.52.02.0截止電壓(Vcm-1
)5.05.02.22.4寬禁帶半導(dǎo)體參數(shù)比較目前八頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)由于其禁帶寬度、晶格常數(shù)和GaN非常相近,所以ZnO和GaN可以互為緩沖層來生長(zhǎng)出高質(zhì)量的GaN或ZnO薄膜。同時(shí)ZnO室溫下的禁帶寬度為3.37eV,與GaN(3.4eV)相近而他的激子束縛能遠(yuǎn)大于GaN(25meV)等材料,因此在藍(lán)紫光器件方面的應(yīng)用比其它半導(dǎo)體更有潛力,產(chǎn)生室溫短波長(zhǎng)發(fā)光的條件更加優(yōu)越。目前九頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)ZnO的紫外受激發(fā)射特性與應(yīng)用ZnO是一種理想的短波長(zhǎng)發(fā)光器件材料。能以帶間直接躍遷的方式獲得高效率的輻射復(fù)合。ZnO薄膜還具有較低的激射閾值,這主要是由于ZnO很高的激子束縛能(室溫下為60meV)可以大大降低低溫下的激射閾值,而且在室溫下適當(dāng)?shù)募ぐl(fā)強(qiáng)度,ZnO激子間的復(fù)合可取代電子-空穴對(duì)的復(fù)合,因而可預(yù)期一個(gè)低的閾值來產(chǎn)生受激發(fā)射。ZnO的紫外受激發(fā)射中主要是紫外光波段、藍(lán)綠光波段的發(fā)射。ZnO紫外光發(fā)射的主要機(jī)理是帶間躍遷和激子復(fù)合。ZnO基光電探測(cè)器。紫外光、藍(lán)光等發(fā)光器件。光電探測(cè)器是一種把光輻射信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)的器件,其工作原理是基于光輻射與物質(zhì)的相互作用所產(chǎn)生的光電效應(yīng)。目前十頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)ZnO的透明導(dǎo)體特性與應(yīng)用ZnO的光學(xué)透明性是由寬禁帶引起的。ZnO帶隙寬,對(duì)可見光和紅外光吸收很小,基本上是透明的。ZnO的導(dǎo)電性主要不是依賴本征激發(fā),而是靠附加能級(jí)的電子或空穴激發(fā)。具有光學(xué)透明特性的寬禁帶氧化物半導(dǎo)體材料,一般都是絕緣體,但ZnO既有高透明性又有導(dǎo)電性。因此,ZnO材料在制備透明導(dǎo)電薄膜,紫外波段LED和LD以及能量窗口,液晶顯示,太陽電池,氣體傳感器,超聲振蕩器和轉(zhuǎn)換器等光電子器件有不錯(cuò)的應(yīng)用前景。目前十一頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)ZnO薄膜的其它性質(zhì)與應(yīng)用氣敏特性壓敏特性P—n結(jié)特性壓電特性壓電器件太陽能電池氣敏元件壓敏元件聲表面波器件(SAW)目前十二頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)納米氧化鋅的性質(zhì)和用途納米氧化鋅的主要性質(zhì)表面效應(yīng)表面效應(yīng)是指納米粒子表面原子與總原子數(shù)之比隨粒徑的變小而急劇增大后所引起的性質(zhì)上的變化。這種變化使其表面與內(nèi)部的晶格振動(dòng)產(chǎn)生了顯著變化,導(dǎo)致納米材料具有許多奇特的性能。體積效應(yīng)當(dāng)納米粒子的尺寸與傳導(dǎo)電子的德布羅意波長(zhǎng)相當(dāng)或更小時(shí),周期性的邊界條件將被破壞,磁性、內(nèi)壓、光吸收、熱阻、化學(xué)活性、催化劑及熔點(diǎn)等都較普通粒子發(fā)生了很大的變化,這就是納米粒子的體積效應(yīng)。目前十三頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)納米氧化鋅的性質(zhì)和用途納米氧化鋅在防曬化妝品中的應(yīng)用納米氧化鋅具有紫外線屏蔽性、透明性及滅菌性。當(dāng)受到紫外線的照射時(shí),價(jià)帶上的電子可吸收紫外線而被激發(fā)到導(dǎo)帶上,同時(shí)產(chǎn)生空穴-電子對(duì),因此具有吸收紫外線的功能。納米ZnO比普通ZnO對(duì)可見光的吸收弱得多,有很好的透過率,因此具有高度的透明性。納米ZnO在陽光尤其在紫外線照射下,在水和空氣(氧氣)中,能自行分解出自由移動(dòng)的帶負(fù)電的電子(e-),同時(shí)留下帶正電的空穴(h+)。這種空穴可以激活空氣中的氧變?yōu)榛钚匝?,有極強(qiáng)的化學(xué)活性,能與多種有機(jī)物發(fā)生氧化反應(yīng)(包括細(xì)菌內(nèi)的有機(jī)物),從而把大多數(shù)病菌和病毒殺死。納米ZnO應(yīng)用于防曬化妝品中,不但使體系擁有收斂性和抗炎性,而且具有吸收人體皮膚油脂的功效。目前十四頁\總數(shù)十五頁\編于二十二點(diǎn)納米氧化鋅的性質(zhì)和用途納米氧化鋅在紡織中的應(yīng)用將金屬氧化鋅粉末制成納米級(jí)時(shí),由于微粒尺寸與光波相當(dāng)或更小,尺寸效應(yīng)使導(dǎo)帶及價(jià)帶的間隔增加,故光吸收顯著增強(qiáng)。在350~400nm(UVA)時(shí),氧化鋅的遮蔽效率高,同時(shí)氧化鋅(n=1.9)的折射率小,對(duì)光的漫反射率較低,使得纖維透明度較高且利于紡織品染制。遠(yuǎn)紅外線反射纖維的材料
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