大宗氣二次配施工方案

施工方案與技術(shù)措施福建晉華集成電路有限公司二次配水氣化包2PAGE87福建省晉華集成電路有限公司存儲器生產(chǎn)線建設(shè)項目20K二次配系統(tǒng)項目水氣化類包二B-GAS施工方案編制人：______________________審核人：______________________審批人：______________________中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司2018年07月24日目錄27787一、工程范圍 55516二、工程概況 532579三、本工程設(shè)計概況 7234161.本工程主要設(shè)計圖 7141752.二次配管主要設(shè)計內(nèi)容 725158四、設(shè)計方案 713610（一）深化設(shè)計和空間管理 721348（二）深化設(shè)計實例 1016117五、空間管理方案 1218614六、潔凈室施工管理 14103691、健全管理制度 14109182、施工管理總體要求 15137223、防止擾亂正常工作、生產(chǎn)措施 16160714、潔凈文明施工措施 17190885、潔凈室成品保護措施 18247七、二次配管道方案 218563（一）二次配管道施工流程圖 2116923（二）、工藝管道施工管理程序 2212864（三）BA/AP管道施工總體規(guī)劃 238742（四）、EP管道施工總體規(guī)劃 29（五）、11617BA/AP/EP管道施工品質(zhì)管理（測試） 40施工方案與技術(shù)措施一、工程范圍 二次配的主要工作范圍具體包括：工藝生產(chǎn)設(shè)備動能要求的壓縮空氣、大宗氣體、特氣、化學品二次配內(nèi)容以及機臺輔助工程，包括從各主系統(tǒng)接至機臺使用點工程的設(shè)計、安裝、測試、開機及完工后的運行。本施工方案針對B-GAS系統(tǒng)進行相關(guān)組織設(shè)計，并為業(yè)主提供滿足如下要求：(1) 提供滿足生產(chǎn)工藝及其他使用點的需求。(2) 保證供應(yīng)系統(tǒng)的安全性、連續(xù)性及可靠性。(3) 提供高安全性、高質(zhì)量、高計劃性、高效率、節(jié)能的工程施工與管理。除包括按照招標文件要求完成本項目需要提供的施工管理、材料、設(shè)備、深化設(shè)計、人工、調(diào)試測試、竣工驗收、售后服務(wù)以外，還應(yīng)該配合本項目其他平行承包商、專業(yè)承包商、第三方等的施工工作。1.2編制依據(jù)GB50235-2010《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB50184-2011《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50236-2011《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB50683-2011《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB/T20801-2006《壓力管道規(guī)范-工業(yè)管道》二、工程概況2.1項目名稱福建省晉華集成電路有限公司水氣化二次配工程包22.2項目地點本項目位于福建省泉州市晉江市國際企業(yè)大道2.3建設(shè)單位福建省晉華集成電路有限公司2.4計劃工期2018年7月20日～2019年2月25日2.5施工組織構(gòu)架2.6二次配施工流程三、本工程設(shè)計概況本工程主要設(shè)計圖空間管理圖平面布置圖支吊架綜合圖系統(tǒng)圖/PID圖節(jié)點圖/軸測圖二次配管主要設(shè)計內(nèi)容主系統(tǒng)接至機臺使用點管路綜合設(shè)計；閥門、表計選型設(shè)計；管件、接頭選型設(shè)計；閥盤布置綜合設(shè)計；支吊架選型、布置計算設(shè)計四、設(shè)計方案（一）深化設(shè)計和空間管理綜述本項目二次配工程需要依據(jù)設(shè)備UT結(jié)合一次配主系統(tǒng)完成整體系統(tǒng)設(shè)計，用于現(xiàn)場施工。我們公司將及時組織設(shè)計人員，成立本項目的設(shè)計組，施工全過程管理。首要的任務(wù)，收集完整的技術(shù)資料：UtilityMatrix、FacilityRequirement、機臺Block(電子文件)、IELayout、一次側(cè)竣工圖、Move-InSchedule；根據(jù)現(xiàn)場的實際情況，結(jié)合一次配竣工圖紙，進行系統(tǒng)設(shè)計并匯報至套圖包亞翔公司。其次根據(jù)批準的系統(tǒng)圖、平面圖，及時繪制綜合管線圖。及時提交給套圖包及業(yè)主，并進行二次配整體碰撞檢查設(shè)計。根據(jù)采購設(shè)備確定下來的最終參數(shù)，及時調(diào)整相關(guān)的圖紙（如平面圖、系統(tǒng)圖、大樣圖等）。深化設(shè)計空間管理小組的組成現(xiàn)場設(shè)計小組組織機構(gòu)圖深化設(shè)計小組由6名具有豐富空間管理和深化設(shè)計經(jīng)驗的工程師及負責項目實施的現(xiàn)場工程師組成，在項目總工的領(lǐng)導(dǎo)下和空間管理工程師的主導(dǎo)下進行工作，做到設(shè)計和實施同步進行，相關(guān)人員有效參與，更有利于現(xiàn)場的施工管理。此小組成員曾在多個項目中主持或參與了圖紙空間管理和細化設(shè)計工作，彼此之間非常熟悉，溝通融洽，并且具有豐富的設(shè)計繪圖經(jīng)驗。在類似項目實施過程中，有成功的深化設(shè)計和空間管理的經(jīng)驗和教訓(xùn)，熟悉TFT-LCD工廠二次配工程的設(shè)計思路和空間布局。設(shè)計小組成員將常駐施工現(xiàn)場，同項目部施工管理人員共同工作，以便于同業(yè)主進行及時地溝通，以便于現(xiàn)場踏勘，保證深化設(shè)計和空間管理的準確性，同時還可以向現(xiàn)場施工人員及時地進行交底。

深化設(shè)計和空間管理的流程CheckcalculationCheckcalculation校核計算Cooperationbetweentrades專業(yè)配合Constructioncooperation施工配合Progresssupport進度支持Rationalcost費用合理深化設(shè)計小組業(yè)主業(yè)主、設(shè)計師legend圖例Collectinformation

資料收集Construction建造過程Approved同意Notapproved

不同意VerifiedbyDesigner設(shè)計單位審核Checkupdrawings＆documents

圖紙、資料核查、整理Sitesituation現(xiàn)場實際情況Designreference原始設(shè)計依據(jù)Designcalculation原始設(shè)計計算Successfulexperience以往成功經(jīng)驗Submitpreliminarydetailedshopdrawing深化設(shè)計初稿提交Decideondetaildesignplan

確定更改、深化方案Submitdetailedshopdrawing＆execution正式提交圖紙與執(zhí)行竣工圖紙、資料collectsiteconstructiondocuments

現(xiàn)場建造資料收集Handover移交Asbuiltdrawings＆documents

竣工圖紙、資料Approved

同意（二）深化設(shè)計實例現(xiàn)場手繪軸測圖設(shè)計出圖：氣體系統(tǒng)軸測圖PAGE五、空間管理方案本工程潔凈面積大、設(shè)備機臺多，深化設(shè)計工作量大，系統(tǒng)配置精準，要求高。參數(shù)多，時間短，交叉多，深化設(shè)計和空間管理任務(wù)重；在深化設(shè)計過程中做到與設(shè)備廠商、其他平行包商充分的溝通協(xié)調(diào)，保證設(shè)備參數(shù)收集準確，并合理利用建筑的空間管理，重點保證將來運行平穩(wěn)性、持續(xù)性及可維修和可拓展是深化設(shè)計的難點，從而實現(xiàn)空間管理完成后保證整體布局美觀?？臻g管理作用將各專業(yè)管線作為一個整體考慮，合理安排各管線設(shè)備的位置，使管線布置錯落有致，井然有序，保證各專業(yè)施工的順利進行。由空間管理工程師，將各專業(yè)圖紙綜合、套圖，找出密集的交叉點，合理安排各類管線，減少各管線所占空間，滿足各樓層的高度要求。結(jié)合現(xiàn)場實際情況，優(yōu)化管線走向，分布、標定各專業(yè)標高、位置，明確施工順序，執(zhí)行有序安裝。繪制平面布置詳圖對終端設(shè)備產(chǎn)品，吊頂布置，根據(jù)其實際大小及使用要求，合理布置，滿足美觀實用的要求。編制施工詳圖，解決各個專業(yè)之間走向、高度相互沖突的問題，減少返工和材料浪費，確保工期確保各個系統(tǒng)互不干擾。空間管理套圖規(guī)則及進度管制各專業(yè)建筑底圖以業(yè)主確認的同一圖紙為基準繪制。套圖圖面的建筑底圖采用參照插入，參考基準點坐標皆為0，0，繪圖比例以實際1：1繪制，尺寸單位：mm。各專業(yè)提供autoCAD2000版本的圖紙給負責套圖的主責工程師。各專業(yè)提供圖紙圖層設(shè)定、顏色、命名依據(jù)統(tǒng)一規(guī)定，圖面中文字及尺寸標注單獨建立圖層，以便套圖時引用或隱藏。（例：其它項目套圖規(guī)則）每周定期檢討套圖內(nèi)容，討論套圖進度及套圖相關(guān)的沖突點。參考施工進度及各專業(yè)預(yù)估進度安裝進程，推估預(yù)定完成套圖時間安排。項目空間管理步驟各專業(yè)確認圖紙為業(yè)主提供的最新版正確圖紙。各專業(yè)根據(jù)套圖原則中的要求整理本專業(yè)的圖紙，由主責工程師負責統(tǒng)一套圖。根據(jù)套圖的一般規(guī)則“小管讓大管、有壓管讓無壓管”等內(nèi)容合理布置各專業(yè)圖紙在一張平面圖上，綜合圖中應(yīng)有詳細的定位尺寸和標高。各專業(yè)工程師根據(jù)主責工程師套好的綜合平面圖，修正本專業(yè)圖紙上管線的平面位置及高度等相關(guān)要求。依據(jù)綜合平面圖確定管線比較密集或平面圖不能完全表示出的位置，繪制綜合剖面圖，剖面圖中必須有詳細的定位尺寸，包括標高、平面定位尺寸和管線、設(shè)備間的間距等。綜合考慮各管線，在需要公共支吊架的部位，繪制公共支架布置形式。在管線特別密集的部位，繪制局部剖面圖，設(shè)備應(yīng)按實際尺寸繪制，管道需以雙線表示，保溫層的厚度也要以實際尺寸繪制。各專業(yè)確認繪制好的綜合平面圖、剖面圖及局部剖面圖無誤后，交業(yè)主審核。審核通過，下發(fā)各專業(yè)施工；不通過，根據(jù)給出意見進行修改，直至合格?，F(xiàn)場空間管理實例六、潔凈室施工管理1、健全管理制度嚴格遵守業(yè)主潔凈室相關(guān)管理制度，及作業(yè)許可證制度。崗位責任制。應(yīng)分工種、專業(yè)、單位實行崗位管理，要落實到崗落實到人。施工檢查制。工程師在施工過程中全程監(jiān)督檢查，項目部由項目經(jīng)理組成檢查組按一定時間，每周進行綜合檢查一次，并按我公司文明施工規(guī)定進行評分。持證上崗制度。上崗前須先行培訓(xùn)，合格后持證上崗。執(zhí)行我公司的會議制度。項目部每日碰頭會，由安全員介紹當日安全違規(guī)情況，文明生產(chǎn)情況，存在的問題，如何解決等。執(zhí)行公司獎懲制度。堅持有獎有懲，獎懲兌現(xiàn)，推動安全文明施工的開展。健全管理資料。按公司規(guī)定健全各種管理資料，如技術(shù)交底、安全交底、安全巡回檢查、安全教育、安全班前會、特種作業(yè)持證上崗、工傷事故處理和安全標志等資料，要保證資料完整齊全。2、施工管理總體要求嚴格遵守業(yè)主的各項規(guī)定及作業(yè)許可制度等。進入施工現(xiàn)場前必須先進行進廠教育，并且經(jīng)過安全培訓(xùn)合格后方可上崗。進入施工現(xiàn)場必須佩戴出入證和上崗證，進入建筑時必須穿戴干凈鞋套。所有現(xiàn)場人員必須著裝整齊，不留長發(fā)，不留胡須。進入潔凈室的人員須了解潔凈室內(nèi)作業(yè)規(guī)定，按照要求穿戴潔凈服，確保潔凈室施工質(zhì)量及維持良好的工作環(huán)境，以利達到潔凈室潔凈標準。在現(xiàn)場進行動火或危險作業(yè)，必須獲得批準并采取足夠的防范措施將放置醒目的警示標牌；進入施工場地應(yīng)該正確佩戴個人防護用品。進入FFU吊頂必須佩帶安全帶及安全帽，進入下夾層必須佩帶安全帽嚴禁隨處大小便，不隨地吐痰。嚴禁隨處亂倒垃圾，工程廢棄物，垃圾和廢棄物必須防于指定區(qū)域并按時清理。廠區(qū)內(nèi)禁止吸煙，及攜帶煙和火種。不得隨意挪動原有物品或者設(shè)施，不隨意架設(shè)或者拆除施工圍擋。不得隨意挪動原有物品或者設(shè)施，不隨意架設(shè)或者拆除施工圍擋。加工場地清潔，工完料清。工作前不飲用含有酒精成分的飲料，潔凈室內(nèi)禁止飲用各種水及飲料。在施工過程中，盡可能的使用低噪音的設(shè)備機械，減少對周圍環(huán)境的影響。對施工中產(chǎn)生的垃圾及時清理出廠區(qū)，保證廠區(qū)清潔。3、防止擾亂正常工作、生產(chǎn)措施本項目設(shè)備HOOKUP工作潔凈室已經(jīng)正式使用，辦公人員及其操作工人居多。施工過程中嚴禁避免產(chǎn)生噪聲，在無可避免的情況下要提前向相關(guān)部門提交申請，在得到書面批準后方可在允許的時間段內(nèi)施工。但是仍然需要注意施工作業(yè)不要影響附近他人的正常工作和生產(chǎn)，拿放材料盡量輕拿輕放不產(chǎn)生必要的噪音。對于易產(chǎn)生揚塵的施工內(nèi)容應(yīng)提前做好防護措施避免由于揚塵而影響現(xiàn)場人員、設(shè)備的正常運行及潔凈室環(huán)境?，F(xiàn)場可以采用真空吸塵器有效措施降塵，保證施工現(xiàn)場不產(chǎn)塵。施工現(xiàn)場要公布施工投訴電話，虛心接受他人批評意見。不得與勸說人員頂撞。本項目設(shè)備材料的進場、吊裝需合理安排。在此期間應(yīng)提前向相關(guān)部門提交申請，在得到相關(guān)部門的批準后方可實施。因此，需要及時規(guī)劃和疏通進貨車輛，合理安排時間，不要因為卸貨不及造成現(xiàn)場周圍交通不暢或發(fā)生事故。施工時需要進入潔凈室的設(shè)備、材料清單應(yīng)提前向有關(guān)部門進行申請。在的到允許后方可在制定物流口、制定時間、值班人的監(jiān)督下進入潔凈室。進入潔凈室前設(shè)備、材料需用白色布擦拭干凈或使用透明塑料包裹。施工現(xiàn)場周圍設(shè)置安全警示牌，提醒他人注意施工可能對其造成影響。如果涉及到長時間占用通道情況，應(yīng)提前向相關(guān)部門申請。在得到允許后方可實施。并且在施工前郵件或張貼通知，避免影響他人的正常工作計劃。有針對性的對預(yù)制加工區(qū)實行處理，用塑料布封成封閉加工區(qū)，將噪音等控制到最低。有重大情況應(yīng)立即向上級主管部門報告。有重大情況應(yīng)立即向上級主管部門報告。4、潔凈文明施工措施本項目屬于潔凈工程，二次配項目均在潔凈范圍內(nèi)，如果在潔凈范圍內(nèi)施工，如何確保不影響業(yè)主生產(chǎn)及保證潔凈區(qū)潔凈度為重中之重。進入潔凈室施工必須提前申請；嚴格遵守業(yè)主的各項制度；施工現(xiàn)場處于設(shè)備安裝調(diào)試階段，為確保潔凈室施工質(zhì)量及維持良好的工作環(huán)境，以利達到潔凈室潔凈標準，凡是進入潔凈室施工的人員均須遵守實行業(yè)主的潔凈管理制度及要求。穿戴業(yè)主規(guī)定的潔凈防塵服。高架地板和環(huán)氧地面的防護：所有材料和工具禁止直接放在地板或者地面上，必須進行二次防護；如需要大型腳手架進入，必須在腳手架下方鋪墊塑料薄膜包裹好的木板或者PP板，并需要向業(yè)主/管理公司提交防護方案并獲得批準后，方可實施。對于改動大的具有嚴重影響潔凈環(huán)境的維保專項工程，應(yīng)編制專項施工方案并請業(yè)主審核通過過后才進行施工；材料及工具進入潔凈室前必須經(jīng)過清潔，滿足潔凈室要求；各種鉆孔作業(yè)應(yīng)配備真空吸塵器；孔洞位置下方必須配置安全網(wǎng)；搬運通道使用PVC膜及PVC板雙層保護，如有必要架設(shè)PVC通道；大型的產(chǎn)塵施工區(qū)域采用C型鋼+PVC膜進行封閉，并配置排風風機及排風管道將灰塵排放到潔凈室外；小型的施工配備潔凈吸塵器。在運行工藝設(shè)備旁邊施工或在工藝設(shè)備上方施工應(yīng)編制專業(yè)施工方案經(jīng)過業(yè)主審核同意才進行施工，并有專門人員監(jiān)督實施。工藝設(shè)備的防護：設(shè)備到場后，施工人員在未得到許可前不得觸摸，碰撞，近距離停頓、觀看。避免影響他人或損壞設(shè)備?，F(xiàn)場已正常運行且已送水、送電、送氣，施工人員不得私自拆除、碰撞閥門、配電箱、母線、插接箱等。避免造成損傷、誤動作等情況的發(fā)生。5、潔凈室成品保護措施成品保護的管理措施和承諾成品保護是項目施工管理的一個非常重要的環(huán)節(jié)，二次配施工時潔凈室已經(jīng)完成，實施完善的成品保護，提供快速優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，既有利于促進工程質(zhì)量、降低工程成本，也有利于提升企業(yè)的履約形象和社會信譽。成品保護原則合理安排工序，確定保護方案。在準備工作階段，由項目技術(shù)負責人領(lǐng)導(dǎo)，配合各專業(yè)施工員對施工進行統(tǒng)一協(xié)調(diào)，合理安排工序，加強工種間的配合，正確劃分施工段，避免因工序不當或工種配合不當造成成品損壞，研究確定成品保護的組織管理方式以及具體的保護方案，對重要構(gòu)件保護下發(fā)作業(yè)指導(dǎo)書。建立成品保護責任制，責任到人。派專人負責各專業(yè)所屬成品保護工作的監(jiān)督管理。各專業(yè)施工員會同各分區(qū)的成品保護責任人進行定期的巡回檢查，將成品的監(jiān)護作為項目重要工作進行。加強職工的質(zhì)量和成品保護教育及成品保護人員崗前教育，樹立工人的配合及保護意識，建立各種成品保護臨時交接制，做到層層工序有人負責。除在施工現(xiàn)場設(shè)標語外，在成品或設(shè)備上貼掛成品保護醒目的警示標志，喚起來往人員的注意。對成品保護不力的隊伍和個人以及因粗心、漠視或故意破壞工地成品的，視不同情況和損失，予以不同程度的處罰。成品保護管理制度建立成品保護工作的組織機構(gòu)，以項目經(jīng)理牽頭組織并對成品保護工作負全面責任，項目經(jīng)理部各專業(yè)工程師負責實施，各專業(yè)施工人員主要領(lǐng)導(dǎo)負責自身施工范圍內(nèi)的作業(yè)面上的成品保護。建立成品保護的責任，由項目經(jīng)理組織劃分成品保護責任區(qū)，并落實到崗，落實到人。確定成品保護的重點內(nèi)容和成品保護的實施計劃，由項目經(jīng)理和項目工程師根據(jù)不同的施工內(nèi)容，確定成品保護的內(nèi)容和成品保護的實施計劃。分階段制定成品保護措施方案和實施細則，各專業(yè)工程師根據(jù)本專業(yè)的特點，制定各成品的保護方案和實施細則，并經(jīng)項目經(jīng)理審核批準實施。健全成品保護的各項管理制度，由項目經(jīng)理牽頭，組織制定成品保護的檢查制度、交叉施工管理制度、交接制度、考核制度、獎罰責任制度。除了以上制度、措施外，還應(yīng)科學合理地安排工序交接，成品保護小組及專職保護成品巡視員加強監(jiān)督成品保護措施的落實。對違反保護措施、故意破壞的給予及時糾正和嚴肅處理。成品保護管理制度作業(yè)區(qū)域的申報作業(yè)前各專業(yè)應(yīng)向項目部呈報《進入潔凈室作業(yè)申報表》。完成作業(yè)移交各專業(yè)在某區(qū)域完成任務(wù)后，須向項目部書面提出作業(yè)面移交申請，批準后辦理作業(yè)面移交手續(xù)。成品損壞登記成品造成損壞，成品保護責任單位應(yīng)立即到項目部進行登記。各專業(yè)需提供責任人，確認后，由各專業(yè)自行協(xié)商解決或由項目部取證裁決，責任方須無條件接受。未提供責任人的，責任自負。成品保護教育由各專業(yè)有關(guān)負責人員對其員工進行教育，增強員工成品保護意識，自覺保護成品。施工過程中的成品保護措施高架地板防施工損壞。1) 在高架地板上施工時，要及時清理掉堅硬的配件材料（螺栓、墊片等），有產(chǎn)生殘渣的施工時要派專人防護清潔，腳手架在使用區(qū)域須有PVC板防護，移動時用力要均勻。2) 凡需要在高架地板上開孔的施工作業(yè)均須相關(guān)工程師確認，地板開孔需在地板開孔間進行，開孔過程中需對高架地板拆除區(qū)域進行防護及警示，開孔完成后須清潔后恢復(fù)原位。3) 高架地板上嚴禁進行類似錘擊等施工。工藝管道防碰撞1) 下夾層運輸設(shè)備材料時須小心謹慎，避免碰撞到管道支架及管道2) 施工時要規(guī)范操作，小心謹慎，盡量避免碰撞、砸壓、劃傷工藝管線。各種閥門禁止無關(guān)人員操作嚴禁無關(guān)人員操作工藝管道的設(shè)備、閥門、管件，并在禁止操作部位掛工程保修承諾中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司七、二次配管道方案（一）二次配管道施工流程圖管道安裝管道安裝管道試壓管道吹掃、清洗支架管道預(yù)制管道測試施工準備施工計劃現(xiàn)場施工調(diào)試TURNON廠商設(shè)備及開孔位置標定設(shè)備就位根據(jù)設(shè)備到場時間制定施工計劃技術(shù)準備人員機具準備地板開孔支架安裝材料準備（二）、工藝管道施工管理程序資資材到場設(shè)計圖紙審查、深化資材訂購檢驗技術(shù)管理出庫檢查拆除包裝預(yù)制預(yù)制間清潔預(yù)制后封裝暫存、保管搬運現(xiàn)場安裝現(xiàn)場安裝沿線外觀檢查壓力測試吹掃或沖洗調(diào)試測試資材入庫一、施工方案與技術(shù)措施（三）BA/AP管道施工總體規(guī)劃人員配置采用在TFT二次配項目有工作經(jīng)驗的人員（70%)突發(fā)工程實施兩班交替(白班,夜班)現(xiàn)場工程檢查以及人員管理嚴格化施工機具、設(shè)備投入計劃Autowelders自動焊機4套Manualwelders手動焊機器12套BENDSAWM/C斷料圓鋸2套G.FCUTTINGM/C斷料帶鋸2套DEWPOINT露點儀1套材料管理流程材料檢驗材料入庫材料存放材料整理材料出/入庫管理配管施工流程圖出出庫檢查拆除包裝一次洗凈切斷二次洗凈預(yù)制間焊接檢查清潔預(yù)制結(jié)束后包裝暫存、保管搬運至現(xiàn)場現(xiàn)場布管管道連接閥門等部件安裝預(yù)制間作業(yè)現(xiàn)場作業(yè)充氣、封閉配管施工流程圖注釋入庫檢查-外觀，式樣,數(shù)量等檢查主要針對從外部搬入的材料要做以下幾項檢查，有異常的材料及時分離，確保無異常的材料必須洗凈后使用。外觀檢查-大??；MAKER/MODEL/材料有無破損；數(shù)量；包裝狀態(tài)；CAP有無密封。式樣檢查-MAKER/MODEL/數(shù)量檢查，和樣品以及清單對照。文件確認-SHEET,測試檢驗報告等確認。保管以及開封工作間指定的場所內(nèi)按種類區(qū)分設(shè)置貨架，確保材料容易區(qū)分，嚴禁使用前開封，并且確立保管管理體系，避免需要使用時發(fā)生材料不足的事情發(fā)生，材料不應(yīng)保存在室外。入庫檢查結(jié)束后實施以下幾項：材料（管材，F(xiàn)ITTING,閥門）保存在室內(nèi).庫房所要選灰塵少，濕度低的位置。材料，部件等使用前不許拆封。洗凈后必須塑料袋包裝。配管材料不許接觸其他金屬。在使用時開封。CLASS1,000以上的區(qū)域，在不打開CAP的情況下可以將包裝袋解下。一次洗凈（材料被污染時實施，否則不需要）一次洗凈順序：CC?4(四氯化碳）洗凈→酸洗凈→水洗凈→高壓水洗凈→干燥斷料/切割配管切斷位置畫好標識再切斷?？趶溅?2.7以下的管用TUBE-CUTTER,口徑φ12.7以上的管用電動CUTTER來切斷.(SUS專用的，不和碳鋼工具混用）切斷后切斷面要用鋼刷刷凈，切斷時使用吸塵器維持清潔度。注：電動CUTTER要用旋轉(zhuǎn)式的，嚴禁使用高速切割機！二次洗凈僅對加工或切斷的配管。預(yù)制間焊接加工或切斷的配管焊接時要保持其潔凈度。高純度氣體設(shè)備的焊接有兩種，手動TIG焊接和自動焊接，但以自動焊接為原則。焊接人員必須持證作業(yè)。維持所有WORKSHOP的清凈度。檢查焊接好的部位用肉眼檢查。焊接部位冷卻后用SUSBRUSH刷凈后用肉眼檢查。注意焊接部位氣泡現(xiàn)象.UNDERCUT或者OVERLAP(超出90°角范圍)視為不合格,TUNGSTEN熔粘也視為不合格.內(nèi)表面的顏色以金黃色和銀色中間顏色為最佳,焊珠（BEAD)以平焊珠為最佳.包裝前用氮氣吹掃。焊接好的材料要用氮氣吹掃,目的在于去除焊接時吸入的PARTICLE。用0.01?FILTER過濾5Kg/?以上的壓力吹掃并PVCHAMMERING。包裝PURGE結(jié)束后用PVCCAP或塑料布密封.保管區(qū)分不同的氣體管線編號，貼上標簽保管以避免順序顛倒。搬運制作好的管線要包裝后搬入現(xiàn)場。注意不要破壞包裝和與其他金屬接觸。必須兩人以上人員搬運，搬運時注意不要接觸其他物體安裝組裝好的管線在現(xiàn)場安裝。首先要做好支架，潔凈室內(nèi)使用的材料全部使用SUS或者熱鍍鋅材料，支架間距應(yīng)設(shè)置在方便焊接的基礎(chǔ)上。以DRAWING基準制作的材料在現(xiàn)場設(shè)置安裝時應(yīng)注意密封狀態(tài)，臨近一般管道或DUCT焊接時避免火花濺其表面，避免因不注意破壞包裝，加強材料管理使其不損毀，被污染的材料及時再洗凈后使用。確認，支架安裝，地板，墻壁工程的進展情況而進行搬入和安裝計劃。依照順序進行作業(yè)，確保不會對接下來的工程有影響。由于一直被包裝，焊接開始前做預(yù)吹掃，5倍正常時間(大約10分鐘)的吹掃后進行焊接作業(yè).整個管線安裝結(jié)束后使吹掃24小時/天(流量為25L/MiN）并且管子末端部位設(shè)置“氣包”以防止PARTICLE流入。測漏配管結(jié)束后，要為了確保沒有LEAK現(xiàn)象而做測漏。全部管道安裝結(jié)束后測試氣體的流量提升至5kg/?且所有連接部位（法蘭，焊接，鎖扣）使用易發(fā)泡的中性液體進行檢查。發(fā)現(xiàn)LEAK立即修補。"SNOOP"檢查后以高純氮氣進行工作壓力的1.2倍來加壓24小時。利用洗凈好的壓力表用肉眼判斷或者使用RECORDER實施最終TEST。PURGE以及HAMMERING施工時留下的細微的灰塵以PURGE和HAMMERING來去除。目的在于去除現(xiàn)場安裝時吸入的灰塵全部管線安裝結(jié)束后吹掃氣體的流量提升至MIN.5kg/?以上來加壓以3回/10分鐘進行吹掃并且每10分鐘用末端閥門增/減吹掃量。這時用PVC錘子錘打整個管線尤其要把重點放在焊接部位和BEND部位。以上吹掃或者錘打在現(xiàn)場設(shè)置完成后無法去除配管內(nèi)部的PARTLCLE,所以作業(yè)時一定要注意安裝前全部做好以上作業(yè)。PARTICLECOUNTING依照設(shè)備基準。應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD制造廠的氣體要求高純和高潔凈度,尤其對PARTICLE的要求越來越高.氣體潔凈度檢測是對氣體本身含有的PARTICLE總數(shù)和配管,閥門等產(chǎn)生的PARTICLE的總數(shù)的檢測,這時使用PARTICLECOUNTER高純氣體管線使用的COUNTER不能超過設(shè)計基準.純度TEST-O2,MOISTURE(H2O)等濃度測試。PARTICLECOUNTING結(jié)束后各管線的末端部位設(shè)置分析器（ANALYZER)來檢測O2,MOISTURE（四）、EP管道施工總體規(guī)劃器具準備、管道支架制作安裝

1.1閥件支撐架（1）閥件支撐架的材質(zhì)需為熱浸鋅或不銹鋼制品，利用墻緣、梁柱及設(shè)施等之上固定閥件。（2）閥件支撐的擺設(shè)位置根據(jù)現(xiàn)場實際狀況，測量并安裝固定。（3）閥件支撐架綜合考慮閥門操作、氣體種類、維護及配設(shè)之美觀程度等。（4）閥件之間的架設(shè)間距考慮平行架設(shè)之預(yù)留量。（５）閥件支撐考慮便于日后維護之拆裝。（7）閥件支撐架是以調(diào)壓閥為中心，再連結(jié)其它閥件；固定時，調(diào)整與管道呈垂直狀，不得歪斜。1.2管道支撐（1）支架的材質(zhì)為熱浸鋅或不銹鋼制品，，且可利用在天花板、墻緣、梁柱及設(shè)施等之上固定管線。（2）支架的擺設(shè)位置依據(jù)現(xiàn)場實際狀況測量后制作安裝。（3）配管時需考慮管道操作處、氣體種類、維護及配設(shè)之美觀程度等。（4）管線之間的架設(shè)間距至少為20mm以上。（５）依管徑需求選擇使用電工管夾固定管道。（６）注意管道支撐前，須確認未與其它管道交錯、并欲留施工空間。管道支撐固定后，須確認所有管道不得晃動、歪斜。1.3綜合管線管徑（D≤50mm）垂直布置。1.4支架選型通過力學計算,選取C型鋼的規(guī)格。二、配管施工2.1管材切割預(yù)制（1）切割前確認配管表面無有害痕跡、破損。（2）配管切割時使用不銹鋼專用切割器(StainlessSteelTubeCutter)或?qū)Ｓ檬謩痈畹毒徛M行切割。（3）管道橫放水平固定，防止切屑進入管內(nèi)。（4）配管切割后以AIRGUN用潔凈的氣體清除，切割面位于下流方向。（5）切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì)，用無塵布料(LINT-FREECLOTH)沾IPA（異丙醇）擦試干凈。（6）切割后用專用的切面加工器處理切面，使端面平整。（7）進行切面加工時，為防止切屑進入管內(nèi)，使加工面處于下流，從下流沖放潔凈的氣體，加工后，使切面朝下，從上方敲打幾次，去除切屑雜質(zhì)。（8）切面加工完成后，確認切面處理是否良好。若檢查合格，用高純度工業(yè)用氮氣清除配管外表。（9）確認配管內(nèi)外無雜質(zhì)或異常現(xiàn)象后，于兩端加蓋封密。中大口徑管子(3／4”)（1)采用專用的切割機切割中大口徑管子（2)切割后將切割端朝下輕微抖動消除切屑，然后用潔凈氣體從上往下吹掃（3)切割后目視檢查是否有灰塵污染如存在污染再吹洗一次或用無塵紙擦拭（4)切割后用端面處理器進行端面處理坡口型式應(yīng)為I型；并銑去毛刺，必要時使用銼刀，應(yīng)十分小心的進行修邊處理（5)端面處理及銑毛刺過程中，應(yīng)確保端面朝下，處理后輕輕抖動消除切屑（6)端面處理后，用潔凈氣體從上流往下流吹洗處理端面為下流（7)端面處理后目視檢查是否有切屑污染（8)管于的端面加蓋（9)使用專用吸塵器消除切割及處理過程中產(chǎn)生的粒子對于小口徑配管(l／4"一l／2")，切割原則如下：（1)切割前應(yīng)確認配管表面無有害痕跡、破損（2)配管切割時須使用不銹鋼專用切割器緩慢進行切割（3)原則上被切割管應(yīng)橫放水平固定、防止切屑進入管內(nèi)。（4)配管切割后須用潔凈的氣體吹掃管子切割端、切割端應(yīng)置于低處，氣流從高處往低處吹洗。（5)切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì)、須用無塵紙及IPA擦凈。（6)切割后應(yīng)用專用的切面加工器處理切面，坡口型式應(yīng)為I型，并用特殊的銑毛刺機消除毛刺此時應(yīng)小心不可鑿得太多；(一直保持端面朝下)(7)進行切面和銑毛刺加工時、為了防止切屑進入管內(nèi)、應(yīng)始終置加工面于下流、從上流沖放潔凈的氣體。加工后、使切面朝下、從上方敲打幾次、去除切屑雜質(zhì)。(8)如確認配管內(nèi)外無雜質(zhì)或異?，F(xiàn)象、于兩端加蓋待用。(9)如配管不能橫放水平切割、下方管不可使用。(10)使用專用吸塵器消除切割及處理過程中產(chǎn)生的粒子。(11）管子切口質(zhì)量應(yīng)符合下列規(guī)定：◆切口表面應(yīng)平整，無裂紋、重皮、毛刺、凹凸、縮口、熔渣、氧化物、鐵屑等?！羟锌跀嗝鎯A斜偏差△（圖4.1.5）不應(yīng)大于管子外徑的1%，且不得超過3mm。切管作業(yè)焊接作業(yè)2.2彎管1/2”以下管徑采用彎管施工，若因現(xiàn)場因素無法執(zhí)行，則一律使用Elbow施工。彎管需使用合適之彎管器，不可使用手彎，除美觀外也可降低微粒子產(chǎn)生。彎管曲率至少以1/2”管道五倍彎曲率為原則。(1)原則上只有直徑小于1/2”的管道才可彎曲，配管彎曲時(除了量尺寸外)不可取開兩端蓋子(2)配管彎曲應(yīng)使用專門的彎管器（SWAGELOK）進行操作(3)對不同尺寸的管道彎管半徑規(guī)定如下:1/4"(標準彎徑5D)R＝約為30mm3/8"(標準彎徑5D)R＝約為48mm1/2"(標準彎徑5D)R＝約為64mm管子彎曲時，管子的正負角度應(yīng)小于15度2.3管線連接2.3.1卡套接頭安裝(Let-lok)（1）施工前，檢查卡套型(Let-lok)接頭之各元件是否齊全；元件包含接頭本體×1個、母套頭（Nut）×2個、金屬箍套圈（Ferrule）×2組。如下圖：將配管管材裁減至所需尺寸，或預(yù)制好之管材依序套上母套頭、金屬箍套圈。（3）將管材連接端確實套入接頭本體，并頂至內(nèi)部底端；用手旋緊母套頭。（4）旋緊后，以簽字筆在母套頭上之一面作標記；再以兩支扳手分別夾住接頭。（5)本體六角承頭部及母套頭，施力旋轉(zhuǎn)11/4圈，如下圖：2.3.2接頭安裝如圖：（1）螺紋型接頭一端為卡套型(Let-lok)接頭；另一端為螺紋接頭。（2）螺紋連接于機臺前，須以TYPE-SEAL先行以漸進法纏繞于牙端3圈。（3）連接機臺時，先以手旋緊接頭，再以扳手施力旋緊。（4）連接管道與卡套型(SIEMTECH-lok)接頭端；于母套頭內(nèi)置入Ferrule后插入管件，再以手旋緊母套頭，旋緊后，以扳手施力旋緊11/4圈。2.3.3閥盤盤體組裝：3.2焊接施工a.焊接認證（1）自動軌道焊接的技工擁有一定的焊接知識基礎(chǔ).（2）項目正式焊接施工前，業(yè)主和施工方一起進行自動軌道焊接技工認證（以項目采購材料規(guī)格現(xiàn)場-潔凈小間內(nèi)），焊接作業(yè)流程和焊接試樣合格后方頒發(fā)項目焊接證書，才能許可在項目中操作焊接設(shè)備進行焊接。（3）所有作業(yè)者都必須穿戴好勞動防護用具，準備作業(yè)設(shè)備齊全。（4）施工現(xiàn)場進行焊接施工，需取得客戶許可，持有作業(yè)許可證，備齊有關(guān)的消防設(shè)備。（5）焊接作業(yè)場所需有良好的通風和照明條件，以防因大量氬氣存在，引起局部缺氧或窒息。b．焊接吹掃氣體要求（1）焊接時使用之氣體為高純氬氣，對焊接及保護用氬氣其出口處應(yīng)達以下指標氬氣純度不低于99.999%氧含量不大于 1.0ppm水分含量不大于1.0ppm總的碳氫化合物不大于1.0ppm（2）吹凈氣體分流筒使用高潔凈度閥件，調(diào)壓閥及0.01UM過濾器，過濾器置于最末端氣體出口位置。c．焊接作業(yè)（1）焊接施工前的準備：（a）焊工須通過不銹鋼焊接工藝技術(shù)測試或EDRI內(nèi)部的焊接工藝授權(quán)測試（b）作為對自動焊接的管理，每天正式實施焊接工作前，焊工須對每臺焊機的焊機所焊尺寸配管進行配管樣本制作，交現(xiàn)場工程師進行評估和檢查(評估檢查的標準參見《焊接評定》),樣本通過后才能進行焊接操作。如果遇到如下的情況必須再重新制作焊樣：焊機主機關(guān)機后，再重新使用時應(yīng)重做樣品并檢查；更換另外的焊頭后，再重新使用時應(yīng)重做樣品并檢查；更換新的鎢極，再重新使用時應(yīng)重做樣品并檢查；焊接另外尺寸的管道，再重新使用時應(yīng)重做樣品并檢查；改變焊接參數(shù)后，再重新使用時應(yīng)重做樣品并檢查；更換吹掃保護氣體后；（c）每天焊接工作結(jié)束及當日管徑變換前應(yīng)制作結(jié)束樣本，檢驗已完成部分的焊接質(zhì)量，如結(jié)束樣本不合格，則檢驗最后一個焊點的質(zhì)量，依此類推，如果連續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)四個焊縫不合格，應(yīng)當對該尺寸全天的焊縫進行全面檢查。（d）用于評估的焊接工作的樣本須按照樣本制作條件與判定結(jié)果單制作及評估焊接樣本必須對其進行永久性的標記，標記內(nèi)容如下：焊接試樣編號；焊接日期；焊工編號；管道材質(zhì)；焊機序列號；焊頭序列號。（e）通常焊接總是從管子上流往下流進行，保持通氣的穩(wěn)定性。（f）戶外及其他環(huán)境較差地點進行焊接時，應(yīng)盡量減少外界的污染，如在潔凈室內(nèi)作業(yè)就應(yīng)當保證通風，防止缺氧。（g）自動焊機的電源應(yīng)保持恒定并配有裝置。（h）該部分管道在施工結(jié)束前，管內(nèi)需始終充有高純氬，以防治空氣中的水份和氧份的進入。（2）保護氣的吹洗方法（a）保護氣吹掃是為了使UHP管道系統(tǒng)內(nèi)表面在焊接高溫中免受氧化。（b）通常吹掃管道采用不銹鋼管，與被要焊的管道的連接采用PTFE材料(不可采用會釋放氣體的聚氮乙烯材料)（c）保護氣體的純度應(yīng)為管端(將焊的管子)氧分低于1ppm，水分低于1ppm，氧分、水分應(yīng)定時測量。（d）背保護氣壓力應(yīng)在被焊管于出口端用氣壓計測量,并調(diào)節(jié)為30～50mmHg，焊接區(qū)域全氣壓計有一定距離時，調(diào)節(jié)前應(yīng)考慮壓力損失。（e）焊接直到焊接區(qū)域冷卻至＜100℃之前都要保持有背保護氣一直吹掃。（3）焊接對口（a）焊接管子對口必須為正方并緊密連接。在對口位置所允許的圓角和倒角為壁厚的十分之一；（b）連接口需在鎢極的中心位置。（4）點焊固定（a）自動焊時如管子尺寸大于3/4”有必要點焊；點焊采用四點固定法；（b）點焊時焊接熔深應(yīng)小于管子壁厚的90%，在點焊時用保護氣體進行潔凈處理；（c）點焊點數(shù)根據(jù)尺寸不同而異但應(yīng)小于4點；（d）點焊應(yīng)完成后應(yīng)全面清除氧化膜，檢查焊接面是否完全吻合，表面是否平整，間隙是否過大，最大間隙不超過0.13mm。（5）焊接（a）操作時參照各臺焊機的使用手冊操作；（b）在焊接過程中應(yīng)始終保持焊頭的清潔，并檢查夾具套的潛在危險損壞、鎢極尖部是否有磨損、焊頭轉(zhuǎn)動是否平滑；（c）焊接過程中應(yīng)盡量減少對母材的熱輸入量；（d）夾套應(yīng)準確地校正并固定；（e）在焊接過程中，所有附加的輔助器械都會及時到位；（f）目視檢查焊后外表面無任何異常，用鋼絲刷刷去焊接區(qū)外表面的氧化膜；（g）完成焊接后，焊工必須在焊點處簽寫姓名和日期并貼上標簽，提請焊接檢驗員對其進行檢查；（h）焊接檢驗員確定該焊縫為合格焊縫焊縫后，焊工應(yīng)當在焊接檢驗記錄表記錄所有成品焊縫的焊接參數(shù)。此記錄表至少應(yīng)包括：焊縫號早晨開始焊接時的焊接樣品