激光顯微共焦拉曼光譜系統(tǒng)附件一

激光顯微共焦拉曼光譜系統(tǒng)附件一貨物需求：顯微共焦拉曼光譜儀系統(tǒng)一套。詳細(xì)技術(shù)參數(shù)：系統(tǒng)的主要技術(shù)指標(biāo)：1） 250mm焦長，系統(tǒng)總通光效率大于30%。2）波長范圍：200nm—1050nm。3） 光譜掃描范圍：325nm激發(fā)Raman（200-4000cm-1），532nm激發(fā)15-8000cm-i,激發(fā)100-6000cm-i,785nm激發(fā)15-3200cm-i,1064nm激發(fā)100-3200cm-1。4） 光譜分辨率：可見全譜段等于或小于1cm-1,紫外（325nm）段＜3cm-1,紅夕卜（1064nm）段＜3cm-1。5） 光譜重復(fù)性（測量多少次50次）：V±0.15cm-1。6） 空間分辨率：橫向＜微米，光軸方向＜2微米。7） 靈敏度：硅三階峰信噪比好于15:1,并可見四階峰；（指光譜儀無低波數(shù)附件時的靈敏度）。8） 低波數(shù)：小于或等于15cm-1（785nm激發(fā)），15cm-1（532nm激發(fā)）；9） CCD探測器：應(yīng)利用紫外和近紅外同時增強(qiáng)深耗散層型CCD探測器，優(yōu)質(zhì)芯片，半導(dǎo)體制冷到-70°C,為確保圖像質(zhì)量，避免邊緣畸變，芯片尺寸應(yīng)＜13X，像元尺寸22m。10） 第二探測器組件（InGaAs探測器）：um?um,包括軟件包，液氮或半導(dǎo)體制冷。11）光源及控制系統(tǒng)：，N17毫瓦;785nm,>275毫瓦；，N40毫瓦,325nm激光器30毫瓦。12）可導(dǎo)入脈沖激光光源（405nm）進(jìn)行瞬態(tài)測量，信號光可引入TCSPC，提供TCSPC探測器接口，（需考慮放濾光片位置）。包括附件：直接二維拉曼成像功能（532/785nm激發(fā)）。大面積快速掃描拉曼成像功能。三維拉曼成像功能。冷熱臺及控制器（-195oCto+600oC）冷熱臺及控制器（室溫to+1500oC）催化反映拉曼原位池（室溫to+1000oC）系統(tǒng)自動xyz三維平臺。拉曼偏振測量附件。系統(tǒng)的詳細(xì)技術(shù)規(guī)格：一、顯微鏡：研究級正置彳來卡顯微鏡。一、 原配物鏡：5X、20X、50X和100X物鏡，15X和40X紫外物鏡.二、 配置50x長焦物鏡（mm）和100x長焦物鏡（）3、 彩色攝像頭，4、 XY手動樣品臺五、顯微鏡攝像機(jī)可觀察紫外激光光斑含反、透射照明系統(tǒng)（含聚光透鏡）二、光譜儀要知足低波數(shù)、高靈敏度、高分辨率要求，盡可能同時知足低波數(shù)、高靈敏度、高分辨率要求，詳見以下指標(biāo)：1、拉曼頻移范圍：325nm激發(fā)200-4000cm-1,532nm激發(fā)15-8000cm-1,激發(fā)100-6000cm-1，785nm激發(fā)15-3200cm-1,1064nm激發(fā)100-3200cm-i。二、焦長＞250mm，通光效率＞30%3、高靈敏度：硅三階峰的信噪比好于15:1,并能觀察到四階峰，要求靈敏度盡可能高。檢測條件：利用單晶硅片，波長532nm，到樣品上功率10mW,狹縫寬度(或針孔)小于50微米，光柵大于等于600g/mm，曝光時刻100秒，累加次數(shù)3次，binning等于1。顯微鏡頭為X100倍。4、光譜重復(fù)率：V±5、光譜分辨率：可見全譜段＜=1cm-1,紫夕卜(325nm)全譜段＜3cm-1,紅外(1064nm)全譜段＜3cm-1要求光譜分辨率盡可能高。六、光譜分辨率和靈敏度的綜合性能：在知足＜1cm-1分辨率時的靈敏度需盡可能高，在＜=1cm-1分辨率條件下硅三階峰的信噪比好于10:1。7、 配有別離知足紫外和可見光測量的光柵，而且能別離知足高分辨及高靈敏測量。光柵能由軟件控制自動轉(zhuǎn)換。8、 光譜儀每一個波長(325nm、532nm、633nm、785nm和1064nm)都必需配2片Edge濾光片及一片干與濾光片。三、CCD探測器一、 光譜范圍220-1100nm二、 半導(dǎo)體制冷（小于等于-70°C）3、 紫外-近紅外增強(qiáng)高質(zhì)量CCD4、 量子效率：在600nm處＞50%，在300nm處＞30%（見響應(yīng)文件的響應(yīng)曲線）五、 暗噪聲＜電子/秒/像元六、 讀出噪聲＜7電子/像元四、 共焦技術(shù)一、 具有共焦性能。二、 空間分辨率橫向（光斑直徑）小于^m,縱向小于2^m,共焦深度持續(xù)可調(diào)。五、 運(yùn)算機(jī)奔騰W以上機(jī)型，Windows操作系統(tǒng)。Windows下光譜專業(yè)軟件包-包括儀器控制，數(shù)據(jù)收集、計算和處置及曲線擬合等各項(xiàng)功能。軟件具有加、減、乘、除、熒光扣除等功能。數(shù)據(jù)庫包括：譜庫搜索軟件，礦物數(shù)據(jù)庫，高分子數(shù)據(jù)庫。六、 激發(fā)波長一、325nm激發(fā)波長、325nm激光器，N30mw,kimmon產(chǎn)，相關(guān)波長30cm,TEMoo模，要求線寬窄，頻率穩(wěn)固性好；帶電源及該激光器運(yùn)行所需配件。兩臺325nm激光器。2、 532nm激發(fā)波長、532nm激光器，50mw,TEMoo模，要求線寬窄，頻率穩(wěn)固性好；帶電源及該激光器運(yùn)行所需配件。3、 632nm激發(fā)波長。、632nm激光器，A7mw,TEMo。模，要求線寬窄，頻率穩(wěn)固性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運(yùn)行所需配件。4、 785nm激發(fā)波長、785nm激光器，N250mw,TEMo。模，單縱模，要求線寬窄，頻率穩(wěn)固性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運(yùn)行所需配件。五、1064nm激發(fā)波長、1064nm激光器，N200mw,TEMo。模，單縱模，要求線寬窄，頻率穩(wěn)固性好；帶電源及控制。帶電源及該激光器運(yùn)行所需配件。七、外購附件一、 液氦低溫樣品臺，4K至室溫，振動幅度3-5nm,帶微位移平臺；二、 20x常規(guī)焦距暗場鏡頭，NA:,WD:50x常規(guī)焦距暗場鏡頭，NA:,WD:100x常規(guī)焦距暗場鏡頭，NA:,WD:50x長焦距暗場鏡頭，NA:,WD:100x長焦距暗場鏡頭，NA:,WD:3、TCSPC系統(tǒng)4、532nm和785nm波長均配拉曼偏振測量附件五、 4GHz高速示波器，4通道六、 超持續(xù)白光激光光源，總功率4W，脈沖重復(fù)頻率40MHz,單波長功率2mW,400nm?2200nm，含聲光調(diào)制光柵；7、脈沖激光光源，532nm/266nm,脈寬10ns；八、持續(xù)激光光源，808nm、473nm、403nm；7、鎖相放大器及斬波器；8、高精度電流源表（雙通道，2臺）；八、與掃描電鏡耦合部件特殊設(shè)計的SEM/Raman接口允許掃描電鏡成像和拉曼光譜收集在SEM樣品倉內(nèi)同時進(jìn)行，第一次實(shí)此刻SEM上原位測試樣品化學(xué)結(jié)構(gòu)信息。在不進(jìn)行拉曼收集時，拉曼元件可收回，完全不影響SEM任何功能。雙波長SEM-Raman接口裝置內(nèi)置的運(yùn)算機(jī)控制的顯微攝像頭集成運(yùn)算機(jī)控制的照明光源，允許同時觀察樣品白光照明情形和激光光斑。采用單模光纖的共焦拉曼探頭，用于532/785nm激發(fā)，集成130/100波數(shù)瑞利濾光片，5米長光纖。常規(guī)拉曼測試模式與聯(lián)用測試模式的快速切換機(jī)構(gòu)，運(yùn)算機(jī)自動控制。拉曼測試點(diǎn)精準(zhǔn)重復(fù)定位裝置，保證拉曼測試點(diǎn)與電子束掃描及x熒光分析樣品點(diǎn)精準(zhǔn)重復(fù)。為實(shí)現(xiàn)聯(lián)用需升級的部件:拉曼信號搜集光纖光路（雙波長），含固定于濾光片轉(zhuǎn)臺上的光學(xué)元件。激光傳遞光路自動切換裝置，完成常規(guī)測試和聯(lián)用測試模式的激光傳遞切換。光譜儀內(nèi)自動控制切換的反射鏡單模光纖光路切換裝置及激光安全鎖（雙波長）。譜儀系統(tǒng)固定于光學(xué)平臺上的固定裝置3、 工作條件：1） 、電源電壓 220V2） 、環(huán)境溫度 15—28°C3）、相對濕度<60%4、 售后服務(wù)：廠家負(fù)責(zé)免費(fèi)安排安裝、調(diào)試、培訓(xùn)和驗(yàn)收，并承擔(dān)由此發(fā)生的一切費(fèi)用，并提交經(jīng)買方簽字認(rèn)可的安裝調(diào)試報告。設(shè)備出現(xiàn)故障時，廠家保證在接到用戶通知后24小時內(nèi)響應(yīng)，如有必要48小時內(nèi)派出維修人員抵達(dá)現(xiàn)場進(jìn)行服務(wù)五、 交貨時刻:收到信用證后3個月內(nèi).六、 質(zhì)量保證：設(shè)備保修期自最終驗(yàn)收協(xié)議簽署生效之日起三年，在保修期內(nèi)，任何由制造商選材和制造不妥引發(fā)的質(zhì)量問題，廠家負(fù)責(zé)免費(fèi)維修，免費(fèi)保修期后，廠家提供終身維修，并保證零配件的供給，提供軟件終生免費(fèi)升級。7、技術(shù)文件：提供全套書面和光盤的技術(shù)資料，包括操作說明書，保護(hù)說明書，質(zhì)量認(rèn)證等。掃描電鏡部份工作條件:電源:220V/50Hz運(yùn)行環(huán)境溫度:15-25C運(yùn)行環(huán)境：相對濕度＜80%儀器運(yùn)行的持久性：可持續(xù)運(yùn)行設(shè)備用途：該電鏡主要用于直接觀察導(dǎo)電、不導(dǎo)電樣品的表面形貌。技術(shù)規(guī)格：電子光學(xué)系統(tǒng)：*分辨率：高真空模式：nm@30kV(SE),nm@1kV(SE),nm@30kV(BSE)低真空模式：nm@30kV(SE),nm@3kV(SE),nm@30kV(BSE)環(huán)境真空模式(ESEM):nm@30kV(SE)加速電壓：一30KV3.1.3放大倍數(shù)：6倍—100萬倍放大倍數(shù)誤差：V3%*電子槍：Schottky場發(fā)射電子槍，最大束流200nA物鏡光闌：物鏡光欄應(yīng)能自加熱自清潔；無需拆卸鏡筒即可改換物鏡光闌二次電子和背散射電子成像系統(tǒng)：自動調(diào)節(jié)和手動調(diào)節(jié)亮度、對比度掃描旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦和傾斜校正補(bǔ)充樣品室*樣品臺：五軸或以上馬達(dá)驅(qū)動，移動范圍：X>100mmY>100mmZ>60mmT>5?+70°R=360°持續(xù)旋轉(zhuǎn)樣品室尺寸：左右內(nèi)徑>280mm3.2.3分析工作距離10mm檢測器：3.3.1高真空模式二次電子檢測器；*低真空模式二次電子檢測器及環(huán)境真空下的氣體二次電子檢測器3.3.2背散射電子檢測器樣品室紅外CCD相機(jī)數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)圖像處置：最大6144x4096像素圖像顯示：單幅圖像顯示或4幀圖像同時顯示*圖像記錄:TIFF,BMP或JPEG;自動記錄數(shù)字電影(.avi)功能幾何量實(shí)時測量控制和數(shù)據(jù)處置系統(tǒng)基于以太網(wǎng)架構(gòu)的數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)Intel雙核控制和操作運(yùn)算機(jī)系統(tǒng)Windows7操作系統(tǒng)顯示器：24英寸LCD顯示器真空系統(tǒng)渦輪分子泵250l/sec和兩個離子泵前級機(jī)械泵透鏡內(nèi)壓差真空系統(tǒng)，低真空模式下抽氣區(qū)域很多于3個*樣品室真空度：高真空模式下優(yōu)于6X10-4Pa低真空模式下10Pa?130Pa環(huán)境真空模式下10Pa?4000Pa標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用軟件樣品圖像導(dǎo)航鼠標(biāo)拖曳式放大及對中功能直方圖和在線測量數(shù)字動畫記錄原子力顯微鏡/近場光學(xué)顯微鏡部份原子力顯微鏡/掃描探針近場光學(xué)顯微鏡一臺。主要技術(shù)要求：本系統(tǒng)由主機(jī)、反射光路、透射光路、輔助光學(xué)觀測系統(tǒng)、控制測量軟件等部份組成，能與拉曼光譜儀聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)AFM-SNOM-Raman功能。要求該系統(tǒng)能完全兼容325nm?785nm激光器的光路，實(shí)現(xiàn)AFM-SNOM-Raman聯(lián)用功能；能實(shí)現(xiàn)325nm~1064nm近場光學(xué)顯微鏡的照明和搜集模式功能。制造商應(yīng)保證所提供的設(shè)備具有先進(jìn)的設(shè)計和工藝。（一）具體技術(shù)要求：*1.AFM成像功能需包括：接觸式AFM/側(cè)向力模式/振動模式（半接觸+非接觸模式AFM）/相位成像模式/力調(diào)制模式（粘彈性）/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/表面電勢/橫向力LFM/導(dǎo)電原子力CFM/頻率調(diào)制/粘附力成像/AFM力刻蝕/AFM電場刻蝕/掃描電容成像/掃描開爾文探針顯微鏡/擴(kuò)展電阻成像/掃描隧道顯微鏡/掃描隧道譜。以上功能均能夠與拉曼光譜儀聯(lián)用，同時取得樣品的AFM成像和拉曼成像（即一次掃描能夠同時獲取AFM信號和Raman信號）。*2.SNOM成像功能需包括：開孔懸臂透射照明模式，開孔懸臂透射搜集模式，開孔懸臂梁反射照明模式，開孔懸臂梁反射搜集模式，光纖探針反射照明模式，光纖探針反射搜集模式，光纖探針透射照明模式，光纖探針透射搜集模式。樣品臺xy調(diào)節(jié)范圍＞5mm，定位精度2^mo*3.樣品掃描模式掃描范圍N90"X90呻X9呻，無需改換掃描器；改換針尖和樣品不需要拆下或打斷掃描頭的校準(zhǔn)。改換完針尖，針尖由電腦控制自動校準(zhǔn)，回歸到原來位置，誤差＜5呻；三維全量程閉環(huán)控制掃描器，XY非線性度＜%,Z方向噪聲水平，XY方向噪聲水平。高分辨率掃描器：XYZ＞1p,mX1pmX1p,m。4.SPM掃描平臺：閉環(huán)掃描器，非線性＜%；XY共振頻率7kHz;Z共振頻率15kHz；樣品尺寸＞40X50X15mm；掃描速度N40Hz。5.SPM^描頭：頂部側(cè)面同光陰學(xué)接入；全自動激光和發(fā)光二極管校準(zhǔn);紅外激光xxnm；系統(tǒng)噪音Vnm。*6.AFM懸臂梁光學(xué)工作模式：同時具有AFM懸臂梁頂部照明模式，AFM懸臂梁底部照明模式，AFM懸臂梁反射搜集模式和透射搜集模式；同時整套光路可與邊照射模式（激發(fā)和搜集）兼容；完整頂部照明光路兩套，一套采用紫外增強(qiáng)物鏡及通光光路（325nm?600nm）,物鏡數(shù)值孔徑，采用670nm激光定位；另外一套采用可見增強(qiáng)物鏡及通光光路（400nm?800nm）,物鏡放大倍數(shù)100X，數(shù)值孔徑，采用830nm激光定位；完整底部光路一套，可進(jìn)行照明和信號搜集，底部光路與拉曼光譜儀光路兼容（即可采用拉曼譜儀激光進(jìn)行激發(fā)，信號可沿原光路返回拉曼譜儀進(jìn)行搜集）；同時整套光路可與邊照射模式（激發(fā)和搜集）兼容；在AFM懸臂梁工作模式下，保證進(jìn)行AFM成像的同時可進(jìn)行拉曼光譜的收集和成像。*7.SNOM懸臂梁工作模式：同時具有開孔懸臂透射照明模式，開孔懸臂透射搜集模式，開孔懸臂梁反射照明模式，開孔懸臂梁反射搜集模式；完整頂部照明光路兩套，一套采用紫外增強(qiáng)物鏡及通光光路（325nm?600nm）,物鏡數(shù)值孔徑，采用670nm激光定位；另外一套采用可見增強(qiáng)物鏡及通光光路（400nm?800nm）,物鏡放大倍數(shù)100X，數(shù)值孔徑，采用830nm激光定位；具有激光掃描模塊，可在頂部照明工作模式下將激光光斑定位于懸臂梁的小孔中，并可通過視頻可見；完整底部光路一套，可進(jìn)行照明和信號搜集,底部光路與拉曼光譜儀光路兼容（即可采用拉曼譜儀激光進(jìn)行激發(fā),信號可沿原光路返回拉曼譜儀進(jìn)行搜集）；同時整套光路可與邊照射模式（激發(fā)和搜集）兼容；在SNOM懸臂梁工作模式下，保證進(jìn)行SNOM成像的同時可進(jìn)行AFM成像及拉曼光譜的收集和成像。*8.紅外波段SNOM懸臂梁工作模式：具有紅外波段優(yōu)化通光、照明和搜集光路（1000nm?1600nm）；同時具有頂部照明（搜集）和底部照明（搜集）光路；頂部照明光路采用紅外增強(qiáng)物鏡及通光光路，100X紅外物鏡，數(shù)值孔徑，采用670nm激光定位；同時整套光路可與邊照射模式（激發(fā)和搜集）兼容；在SNOM懸臂梁工作模式下，保證進(jìn)行SNOM成像的同時可進(jìn)行AFM成像及拉曼光譜的收集和成像。*9.邊照射模式：35度入射?？蛇M(jìn)行針尖增強(qiáng)拉曼散射實(shí)驗(yàn)。*10.SNOM光纖工作模式：具有樣品掃描和光纖掃描模式；光纖探針掃描模式掃描范圍N90呻X90"X9呻，三維全量程閉環(huán)控制掃描器，XY非線性度V%,Z方向噪聲水平，XY方向噪聲水平；最大樣品尺寸：直徑＞40mm,厚度＞15mm，最大樣品質(zhì)量＞100g；具有光纖探針反射照明模式，光纖探針反射搜集模式，光纖探針透射照明模式和光纖探針透射搜集模式；激光耦合裝置，V型槽耦合，XYZ三維可調(diào)，定位精度1^m,采用40X物鏡；透射光路采用40X物鏡耦合，工作距離mm；具有近紅外SNOM透射搜集模式，工作范圍900nm?1660nm,配備低溫冷卻近紅外光電倍增管；配備紫外可見PMT光纖探針反射工作模式采用特殊物鏡進(jìn)行耦合，物鏡數(shù)值孔徑，工作距離30mm,提供有效耦合模塊；*11.CCD及成像系統(tǒng)：彩色CCD,配備視頻顯微鏡，采用LED白光照明，視場范圍（采用100X物鏡）80叩乂80叩。SPM控制器：模塊化全數(shù)字?jǐn)U展控制器，輸入電壓：90-240V,工作頻率50Hz/60Hz。數(shù)字/模擬信號輸入/輸出接口，便于集成外置設(shè)備，包括PLL和DFM模式。噪音水平：電容傳感器開啟時，200Hz頻帶寬度狀態(tài)下，在XY方向噪音水平為nm；電容傳感器關(guān)閉時，100Hz頻帶寬度狀態(tài)下，在XY方向噪音水平為nm；1000Hz頻帶寬度狀態(tài)下，Z電容傳感器噪音水平Vnm。高分辨率光學(xué)顯微鏡，XY方向定位尋覓樣品測量位置。納米操縱：可實(shí)此刻納米和分子級別的納米操縱和刻蝕，可通過輸入位圖和矢量圖自動控制。附件及零配件隨整套設(shè)備配套提供運(yùn)算機(jī)、顯示器、系統(tǒng)軟件操作系統(tǒng)等。控制測量軟件：能夠高精度地同步完成所有系統(tǒng)部件的控制和測量動作；能夠讀取信號、收集數(shù)據(jù)、實(shí)時處置數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)后期處置等?？刂葡到y(tǒng)及軟件能夠兼容AFM反饋模式掃描，要求該系統(tǒng)的掃描控制部件具有閉環(huán)掃描控制功能，多次重復(fù)掃描時漂移＜5nm；全數(shù)功能控制軟件終身免費(fèi)升級。并與拉曼光譜儀控制軟件彼此通信。提供常規(guī)AFM探針200枚，鼻型光學(xué)AFM探針50枚，各波段(305?450nm、450?600nm、600?770nm、780?970nm、980?1600nm)光纖SNOM探針各10枚，50nm孔徑的SNOM懸臂10枚，100nm孔徑的SNOM懸臂10枚，鼻型導(dǎo)電AFM探針50枚。提供詳細(xì)的設(shè)備安裝指南、操作指南、用戶培訓(xùn)手冊。供給商長期提供耗材的購買優(yōu)惠，按照用戶需求設(shè)計制作各類規(guī)格、尺寸的探針。提供常規(guī)NTEGRA工具包、SNOM工具包和STM工具包，（三）技術(shù)服務(wù)