LCD行業(yè)-顯影制造作業(yè)規(guī)范 2F

主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：01/07本頁版次：0＊＊＊＊＊＊目錄＊＊＊＊＊＊項(xiàng)目內(nèi)容頁次目錄01/07修訂履歷02/071目的03/072范圍03/073制程參數(shù)設(shè)定03/074使用原物料及治具03/075控制面板說明04/076作業(yè)內(nèi)容05/077PRE-TANK加液操作06/078機(jī)內(nèi)恒溫槽加液操作06/079注意事項(xiàng)07/0710附件07/07制訂審核核準(zhǔn)＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ001A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：02/07本頁版次：2＊＊＊＊＊＊修訂履歷＊＊＊＊＊＊文件版本修訂記錄：版本工程變更號(hào)生效日期變更要旨AISO9001﹕2000體系改版后初次發(fā)行。頁次修訂狀況：頁次123456789101112131415版次22頁次161718192021222324252627282930版次頁次313233343536373839404142434445版次頁次464748495051525354555657585960版次頁次版次工程變更號(hào)變更要旨031EC-E031215388修改3-2顯影速度032EC-E040328419修改3-2顯影速度為：2800+-200mm/min＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ002A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：03/07本頁版次：1 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：04/07本頁版次：0 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：05/07本頁版次：0 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：06/07本頁版次：0 6-1-1檢查各液體是否足夠機(jī)臺(tái)運(yùn)行. 6-1-2檢查各參數(shù)是否符合制程設(shè)定. 6-2作業(yè)過程： 6-2-1打開機(jī)器內(nèi)側(cè)漏電開關(guān)，打開堅(jiān)膜烤箱與蝕刻機(jī)之間之控制柜電源開關(guān). 6-2-2將手動(dòng)面板上MAMUAL/AUTO轉(zhuǎn)換開關(guān)拔至AUTO，此時(shí)指示燈面板上AUTO 6-2-3按下面板中(POWERON)開關(guān). 6-2-4按下面板中(READY)鍵. 6-2-5按下堅(jiān)膜烤箱(POWERON)鍵后，按下(HEATERON)鍵再按下(HEATERSTART)鍵.6-2-6按下堅(jiān)膜烤箱(AUTO)鍵后，按下(IDLING)鍵. 6-2-7待堅(jiān)膜烤箱溫度達(dá)到設(shè)定值，并確認(rèn)蝕刻機(jī)處于INLINE狀態(tài)，按下堅(jiān)膜烤箱(RUN)鍵.6-2-8待顯影機(jī)各處溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，按下顯影機(jī)(START)鍵，此時(shí)顯影機(jī)紅燈閃爍，再將顯影機(jī)INLINE/OFFLINE開關(guān)拔至INLINE，此時(shí)紅燈滅. 6-2-9從曝光站放下A、B各兩片玻璃經(jīng)曝光，顯影確認(rèn)質(zhì)量. 6-2-10待確認(rèn)OK后，即可下流玻璃. 6-3關(guān)機(jī) 待所有玻璃全部排出后，按下顯影機(jī)之(STOP)開關(guān)后，按下堅(jiān)膜烤箱之(STOP)鍵，最后按下 顯影機(jī)內(nèi)側(cè)電開關(guān)，最后關(guān)閉控制柜開關(guān). 7.PRE--TANK加液操作： 7-1當(dāng)PRE-TANK中液位低于下限設(shè)定值時(shí)，LEVELCHECK燈亮，則應(yīng)向PRE-TANK中加液，此 時(shí)應(yīng)聯(lián)絡(luò)化學(xué)液房通知打開供液管閥門. 7-2將面板WATERSUPPLY鍵拔至RUN.打開向PRE-TANK供液管上球形閥，WATERSUPPLY指 示燈亮，此時(shí)已向PRE-TANK加液，當(dāng)液位超過下限設(shè)定值時(shí)，按BUZZEROFF鍵，LEVEL CHECK燈滅. 7-3當(dāng)PRE–TANK中液位達(dá)到上限時(shí)，WATERSUPPLY鍵復(fù)位，WATERSUPPLY指示燈滅，再將球形閥關(guān)閉. 7-4PER-TANK加液結(jié)束，通知配液房關(guān)閉供液閥. 7-5通知IPQC滴定其濃度，并記錄. 8.機(jī)內(nèi)恒溫槽加液操作： 8-1當(dāng)顯影液生產(chǎn)數(shù)量達(dá)到1000+50sheets時(shí)必須把恒溫槽內(nèi)顯影液全部排掉，再從PRE-TANK中向恒溫槽加液. ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗體編號(hào)：FQ003A主題：文件編號(hào)：WE024文件版本：A顯影制造作業(yè)規(guī)范<2>頁次：07/07本頁版次：0 8-2打開PRE-TANK與恒溫槽的連接管之球閥. 8-3將手動(dòng)面板上之MIXING-TANKSENDINGLIQUID開關(guān)拔至ON即可. 8-4當(dāng)恒溫槽中液體加滿后，關(guān)閉球閥即可. 9.注意事項(xiàng) 9-1每次上班時(shí)須點(diǎn)檢顯影液之濃度. 9-2每次加液前須開PRE-TANK中循環(huán)開關(guān)攪拌顯影液5-10分鐘方可加入機(jī)內(nèi). 9-3當(dāng)顯影機(jī)后某一機(jī)臺(tái)停機(jī)導(dǎo)至蝕刻機(jī)停機(jī)，須迅速將顯影機(jī)轉(zhuǎn)換OFFLINE狀態(tài)，將機(jī)內(nèi)所有 玻璃排出，用籃子裝起，待正常運(yùn)行后，再從顯影機(jī)與堅(jiān)膜烤箱連接處投入. 9-4由于顯影機(jī)自身異常停機(jī)，在INLINE/OF