工廠無塵車間管理規(guī)定

制/修訂/日期：校對/日期：審核/日期：核準(zhǔn)/日期：發(fā)文/日期：受控狀態(tài)（蓋章）：分發(fā)號：會簽部門 會簽人員外延制造部芯片制造部人資行政部采購部銷售管理部生管部廠務(wù)設(shè)備部客服部運(yùn)營中心技術(shù)中心品管部1版別 日期 撰寫者 變更要旨Rev.1 2018-8-5 張屏躍 新增1.0目的：為創(chuàng)建整潔安全生產(chǎn)環(huán)境及規(guī)范人員對無塵室的正確操作， 確保無塵室環(huán)境符合生產(chǎn)條件之要求特制定本規(guī)定。22.0 范圍：凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機(jī)器、物品、原物料、產(chǎn)品等，均屬本規(guī)范管制范圍3.0 權(quán)責(zé)：4.0 定義：5.0 作業(yè)程序:5.1 人員管理規(guī)定，不可隨意穿戴他人無塵衣帽和無塵鞋，需要經(jīng)生產(chǎn)部門最高主管許可后并有本司人員陪同下方可進(jìn)入5.2更衣室管理規(guī)定更衣室分為換鞋處、男一更、男二更、女一更、女二更。以下簡述各區(qū)域作用，及員工進(jìn)入無塵車間的流程及規(guī)范。員工從樓梯口進(jìn)入廠房，通過設(shè)備進(jìn)口通道，進(jìn)入換鞋區(qū)，在換鞋區(qū)門口先脫鞋，并將鞋子拿起放至鞋柜，如圖1箭頭標(biāo)示步驟1所示。從換鞋區(qū)進(jìn)入一更，將外套及其他個人物品放置個人柜子，個人柜子不要放置貴重物品以免丟失，如圖1步驟2。如圖1步驟3。3圖15.3無塵室內(nèi)著裝規(guī)定，以免無塵衣服鞋子過小或者過大而讓穿著者感到不適。，要求頭發(fā)無外露、頭套塞入衣帽內(nèi)，拉鏈要拉到頭并貼好魔術(shù)貼、無塵服袖貼要綁好、褲腳要塞入無塵鞋筒內(nèi)，至風(fēng)淋門口戴口罩、手套，長頭發(fā)的要帶發(fā)套，防止頭發(fā)露出。，口罩需遮住口鼻，再戴手套，選擇合適自己的手套型號（M、S、L），從手套開口處拿起手套穿戴，過程中手不要碰到手套的指套部分。4圖2進(jìn)入無塵室穿戴標(biāo)準(zhǔn)5.4進(jìn)入風(fēng)淋室規(guī)定，禁止將風(fēng)淋室的門打開，每次進(jìn)入風(fēng)淋室的人數(shù)不得超過 4人，出來時限制10人以下，須按照規(guī)定位置站立，不可移動風(fēng)口的出風(fēng)角度，須雙手舉高，轉(zhuǎn)動身體并輕拍打無塵服，以利灰塵吹除，無塵服不可接觸墻壁和地板，雙腳須多次踩踏粘塵墊，以利清除鞋底灰塵和異物秒/次，吹除結(jié)束3秒后才可開門進(jìn)入無塵室5.5無塵室內(nèi)紀(jì)律規(guī)定，聽音樂、打瞌睡、看報刊雜志等與工作無關(guān)的事項(xiàng)。，應(yīng)靜止10分鐘后方可進(jìn)入無塵室，飲酒者嚴(yán)禁進(jìn)入無塵室，防止油脂污染，如不小心觸摸到須立即更換新手套；55.6無塵室內(nèi)使用物品規(guī)定5.6.1 進(jìn)入無塵室的任何物品必須經(jīng)過清潔處理后方可進(jìn)入5.6.2 原物料進(jìn)入車間前，必須將外包裝拆除（特殊原因無法拆除外包裝的要將外包裝擦拭干凈），并將外表面擦拭干凈后通過貨淋進(jìn)入無塵室，避免將污染源帶進(jìn)無塵室。5.6.3 設(shè)備、儀器、備件等大件物品無法通過貨淋的，需要在進(jìn)入車間前進(jìn)行外表面清潔，確保干凈后方可進(jìn)入。5.6.4未經(jīng)允許嚴(yán)禁在車間內(nèi)使用個人電腦、手機(jī)、U盤、移動硬盤等可存儲設(shè)備，嚴(yán)禁在車間內(nèi)使用相機(jī)或者手機(jī)拍照和攝像。必須使用U盤等存儲設(shè)備時需要經(jīng)過我司IT認(rèn)證后方可使用。5.6.5 車間內(nèi)所有的USB接口禁止使用，更不允許用 USB口進(jìn)行充電。5.6.6 未經(jīng)許可嚴(yán)禁將車間內(nèi)的物品私自帶出。5.6.7 車間內(nèi)嚴(yán)禁明火5.7無塵室內(nèi)施工規(guī)定5.7.1 進(jìn)入無塵室施工前要向部門主管提出施工申請， 取得同意并發(fā)放施工證（外來人員用訪客證換取施工證，施工結(jié)束后將施工證換回訪客證）后方可進(jìn)行施工5.7.2 施工人員進(jìn)入無塵室要按照著裝規(guī)定穿好無塵服，并進(jìn)行必要的安全防護(hù)5.7.3 施工必要的工具和材料須按照無塵室內(nèi)使用物品規(guī)定進(jìn)行必要的清潔處理后方可進(jìn)入無塵室，確保房間內(nèi)的設(shè)施不會損壞。施工期間需要我司人員現(xiàn)場全程陪同。5.7.5 施工結(jié)束后，施工人員要將現(xiàn)場清理干凈，并將施工留下的垃圾一并帶出無塵室。5.7.6 車間內(nèi)施工如需用到明火，必須要廠務(wù)安全部門的人員在場監(jiān)督。5.8無塵衣、帽、鞋清洗規(guī)定5.8.1 無塵衣帽必須按照要求懸掛在衣架上， 無塵鞋按照編號放置在鞋架上， 不得隨意放置5.8.2 無塵衣帽和無塵鞋每周清洗一次， 發(fā)現(xiàn)無塵服臟污必須第一時間更換， 絕對禁止穿著臟污的無塵服作業(yè)。車間只允許穿著同一種標(biāo)識顏色的無塵服。5.8.3 品保要定期對無塵服進(jìn)行檢測， 包括清洗后的潔凈度是否合格， 無塵服的防靜電功能是否達(dá)標(biāo)。5.9無塵室潔凈度規(guī)定5.9.1.1 測頻率：2次/天（早晚班各一次）65.9.1.2 監(jiān)測地點(diǎn)：車間正中間位置（勿在排風(fēng)口附近、人員聚集地）5.9.1.3 記錄員：品保人員5.9.2

填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測表無塵室溫濕度監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)：溫度： 22℃±2℃塵埃粒子監(jiān)測程序量測頻率：2次/天（早晚班各一次）

濕度：

55%RH±10%量測地點(diǎn)：車間正中間位置（勿在排風(fēng)口附近、人員聚集地）測量高度：離地 1.2米測量員及記錄員：品保人員測量步驟： 見《xxxxx》文件填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測表5.9.3 如廠務(wù)系統(tǒng)發(fā)生變化，廠務(wù)要負(fù)責(zé)通知品保，品保立即對環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測，確保無異常。5.9.4無塵室潔凈度定義及監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)無塵室塵埃粒子監(jiān)控點(diǎn)及參考標(biāo)準(zhǔn)粒徑廠區(qū)監(jiān)控點(diǎn)潔凈等級規(guī)格上限光刻一千級35,200（1000pcs/ft3）化學(xué)清洗一千級352,000（1000pcs/ft3）蒸鍍一千級352,000（1000pcs/ft3）0.5um(單晶圓測試一千級352,000（1000pcs/ft3）位：DBR一千級352,000（1000pcs/ft3）pcs/m3)研磨一萬級3,520,000（10,000pcs/ft3）切割一萬級3,520,000（10,000pcs/ft3）點(diǎn)測分選一萬級3,520,000