傳感器的標(biāo)定

傳感器的標(biāo)定第一頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日目錄簡(jiǎn)介14.1傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定14.2傳感器的動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定14.3測(cè)振傳感器的標(biāo)定14.4壓力傳感器的標(biāo)定14.5濕度傳感器的標(biāo)定及其設(shè)備本章小結(jié)2第二頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日簡(jiǎn)介傳感器的標(biāo)定分為靜態(tài)標(biāo)定和動(dòng)態(tài)標(biāo)定兩種。靜態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器靜態(tài)特性指標(biāo)，如線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等。動(dòng)態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器的動(dòng)態(tài)特性參數(shù)，如頻率響應(yīng)、時(shí)間常數(shù)、固有頻率和阻尼比等。有時(shí)，根據(jù)需要也要對(duì)橫向靈敏度、溫度響應(yīng)、環(huán)境影響等進(jìn)行標(biāo)定。3第三頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.1傳感器的靜態(tài)特性標(biāo)定14.1.1靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件14.1.2標(biāo)定儀器設(shè)備的精度等級(jí)的確定14.1.3靜態(tài)特性標(biāo)定的方法4第四頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.1.1靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件傳感器的靜態(tài)特性是在靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件下進(jìn)行標(biāo)定的。所謂靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)是指沒有加速度、振動(dòng)、沖擊(除非這些參數(shù)本身就是被測(cè)物理量)及環(huán)境溫度一般為室溫(20±5℃)、相對(duì)濕度不大于85％，大氣壓力為1.01×105Pa的情況。5第五頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.1.2標(biāo)定儀器設(shè)備的精度等級(jí)的確定對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)定，是根據(jù)試驗(yàn)數(shù)據(jù)確定傳感器的各項(xiàng)性能指標(biāo)，實(shí)際上也是確定傳感器的測(cè)量精度。在標(biāo)定傳感器時(shí)，所用的測(cè)量?jī)x器的精度至少要比被標(biāo)定的傳感器的精度高一個(gè)等級(jí)。這樣，通過標(biāo)定確定的傳感器的靜態(tài)性能指標(biāo)才是可靠的，所確定的精度才是可信的。6第六頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.1.3靜態(tài)特性標(biāo)定的方法對(duì)傳感器進(jìn)行靜態(tài)特性標(biāo)定，首先是創(chuàng)造一個(gè)靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件。其次是選擇與被標(biāo)定傳感器的精度要求相適應(yīng)一定等級(jí)的標(biāo)定用的儀器設(shè)備。然后才能開始對(duì)傳感器進(jìn)行靜態(tài)特性標(biāo)定。

7第七頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日標(biāo)定過程步驟如下：將傳感器全量程(測(cè)量范圍)分成若干等間距點(diǎn)；根據(jù)傳感器量程分點(diǎn)情況，由小到大逐點(diǎn)輸入標(biāo)準(zhǔn)值，并記錄下相對(duì)應(yīng)的輸出值；將輸入值由大到小逐點(diǎn)減少下來(lái)，同時(shí)記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；按(2)、(3)所述過程，對(duì)傳感器進(jìn)行正、反行程往復(fù)循環(huán)多次測(cè)試，將得到的輸出一輸入測(cè)試數(shù)據(jù)用表格列出或畫成曲線;對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行必要的處理，根據(jù)處理結(jié)果就可以確定傳感器的線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等靜態(tài)持性指標(biāo)。8第八頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.2傳感器的動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定主要是研究傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)；而與動(dòng)態(tài)響應(yīng)有關(guān)的參數(shù)，一階傳感器只有一個(gè)時(shí)間常數(shù)τ、二階傳感器則有固有頻率ωn和阻尼比ζ兩個(gè)參數(shù);9第九頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日一階傳感器前提：輸入信號(hào)為階躍信號(hào)結(jié)論：τ為z-t直線的斜率一階傳感器的階躍響應(yīng)函數(shù)為：10第十頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日二階傳感器則有固有頻率ωn

和阻尼比ζ兩個(gè)參數(shù)輸入信號(hào)為階躍信號(hào)：11第十一頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.3測(cè)振傳感器的標(biāo)定14.3.1絕對(duì)標(biāo)定法14.3.2比較標(biāo)定法

12第十二頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日測(cè)振傳感器的標(biāo)定測(cè)振儀性能的全面標(biāo)定只是在制造單位或研究部門進(jìn)行．在一般使用單位和使用場(chǎng)合，主要是標(biāo)定其靈敏度、頻率特性和動(dòng)態(tài)線性范圍。標(biāo)定和校準(zhǔn)測(cè)振儀的方法很多從計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)和傳遞的角度來(lái)看，可以分成兩類：一類是復(fù)現(xiàn)振動(dòng)量值最高基準(zhǔn)的絕對(duì)法，另一類是以絕對(duì)法標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)振儀作為二等標(biāo)準(zhǔn)用比較法標(biāo)定工作測(cè)振儀。按照標(biāo)定時(shí)所用輸入量種類又可分為正弦振動(dòng)法、重力加速度法、沖擊法和隨機(jī)振動(dòng)法等。13第十三頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.3.1絕對(duì)標(biāo)定法我國(guó)目前的振動(dòng)計(jì)量最高基準(zhǔn)是采用激光光波長(zhǎng)度作為振幅量值的絕對(duì)基準(zhǔn)。由于激光干涉基準(zhǔn)系統(tǒng)復(fù)雜昂貴，而且一經(jīng)安裝調(diào)試后就不能移動(dòng)，因此需要作為二等標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)振儀作為傳遞基準(zhǔn)之用。14第十四頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日

14.3.2比較標(biāo)定法這是一種最常使用的標(biāo)定方法，即將被標(biāo)的測(cè)振傳感器和標(biāo)準(zhǔn)測(cè)振傳感器相比較。標(biāo)定時(shí)，將被標(biāo)測(cè)振傳感器與標(biāo)準(zhǔn)傳感器一起安裝在標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)上。為了使它們盡可能地靠近安裝以保證感受的振動(dòng)量相同，常采用“背靠背”法安裝。設(shè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)振傳感器和被標(biāo)測(cè)振傳感器在受到同一振動(dòng)量時(shí)輸出分別為E0和E．已知標(biāo)準(zhǔn)測(cè)振傳感器的加速度靈敏度為Sk0，則被標(biāo)測(cè)振傳感器的加速度靈敏皮Sk為:Sk=E·Sk0/E015第十五頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.4壓力傳感器的標(biāo)定簡(jiǎn)介14.4.1動(dòng)態(tài)標(biāo)定壓力源14.4.2激波管標(biāo)定法16第十六頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日簡(jiǎn)介用來(lái)作為動(dòng)態(tài)測(cè)量的壓力傳感器除了按前述方法進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定外，還要進(jìn)行某種形式的動(dòng)態(tài)標(biāo)定。動(dòng)態(tài)標(biāo)定要解決兩個(gè)問題：①要獲得一個(gè)令人滿意的周期或階躍的壓力源；②要可靠地確定上述壓力源所產(chǎn)生的真實(shí)的壓力一時(shí)間關(guān)系。17第十七頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.4.1動(dòng)態(tài)標(biāo)定壓力源獲得動(dòng)態(tài)標(biāo)定壓力的方法很多，然而，必須注意，提供了動(dòng)態(tài)壓力，并不等于提供了動(dòng)態(tài)壓力標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)椋瑸榱双@得動(dòng)態(tài)壓力標(biāo)準(zhǔn)，必須正確地知道有關(guān)壓力一時(shí)間關(guān)系，動(dòng)態(tài)壓力源的分類如下：1．穩(wěn)態(tài)周期性壓力源2．非穩(wěn)態(tài)壓力源18第十八頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日穩(wěn)態(tài)周期性壓力源峰值壓力可達(dá)70kg／cm2頻率可達(dá)到100Hz活塞缸筒靜態(tài)壓力源活塞與缸筒聲諧振器19第十九頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.4.2激波管標(biāo)定法

1一激波管的高壓室2一激波管的低壓室3一激波管的高低壓室間的膜版4一側(cè)面被標(biāo)定的傳感器5—底面被標(biāo)定的傳感器6、7一各為測(cè)速壓力傳感器8—測(cè)速前置級(jí)9一數(shù)字式頻率計(jì)10-測(cè)壓的前置級(jí)11—記壓記憶裝置12一氣源13—?dú)鈮罕?4一泄氣門核心部件：激波管激波管標(biāo)定裝置系統(tǒng)20第二十頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日激波管當(dāng)高、低壓室的壓力差達(dá)到一定程度時(shí)膜片破裂，高壓氣體迅速膨脹沖入低壓室，從而形成激波。這個(gè)激波的波陣面壓力保持恒定，接近理想的階躍波v并以超音速?zèng)_向被標(biāo)定的傳感器。傳感器在激波的激勵(lì)下按固有頻率產(chǎn)生一個(gè)衰減振蕩。21第二十一頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日被標(biāo)定的傳感器輸出波形22第二十二頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日14.5濕度傳感器的標(biāo)定及其設(shè)備引言相對(duì)濕度的標(biāo)定方法及設(shè)備絕對(duì)濕度的標(biāo)定方法及設(shè)備23第二十三頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日引言

濕度敏感元件的感濕特征量與環(huán)境氣相濕度之間并不存在固定的定量關(guān)系，感濕特征量的測(cè)量值也不可能直接表征環(huán)境氣相濕度的確切數(shù)值。因此濕敏元件必須經(jīng)過定量標(biāo)定，方可實(shí)用。濕敏元件定量標(biāo)定的實(shí)質(zhì)在于建立標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器，提供準(zhǔn)確的濕度源。由于氣相濕度的高低受溫度、壓力、介質(zhì)的性質(zhì)、容孔的材質(zhì)和系統(tǒng)的狀況等眾多因素的影響，所以建立標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器和恒濕源決非易事，其困難和復(fù)雜的程度甚至大大超過了濕度敏感元件本身的制作。24第二十四頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日相對(duì)濕度的標(biāo)定方法及設(shè)備干濕球法飽和鹽溶液法雙壓法分流法25第二十五頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日干濕球法

1750年，Richman發(fā)現(xiàn)，當(dāng)溫度計(jì)的溫泡上有水時(shí)，它所指示的溫度低于周圍空氣的溫度，這一偶然的發(fā)現(xiàn)引起了人們的注意。經(jīng)研究，查明這種致冷現(xiàn)象產(chǎn)生的原因是由于水蒸發(fā)的結(jié)果。早期的研究者發(fā)現(xiàn)，干球和濕球的溫度差，即干濕差，不僅取決于溫度和空氣中的水份含量，而且還和濕球表面空氣的疏速有關(guān)，因而被命名為通風(fēng)干濕表。1799年Lesslie利用干濕球法的測(cè)濕原理制造了一種濕度計(jì)，1836年Manson使這種濕度計(jì)商品化。26第二十六頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日干濕球法的測(cè)濕原理結(jié)構(gòu)：一根U型管連接的兩個(gè)玻璃球組成，一個(gè)球染成藍(lán)色，另一個(gè)球不上色，并用濕紗布包裹。U型管內(nèi)裝帶色的硫酸，玻璃球起氣體溫度計(jì)的作用。原理：由于蒸發(fā)，濕球的溫度下降，其中的氣體收縮，因此引起U型管內(nèi)著色液體的位移，其高度的變化反應(yīng)了濕球的蒸發(fā)率，而我們知道，蒸發(fā)率與濕度是相關(guān)的，因此液體的位移可以作為空氣的濕度。27第二十七頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日飽和鹽溶液法它可提供工作標(biāo)準(zhǔn)濕度，在0℃以上對(duì)濕度敏感元件進(jìn)行定量標(biāo)定。根據(jù)拉烏爾定律，溶質(zhì)的溶解降低了該溫度下溶液的氣壓，當(dāng)溶解鹽達(dá)列飽和時(shí)，在給定溫度下整個(gè)溶液的平衡蒸氣壓最小并保持恒定。利用在封閉容器中飽和鹽溶液的平衡蒸氣壓作為標(biāo)準(zhǔn)濕度。該濕度的高低，由飽如鹽溶液的種類和平衡溫度所決定。28第二十八頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日飽如鹽溶液的相對(duì)濕度為什么溫度上升，相對(duì)濕度都變?。▽?duì)同一種飽如鹽溶液而言）？29第二十九頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日雙壓法高壓(Ps)干燥空氣經(jīng)過二級(jí)串聯(lián)水飽合器，在恒定溫度下達(dá)到充分飽合，經(jīng)充分熱交換后，等溫（或非等溫）膨脹到較低壓力(Pt)下的器件標(biāo)定室內(nèi)。此時(shí)標(biāo)定室內(nèi)的相對(duì)濕度，可表示為膨脹前后的二種絕對(duì)壓力之比：等溫條件下：非等溫條件下：Pws、Pwt分別為水飽和器和標(biāo)定室所處溫度下的飽和水汽壓30第三十頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日實(shí)際情況下的修正由于水不是理想氣體，所以需要修正；K為修正系數(shù)(k=0.00017)31第三十一頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日分流法濕度發(fā)生器通過采用純水汽或飽和濕空氣同干氣混合的方法可以獲得已知濕度的氣體。E.Gluckauf在研究吸收濕度計(jì)性能時(shí)首先使用了這種方法。這是一種較早發(fā)展起來(lái)的同時(shí)又是當(dāng)前濕度計(jì)量中廣泛使用的工作標(biāo)準(zhǔn)之一，其主要的優(yōu)點(diǎn)是量程寬、量值變換快。這在濕敏元件的研制和生產(chǎn)迅速發(fā)展、對(duì)其動(dòng)態(tài)性能要求日高、檢定量日益繁重的今天，人們對(duì)它越來(lái)越感興趣是必然的。32第三十二頁(yè)，共三十五頁(yè)，2022年，8月28日基本原理比例閥V將來(lái)自干氣源(一般是干空氣)的氣體按一定的比例分成兩部分。一路進(jìn)入飽和器s，被混合的氣流在混合室中同另一股干氣混合，而后進(jìn)入試驗(yàn)腔，最后排入大氣。飽和器、混合室和試驗(yàn)腔浸在同一個(gè)恒溫槽中。試驗(yàn)腔中的相對(duì)濕度是下列因素的函數(shù)：（1）通過飽和器的空氣的份