電子顯微與掃描探針相關(guān)技術(shù)演示文稿

電子顯微與掃描探針相關(guān)技術(shù)演示文稿當(dāng)前1頁，總共92頁。優(yōu)選電子顯微與掃描探針相關(guān)技術(shù)當(dāng)前2頁，總共92頁。當(dāng)前3頁，總共92頁。如果激發(fā)光源不是高能量電子而是X射線時(shí)，也會(huì)產(chǎn)生俄歇電子，這一過程也是俄歇躍遷過程。當(dāng)前4頁，總共92頁。當(dāng)前5頁，總共92頁。HHe不能產(chǎn)生俄歇電子和特征X射線?KL1L2K層被電離,L1電子填充K層空穴，多余的能量轉(zhuǎn)給L2上的電子，并使其發(fā)射出來。俄歇電子譜儀可進(jìn)行樣品表面成分分析，以及進(jìn)行表面形貌的觀察。當(dāng)前6頁，總共92頁。2.1.4陰極熒光一些不導(dǎo)電的樣品在高能電子作用下發(fā)射的可見光信號(hào)叫做陰極熒光它是由這些物質(zhì)的價(jià)電子在受激態(tài)與基態(tài)之間進(jìn)行能級(jí)躍遷直接釋放波長(zhǎng)比較長(zhǎng)，能量比較低的波。能量在：幾-幾十eVλ：在紫外和可見光區(qū)（電棒）當(dāng)前7頁，總共92頁。2.1.5電子束感生電效應(yīng)一些高能量的電子被固體樣品吸收時(shí)，將在樣品中激發(fā)產(chǎn)生許多自由電子和相同數(shù)量的正離子，即所謂的電子-空穴對(duì)。自由電子:

離開樣品表面變成二次電子，但絕大部分自由電子將與離子化的原子復(fù)合。當(dāng)前8頁，總共92頁。金屬?gòu)?fù)合時(shí)間僅需10-12S半導(dǎo)體復(fù)合時(shí)間長(zhǎng)達(dá)幾秒種這段時(shí)間內(nèi)，樣品中形成多余的電荷載流子（自由電子和空穴）將對(duì)半導(dǎo)體有限的導(dǎo)電性產(chǎn)生了很大的影響。當(dāng)前9頁，總共92頁。如樣品兩端加上由外接直流電源建立的電位差，這些多余自由電子和空穴將向異性電極運(yùn)動(dòng)，在外接的電路中，即可檢測(cè)到電流信號(hào)，電子束感生電導(dǎo)信號(hào)。當(dāng)前10頁，總共92頁。如果電荷載流子遇到某種障礙，例如位錯(cuò)附近雜質(zhì)原子聚集的區(qū)域，將形成不同的電位，在不同部位之間出現(xiàn)的電位差叫電子束感生電壓信號(hào)。對(duì)半導(dǎo)體材料和固體電路的研究，電子束感應(yīng)電效應(yīng)是非常有用的物理信號(hào)

檢測(cè)固體中的各種缺陷。當(dāng)前11頁，總共92頁。2.2不同物理信息產(chǎn)生的空間位置在高能量的電子束作用下，固體樣品將在一定的空間區(qū)域產(chǎn)生各種物理信息。雖然各種物理信息的分布區(qū)域沒有嚴(yán)格的界限，但大體可看出空間區(qū)域的不同。當(dāng)前12頁，總共92頁。認(rèn)識(shí)了解這些空間分布的特點(diǎn)對(duì)利用各種物理信息有著重要的實(shí)際意義。在研究樣品表面特征，樣品形貌特征，樣品元素成分特點(diǎn)以及晶體結(jié)構(gòu)特點(diǎn)時(shí)，都應(yīng)充分考慮這種空間位置造成的影響。當(dāng)前13頁，總共92頁。2.2.1幾中物理信息產(chǎn)生的空間位置圖19.16表示了各種物理信息空間分布特征，清楚了解不同物理信息產(chǎn)生的不同空間位置，對(duì)電子顯微分析學(xué)習(xí)是非常重要的。當(dāng)前14頁，總共92頁。當(dāng)前15頁，總共92頁。（1）俄歇電子能量：一般是在50～2000eV，逸出深度：約在0.4～2nm（2～3個(gè)原子層）

俄歇電子反映出試樣表面成份和形貌。表面成份和形貌的分析

當(dāng)前16頁，總共92頁。（2）二次電子的空間位置二次電子能量：一般小于10eV,

大部分在2～3ev范圍

逸出深度：一般約為5～10nm。二次電子產(chǎn)率與形貌有關(guān)，分辨率為6nm,主要用于掃描電鏡的圖像觀察分析當(dāng)前17頁，總共92頁。（3）背散射電子的空間位置背散射電子比二次電子、俄歇電子的能量都大一些，逸出深度也深的多，所以背散時(shí)電子圖像分辨率較差？。當(dāng)前18頁，總共92頁。由于背散射電子產(chǎn)額與試樣的平均原子序數(shù)有著密切關(guān)系平均原子序數(shù)高，背散射電子產(chǎn)額就高。所以背散射電子像不僅可以表示形貌特點(diǎn)，還是一種成分表征像。當(dāng)前19頁，總共92頁。（4）特征X射線的空間位置特征X射線的能量比較高，一般在1～15KeV，逸出深度：一般為幾個(gè)微米。特征X射線從較深處逸出，會(huì)在樣品中經(jīng)過一段路程這樣就會(huì)被吸收一部分，同時(shí)還會(huì)激發(fā)X熒光射線。當(dāng)前20頁，總共92頁。（5）連續(xù)X射線連續(xù)X射線能量比較高，是高速電子束轟擊樣品時(shí),突然改變速率而產(chǎn)生的，是具有一系列連續(xù)波長(zhǎng)的電磁波總和一般在1～15Kev，逸出深度一般為幾個(gè)微米。在電子探針定量分析中，連續(xù)X射線造成的背景是應(yīng)該扣除的。當(dāng)前21頁，總共92頁。（6）X熒光射線高能量的電子束轟擊樣品時(shí)，會(huì)產(chǎn)生特征X射線和連續(xù)X射線。在特征X射線從樣品中發(fā)射出來的過程中，有一部分特征X射線會(huì)激發(fā)另一些元素的內(nèi)層電子而產(chǎn)生特征X熒光射線。當(dāng)前22頁，總共92頁。另外從樣品中發(fā)射出來的連續(xù)X射線也會(huì)激發(fā)一些連續(xù)X熒光射線。X熒光射線一般在1～15KeV,逸出深度一般為幾個(gè)微米。電子探針定量分析過程中，必須進(jìn)行X熒光校正？。當(dāng)前23頁，總共92頁。（7）透射電子的穿透電子束帶有負(fù)電，穿透能力很差，只有當(dāng)樣品很薄時(shí)電子才能穿透樣品，一般情況下要求樣品薄膜厚度小于200nm，有時(shí)甚至要求樣品在10nm左右。透射電鏡就是觀察透射電子成像規(guī)律的。當(dāng)前24頁，總共92頁。2.2.2各種物理信息的空間變化（1）與加速電壓的關(guān)系上述各種物理信息產(chǎn)生的深度與加速電壓變化有密切關(guān)系。加速電壓增大，物理信息逸出的深度也回相應(yīng)加深，空間也會(huì)相應(yīng)擴(kuò)大。電子穿透能力也隨加速電壓而變強(qiáng)。當(dāng)前25頁，總共92頁。（1）

電子束直徑的關(guān)系物理信息產(chǎn)生的空間變化與電子束直徑有密切的關(guān)系。當(dāng)加速電壓不變時(shí)，電子束直徑越大，激發(fā)深度會(huì)減小，而側(cè)向空間卻相應(yīng)擴(kuò)大。相反，電子束直徑減小，激發(fā)深度會(huì)增加，而側(cè)向空間會(huì)縮小。

當(dāng)前26頁，總共92頁?？傊?，電子束和物質(zhì)的相互作用是復(fù)雜的，既決定于電子束的作用特點(diǎn)，又決定于物質(zhì)本身內(nèi)在特征。實(shí)際上電子與物質(zhì)的作用比上述介紹復(fù)雜的多,這里僅作簡(jiǎn)單介紹.對(duì)這些基本作用，以及產(chǎn)生的物理特點(diǎn)，應(yīng)該清楚理解。當(dāng)前27頁，總共92頁。

第二章透射電子顯微分析

引言：1933年，德國(guó)物理學(xué)家盧什卡（Ruska）等研制成第一臺(tái)透射電子顯微鏡。1939年，德國(guó)西門子公司生產(chǎn)了分辨率優(yōu)于10nm的顯微鏡

當(dāng)前28頁，總共92頁。1986年E.Ruska與發(fā)明STM的G.Binning和H.Rohrer一道獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)1986年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲恩斯特.魯斯卡賓尼希羅雷爾

當(dāng)前29頁，總共92頁?，F(xiàn)代高性能的透射電子顯微鏡點(diǎn)分辨本領(lǐng)可達(dá)到0.1nm，放大倍數(shù)可達(dá)80～100萬倍以上，并具備多方面的綜合分析功能。利用透射電子顯微鏡觀察研究微觀世界，使人們進(jìn)入了原子、分子、物質(zhì)微結(jié)構(gòu)的世界

當(dāng)前30頁，總共92頁。當(dāng)前31頁，總共92頁。1.透射電子顯微鏡構(gòu)造透射電子顯微鏡是以短波長(zhǎng)電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨本領(lǐng)，高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。主要：電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡體）（重要）

真空系統(tǒng)和電子器件系統(tǒng)組成。當(dāng)前32頁，總共92頁。1.1電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡體）電子光學(xué)系統(tǒng)：照明系統(tǒng)，成像系統(tǒng)，圖像觀察，記錄系統(tǒng)及樣品室等電子顯微鏡體剖面圖見下圖

當(dāng)前33頁，總共92頁。當(dāng)前34頁，總共92頁。1.1.1電子照明系統(tǒng)電子照明系統(tǒng)包括：電子槍，聚焦鏡以及電子束平移，傾斜，對(duì)中調(diào)節(jié)裝置等組成。（1）電子槍

透射電子顯微鏡常采用的是熱陰極三極電子槍，它由陰極、柵極和陽極組成（見下圖）當(dāng)前35頁，總共92頁。當(dāng)前36頁，總共92頁。陰極發(fā)射的電子束波長(zhǎng)可以用12.26/V1/2求出。柵極對(duì)陰極電子束流發(fā)射有穩(wěn)定作用，會(huì)聚作用等。陽極接地，陰極接負(fù)高壓，保證工作安全，加速電壓一般為50～200KV。當(dāng)前37頁，總共92頁。電子槍采用在陽極后排列若干個(gè)加速極，最后一加速電極和陰極之間的電位差為總的加速電壓。近年來也采用：六硼化鑭陰極電子槍場(chǎng)發(fā)射電子槍

可提高電鏡的分辨本領(lǐng)。

當(dāng)前38頁，總共92頁。（2）聚光鏡

聚光鏡:是用來會(huì)聚電子槍發(fā)射出的電子束照射樣品，調(diào)節(jié)照射強(qiáng)度，孔徑角和束斑直徑的大小。雙聚光鏡工作原理見下圖當(dāng)前39頁，總共92頁。當(dāng)前40頁，總共92頁。第一聚光鏡采用強(qiáng)激磁透鏡，可將電子槍第一交叉點(diǎn)直徑縮小到1/10～1/50，電子束斑直徑縮小到5～1μm；第二聚光鏡將束斑按1：1(:2)投射到試樣平面上。當(dāng)前41頁，總共92頁。第二聚光鏡與物鏡之間有較大空間，可以安放樣品臺(tái)和其他附件。由于第二聚光鏡為弱激磁透鏡，像差較大？必須采用:光欄（孔徑一般為100、200、500μm）來降低球差？消散像器，消除像散。當(dāng)前42頁，總共92頁。(3)對(duì)中裝置的作用：是改變電子束的方向和位置，以便使電子束和成像系統(tǒng)合軸或成一小角度（一般2o－30）達(dá)到垂直照明，傾斜照明，得到明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像。對(duì)中裝置采用電磁偏轉(zhuǎn)器調(diào)節(jié)。當(dāng)前43頁，總共92頁。1.1.2電子成像系統(tǒng)

當(dāng)前44頁，總共92頁。透鏡電子顯微鏡成像系統(tǒng)一般有物鏡，中間鏡和投影鏡組成。

磁透鏡數(shù)目與最大放大倍數(shù)有關(guān)，它們也決定透射電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)

當(dāng)前45頁，總共92頁。（1）物鏡透射電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要取決于物鏡，物鏡:是用來形成第一幅高分辨電子像和電子衍射花樣的磁透鏡。物鏡的焦距應(yīng)盡量短，球差、色差、像散等應(yīng)盡量小，獲得高放大倍數(shù)和高分辨率本領(lǐng)。當(dāng)前46頁，總共92頁。常用物鏡為強(qiáng)激磁、短焦距（2mm左右）的磁透鏡，放大率為100～200倍。同時(shí)采用物鏡光欄（一般孔徑25～100μm）和消像散器，可進(jìn)一步降低球差，消除像散，進(jìn)一步提高分辨本領(lǐng)。試樣放在物鏡的前焦面附近，可以得到放大倍數(shù)高的圖像。當(dāng)前47頁，總共92頁。（2）中間鏡

中間鏡是一個(gè)弱激磁的長(zhǎng)焦距變透鏡，其電流的可調(diào)范圍比較大，調(diào)節(jié)中間鏡電流可以使放大倍數(shù)從0變化到20倍，從而使整個(gè)成像系統(tǒng)的放大倍數(shù)改變？。當(dāng)前48頁，總共92頁。當(dāng)中間鏡放大倍數(shù)大于1時(shí)，用來進(jìn)一步放大物鏡像當(dāng)中間鏡放大倍數(shù)小于1時(shí)，則用來縮小物鏡像一臺(tái)透射電鏡可以有一個(gè)或幾個(gè)中間透鏡電子衍射時(shí)，有一個(gè)中間鏡起衍射透鏡作用。

當(dāng)前49頁，總共92頁。（3）投影鏡投影鏡是一個(gè)強(qiáng)激磁的、短焦距透鏡，具有較高的放大倍數(shù)。它的作用:是將物鏡和中間鏡形成的電子圖像或電子衍射譜進(jìn)一步放大投射到熒光屏上

當(dāng)前50頁，總共92頁。（4）三級(jí)成像系統(tǒng)簡(jiǎn)單的透射電子顯微鏡是有物鏡，一個(gè)中間鏡和一個(gè)投影鏡組成的三級(jí)成像系統(tǒng)①三級(jí)高倍成像

物鏡成像于中間鏡之上；中間鏡以物鏡像為物，成像于投影鏡之上；投影鏡以中間鏡像為物，成像于熒光屏或照相底片上。三級(jí)成像的電子光路圖如圖20.6（a）所示

當(dāng)前51頁，總共92頁。當(dāng)前52頁，總共92頁。電鏡的放大倍率可以很大，只要改變一個(gè)透鏡的放大倍率，總放大率就可改變。當(dāng)調(diào)節(jié)透鏡電流時(shí)，放大率可連續(xù)改變？。對(duì)于電鏡中的磁透鏡，物距（p），像距（q）和焦距（f）應(yīng)滿足下列關(guān)系式當(dāng)前53頁，總共92頁。當(dāng)前54頁，總共92頁。若物鏡的放大率為M0，中間鏡放大率為MI，投影鏡的放大率為Mp

則成像系統(tǒng)的總放大率

當(dāng)前55頁，總共92頁。(2)三級(jí)中倍成像

如適當(dāng)改變物鏡激磁強(qiáng)度，使物鏡成像于中間鏡之下，中間鏡以物鏡像為“虛物”，將其形成為縮小的實(shí)像于投影鏡之上，投影鏡以中間鏡像為物，成像于熒光屏或照相底片上。結(jié)果獲得中等放大倍數(shù)的像，約幾千至幾萬倍，光路圖如圖20.6（b）所示。當(dāng)前56頁，總共92頁。當(dāng)前57頁，總共92頁。（3）二級(jí)低倍成像

當(dāng)關(guān)閉物鏡，減弱中間鏡激磁強(qiáng)度，使中間鏡起長(zhǎng)焦距物鏡的作用，成像于投影鏡之上，投影鏡以中間鏡像為物，成像于熒光屏或照相底片上。獲得100～300倍，視域較大的圖象，以便為高倍觀測(cè)選定區(qū)域。

如圖20.6（c）所示。當(dāng)前58頁，總共92頁。（4）多級(jí)成像系統(tǒng)高性能的透射電子顯微鏡具有多級(jí)成像系統(tǒng)。如四級(jí)成像系統(tǒng)，除物鏡和投影鏡外，還有兩個(gè)中間鏡。如五級(jí)成像，除物鏡外，有兩個(gè)中間鏡，兩個(gè)投影鏡。從成像原理看，多級(jí)與三級(jí)成像原理系統(tǒng)相似。

當(dāng)前59頁，總共92頁。當(dāng)前60頁，總共92頁。圖像觀察和記錄系統(tǒng)

電子顯微鏡采用熒光屏觀察圖像和照相方式記錄。電子投影射到熒光屏上時(shí)，將會(huì)出現(xiàn)與電子分布強(qiáng)度成比例的可見光圖像.將照相裝置的快門打開，也就是把熒光光屏翻起，即可使照相底片曝光。記錄下電子強(qiáng)度分布圖像

當(dāng)前61頁，總共92頁。電子感光片是一種對(duì)電子束曝光敏感，顆粒很小的溴化物乳膠底片，照相曝光時(shí)間僅需幾秒鐘，采用電磁快門，曝光均勻。采用計(jì)算機(jī)控制，可拍系列照片等。當(dāng)前62頁，總共92頁。由于熒光屏分辨率比人眼好，因此只要儀器調(diào)整好，拍攝的照片上能夠得到更好的細(xì)節(jié)。1.1.4樣品室和樣品臺(tái)

透射電子顯微鏡的樣品室有一定的空間，可以裝配各種不同功能的樣品臺(tái)外，還可以安裝一些探測(cè)器，如二次電子探測(cè)器、x射線能譜儀探測(cè)器、電子能量損失譜儀探測(cè)器等。當(dāng)前63頁，總共92頁。此外，還可以裝入傾斜臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、冷臺(tái)、熱臺(tái)及拉伸臺(tái)等這樣利用一臺(tái)透射電鏡，可以進(jìn)行廣泛的研究達(dá)到多功能的效果。

當(dāng)前64頁，總共92頁。1.2真空系統(tǒng)保持透射電子顯微鏡體的高真空是正常工作所必須的條件。

(1)在空氣中，運(yùn)動(dòng)的電子與氣體碰撞而散射時(shí)，電子能量很快減小，使得電子的平均自由路徑很小。當(dāng)前65頁，總共92頁。在電子顯微鏡中，從電子槍燈照到熒光屏的距離約為1m，為了使電子的平均自由路徑大于這個(gè)距離，需要優(yōu)于1.33×10－2Pa的真空度。(2)電子槍處于高真空狀態(tài)下，可以保證絕緣性能良好，可以避免高壓放電，保持高壓狀態(tài)穩(wěn)定，進(jìn)而使電子照明效果良好。

當(dāng)前66頁，總共92頁。(3)高真空可以延長(zhǎng)電子槍的壽命，保證了透射電子顯微鏡較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)工作條件穩(wěn)定。(4)試樣處于高真空中可以減小污染等，使電子圖像質(zhì)量提高。高分辨的透射電子顯微鏡，加速電壓很高，為200KV左右這就必須使真空度更高，真空度要優(yōu)于1.33×10－4～1.33×10－5Pa當(dāng)前67頁，總共92頁。為了達(dá)到透射電子顯微鏡體內(nèi)的高真空，通常采用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵抽前級(jí)真空，使真空度達(dá)到1.33Pa再用油擴(kuò)散泵抽高真空，使真空度達(dá)到1.33×10－3Pa。若要更高的真空，可以用離子吸附泵等。當(dāng)前68頁，總共92頁。1.

3電器系統(tǒng)電器系統(tǒng)包括：①電子槍高壓電源。②磁透鏡激磁電流電源。③電對(duì)中系統(tǒng)、消像散器、真空閥門、照相及自動(dòng)控制系統(tǒng)的電器電源。當(dāng)前69頁，總共92頁。④真空系統(tǒng)電源。⑤安全保護(hù)電器，自動(dòng)關(guān)閉真空閥門；如真空不良，高壓電壓不穩(wěn)時(shí)，自動(dòng)關(guān)機(jī)。⑥透射電鏡的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)當(dāng)前70頁，總共92頁。2.

透射電子顯微鏡的性能透射電子顯微鏡的性能主要有以下幾點(diǎn)：

分辨本領(lǐng)、放大倍數(shù)、

加速電壓、衍射相機(jī)長(zhǎng)度、

自動(dòng)化程度，以及儀器所具備的各種功能等。當(dāng)前71頁，總共92頁。2.1分辨本領(lǐng)（分辨率）

透射電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)：是表征電子顯微鏡觀察物質(zhì)微觀細(xì)節(jié)的能力，是指示儀器水平的首要指標(biāo)，也是電子顯微鏡性能的綜合性指標(biāo)。高分辨電子顯微鏡的點(diǎn)分辨率可達(dá)到0.1～0.2nm。當(dāng)前72頁，總共92頁。點(diǎn)分辨本領(lǐng):是指在電子圖像上能分辨開的試樣上，相鄰兩點(diǎn)間的最小距離。點(diǎn)分辨率的測(cè)量方法：一般是采用重金屬蒸發(fā)粒子制成的樣品進(jìn)行觀察和拍照。從電子圖像上觀察測(cè)量?jī)蓚€(gè)斑點(diǎn)之間的最小距離，除以圖像放大倍數(shù)，就得到分辨率的數(shù)值。

當(dāng)前73頁，總共92頁。線分辨率或晶格分辨率：是指電子圖像上能分辨的最小晶面間距。Au晶格條紋0.14nm

當(dāng)前74頁，總共92頁。2.2放大倍率透射電子顯微鏡的放大倍率：是指電子圖像相對(duì)試樣的線性放大倍數(shù)。有效放大倍數(shù)：是將最小可分辨距離放大到人眼可以分辨的尺寸所需要的放大倍數(shù)。有效放大率是與儀器分辨率相對(duì)應(yīng)的。

當(dāng)前75頁，總共92頁。當(dāng)人眼的分辨距離為D，電鏡點(diǎn)分辨率是r時(shí)，有效放大率M=D/r。儀器的最高放大率大于有效放大率，但放大率太高是沒有意義的。它不可能提高儀器的分辨率，也不可能看清更小的細(xì)節(jié)。當(dāng)前76頁，總共92頁。例：D＝0.1mm(人眼分辨本領(lǐng))，

r＝0.3nm（TEM分辨本領(lǐng)）。M有效＝D/r=0.1mm/3×10-7mm=330000當(dāng)前77頁，總共92頁。一般點(diǎn)分辨率是0.3nm的TEM放大倍率應(yīng)具有33萬倍以上。所以最高放大倍率在60～80萬倍是合適的。為了普查試樣選擇視場(chǎng)需要有50～100倍的低倍率，一臺(tái)TEM放大倍率一般在50～800000倍，連續(xù)可調(diào)。當(dāng)前78頁，總共92頁。2.3加速電壓加速電壓是指電子槍陰極燈絲相對(duì)于陽極的電壓，它決定電子束的波長(zhǎng)和能量。加速電壓高時(shí)，電子束的波長(zhǎng)短、能量大。電子束對(duì)試樣的穿透能力就強(qiáng)。

當(dāng)前79頁，總共92頁。加速電壓高，有利于獲得高分辨圖像?，對(duì)試樣造成的電子輻射損傷也比較大。一般TEM加速電壓在50～200KV，超高壓透射電子顯微鏡加速電壓在1000KV以上。

當(dāng)前80頁，總共92頁。2.4相機(jī)長(zhǎng)度相機(jī)長(zhǎng)度：是指電子衍射分析時(shí)一個(gè)儀器常數(shù)，是試樣到照相底片的距離。圖20.8所示電子衍射的基本幾何關(guān)系。當(dāng)前81頁，總共92頁。當(dāng)前82頁，總共92頁。L：相機(jī)長(zhǎng)度R：是底片上衍射斑點(diǎn)到透射斑點(diǎn)的距離?？梢钥闯觯簍g2?=R/L因?yàn)椴祭穹匠讨?sin?=λ/d由于電子衍射中的衍射角非常小，一般只有10～20當(dāng)前83頁，總共92頁。tg2?≈2sin?,λ/d=R/L可以寫成λL=Rd,d=λL/R

式中λ:為電子束的波長(zhǎng)，可根據(jù)加速電壓計(jì)算出λ值。

d:是指衍射斑點(diǎn)對(duì)應(yīng)的那一組面網(wǎng)間距離值。儀器可顯