無(wú)塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)第一頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室原理無(wú)塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)Contents第二頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室原理無(wú)塵室概念:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU送風(fēng),四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100～100K級(jí),適用局部?jī)艋?jí)別要求高的區(qū)域。對(duì)微?？刂?、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。第三頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室原理依據(jù)送風(fēng)方式的不同：可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。Class1～100均采用單向流送風(fēng)方式，即在同一截面的任一點(diǎn)，氣流的方向和速度均保持一致，將室內(nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走?？克惋L(fēng)氣活塞般的擠壓作用。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的2%~4%。Class1000～100000采用非單向流送風(fēng)方式，以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，以實(shí)現(xiàn)凈化。靠氣流擴(kuò)散來(lái)稀釋。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的10%~30%。測(cè)量單位：微米(micrometer),1um=1m的百萬(wàn)分之一。第四頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)潔凈度——參照STD-209E第五頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)AirChange&HEPA遮蔽率無(wú)塵等級(jí)AirChange(次/hr）HEPA遮蔽率Class100240~48050%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/CleanRoom體積HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/CleanRoom面積第六頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速、溫濕度

氣流速度為：0.3~0.5m/s(60~100ft/min)。

一般之溫度控制范圍：T=(21±2)℃

一般之濕度控制范圍：(45±5)﹪RH

第七頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室衡量標(biāo)準(zhǔn)壓差

在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無(wú)塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。第八頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)用ParticleCounter(MetOne）測(cè)空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：⑴完工狀態(tài)-無(wú)制程設(shè)備、原料或工作人員。⑵完工后停止生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設(shè)備，不含工作人員。⑶運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。第九頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)取樣次數(shù)要求單一方向氣流的測(cè)試數(shù)量方法一、氣流的流入體積/25方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級(jí)的平方根選數(shù)字小者

非單一方向氣流的測(cè)試數(shù)量方法：氣流的流入體積/潔凈度等級(jí)的平方根例如：計(jì)算iMac所使用的潔凈室的測(cè)試數(shù)量

(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次例如：計(jì)算M97所使用的潔凈室的測(cè)試數(shù)量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次第十頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)潔凈度取樣要求取樣需兩點(diǎn)以上測(cè)試點(diǎn)要平均分布各測(cè)試點(diǎn)須一個(gè)以上的取樣數(shù)全體需5個(gè)以上的取樣數(shù)各測(cè)試點(diǎn)的取樣數(shù)不一樣也可以

第十一頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)潔凈度判斷標(biāo)準(zhǔn)

兩個(gè)條件需同時(shí)滿(mǎn)足：在每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下這些平均值的平均在95%的信賴(lài)界限的上限值在CLASS上限值以下第十二頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)實(shí)例說(shuō)明在RingRoom空態(tài)下，共取3個(gè)點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)測(cè)量0.5um的粒子，測(cè)量記錄如下：第一點(diǎn)8、0

第二點(diǎn)20、8

第三點(diǎn)11、23、14

判斷依據(jù)一、在各測(cè)試點(diǎn)的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下第一點(diǎn)的平均值（8+0)/2=4

第二點(diǎn)的平均值（20+8)/2=14

第三點(diǎn)的平均值（11+23+14)/3=16小結(jié)：滿(mǎn)足第十三頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

判斷依據(jù)二、

這些平均值的平均在95%的信賴(lài)界限的上限值在CLASS上限值以下上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)

M：平均值的平均

M=(4+14+16)/3=11.3SE：標(biāo)準(zhǔn)誤差

SE=SD/SD：標(biāo)準(zhǔn)偏差L：測(cè)試點(diǎn)數(shù)量

SD==6.429SE=6.429/=3.71第十四頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)UCL系數(shù)：95%信賴(lài)界限的UCL系數(shù)

上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)

=11.3+3.71*2.9=22.1

總結(jié)：滿(mǎn)足第十五頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日無(wú)塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)其余要求序號(hào)驗(yàn)收項(xiàng)目驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)尺寸備注1立柱/橫梁鐵方通噴塑100*100mm

2托框/盲板冷軋鋼板噴塑1200*670mm

3黑色網(wǎng)格狀防靜電PVC窗簾/門(mén)簾靜電阻值：106~109

4無(wú)塵室鎮(zhèn)流器/鎮(zhèn)流器飛利浦/T8燈管1200mm

5FFU美埃/米河1175*575*250風(fēng)機(jī)檔位：3檔6高效過(guò)濾器美埃1170*570*70mm

7初效過(guò)濾器米河495*495*45mm

8電線(xiàn)（電路圖另附）無(wú)錫滬安國(guó)標(biāo)

9配電箱/開(kāi)關(guān)斯奈德

注：1.PVC窗簾與地面高度為15~20cm，且應(yīng)該在立柱內(nèi)側(cè)。

2.配電箱是三相電，電壓380V。第十六頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日?qǐng)D片欣賞FFU風(fēng)淋室第十七頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日1.2米方通立柱第十八頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日托框初效第十九頁(yè)，共二十二頁(yè)，2022年，8月28日高效自己找找看？1、盲板？2、PVC簾？3、垂簾？第