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  • 2013-10-17 頒布
  • 2014-03-01 實施
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文檔簡介

ICS7715050

H64..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T893—2013

電子薄膜用高純鈦濺射靶材

High-puritysputteringtitaniumtargetusedinelectronicfilm

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T893—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料股份有限公司寧波江豐電子材料有限公司

:、。

本標準主要起草人何金江董亭義袁海軍羅俊鋒滕海濤喻潔賀昕錢紅兵周辰劉丹

:、、、、、、、、、、

陸靈芝王學澤熊曉東

、、。

Ⅰ

YS/T893—2013

電子薄膜用高純鈦濺射靶材

1范圍

本標準規(guī)定了電子薄膜用高純鈦濺射靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標志包裝運輸貯存及

、、、、、

質量證明與合同訂單等內容

()。

本標準適用于電子薄膜制造用的各類鈦濺射靶材

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術規(guī)范表面結構輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法氧量氮量的測定

GB/T4698.7、、

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法碳量的測定

GB/T4698.14、

海綿鈦鈦及鈦合金化學分析方法氫量的測定

GB/T4698.15、

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

變形金屬超聲檢驗方法

GJB1580A

濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T837-

高純鈦化學分析方法痕量雜質元素的測定輝光放電質譜法

YS/T891

高純鈦化學分析方法痕量雜質元素的測定電感耦合等離子體質譜法

YS/T892

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

靶材target

在濺射沉積技術中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形

。、

式脫離陰極而在陽極表面沉積

。

32

.

靶坯targetblank

陰極上用作濺射材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶材的部分靶坯與背板可以通過焊接如釬焊擴散焊等機械復合粘接等方

。(、)、、

式連接

。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

411產(chǎn)品按照結構形式分為單體和復合兩種

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