標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1129-2016 鎢鈦合金靶材》是一項(xiàng)針對(duì)鎢鈦合金靶材的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，由中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部提出并歸口。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了用于濺射沉積工藝中的鎢鈦合金靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容。

在化學(xué)成分方面，標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)列出了鎢鈦合金靶材中鎢（W）與鈦（Ti）的具體含量范圍，并對(duì)雜質(zhì)元素如鐵(Fe)、鎳(Ni)等的最大允許含量做出了限制。這些規(guī)定旨在保證材料純度，以滿(mǎn)足不同應(yīng)用場(chǎng)景下對(duì)薄膜性能的需求。

對(duì)于物理性能，包括密度、硬度及導(dǎo)電性等，《YS/T 1129-2016》也給出了明確指標(biāo)。其中，密度反映了材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊密程度；而硬度則關(guān)系到靶材在使用過(guò)程中的耐磨損能力；良好的導(dǎo)電性能有助于提高濺射效率。

此外，還涉及到了外觀質(zhì)量要求，比如表面不允許存在裂紋、氣孔等缺陷，以確保最終制備出的薄膜具有均勻一致的質(zhì)量。

為了驗(yàn)證上述各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求，《YS/T 1129-2016》提供了相應(yīng)的檢測(cè)方法，包括但不限于化學(xué)分析法測(cè)定元素組成、密度測(cè)量采用阿基米德原理等科學(xué)手段。

最后，在產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量控制程序，只有當(dāng)所有項(xiàng)目均達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)所設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值時(shí)，才能被認(rèn)定為合格品，并按照規(guī)定進(jìn)行標(biāo)識(shí)后方可進(jìn)入市場(chǎng)流通環(huán)節(jié)。同時(shí)，對(duì)于產(chǎn)品的包裝方式、運(yùn)輸條件以及儲(chǔ)存環(huán)境也有具體指導(dǎo)，目的是保護(hù)產(chǎn)品免受損害，延長(zhǎng)使用壽命。


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....

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  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS77.160

H72

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

Tungstentitaniumalloysputteringtarget

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1129—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位西安瑞福萊鎢鉬有限公司北京天龍鎢鉬科技股份有限公司廈門(mén)虹鷺鎢鉬工業(yè)

:、、

有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李長(zhǎng)亮任吉文劉云飛蘇國(guó)平白鋒韓蕊蕊

:、、、、、。

Ⅰ

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用鎢鈦合金靶坯的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明

、、、、、、、

書(shū)及訂貨單或合同等內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于鎢鈦合金濺射靶材加工用靶坯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法

GB/T3850

所有部分鎢化學(xué)分析方法

GB/T4324()

金屬平均晶粒度測(cè)定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

高純鎢化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T901

3要求

3.1分類(lèi)

3.1.1產(chǎn)品按外形分圓形矩形

、。

3.1.2產(chǎn)品按化學(xué)成分分為

WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。

3.2化學(xué)成分

產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表的規(guī)定其中鎢鈦含量為減去表中非氣體雜質(zhì)實(shí)測(cè)含量總和

1,100%。

表1化學(xué)成分

牌號(hào)

元素

WTi-99.9WTi-99.95WTi-99.99WTi-99.995WTi-99.999

鎢鈦含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)不小于

()/%,99.999.9599.9999.99599.999

合金元素含量余量

W

質(zhì)量分?jǐn)?shù)

()/

%Ti5~15

Al20151053

非氣體雜質(zhì)含量

質(zhì)量分?jǐn)?shù)Ca105321

()/%

-6不大于

(×10),Cr151085

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