半導(dǎo)體器件與工藝(3)課件

雙極型晶體管半導(dǎo)體器件與工藝雙極型晶體管晶體管的基本結(jié)構(gòu)和分類(lèi)雙極型晶體管晶體管的制造工藝和雜質(zhì)分布雙極型晶體管晶體管的制造工藝和雜質(zhì)分布雙極型晶體管晶體管的制造工藝和雜質(zhì)分布雙極型晶體管均勻基區(qū)晶體管和緩變基區(qū)晶體管均勻基區(qū)晶體管的基區(qū)雜質(zhì)是均勻分布的，載流子在基區(qū)內(nèi)的傳輸主要靠擴(kuò)散機(jī)理進(jìn)行，又稱(chēng)擴(kuò)散型晶體管。緩變基區(qū)晶體管的基區(qū)雜質(zhì)是緩變的，載流子在基區(qū)內(nèi)的傳輸除了靠擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)外，還存在漂移運(yùn)動(dòng)且往往以漂移運(yùn)動(dòng)為主，又稱(chēng)漂移型晶體管。雙極型晶體管平衡晶體管的能帶和載流子的分布雙極型晶體管非平衡晶體管的能帶和載流子的分布雙極型晶體管晶體管載流子的傳輸晶體管的直流電流放大系數(shù)

晶體管電流放大系數(shù)和電流放大能力（1）共基極直流電流放大系數(shù)表征從發(fā)射極輸入的電流中有多大比例傳輸?shù)郊姌O成為輸出電流，或者說(shuō)由發(fā)射極發(fā)射的電子有多大比例傳輸?shù)搅思姌O。共基極接法的晶體管不能放大電流，但由于集電極允許接入阻抗較大的負(fù)載，所以仍能夠獲得電壓放大和功率放大。

晶體管電流放大系數(shù)和電流放大能力（2）共射極直流電流放大系數(shù)共發(fā)射極電路是用去控制以實(shí)現(xiàn)電流放大的。

晶體管的直流電流放大系數(shù)

晶體管電流放大系數(shù)和電流放大能力（3）與的關(guān)系晶體管的直流電流放大系數(shù)

晶體管的直流電流放大系數(shù)均勻基區(qū)晶體管電流放大系數(shù)晶體管的直流電流放大系數(shù)均勻基區(qū)晶體管電流放大系數(shù)為什么總是小于？主要原因在于發(fā)射極發(fā)射的電子在傳輸?shù)郊姌O的過(guò)程中，有兩個(gè)階段電子會(huì)損失：一是發(fā)射區(qū)的電于與來(lái)自基區(qū)的少子空穴的復(fù)合損失，該復(fù)合形成了空穴電流；一是電子在穿越基區(qū)往集電結(jié)擴(kuò)散的過(guò)程中，與基區(qū)中空穴的復(fù)合損失，形成體內(nèi)復(fù)合電流。晶體管的直流電流放大系數(shù)均勻基區(qū)晶體管電流放大系數(shù)為了表征兩個(gè)階段電子損失的比例大小，再定義兩個(gè)參量：

發(fā)射效率：基區(qū)輸運(yùn)系數(shù)：晶體管的直流電流放大系數(shù)1.在N型硅片上經(jīng)硼擴(kuò)散后，得到集電結(jié)結(jié)深，有源基區(qū)方塊電阻，再經(jīng)磷擴(kuò)散后，得發(fā)射結(jié)結(jié)深，發(fā)射區(qū)方塊電阻。設(shè)基區(qū)少子壽命，基區(qū)少子擴(kuò)散系數(shù)擴(kuò)散系數(shù)，基區(qū)自建場(chǎng)因子，試求該晶體管的電流放大系數(shù)與分別為多少？晶體管的直流電流放大系數(shù)2.在基區(qū)摻雜濃度隨距離按指數(shù)式變化的緩變基區(qū)晶體管中，基區(qū)自建電場(chǎng)強(qiáng)度為常數(shù)。如果基區(qū)寬度為0.3的晶體管中存在500的均勻基區(qū)自建電場(chǎng)，基區(qū)中靠近發(fā)射結(jié)一側(cè)的摻雜濃度是，試問(wèn)基區(qū)中靠近集電結(jié)一側(cè)的摻雜濃度為多少？①提高發(fā)射區(qū)摻雜濃度，增大正向注入電流；②減小基區(qū)寬度，減少?gòu)?fù)合電流；③提高基區(qū)雜質(zhì)分布梯度，以提高電場(chǎng)因子；④提高基區(qū)載流子壽命和遷移率，以增大載流子的擴(kuò)散長(zhǎng)度。晶體管的直流電流放大系數(shù)晶體管的直流電流放大系數(shù)習(xí)題1在材料種類(lèi)相同、摻雜濃度分布相同、基區(qū)寬度相同的條件下、PNP晶體管和NPN晶體管相比，哪種晶體管的發(fā)射結(jié)注入效率較大？哪種晶體管的基區(qū)輸運(yùn)系數(shù)較大？

影響晶體管的直流電流放大系數(shù)的因素發(fā)射結(jié)空間電荷區(qū)復(fù)合對(duì)電流放大系數(shù)的影響影響晶體管的直流電流放大系數(shù)的因素發(fā)射區(qū)重?fù)诫s對(duì)電流放大系數(shù)的影響影響晶體管的直流電流放大系數(shù)的因素溫度對(duì)電流放大系數(shù)的影響晶體管的直流伏安特性曲線（共基極）晶體管的直流伏安特性曲線（共射極）兩種組態(tài)輸出特性曲線比較電流放大系數(shù)的差別

增大對(duì)電流放大系數(shù)的影響

減小對(duì)輸出電流的影響晶體管的穿通電壓（基區(qū)穿通）晶體管的穿通電壓（外延層穿通）外延層穿通所決定的擊穿電壓外延層厚度3.已知某硅NPN均勻基區(qū)晶體管的基區(qū)寬度，基區(qū)摻雜濃度，集電區(qū)摻雜濃度，試求當(dāng)、時(shí)電流放大系數(shù)如何變化并計(jì)算厄爾利電壓。晶體管的直流電流放大系數(shù)

4.某廠在試制晶體管時(shí)，由于不注意清潔衛(wèi)生，在高溫?cái)U(kuò)散時(shí)引入了金、鎳等雜質(zhì)，結(jié)果得到如圖所示的晶體管輸出特性曲線。你能否說(shuō)明這個(gè)輸出特性曲線與標(biāo)準(zhǔn)輸出特性曲線的差別在哪里，原因是什么？

晶體管的直流電流放大系數(shù)

5.某廠在試制NPN平面管時(shí)，發(fā)現(xiàn)所得到的輸出特性曲線為“靠背椅”式，如圖所示。你能否用基區(qū)表面形成反省層（即所謂“溝道”）來(lái)解釋這種輸出特性曲線？

晶體管的直流電流放大系數(shù)

6.某廠在試制某種晶體管時(shí)，發(fā)現(xiàn)輸出特性曲線“過(guò)度傾斜”，如圖所示。你能否用制造過(guò)程不當(dāng)，使基區(qū)過(guò)薄來(lái)解釋此種現(xiàn)象？晶體管的直流電流放大系數(shù)

7.某廠在試制某種晶體管時(shí)，發(fā)現(xiàn)輸出特性曲線如圖所示。你能否用集電極有較大的串聯(lián)電阻（如歐姆接觸電阻之類(lèi)）來(lái)解釋此種現(xiàn)象？如何改進(jìn)工藝條件來(lái)避免此種現(xiàn)象？

晶體管的直流電流放大系數(shù)

8.某廠在試制某種晶體管時(shí)，發(fā)現(xiàn)輸出特性曲線如圖所示。你能否用集電結(jié)在表面處有很大的漏電流來(lái)解釋此種現(xiàn)象？

晶體管的頻率特性晶體管的頻率特性晶體管的頻率特性曲線和極限頻率參數(shù)晶體管的頻率特性曲線和極限頻率參數(shù)提高特征頻率的途徑1、減小基區(qū)寬度，并采用擴(kuò)散基區(qū)。2、盡量減小發(fā)射極面積。3、基區(qū)擴(kuò)散的薄層電阻大些，即基區(qū)雜質(zhì)濃度稍低些，也有利于提高特征頻率。4、減小集電結(jié)面積，適當(dāng)降低集電區(qū)電阻率。

晶體管的噪聲噪聲系數(shù)

采用信號(hào)噪聲比（即信號(hào)功率與噪聲功率之比，簡(jiǎn)稱(chēng)信噪比）來(lái)衡量噪聲的大小。常用晶體管的輸入信號(hào)噪聲比同輸出信號(hào)噪聲比的比值來(lái)標(biāo)志晶體管的噪聲特性，這個(gè)比值就叫噪聲系數(shù)。晶體管的噪聲噪聲來(lái)源

（1）熱噪聲

雜亂無(wú)章的熱運(yùn)動(dòng)疊加在載流子的有規(guī)則的運(yùn)動(dòng)之上，就會(huì)引起電流的起伏，成為噪聲。

（2）散粒噪聲

半導(dǎo)體中載流子的產(chǎn)生、復(fù)合過(guò)程有漲有落，參加導(dǎo)電的載流

于數(shù)目將在其平均值附近起伏，這種由載流子數(shù)目起伏而引起的噪聲。

（3）噪聲

在半導(dǎo)體中還存在著一種影響很大的噪聲，叫做噪聲，這種噪聲同頻率有關(guān)，頻率越低，噪聲越大。

晶體管的功率特性基區(qū)大注入效應(yīng)

（1）大注入基區(qū)電大調(diào)制效應(yīng)和自建電場(chǎng)

（2）大注入基區(qū)少子分布

晶體管的功率特性基區(qū)擴(kuò)展效應(yīng)

晶體管的功率特性基區(qū)擴(kuò)展效應(yīng)

晶體管的功率特性基區(qū)擴(kuò)展效應(yīng)

晶體管的功率特性基區(qū)縱向擴(kuò)展效應(yīng)

晶體管的功率特性基區(qū)橫向擴(kuò)展效應(yīng)

晶體管的功率特性基區(qū)擴(kuò)展效應(yīng)對(duì)電特性的影響晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性發(fā)射極電流集邊效應(yīng)

晶體管的功率特性集電結(jié)最大耗散功率

集電結(jié)最大耗散功率是晶體管參數(shù)的變化不超過(guò)規(guī)定值時(shí)的最大集電結(jié)耗散功率。晶體管的功率特性集電結(jié)最大耗散功率相關(guān)因素在晶體管的散熱情況和環(huán)境溫度一定時(shí)，消耗的功率越大，管芯的結(jié)溫就越高。由于管芯結(jié)溫不能超過(guò)晶體管的最高結(jié)溫，因此晶體管的耗散功率也不允許任意大。顯然與最高結(jié)溫對(duì)應(yīng)的耗散功率就是晶體管的最大允許耗散功率，即晶體管的最高結(jié)溫是指晶體管能正常地、長(zhǎng)期可靠工作的最高PN結(jié)溫度。晶體管的功率特性晶體管熱阻

晶體管工作時(shí)，集電結(jié)產(chǎn)生的熱量要散發(fā)到周?chē)臻g中去，會(huì)遇到一種阻力，把這種阻力叫“熱阻”。晶體管的熱阻是表征晶體管工作時(shí)所產(chǎn)生的熱量向外散發(fā)的能力，它表示晶體管散熱能力的大小。晶體管的功率特性

晶體管熱阻

晶體管的功率特性

降低晶體管熱阻降低內(nèi)熱阻：通過(guò)適當(dāng)減薄硅片和鋁片厚度，增大集電結(jié)面積或周界長(zhǎng)度來(lái)減小內(nèi)熱阻。降低外熱阻：可以通過(guò)減小接觸熱阻，增大散熱面積來(lái)實(shí)現(xiàn)。減少接觸熱阻的措施：①盡量使管座與散熱器的接觸面平整、光滑、清潔且不氧化。②在接觸界面處涂覆硅脂。③在安裝晶體管時(shí)，接觸面應(yīng)盡量壓緊。晶體管的功率特性晶體管的二次擊穿

當(dāng)集電極反向偏壓增大到某一值時(shí)，集電極電流急劇增加，出現(xiàn)擊穿現(xiàn)象，這個(gè)首先出現(xiàn)的擊穿現(xiàn)象稱(chēng)為一次擊穿。當(dāng)集電極反向偏壓進(jìn)一步增大，增大到某一臨界值時(shí)，晶體管上的壓降突然降低，而電流繼續(xù)增長(zhǎng)，這個(gè)現(xiàn)象稱(chēng)為二次擊穿。晶體管的功率特性晶體管的二次擊穿

晶體管的功率特性二次擊穿機(jī)理—電流集中二次擊穿

在晶體管內(nèi)部出現(xiàn)電流局部集中，形成過(guò)熱點(diǎn)，導(dǎo)致該處發(fā)生局部熱擊穿的結(jié)果。晶體管的功率特性鎮(zhèn)流電阻

晶體管的功率特性二次擊穿機(jī)理—雪崩注入二次擊穿

晶體管的功率特性集電極最大工作電流

共發(fā)射極電流放大系數(shù)下降到最大值的一半時(shí)所對(duì)應(yīng)的集電極電流。

晶體管的功率特性不使晶體管損壞和老化，而且工作可靠性又較高的區(qū)域叫做安全工作區(qū)。晶體管的安全工作區(qū)

晶體管的開(kāi)關(guān)特性晶體管的開(kāi)關(guān)作用

開(kāi)關(guān)電路中的晶體管多采用共發(fā)射極接法。晶體管的開(kāi)關(guān)作用是通過(guò)基極輸入脈沖控制集電極回路的通斷來(lái)實(shí)現(xiàn)的。晶體管的開(kāi)關(guān)特性晶體管的開(kāi)關(guān)工作區(qū)域

晶體管做開(kāi)關(guān)運(yùn)用時(shí)，它的“開(kāi)”與“關(guān)”兩種工作狀態(tài)分別對(duì)應(yīng)子輸出特性曲線中的飽和區(qū)和截止區(qū)。晶體管的開(kāi)關(guān)特性飽和區(qū)

在飽和狀態(tài)時(shí)，晶體管的發(fā)射結(jié)處于正向偏置，發(fā)射結(jié)偏壓約為0.7V，而C，E間的壓降約為0.3V。這表明C極電位低于B極，即集電結(jié)也處于正向偏置，這是晶體管飽和的重要特點(diǎn)之一。使晶體管由放大區(qū)進(jìn)入飽和區(qū)的臨界基極電流稱(chēng)為臨界飽和基極電流。

晶體管的開(kāi)關(guān)特性截止區(qū)

晶體管的發(fā)射結(jié)加上反向偏壓（或零偏壓），集電結(jié)也加上反向偏壓，晶體管就處于截止區(qū)，這時(shí)晶體管內(nèi)只有反向漏電流流過(guò)，其數(shù)值極小。晶體管的開(kāi)關(guān)特性理想晶體管的開(kāi)關(guān)波形

晶體管的開(kāi)關(guān)特性實(shí)際晶體管的開(kāi)關(guān)波形

晶體管的開(kāi)關(guān)特性延遲過(guò)程

在晶體管開(kāi)啟以前，晶體管處于截止態(tài)，發(fā)射結(jié)和集電結(jié)都處于反向偏置，因此它們的勢(shì)壘區(qū)是比較寬的，勢(shì)壘區(qū)中有比較多的空間電荷。在輸入電壓剛剛變正時(shí)，發(fā)射結(jié)的勢(shì)壘區(qū)還保持在原來(lái)的狀態(tài)，即勢(shì)壘區(qū)有比較多的空間電荷，勢(shì)壘區(qū)還很寬。由于發(fā)射結(jié)勢(shì)壘電容電壓不能突變，也就是發(fā)射結(jié)仍然保持在負(fù)偏壓或零偏壓的狀態(tài)，所以沒(méi)有析從發(fā)射區(qū)注入到基區(qū)。

晶體管的開(kāi)關(guān)特性上升過(guò)程

在延遲過(guò)程結(jié)束后，晶體管的發(fā)射結(jié)偏壓將繼續(xù)上升，從0.5V變到0.7V左右，于是發(fā)射區(qū)就向基區(qū)注人較多的電子，電子在基區(qū)中積累，形成一定的濃度梯度，其中一部分在基區(qū)中復(fù)合掉，其余的輸運(yùn)到集電結(jié)，形成集電極電流。隨著發(fā)射結(jié)偏壓的上升，注入到基區(qū)的電子增多，電子的濃度梯度增大，集電極電流也隨著增大，這就是上升過(guò)程。

晶體管的開(kāi)關(guān)特性在上升過(guò)程結(jié)束以后，由于晶體管處于過(guò)驅(qū)動(dòng)狀態(tài)，集電結(jié)從零偏變?yōu)檎?，集電區(qū)除了要向基區(qū)注入電子外，基區(qū)也要向集電區(qū)注入空穴，所以在集電區(qū)中也有一部分空穴電荷累量—超量貯存電荷。

貯存電荷

晶體管的開(kāi)關(guān)特性下降過(guò)程

在貯存過(guò)程結(jié)束后，晶體管中的電荷分布又回到和上升過(guò)程結(jié)束時(shí)相同的情況，在下降過(guò)程中，集電結(jié)從零偏壓降到負(fù)偏壓，發(fā)射結(jié)的正向偏壓從0.7V開(kāi)始下降。晶體管的開(kāi)關(guān)特性提高晶體管開(kāi)關(guān)速度的途徑

①摻金可有效地減小集電區(qū)少子（空穴）壽命，進(jìn)而減少飽和時(shí)超量貯存電荷，同時(shí)加速超量貯存電荷的復(fù)合。

③減小結(jié)面積，這可有效地縮短、、。結(jié)面積最小尺寸受集電極最大電流及工藝水平的限制。

④減小基區(qū)寬度，可使和時(shí)間大大降低。②在保證集電結(jié)耐壓的情況下，盡量減薄外延層厚度，降低外延層電阻率。這樣既可以減小集電區(qū)少子壽命。

晶體管的開(kāi)關(guān)特性開(kāi)關(guān)晶體管的正向壓降

晶體管的共發(fā)射極正向壓降是指將晶體管驅(qū)動(dòng)到